CN115593953A - 物品传送车辆以及物品传送设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种物品传送车辆以及物品传送设备。本发明具有接触凸起和接触垫，当夹紧物品的手爪单元为了传送物品而上升时，抑制在上侧的升降驱动单元和下侧的手爪单元之间彼此紧贴而振动等向手爪单元传递以及在手爪单元产生活动，从而防止物品损坏。接触凸起提供于升降驱动单元，接触垫提供于手爪单元。接触垫由与接触凸起紧贴的接触面部利用自身弹性提供防振性的材料设置。这样的接触垫具有设置接触凸起的接触端部的布置区域，并具有将接触端部向布置区域引导的导向面。

Description

物品传送车辆以及物品传送设备

技术领域

本发明的实施例涉及沿着传送路径移动并转送物品的物品传送车辆以及具备其的物品传送设备。

背景技术

为了半导体制造效率的提升等，不仅使用用于改善通过半导体制造设备执行的各种工艺(曝光、蒸镀、蚀刻、离子注入、清洗等)的技术，还引进使用用于将物品在半导体制造设备之间更有效地传送的设备。作为一例，广泛使用有具备沿着在半导体制造工厂的顶棚侧提供的传送路径移动并传送物品的空中走行式无人搬送车(overhead hoisttransport，OHT)的物品传送设备。

通常，具备空中走行式无人搬送车(OHT)的物品传送设备具有提供传送路径的轨道、沿着轨道行驶的搬送车(vehicle)以及在搬送车的下侧以悬垂状态提供的吊车装置。搬送车和吊车装置构成物品传送车辆。吊车装置包括将物品通过夹紧(grip)工作支承或将针对物品的支承通过松开(ungrip)工作解除的手爪单元以及使手爪单元升降的升降驱动单元。

在这样的物品传送设备中，物品传送车辆在使手爪单元下降将物品通过手爪单元夹紧后，在使手爪单元上升的状态下，为了将物品向目标位置传送，搬送车沿着轨道行驶。然而，在传送物品的过程中，可能由于各种原因而产生振动，产生的振动传递到被手爪单元支承的物品而物品可能损坏。另外，在传送物品的过程中，手爪单元产生微动而物品可能晃动并损坏。

与上述相关的现有技术文献可以参照韩国的授权专利公报第10-0643381号(2006年11月10日)、授权专利公报第10-1433911号(2014年08月29日)以及公开专利公报第10-2018-0002219号(2018年01月08日)。

发明内容

发明的实施例的目的在于防止在物品传送过程中产生的振动传递到物品。另外，本发明的实施例的目的在于在物品传送过程抑制物品的活动。

所要解决的技术问题不限于此，通常的技术员可以从下面的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。

根据本发明的实施例，可以提供一种物品传送车辆，其包括：搬送车，能够沿着行驶轨道行驶；以及吊车装置，在所述搬送车的下侧支承物品，所述吊车装置包括：手爪单元，夹紧或松开所述物品；升降驱动单元，在所述手爪单元的上侧使所述手爪单元升降；以及束缚单元，当所述手爪单元上升时，将所述手爪单元束缚于所述升降驱动单元。

在此，可以是，所述束缚单元包括：接触凸起，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的任一个提供为朝向另一个侧；以及接触垫，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的另一个提供为与所述接触凸起相向，并具备当所述手爪单元上升时与所述接触凸起的接触端部紧贴而束缚所述手爪单元的接触面部。此时，可以是，所述接触垫至少是所述接触面部由具有防振性的材料设置，具有防振性的所述材料包括橡胶或者软质合成树脂。

或者，可以是，所述束缚单元构成为对垂直方向以及水平方向的振动具有防振性。具体地，可以是，所述束缚单元包括：接触凸起，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的任一个提供为朝向另一个侧；以及接触垫，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的另一个提供为与所述接触凸起相向，并具有当所述手爪单元上升时与所述接触凸起的接触端部紧贴的接触面部，并且至少是所述接触面部由具有弹性的材料设置，当所述接触端部和所述接触面部紧贴时，在所述接触面部通过弹性变形形成凹部。此时，可以是，具有弹性的所述材料包括橡胶或者软质合成树脂。

可以是，所述接触凸起提供于所述升降驱动单元，所述接触垫提供于所述手爪单元。

可以是，所述接触面部具有设置所述接触端部的布置区域，并具有引导所述接触端部进入所述布置区域的导向面。

可以是，所述导向面具备两个，并向任一水平方向排列成以所述布置区域为基准位于两侧，并且分别设置成朝所述布置区域侧向下。可以是，所述接触面部具有以所述布置区域为基准与所述导向面的排列方向正交的水平方向的两侧分别开放的形状。

可以是，所述导向面分别形成为倾斜面。可以是，所述接触端部形成为具有与所述倾斜面接触的曲面。

可以是，所述束缚单元具备多个，并彼此隔开。可以是，多个所述束缚单元中的至少任意两个配置成所述导向面的排列方向不同。具体地，可以是，多个所述束缚单元中的至少任意两个配置成所述导向面的排列方向彼此正交。可以是，所述束缚单元具备三个，并设置成将各个所述布置区域连接的虚拟线形成位于所述手爪单元和所述升降驱动单元之间的中央区域的三角形。

可以是，若当所述手爪单元上升时作用的负荷为设定值以上，则所述升降驱动单元停止对所述手爪单元的上升工作。

根据本发明的实施例，可以是，提供一种物品传送车辆，包括：搬送车，能够沿着行驶轨道行驶；以及吊车装置，在所述搬送车的下侧支承物品，所述吊车装置包括：手爪单元，具有对所述物品执行夹紧和松开的手爪以及在上侧支承所述手爪的手爪底座；升降驱动单元，具有设置于所述手爪底座上侧的举起底座以及利用相对于旋转滚筒卷绕或解开的带子使所述手爪单元相对于所述举起底座升降的举起机构；以及多个束缚单元，当所述手爪单元上升时，将所述手爪底座束缚于所述举起底座，所述束缚单元各自包括：接触凸起，从所述举起底座的下方朝向所述手爪底座的上方凸出；以及接触垫，在所述手爪底座的上方提供为与所述接触凸起相向，并具有当所述手爪单元上升时与所述接触凸起的接触端部紧贴的接触面部，并且至少所述接触面部由具有弹性的材料设置，当所述接触端部和所述接触面部紧贴时，在所述接触面部通过弹性变形形成具有底部以及从所述底部的周围凸出的凸缘的凹部。

可以是，在各个所述束缚单元中，所述接触面部具有设置所述接触端部的布置区域，并具有引导所述接触端部进入所述布置区域的导向面，所述导向面具备两个，并向任一水平方向排列成以所述布置区域为基准位于两侧，并且分别设置成朝所述布置区域侧向下。可以是，所述束缚单元具备三个，并设置成将各个所述布置区域连接的虚拟线形成位于所述手爪底座和所述举起底座之间的中央区域的三角形。另外，可以是，三个所述束缚单元中的任一个和剩余两个配置成所述导向面的排列方向彼此正交。

根据本发明的实施例，可以是，提供一种物品传送设备，包括：行驶轨道，在顶棚侧提供用于传送物品的传送路径；以及至少一个物品传送车辆，具备能够沿着所述行驶轨道行驶的搬送车以及在所述搬送车的下侧支承所述物品的吊车装置，所述吊车装置包括：手爪单元，夹紧或松开所述物品；升降驱动单元，在所述手爪单元的上侧使所述手爪单元升降；以及束缚单元，当所述手爪单元上升时，将所述手爪单元束缚于所述升降驱动单元。

技术问题的解决方案会通过下面说明的实施例、附图等得到更具体且清楚。另外，在下面可以追加提出提及的解决方案以外的各种解决方案。

根据本发明的实施例，当手爪单元上升时，手爪单元被束缚于升降驱动单元，因此通过抑制手爪单元的活动，能够防止被手爪单元夹紧的物品因手爪单元的活动(晃动等)而损坏。

根据本发明的实施例，手爪单元被接触凸起和接触垫的紧贴力束缚，因此能够以简单的结构抑制手爪单元的活动。而且，接触垫包含防振材料，因此通过切断主要在行驶中产生的振动传递到手爪单元，能够防止被手爪单元夹紧的物品因振动而损坏。

根据本发明的实施例，构成接触垫的防振材料是橡胶等可弹性变形材料，由此当接触凸起和接触垫彼此紧贴时，由于接触凸起的加压以及接触垫的弹性变形而在接触垫形成凹部(提供接触凸起的接触端部钉在接触垫中类似的效果。)，因此不仅是施加于手爪单元的垂直方向的振动，还能够有效地阻止水平方向的振动，还能够积极地应对并约束手爪单元的多方向晃动。

发明的效果不限于此，通常的技术员可以从本说明书以及所附附图清楚地理解未提及的其它效果。

附图说明

图1是示出根据本发明的实施例的物品传送设备的整体结构的示意图。

图2以及图3是示出图1所示的空中走行式无人搬送车的结构的主视图以及左视图。

图4以及图5是示出图1所示的空中走行式无人搬送车的工作的主视图。

图6是示出图2至图5所示的手爪单元以及束缚单元的一部分的立体图。

图7是示出图2至图5所示的升降驱动单元以及束缚单元的一部分的立体图。

图8是示出图6以及图7所示的束缚单元的结构的立体图。

图9以及图10是示出图6以及图7所示的束缚单元的工作等的示意图。

(附图标记说明)

1：半导体制造设备

10：行驶轨道

20：物品传送车辆

100：搬送车

200：吊车装置

210：吊车壳体

220：手爪单元

230：升降驱动单元

240：旋转驱动单元

250：水平驱动单元

260：束缚单元的接触凸起

270：束缚单元的接触垫

具体实施方式

以下，参照附图来详细说明本发明的实施例，以使得本发明所属技术领域中具有通常知识的人能够容易地实施。但是，本发明可以以各种不同方式实现，不限于在此说明的实施例。

在对本发明的实施例进行的说明中，当判断为对相关公知功能或结构进行的具体说明可能不必要地使本发明的主旨模糊时，省略其具体说明，起到类似功能以及作用的部分在整个附图中使用相同的附图标记。

在说明书中使用的用语中的至少一部分是考虑本发明中的功能而定义的，因此可能根据使用者、运用者的意图、惯例等而不同。因此，应基于整个说明书的内容来解释其用语。另外，在说明书中，当表示包括某构成要件时，其意指还包括其它构成要件而不是排除其它构成要件，除非有特别相反的记载，当表示某部分与其它部分连接(或者，结合)时，其不仅包括直接连接(或者，结合)的情况，还包括隔着其它部分间接连接(或者，结合)的情况。

另一方面，为了便于理解，在附图中可能多少夸张呈现构成要件的尺寸或形状、线的厚度等。

本发明可以主要使用于在用于制造半导体或者平板显示器(flat paneldisplay，FPD)的工厂中将物品从任意位置向目的位置传送。例如，本发明可以构成为将物品在半导体(或者，平板显示器)制造设备之间进行传送。物品可以包括晶圆(wafer)等基板。作为一例，物品可以是收纳基板的容器(container)。进而，容器可以是能够保护被收纳的基板免受外部影响的密闭型容器。密闭型容器可以是前开式晶圆传送盒(front openingunified pod，FOUP)。

本发明可以在各种技术领域中使用于传送物品，本发明的实施例以在半导体制造工厂中作为物品将在内部空间中收纳晶圆的前开式晶圆传送盒(以下，称为FOUP。)在半导体制造设备之间进行传送的情况为中心进行说明。

半导体制造工厂可以由至少一个洁净室(clean room)构成。执行半导体制造工艺的半导体制造设备可以设置于洁净室。可以通过对晶圆重复执行半导体制造工艺来完成半导体。在特定半导体制造设备中执行完工艺的晶圆可以向用于下一个工艺的半导体制造设备传送。此时，晶圆的传送可以在收纳于FOUP中的状态下通过具备空中走行式无人搬送车(以下，称为OHT。)的物品传送设备来传送。

根据本发明的实施例的物品传送设备的整体结构等示意性示出于图1。在图1中，附图标记1表示设置在半导体制造工厂中的半导体制造设备，附图标记10表示提供用于将FOUP在半导体制造设备1之间进行传送的传送路径11的行驶轨道。而且，附图标记20表示沿着传送路径11移动并传送FOUP的物品传送车辆，附图标记30表示对FOUP提供临时保管空间的缓冲器。行驶轨道10构成为将传送路径11提供于半导体制造工厂的顶棚侧。传送路径11可以包括直线形状的至少一个直线区间12、曲线形状的至少一个曲线区间13以及用于分支和/或合流路径的至少一个相连区间14。物品传送车辆20和缓冲器30也可以具备多个。物品传送车辆20既可以将FOUP从半导体制造设备1中的特定设备向其它设备直接传送，也可以在缓冲器30中临时保管后向其它设备传送。缓冲器30既可以是设置于传送路径11的侧方的侧轨缓冲器(side track buffer，STB)，也可以是设置于传送路径11的下方的轨下缓冲器(under track buffer，UTB)。

根据本发明的实施例的物品传送设备包括OHT，OHT包括行驶轨道10以及物品传送车辆20。根据本发明的实施例的物品传送设备，物品传送车辆20构成为通过供电单元(参照图2的附图标记40)和受电单元(参照图2的附图标记50)从电源供应装置接收驱动电力而工作，可以还包括也称作OCS(OHT control system，OHT控制系统)的综合控制装置而自动运行物品传送车辆20。

OHT的结构以及工作示出于图2至图5。

参照图2，行驶轨道10包括在左右方向(参照Y轴方向)上彼此隔开且彼此成对的一对轨道，并通过轨座(rail support)15设置于半导体制造工厂的顶棚侧。各个轨座15可以是下端部分支承一对轨道，上端部分固定安装于半导体制造工厂的顶棚。一对轨道可以在上侧形成行驶面。参照图2以及图3，物品传送车辆20包括沿着行驶轨道10行驶的搬送车100以及在搬送车100的下侧支承FOUP的吊车装置200。吊车装置200可以以支承FOUP的状态与搬送车100一起移动。

如图2所示，供电单元40可以具有在行驶轨道10的下方沿着传送路径11设置的供电线(electricity supply line)41。可以是，供电线41构成为一对，并配置于一对轨道之间，通过安装于一对轨道各自的线座42支承并固定位置。这样的供电线41可以与提供驱动电力的电源供应装置电连接。受电单元50可以包括在搬送车100的下方或者吊车装置200的上方提供为与供电线41相向的耦合线圈(pickup coil)以及用于将交流转换为直流的整流器。在供电线41中流动交流电流，因此在供电线41近处产生的磁束的方向以及强度可以一直变动。耦合线圈可以根据这样的磁束的变动并通过电磁感应产生电压。产生的电压可以以交流电压或通过整流器转换为直流电压后供应于物品传送车辆20。

搬送车100包括车体110和多个车轮(wheel)120。在车体110中可以可旋转地提供向左右方向(参照Y轴方向)延伸的车轴。车轮120对车体110赋予移动性以使车体110能够沿着行驶轨道10的引导行驶。车轮120可以分别接触于一对轨道的行驶面来进行云运动。车轮120可以分别安装于车轴的两端部分。搬送车100还包括提供用于使车轮120旋转的动力的车轮驱动单元130。车轮驱动单元130可以构成为使车轴旋转。图3示出为搬送车100具有一个车体110，车体110也可以具有分割成向前后方向(参照X轴方向)排列的单位车体的结构。例如，车体110也可以作为单位车体由分别适用车轮120的前方车体和后方车体构成。

吊车装置200包括吊车壳体(hoist housing)210。吊车壳体210在行驶轨道10的下方与搬送车100彼此连接。吊车壳体210的上方可以通过单个或者多个连接器连接于车体110的下方。吊车壳体210形成为具有提供容纳FOUP的容纳空间212并用于使FOUP向容纳空间212的内外移动的开放结构。吊车壳体210具有左右两旁和下侧都开放的结构，容纳在容纳空间212中FOUP既可以沿着左右方向(参照Y轴方向)向容纳空间212的外部移动，也可以沿着上下方向(参照Z轴方向)向下方移动而位于容纳空间212的外部。

吊车装置200还包括用于夹紧或松开FOUP的手爪单元220以及用于改变手爪单元220的位置以及姿势的单元驱动构件。单元驱动构件包括升降驱动单元230、旋转驱动单元240以及水平驱动单元250。通过升降驱动单元230或水平驱动单元250，可以使手爪单元220移动来改变被手爪单元220夹紧的FOUP的位置。另外，通过旋转驱动单元240，可以使手爪单元220旋转来改变被手爪单元220夹紧的FOUP的姿势。

手爪单元220包括手爪底座221以及手爪222，手爪底座221构成为在上侧支承手爪222。手爪底座221可以具有整体平坦的上方。手爪底座221可以提供为上方整体平坦的箱体而在内部容纳手爪驱动机构。手爪222提供于手爪底座221的下方。手爪222构成为通过手爪驱动机构对FOUP执行夹紧以及松开。

升降驱动单元230使手爪单元220向上下方向(参照Z轴方向)移动，使得被手爪单元220夹紧的FOUP上升或下降。这样的升降驱动单元230包括举起底座231以及举起机构232、233。举起底座231配置于手爪底座221的上侧。举起底座231具有与手爪底座221的上方相向的下方。举起底座231的下方可以形成为整体平坦。举起机构232、233包括带子232、旋转滚筒233以及马达。带子232的一侧端部连接于手爪底座221的上方。带子232的另一侧沿着通过马达旋转的旋转滚筒233的旋转方向相对于旋转滚筒233卷绕或解开并使手爪单元220相对于举起底座231升降。举起底座231可以形成为下方提供为整体平坦的箱体而在内部容纳旋转滚筒233以及马达，并在平坦的下方具有供带子232穿过的开口。带子232以及旋转滚筒233可以具备多个，并配置成具有间隔以彼此隔开。作为参考，带子232并不仅是单纯地意指带状的部件，可以是包括为了手爪单元220的升降而相对于旋转滚筒233能够卷绕或解开的线绳等替代部件的概念。

旋转驱动单元240使手爪单元220以上下方向(参照Z轴方向)的轴为中心旋转，改变手爪单元220的姿势或者被手爪单元220夹紧的FOUP的姿势。旋转驱动单元240连接于举起底座231的上方，使升降驱动单元230以上下方向的轴为中心旋转，从而能够使手爪单元220旋转。

水平驱动单元250使手爪单元220向左右方向(参照Y轴方向)移动。水平驱动单元250连接于旋转驱动单元240的上方，使旋转驱动单元240向左右方向移动来使升降驱动单元230向相同的方向移动，从而能够使手爪单元220向左右方向移动。水平驱动单元250可以提供于容纳空间212的上方。

图4示出夹紧FOUP的手爪单元220通过水平驱动单元250向左右方向(参照Y轴方向)移动而FOUP的位置从容纳空间212的内部改变为外部的状态。图5示出夹紧FOUP的手爪单元220通过升降驱动单元230向上下方向(参照Z轴方向)移动而FOUP从图4的位置下降了的状态。

根据实施条件等，也可以将旋转驱动单元240和水平驱动单元250中的至少任一个从单元驱动构件去除。

为了通过手爪单元220夹紧要传送的FOUP，物品传送车辆20可以使手爪单元220下降，使手爪单元220从容纳空间212内部向外部移动。此时，根据FOUP的位置、姿势等，追加性地使手爪单元220既可以通过水平驱动单元250向左右方向(参照Y轴方向)移动，也可以通过旋转驱动单元240以上下方向(参照Z轴方向)的轴为中心旋转。之后，若手爪单元220夹紧FOUP，则物品传送车辆20使手爪单元220上升，在将FOUP容纳在容纳空间212中的状态(参照图2以及图3)下，为了将FOUP向目标位置传送而沿着传送路径11移动。如此，在传送FOUP的期间，由于车轮120对行驶轨道10的云运动等各种因素而产生振动，搬送车100的加速或者减速等各种因素导致手爪单元220产生晃动在内的冲击，从而收纳在被手爪单元220夹紧的FOUP中的基板可能被损坏。

为了在搬送车100行驶并传送FOUP的过程中，防止产生的振动等导致收纳在FOUP中的基板损坏的问题，根据本发明的实施例的物品传送设备还包括将上升状态的手爪单元220束缚于升降驱动单元230的束缚单元260、270。这样的束缚单元260、270构成吊车装置200，可以通过束缚作用阻止搬送车100的行驶中手爪单元220的活动等。

束缚单元260、270的结构、工作等示出于图6至图10。

参照图6至图8等，束缚单元260、270包括随着手爪单元220的升降而彼此成对紧密接触或解除接触的接触凸起260和接触垫270。接触凸起260提供于手爪单元220和升降驱动单元230中的任一个，并形成为朝向手爪单元220和升降驱动单元230中的另一个侧。接触垫270在手爪单元220和升降驱动单元230中的另一个提供为与接触凸起260正面相向，手爪单元220包括当通过升降驱动单元230上升时与包括接触凸起260的前端的接触端部261接触并紧贴来束缚手爪单元220的接触面部271。接触垫270构成为至少使接触面部271持有优异的防振性。接触垫270可以至少接触面部271由可弹性变形的材料设置来提供防振性。例如，具有弹性的材料可以包括天然橡胶、合成橡胶或者软质合成树脂。进而，作为具有弹性的材料，可以选择能够将振动能转换为摩擦(接触凸起260和接触垫270的摩擦)引起的热能来抑制振动的材料。

关于这种结构的接触凸起260和接触垫270，若升降驱动单元230的马达工作而旋转滚筒233向缠绕(winding)方向旋转，由此带子232卷绕于旋转滚筒233而夹紧FOUP的手爪单元220上升，则接触端部261和接触面部271彼此接触并紧贴，手爪单元220束缚于升降驱动单元230。因此，能够防止手爪单元220过度上升而与升降驱动单元230冲撞，能够阻止上升的手爪单元220的活动，能够抑制搬送车100的行驶中产生的振动向手爪单元220传递。

接触凸起260提供于举起底座231的下方。接触凸起260向上下方向(参照Z轴方向)延伸而从举起底座231的下方向手爪底座221的上方凸出。接触凸起260也可以与举起底座231一体式地设置。接触垫270在手爪底座221的上方提供为与接触凸起260相向。接触垫270可以与手爪底座221可分离地结合。关于接触垫270，与接触端部261接触的接触面部271由弹性材料构成，因此接触面部271的损坏能够相对小。若接触垫270损坏，则使手爪单元220下降，能够使得损坏的接触垫270位于更换作业容易的高度。

若手爪单元220上升而接触端部261和接触面部271彼此紧密地紧贴，则如图10所示，在接触面部271中，由于接触面部271可弹性变形的点以及接触端部261通过紧贴作用将接触面部271加压的点，凹部275形成为与接触端部261对应的形状。即，凹部275通过基于接触端部261的加压的接触面部271的弹性变形而形成，若手爪单元220下降而解除接触端部261对接触面部271的加压作用，则消除为接触端部261的原状复原。凹部275可以形成为具有底部276以及从底部276的周围凸出的凸缘277。根据凹部275，束缚单元260、270对垂直方向(参照Z轴方向)的振动以及水平方向的振动都提供优异的防振性(吸收振动)，从而能够积极地切断振动通过手爪单元220向FOUP及收纳于其的基板传递。另外，根据凹部275的凸缘277，能够积极地阻止上升的手爪单元220的活动。

参照图9等，接触面部271具有设置接触端部261的布置区域272，并具有引导接触端部261向布置区域272进入的导向面273，能够将接触端部261准确地设置于布置区域272。

参照图8至图10，为了简化结构，接触垫270具备两个导向面273。两个导向面273向任一水平方向排列成以布置区域272为基准位于两侧。两侧的导向面273都设置成朝布置区域272侧向下。为了简化接触垫270，接触面部271形成为具有以布置区域272为基准在与导向面273的排列方向正交的水平方向的两侧分别开放的构造。

分别朝布置区域272侧向下的导向面273虽也可以是曲面，但形成为倾斜面。接触端部261形成为具有与以倾斜面提供的两侧的导向面273接触的曲面262。根据接触端部261的曲面262以及接触面部271的倾斜的导向面273，能够更自然地执行接触端部261向布置区域272的进入引导。

参照图6、图7等，束缚单元260、270以彼此隔开间隔的方式提供多个，能够有效地切断向手爪单元220的振动传递，能够更积极地阻止手爪单元220的活动。

这样的束缚单元260、270中的至少任意两个配置成导向面273的排列方向不同。例如，束缚单元260、270中的至少任意两个可以是导向面273的排列方向彼此正交。具体地，如图6所示，可以具有导向面273的排列方向彼此正交的束缚单元260、270中的一部分是导向面273向Y轴方向排列而剩余的导向面273向X轴方向排列的配置构造。如此，若将至少任意两个束缚单元260、270配置成导向面273的排列方向不同，则即使相对大的外力(即，将上升的手爪单元220的活动仅通过凹部275难以抑制水准的外力)从任意方向作用于手爪单元220，也能够通过排列方向不同的导向面273可靠地阻止手爪单元220的活动。

参照图6，束缚单元260、270可以具备三个，并设置成将其各个布置区域272连接的虚拟线L形成位于手爪底座221上方和举起底座231下方之间的中央区域的三角形。根据这样的三角配置构造，能够通过最小的束缚单元260、270稳定地抑制上升的手爪单元220的活动。

另一方面，关于升降驱动单元230，当通过马达使旋转滚筒233旋转而使手爪单元220上升时，若作用于马达的负荷为事先规定的设定值以上，则马达的工作可以停止。其可以通过控制物品传送车辆20的工作的车辆控制单元来实现。当手爪单元220上升时，若作用于马达的负荷为设定值以上，则车辆控制单元判断为接触凸起260的接触端部261和接触垫270的接触面部271彼此紧贴的状态(手爪单元220完全上升的状态)，使马达的工作停止，从而能够准确地防止马达的超负荷。

以上，说明了本发明，但本发明不限于公开的实施例以及所附的附图，通常的技术员可以在不脱离本发明的技术构思的范围以内进行各种变形。另外，在本发明的实施例中说明的技术构思既可以各自独立实施，也可以彼此组合两个以上来实施。

Claims (20)

1.一种物品传送车辆，包括：搬送车，能够沿着行驶轨道行驶；以及吊车装置，在所述搬送车的下侧支承物品，

所述吊车装置包括：

手爪单元，夹紧或松开所述物品；

升降驱动单元，在所述手爪单元的上侧使所述手爪单元升降；以及

束缚单元，当所述手爪单元上升时，将所述手爪单元束缚于所述升降驱动单元。

2.根据权利要求1所述的物品传送车辆，其中，

所述束缚单元包括：

接触凸起，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的任一个提供为朝向另一个侧；以及

接触垫，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的另一个提供为与所述接触凸起相向，并具备当所述手爪单元上升时与所述接触凸起的接触端部紧贴而束缚所述手爪单元的接触面部。

3.根据权利要求2所述的物品传送车辆，其中，

所述接触垫至少是所述接触面部由具有防振性的材料设置。

4.根据权利要求1所述的物品传送车辆，其中，

所述束缚单元构成为对垂直方向以及水平方向的振动具有防振性。

5.根据权利要求4所述的物品传送车辆，其中，

所述束缚单元包括：

接触凸起，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的任一个提供为朝向另一个侧；以及

接触垫，在所述手爪单元和所述升降驱动单元中的另一个提供为与所述接触凸起相向，并具有当所述手爪单元上升时与所述接触凸起的接触端部紧贴的接触面部，并且至少是所述接触面部由具有弹性的材料设置，当所述接触端部和所述接触面部紧贴时，在所述接触面部通过弹性变形形成凹部。

6.根据权利要求2或5所述的物品传送车辆，其中，

所述接触面部具有设置所述接触端部的布置区域，并具有引导所述接触端部进入所述布置区域的导向面。

7.根据权利要求6所述的物品传送车辆，其中，

所述导向面具备两个，并向任一水平方向排列成以所述布置区域为基准位于两侧，并且分别设置成朝所述布置区域侧向下。

8.根据权利要求7所述的物品传送车辆，其中，

所述导向面各自形成为倾斜面。

9.根据权利要求7所述的物品传送车辆，其中，

所述接触端部形成为具有曲面。

10.根据权利要求7所述的物品传送车辆，其中，

所述束缚单元具备多个，并彼此隔开。

11.根据权利要求10所述的物品传送车辆，其中，

所述束缚单元具备三个，并设置成将各个所述布置区域连接的虚拟线形成位于所述手爪单元和所述升降驱动单元之间的中央区域的三角形。

12.根据权利要求10所述的物品传送车辆，其中，

多个所述束缚单元中的至少任意两个配置成所述导向面的排列方向不同。

13.根据权利要求10所述的物品传送车辆，其中，

多个所述束缚单元中的至少任意两个配置成所述导向面的排列方向彼此正交。

14.根据权利要求6所述的物品传送车辆，其中，

在所述接触面部中，

所述导向面具备两个，并向任一水平方向排列成以所述布置区域为基准位于两侧，并且分别设置成朝所述布置区域侧向下，

以所述布置区域为基准，与所述导向面的排列方向正交的水平方向的两侧分别开放。

15.根据权利要求2或5所述的物品传送车辆，其中，

若当所述手爪单元上升时作用的负荷为设定值以上，则所述升降驱动单元停止对所述手爪单元的上升工作。

16.根据权利要求2或5所述的物品传送车辆，其中，

所述接触凸起提供于所述升降驱动单元，

所述接触垫提供于所述手爪单元。

17.根据权利要求3或5所述的物品传送车辆，其中，

所述材料包括橡胶或者软质合成树脂。

18.一种物品传送车辆，包括：搬送车，能够沿着行驶轨道行驶；以及吊车装置，在所述搬送车的下侧支承物品，

所述吊车装置包括：

手爪单元，具有对所述物品执行夹紧和松开的手爪以及在上侧支承所述手爪的手爪底座；

升降驱动单元，具有配置于所述手爪底座上侧的举起底座以及利用相对于旋转滚筒卷绕或解开的带子使所述手爪单元相对于所述举起底座升降的举起机构；以及

多个束缚单元，当所述手爪单元上升时，将所述手爪底座束缚于所述举起底座，

所述束缚单元各自包括：

接触凸起，从所述举起底座的下方朝向所述手爪底座的上方凸出；以及

接触垫，在所述手爪底座的上方提供为与所述接触凸起相向，并具有当所述手爪单元上升时与所述接触凸起的接触端部紧贴的接触面部，并且至少所述接触面部由具有弹性的材料设置，当所述接触端部和所述接触面部紧贴时，在所述接触面部通过弹性变形形成凹部。

19.根据权利要求18所述的物品传送车辆，其中，

在各个所述束缚单元中，所述接触面部具有设置所述接触端部的布置区域，并具有引导所述接触端部进入所述布置区域的导向面，所述导向面具备两个，并向任一水平方向排列成以所述布置区域为基准位于两侧，并且分别设置成朝所述布置区域侧向下，

所述束缚单元具备三个，并设置成将各个所述布置区域连接的虚拟线形成位于所述手爪底座和所述举起底座之间的中央区域的三角形，

三个所述束缚单元中的任一个和剩余两个配置成所述导向面的排列方向彼此正交。

20.一种物品传送设备，包括：

行驶轨道，在顶棚侧提供用于传送物品的传送路径；以及

至少一个物品传送车辆，具备能够沿着所述行驶轨道行驶的搬送车以及在所述搬送车的下侧支承所述物品的吊车装置，

所述吊车装置包括：

手爪单元，夹紧或松开所述物品；

升降驱动单元，在所述手爪单元的上侧使所述手爪单元升降；以及

束缚单元，当所述手爪单元上升时，将所述手爪单元束缚于所述升降驱动单元。

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