CN115532707B - 一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及清洗技术领域，尤其是一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，包括：壳体、气缸以及二流体喷头组件，壳体底部固接一气缸架，顶部可拆卸的连接一带有开口的上盖板；气缸安装在气缸架上，气缸输出端上安装有连接件；二流体喷头组件位于壳体内部，其底部与连接件相连，以在壳体内部做直线往复运动，本装置的流体容器由气体容器和液体容器构成，两者独立存在，令水路和气路的独立输送。气体容器和液体容器直连至气体喷头及二流体喷头，气体和液体经过各自的进口接头进入气体容器和液体容器中，在容器内部流体压力均匀分布，保证最终到达每个二流体喷头或每个气体喷头的压力接近相等，达到均匀清洗的目的。

Description

一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置
技术领域
本发明涉及清洗技术领域，尤其涉及一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置。
背景技术
在对玻璃组件、晶圆、芯片等硅晶体电子器件进行精密加工前后，需要对硅晶体电子器件进行清理，以提高加工的精准度，常见的方式即采用二流体喷头进行清理。
传统的清洗装置在使用二流体喷头组件时，采用多个二流体喷头冲洗工件表面，多个喷气头向工件表面吹气烘干，但是每个喷头都是由单独的水管或气管独立供水或供气，导致各喷头水压或气压均匀性不足，且由于各喷头管路单独存在，而二流体喷头组件多安装在机壳内，多个管路占用机壳内部较多的工作空间，为尽可能的降低管路占用的空间，需要管线进行弯折进行排列，而管线过度弯折又会造成内部介质流动受阻，进一步影响清洗效果。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在传统的二流体喷头组件喷头均匀性不足的缺点，而提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
设计一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，包括：壳体、气缸以及二流体喷头组件，壳体底部固接一气缸架，顶部可拆卸的连接一带有开口的上盖板；气缸安装在气缸架上，气缸输出端上安装有连接件；二流体喷头组件位于壳体内部，其底部与连接件相连，以在壳体内部做直线往复运动。
进一步地，所述二流体喷头组件包括与连接件相连的流体容器，流体容器上设有气体喷头及二流体喷头，以容纳流体容器内的流体输出至上盖板上方。
进一步地，所述流体容器上固接一滤网架，在滤网架内安装过滤网，过滤网在上盖板上的投影面积大于开口的面积，在滤网架两侧设置有清理机构以对过滤网进行清理。
进一步地，所述清理机构包括U形管，U形管一端固接在滤网架底部，另一端安装有缸体，缸体内可滑动的配合有活塞，活塞安装有活塞杆，活塞杆固接在连板上，在连板与缸体之间设有压缩弹簧。
进一步地，在所述U形管最底端设有一阀体结构以容纳U形管内的流体排出，阀体结构包括球座及板件，板件与球座相配合，板件可转动的配合在球座内，球座及板件均具有磁性，在磁力作用下板件令球座处于常闭状态。
进一步地，所述连板上设有一驱动结构以驱动板件在球座内转动，所述驱动结构包括转轴及齿条，转轴可转动的安装在球座上，板件固接在转轴上，转轴端部固接有齿轮，所述齿条固接在连板上，齿轮与齿条相配合。
进一步地，在所述流体容器及壳体内壁之间设置有防水帘。
本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，有益效果在于：本装置的流体容器由气体容器和液体容器构成，两者独立存在，令水路和气路的独立输送。气体容器和液体容器直连至气体喷头及二流体喷头，气体和液体经过各自的进口接头进入气体容器和液体容器中，在容器内部流体压力均匀分布，保证最终到达每个二流体喷头或每个气体喷头的压力接近相等，达到均匀清洗的目的。
附图说明
图1为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的结构示意图。
图2为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的壳体内部的结构示意图一。
图3为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的壳体内部的结构示意图二。
图4为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的壳体内部的结构示意图三。
图5为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的二流体喷头组件的结构示意图。
图6为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的图5的右视图。
图7为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的壳体与二流体喷头组件的俯视图。
图8为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的图7中A-A向剖面图。
图9为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的图8中B处放大图。
图10为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的图7的右视图。
图11为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的图10中C处放大图。
图12为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的U形管内部结构示意图。
图13为本发明提出的一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置的滤网架与滤网的爆炸图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例1
参照图1-8，一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，包括：壳体1、气缸6以及二流体喷头组件，壳体1底部固接一气缸架8，顶部可拆卸的连接一带有开口的上盖板2；气缸6安装在气缸架8上，气缸6输出端上安装有连接件7；二流体喷头组件位于壳体1内部，其底部与连接件7相连，以在壳体1内部做直线往复运动。
本装置在进行清洗工作时，将工件放置在上盖板2上，启动气缸6，气缸6通过连接件7带动二流体喷头组件在壳体1内做直线往复运动，二流体喷头组件通过上盖板2上的开口对工件进行清理。
二流体喷头组件包括与连接件7相连的流体容器5，流体容器5上设有气体喷头501及二流体喷头502，以容纳流体容器5内的流体输出至上盖板2上方，在流体容器5及壳体1内壁之间设置有防水帘11。
流体容器5由气体容器和液体容器组成，其中，气体喷头501及二流体喷头502两者均与气体容器连通，而液体容器仅与二流体喷头502连通。
在二流体喷头组件工作时，气体容器内的高压气体同时向气体喷头501及二流体喷头502输入气体，其中：
控制液体容器向二流体喷头502输入液体，液体进入二流体喷头502与喷头中的气体混合后成雾态颗粒，雾态颗粒高速喷射在工件上，附着在工件上的同时对工件上杂质进行清理。
气体在气体喷头501形成气刀，气刀作用在工件上，对工件上杂质与雾态颗粒混形成的污水进行清理，在将污水刮落的同时对工件进行风干，刮落的污水会从开口落入壳体1内进行收集，防水帘11对壳体1底部进行防护，防止污水滴落在气缸6上而对其造成损伤。
本装置的流体容器5由气体容器和液体容器构成，两者独立存在，令水路和气路的独立输送。
气体容器和液体容器直连至气体喷头501及二流体喷头502，气体和液体经过各自的进口接头进入气体容器和液体容器中，在容器内部流体压力均匀分布，保证最终到达每个二流体喷头或每个气体喷头的压力接近相等，达到均匀清洗的目的。
实施例2
如图7-13所示，流体容器5上固接一滤网架3，在滤网架3内安装过滤网4，过滤网4在上盖板2上的投影面积大于开口的面积，在滤网架3两侧设置有清理机构以对过滤网4进行清理。
落入开口内的污水会被过滤网4过滤，过滤网4能够对玻璃加工产生玻璃碎屑进行过滤，在对污水进行初步处理的同时防止玻璃碎屑划伤壳体1内的防水帘11，清理机构用于对过滤网4进行反冲，防止过滤网4的滤孔被堵塞。
清理机构包括U形管12，U形管12一端固接在滤网架3底部，另一端安装有缸体13，缸体13内可滑动的配合有活塞14，活塞14安装有活塞杆15，活塞杆15固接在连板16上，在连板16与缸体13之间设有压缩弹簧21。
气缸6在驱动二流体组件做直线往复运动时会带动连板16同步运动，连板16做直线往复运动时会周期性的对壳体1内壁两侧施力，连板16受反向作用力驱动活塞14压缩缸体13内气体，缸体13内处于高压状态，高压气体通过U形管12从下方吹向过滤网4，对过滤网4内滤孔内的杂质进行冲刷，令滤孔内的杂质克服重力向过滤网4上方运动，以防止滤孔堵塞。
当连板16与壳体1内壁分开后，在压缩弹簧21的弹力作用下，连板16进行复位。
在U形管12最底端设有一阀体结构以容纳U形管12内的流体排出，阀体结构包括球座18及板件19，板件19与球座18相配合，板件19可转动的配合在球座18内，球座18及板件19均具有磁性，在磁力作用下板件19令球座18处于常闭状态，连板16上设有一驱动结构以驱动板件19在球座18内转动，驱动结构包括转轴22及齿条17，转轴22可转动的安装在球座18上，板件19固接在转轴22上，转轴22端部固接有齿轮20，齿条17固接在连板16上，齿轮20与齿条17相配合。
如图9所示，连板16未与壳体1内壁接触时，板件19在球座18内处于竖直状态，此时，球座18处于打开状态，令过滤网4过滤后的污水从U形管12低端排入壳体1内部。
当连板16与壳体1内壁接触时，如图9所示，连板16受壳体1内壁给予的反向作用力进行移动，连板16同时带动齿条17与活塞14移动，其中：
齿条17移动驱动齿轮20转动90度后，齿条17与齿轮20两者分离，齿轮20转动90度时带动转轴22转动90，转轴22带动板件19转动90度，板件19转动90度后在磁力作用下，板件19令球座18处于封闭状态。
球座18处于封闭状态后，连板16会继续移动令活塞14压缩缸体13内的气体，令缸体13内处于高压状态，以进行后续的过滤网4清理工作。
当连板16与壳体1内壁分离后，在压缩弹簧21的弹力作用下，连板16进行复位，带动齿条17及活塞14复位，齿条17复位过程中带动齿轮20反向转动90度以令板件19复位，球座18重新处于打开状态。
由于球座18处于打开状态，过滤后的污水流入U形管12后，会汇聚在U形管12后底端并从球座18内排出，以防止污水进入缸体13内，预防污水内残留的小颗杂质附着在缸体13内壁上而造成缸体13内壁划伤。
工作流程，其步骤如下：
S1、将工件固定在开口上方；
S2、启动气缸6，气缸6驱动二流体喷头组件在壳体1内做直线往复运动；
S3、气体容器持续向气体喷头501及二流体喷头502输入气体，液体容器向二流体喷头502输入液体；
气液混合雾化后从二流体喷头502输出对工件进行清理，气体喷头501喷出的气刀对工件上污水进行清理并对工件进行风干。
S3、工件上清理下的污水通过开孔落在过滤网4上，污水经过滤网4过滤后流入U形管12内，通过球座18排入壳体1内；
S4、当连板16与壳体1内壁接触时，如图9所示，连板16受壳体1内壁给予的反向作用力进行移动，连板16同时带动齿条17与活塞14移动，其中：
齿条17移动驱动齿轮20转动90度后，齿条17与齿轮20两者分离，齿轮20转动90度时带动转轴22转动90，转轴22带动板件19转动90度，板件19转动90度后在磁力作用下，板件19令球座18处于封闭状态。
球座18处于封闭状态后，连板16会继续移动令活塞14压缩缸体13内的气体，令缸体13内处于高压状态，以进行后续的过滤网4清理工作。
当连板16与壳体1内壁分离后，在压缩弹簧21的弹力作用下，连板16进行复位，带动齿条17及活塞14复位，齿条17复位过程中带动齿轮20反向转动90度以令板件19复位，球座18重新处于打开状态。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，其特征在于，包括：
壳体（1），壳体（1）底部固接一气缸架（8），顶部可拆卸的连接一带有开口的上盖板（2）；
气缸（6），气缸（6）安装在气缸架（8）上，气缸（6）输出端上安装有连接件（7）；
以及二流体喷头组件，二流体喷头组件位于壳体（1）内部，其底部与连接件（7）相连，以在壳体（1）内部做直线往复运动；
所述二流体喷头组件包括与连接件（7）相连的流体容器（5），流体容器（5）上设有气体喷头（501）及二流体喷头（502），以容纳流体容器（5）内的流体输出至上盖板（2）上方；
所述流体容器（5）上固接一滤网架（3），在滤网架（3）内安装过滤网（4），过滤网（4）在上盖板（2）上的投影面积大于开口的面积，在滤网架（3）两侧设置有清理机构以对过滤网（4）进行清理；
所述清理机构包括U形管（12），U形管（12）一端固接在滤网架（3）底部，另一端安装有缸体（13），缸体（13）内可滑动的配合有活塞（14），活塞（14）安装有活塞杆（15），活塞杆（15）固接在连板（16）上，在连板（16）与缸体（13）之间设有压缩弹簧（21）；
在所述U形管（12）最底端设有一阀体结构以容纳U形管（12）内的流体排出，阀体结构包括球座（18）及板件（19），板件（19）与球座（18）相配合，板件（19）可转动的配合在球座（18）内，球座（18）及板件（19）均具有磁性，在磁力作用下板件（19）令球座（18）处于常闭状态。
2.根据权利要求1所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，其特征在于，所述连板（16）上设有一驱动结构以驱动板件（19）在球座（18）内转动，所述驱动结构包括转轴（22）及齿条（17），转轴（22）可转动的安装在球座（18）上，板件（19）固接在转轴（22）上，转轴（22）端部固接有齿轮（20），所述齿条（17）固接在连板（16）上，齿轮（20）与齿条（17）相配合。
3.根据权利要求2所述的适用于无膜划切设备的集成式清洗装置，其特征在于，在所述流体容器（5）及壳体（1）内壁之间设置有防水帘（11）。
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