CN115505894A - 一种稳定高效的真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种稳定高效的真空镀膜机，其结构包括控制箱、底座、机体，底座上安装有控制箱与机体，控制箱与机体采用电连接，机体包括密封盖、连接口、真空罩、夹具、转盘、支撑座，密封盖用连接口铰接，真空罩活动配合在转盘上，转盘上安装有支撑座，夹具设在支撑座上，本发明通过在罩体内部设有清理装置，通过清理件上设有的清理片，清理片接触到罩体内壁，在伸缩杆的驱动下，清理片沿着罩体的内壁进行充分清理，整个过程不需要人工处理，并且清理片与罩体内壁的紧密接触下，将内壁上的杂质刮落，保证真空罩内部的整洁。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜机技术领域，特别的，是一种稳定高效的真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。在真空镀膜机工作时，需要PVD薄膜和铝盖板固定在转动盘上，再把铝丝穿放在螺旋加热子内，再清理真空罩，需要保证真空罩内部没有任何杂质，但是现在的真空罩清理多为人工清理，人工清理极易清理不干净，导致真空罩内部有杂质残留，从而影响真空镀膜，镀膜次品率高。
发明内容
针对上述问题，本发明提供一种稳定高效的真空镀膜机。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种稳定高效的真空镀膜机，其结构包括控制箱、底座、机体，所述底座上安装有控制箱与机体，所述控制箱与机体采用电连接，所述机体包括密封盖、连接口、真空罩、夹具、转盘、支撑座，所述密封盖用连接口铰接，所述真空罩活动配合在转盘上，所述转盘上安装有支撑座，所述夹具设在支撑座上。
作为本发明的进一步改进，所述真空罩设有气缸、伸缩杆、罩体、清理装置，所述气缸的信号端与伸缩杆连接，所述罩体的内部设有伸缩杆与清理装置，所述清理装置用伸缩杆连接，且沿着罩体的内壁活动配合。
作为本发明的进一步改进，所述清理装置包括安装座、清理件、内固定层、导料组件、外固定层，所述安装座与外固定层、内固定层为同圆心，所述清理件设有两个以上，所述清理件的一端与内固定层固定连接，另一端与外固定层机械连接。
作为本发明的进一步改进，所述导料组件设于安装座的底部，所述导料组件为等腰梯形结构，所述清理件与罩体的内壁接触配合。
作为本发明的进一步改进，所述清理件包括清理片、橡胶层、滑块、电动推杆、固定腔，所述清理片活动配合在滑块的内部，所述滑块靠近清理片的一端设有橡胶层，所述电动推杆的一端固定在固定腔内部，另一端连接有滑块，所述清理片与罩体内壁接触。
作为本发明的进一步改进，所述滑块为空心结构且用电动推杆驱动，所述滑块沿着固定腔水平活动带动橡胶层与罩体的内壁紧密贴合。
作为本发明的进一步改进，所述导料组件包括活动闭合层、抽取口、连接口、收集腔、连接导杆，所述活动闭合层活动配合在抽取口的开口位置，所述抽取口通过连接口与连接导杆相通，所述所述连接导杆与收集腔连接，所述抽取口位于清理片的底部且配合于罩体内壁。
本发明的有益效果：
1、本发明通过在罩体内部设有清理装置，通过清理件上设有的清理片，清理片接触到罩体内壁，在伸缩杆的驱动下，清理片沿着罩体的内壁进行充分清理，整个过程不需要人工处理，并且清理片与罩体内壁的紧密接触下，将内壁上的杂质刮落，保证真空罩内部的整洁。
2、本发明安装座与导料组件形成一个上宽下窄的梯形式结构，位于安装工座上的清理件用于清理罩体内壁的杂质，而抽取口而分布在安装座的底部一圈，再将刮下的杂质从抽取口、连接口、连接导杆吸出至收集腔，避免刮落的杂质掉落在转盘上污染夹具、转盘。
3、本发明滑块上设有橡胶层，滑块在电动推杆的驱动下水平推出时，清理片被收纳在滑块的内部，而此时橡胶层紧密贴合在罩体内壁上，以此来封闭安装座与罩体，而活动闭合层闭合抽取口，以此来保证真空罩的密封性。
附图说明
图1为本发明一种稳定高效的真空镀膜机的结构示意图。
图2为本发明机体的内部俯视结构示意图。
图3为本发明真空罩的结构示意图。
图4为本发明清理装置的结构示意图。
图5为本发明清理件的结构放大示意图。
图6为本发明导料组件的结构示意图。
图中：控制箱1、底座2、机体3、密封盖31、连接口32、真空罩33、夹具34、转盘35、支撑座36、气缸331、伸缩杆332、罩体333、清理装置334、安装座34a、清理件34b、内固定层34c、导料组件34d、外固定层34e、清理片4b1、橡胶层4b2、滑块4b3、电动推杆4b4、固定腔4b5、活动闭合层4d1、抽取口4d2、连接口4d3、收集腔4d4、连接导杆4d5。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，图1～图6示意性的显示了本发明实施方式的真空镀膜机的结构，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例
如图1-图6所示，本发明提供一种稳定高效的真空镀膜机，其结构包括控制箱1、底座2、机体3，所述底座2上安装有控制箱1与机体3，所述控制箱1与机体3采用电连接，所述机体3包括密封盖31、连接口32、真空罩33、夹具34、转盘35、支撑座36，所述密封盖31用连接口32铰接，所述真空罩33活动配合在转盘35上，所述转盘35上安装有支撑座36，所述夹具34设在支撑座36上，所述真空罩33设有气缸331、伸缩杆332、罩体333、清理装置334，所述气缸331的信号端与伸缩杆332连接，所述罩体333的内部设有伸缩杆332与清理装置334，所述清理装置334用伸缩杆332连接，且沿着罩体333的内壁活动配合，所述清理装置334包括安装座34a、清理件34b、内固定层34c、导料组件34d、外固定层34e，所述安装座34a与外固定层34e、内固定层34e为同圆心，所述清理件34b设有两个以上，所述清理件34b的一端与内固定层34c固定连接，另一端与外固定层34e机械连接，所述导料组件34d设于安装座34a的底部，所述导料组件34d为等腰梯形结构，所述清理件34b与罩体333的内壁接触配合，所述清理件34b包括清理片4b1、橡胶层4b2、滑块4b3、电动推杆4b4、固定腔4b5，所述清理片4b1活动配合在滑块4b3的内部，所述滑块4b3靠近清理片4b1的一端设有橡胶层4b2，所述电动推杆4b4的一端固定在固定腔4b5内部，另一端连接有滑块4b3，所述清理片4b1与罩体333内壁接触，所述滑块4b3为空心结构且用电动推杆4b4驱动，所述滑块4b3沿着固定腔4b5水平活动带动橡胶层4b2与罩体333的内壁紧密贴合，所述导料组件34d包括活动闭合层4d1、抽取口4d2、连接口4d3、收集腔4d4、连接导杆4d5，所述活动闭合层4d1活动配合在抽取口4d2的开口位置，所述抽取口4d2通过连接口4d3与连接导杆4d5相通，所述所述连接导杆4d5与收集腔4d4连接，所述抽取口4d2位于清理片4b1的底部且配合于罩体333内壁。
下面对上述技术方案中的真空镀膜机的工作原理作如下说明：
本发明在进行真空镀膜前，首先需要清洁真空罩33，而在真空罩33清理时：
用于固定在外固定层34e上的清理片4b1与罩体333的内壁接触在一起，启动伸缩杆332带动整个清理片4b1沿着内壁向下活动，从而实现真空罩33的清理，清理片4b1设有两个以上分布在安装座34a，与安装座34a均为圆形结构刚好匹配真空罩333的形状，在清理的同时，打开活动闭合层4d1，抽取口4d2一并将清理片4b1清理下的杂质抽出，有效防止杂质掉落在转盘35以及夹具34上造成二次污染，安装座34a与导料组件34d为上宽下窄的结构，这样，在清理片4b1先进行的清理杂质工作后，便可以由抽取口4d2充分抽出杂质，当清理完成后，伸缩杆332复位带动整个清理装置334复位，为了保证真空罩33的正常工作，复位后，电动推杆4b4驱动滑块4b3沿着固定腔4b5水平移动直到橡胶层4b2充分贴合罩体333内壁位置，在移动过程中，由于滑块4b3为空心结构，清理片4b1为软性的胶制品，因此被收纳在滑块4b3的内壁，而橡胶层4b2可完全闭合安装座34a与罩体333，最后活动闭合层4d1驱动闭合抽取口4d2，而活动闭合罩4d1为电驱动，整个清理装置334此时处于闭合状态避免妨碍真空罩33的正常工作。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
Claims (7)
1.一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：其结构包括控制箱(1)、底座(2)、机体(3)，所述底座(2)上安装有控制箱(1)与机体(3)，所述控制箱(1)与机体(3)采用电连接，所述机体(3)包括密封盖(31)、连接口(32)、真空罩(33)、夹具(34)、转盘(35)、支撑座(36)，所述密封盖(31)用连接口(32)铰接，所述真空罩(33)活动配合在转盘(35)上，所述转盘(35)上安装有支撑座(36)，所述夹具(34)设在支撑座(36)上。
2.根据权利要求1所述的一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：所述真空罩(33)设有气缸(331)、伸缩杆(332)、罩体(333)、清理装置(334)，所述气缸(331)的信号端与伸缩杆(332)连接，所述罩体(333)的内部设有伸缩杆(332)与清理装置(334)，所述清理装置(334)用伸缩杆(332)连接，且沿着罩体(333)的内壁活动配合。
3.根据权利要求2所述的一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：所述清理装置(334)包括安装座(34a)、清理件(34b)、内固定层(34c)、导料组件(34d)、外固定层(34e)，所述安装座(34a)与外固定层(34e)、内固定层(34e)为同圆心，所述清理件(34b)设有两个以上，所述清理件(34b)的一端与内固定层(34c)固定连接，另一端与外固定层(34e)机械连接。
4.根据权利要求3所述的一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：所述导料组件(34d)设于安装座(34a)的底部，所述导料组件(34d)为等腰梯形结构，所述清理件(34b)与罩体(333)的内壁接触配合。
5.根据权利要求3所述的一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：所述清理件(34b)包括清理片(4b 1)、橡胶层(4b2)、滑块(4b3)、电动推杆(4b4)、固定腔(4b5)，所述清理片(4b 1)活动配合在滑块(4b3)的内部，所述滑块(4b3)靠近清理片(4b 1)的一端设有橡胶层(4b2)，所述电动推杆(4b4)的一端固定在固定腔(4b5)内部，另一端连接有滑块(4b3)，所述清理片(4b 1)与罩体(333)内壁接触。
6.根据权利要求5所述的一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：所述滑块(4b3)为空心结构且用电动推杆(4b4)驱动，所述滑块(4b3)沿着固定腔(4b5)水平活动带动橡胶层(4b2)与罩体(333)的内壁紧密贴合。
7.根据权利要求4所述的一种稳定高效的真空镀膜机，其特征在于：所述导料组件(34d)包括活动闭合层(4d1)、抽取口(4d2)、连接口(4d3)、收集腔(4d4)、连接导杆(4d5)，所述活动闭合层(4d1)活动配合在抽取口(4d2)的开口位置，所述抽取口(4d2)通过连接口(4d3)与连接导杆(4d5)相通，所述所述连接导杆(4d5)与收集腔(4d4)连接，所述抽取口(4d2)位于清理片(4b 1)的底部且配合于罩体(333)内壁。
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Cited By (1)
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2022
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