CN115463808A - 移动式显示基板预烘烤箱单元 - Google Patents

移动式显示基板预烘烤箱单元 Download PDF

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CN115463808A CN202211126335.9A CN202211126335A CN115463808A CN 115463808 A CN115463808 A CN 115463808A CN 202211126335 A CN202211126335 A CN 202211126335A CN 115463808 A CN115463808 A CN 115463808A
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    • B05D3/0254After-treatment
    • B05D3/0272After-treatment with ovens

Abstract

本发明公开了一种移动式显示基板预烘烤箱单元,包括烘烤箱、基板顶升装置和烘烤箱滑动架;烘烤箱烘烤腔的腔口位置设置有可平动开启的烤箱上盖,在烘烤腔内固定安装有加热板组件,该加热板组件包括自上向下依次叠置的加热面板、加热板和加热托板;烘烤箱门通过箱门密闭器安装于箱门摆轴上;基板顶升装置的顶升架上安装有顶针托盘及顶针杆,顶升架滑动设置于烘烤箱支架的下方,固定安装于烘烤箱支承架上的摆轴驱动箱驱动顶升摆臂,位于顶升摆臂外伸端的顶升滑销滑动设置于顶升座上的顶升滑槽内,该顶升座固定安装于所述顶升架上。该烘烤箱单元既能形成足够的维护和清洁操作空间,又能在烘烤腔内形成均匀稳定的温度场,有效稳定和保证基板质量。

Description

移动式显示基板预烘烤箱单元
技术领域
本发明涉及液晶平板显示器生产设备,尤其涉及对涂布光阻剂的平板玻璃基板进行预烘烤的烘烤箱。
背景技术
液晶显示器玻璃基板是构成平板显示器件的重要组成部分。液晶显示器的生产加工工艺极其复杂,工序要求十分严格,其制造全过程大体可分为40多个工序,在这些工序中ITO图形刻蚀又其关键的制作阶段。ITO图形刻蚀是在导电玻璃板上刻蚀出显示所需的ITO电极图形,该工艺阶段主要是在清洁干燥的导电玻璃基板上均匀涂布光阻剂,再在一定温度下将涂有光阻剂的玻璃板烘烤一段时间,以使光阻剂中溶剂挥发,增加与玻璃表面粘附性后,再经曝光显影、坚膜、刻蚀、去膜及清洁干燥等工序而完成ITO图形刻蚀阶段。
目前,对涂有光阻剂玻璃基板进行烘烤的工序设备是采用接触式预烘烤设备,其烘烤箱单元是烘烤设备的关键部件。本申请人于2021年08月14日公开的“接触式热烘烤设备”,申请号:202110933111.8,该发明申请公开的烘烤箱单元包括箱体、箱顶盖和烘烤隔板,箱顶盖是铰连于箱体上,并且烘烤腔是由箱体、烘烤隔板及箱顶盖所围成。这种结构中的烘烤箱由于烘烤箱单元不能从机架的架体移出,箱顶盖的铰连结构也不能形成足够的维护操作和检修空间,当烘烤箱单元进行定期加热元件等器件维护更换和箱体定期清洁操作时,这种结构不能形成所需的操作空间,既难以对烘烤箱腔进行全面的清洁处理,影响维护操作效率。在上述结构中烘烤箱的烘烤隔板既是加热元件,又具有围成烘烤腔腔底结构,烘烤时烘烤腔的温度是通过烘烤加热板逐步提高温度,当移出已烘烤基板并输送进另一基板时,烘烤腔内的温度出现较大的起伏变化,导致腔内各区域内的温度均匀性差,使得玻璃基板上光阻剂胶膜内溶剂不能充分挥发,在烘烤不足区域溶剂未充分挥发,曝光显影时未受光部分也被溶除形成浮胶或者使图形变形,烘烤过度又导致胶膜翘曲硬化,显影时会显不出图形或者图形留有底膜;烘烤温度的不均匀还会在基板上因温度梯度引起热应力,导致基板玻璃的开裂或破碎,降低烘烤成品率。
发明内容
针对现有技术所存在的上述不足,本发明所要解决的技术问题是提供一种移动式显示基板预烘烤箱单元,它不仅能形成足够的维护和清洁操作空间,而且能在烘烤腔内形成均匀稳定的温度场。
为了解决上述问题,本发明的移动式显示基板预烘烤箱单元,包括烘烤箱和基板顶升装置,烘烤箱位于基板顶升装置的上方,所述烘烤箱和基板顶升装置之间设置有烘烤箱滑动架;该烘烤箱滑动架包括烘烤箱支架和滑动导轨,相互平行设置的滑动导轨位于所述烘烤箱支承架的两相对侧边;所述烘烤箱的烘烤箱壁和烘烤箱底板围成烘烤腔,烘烤箱底板固定安装于烘烤箱支承架上,在烘烤腔的腔口位置设置有可平动开启的烤箱上盖,在烘烤腔内固定安装有加热板组件,该加热板组件包括自上向下依次叠置的加热面板、加热板和加热托板,加热板由若干电加热板单元拼接而成,每一加热板对应一加热托板;所述烘烤箱壁上至少设置有一烘烤箱门,该烘烤箱门通过箱门密闭器安装于箱门摆轴上;所述基板顶升装置的顶升架上安装有顶针托盘,在顶针托盘的上方设置有顶针杆,顶针杆穿过加热托板、加热板和加热面板伸至烘烤腔内,所述基板顶升装置的顶升架滑动设置于烘烤箱支架的下方,固定安装于烘烤箱支承架上的摆轴驱动箱驱动顶升摆臂,位于顶升摆臂外伸端的顶升滑销滑动设置于顶升座上的顶升滑槽内,该顶升座固定安装于所述顶升架上。
在上述的技术方案中,由于烘烤箱是滑动支承于烘烤箱滑动架上的,并且在烘烤箱烘烤腔口设置有可平移开启的烘烤上盖,烘烤箱上盖可以在平抬气缸作用下垂直移动地向上抬起打开;而不带有烘烤箱上盖的敞口烘烤箱则可沿烘烤箱滑动架向外滑移,能够形成足够大的更新维护和腔体清洁的操作空间,保证烘烤腔的洁净和烘烤箱的正常工作,从而提高维护修理效率。又由于加热板组件包括有加热面板,以及对应的加热板和加热托板,其中加热板由若干电加热板单元拼接而成,这种结构有利于烘烤箱中各区域温度的自动调节和均衡,以确保烘烤腔各点温度值的均衡一致,形成均匀稳定的温度场;烘烤箱门通过箱门密封器安装于箱门摆轴上,保证箱体和箱门之间的有效密封,既阻断箱内外空气的相互渗漏,避免烘烤腔形成温度梯度和不一致的温度场,又避免了烘烤挥发性有害物质的外泄。还由于采用顶针托盘和顶针杆分离式结构,这种分离式结构消除了顶针杆的径向推力,避免顶针杆的卡死,使顶针杆的顶升动作更加可靠稳定;基板顶升装置通过顶升摆轴、摆臂滑销结构,实现对玻璃基板在规定升程内的往复升降,可靠地实现烘烤玻璃基板顶升摆放和抬举移出。
本发明进一步的实施方式,所述烘烤箱上盖上成对地设置有平抬气缸和平压气缸。所述烘烤箱上盖的四角位置均设置有相对的平抬气缸和平压气缸,平抬气缸用于烘烤箱上盖平移上抬,平压气缸用于向下平压烘烤箱上盖。其平抬气缸将烘烤箱上盖垂直上抬以与烘烤箱体分离,使烘烤箱体沿导轨而水平移出,便于维护和清洁;平压气缸又将烘烤箱上盖紧密地贴压于箱体腔口,以增加两者间的密闭度。
本发明的进一步实施方式,所述加热面板上均布有若干基板托钉,该基板托钉的顶部距加热面板的间距L=0.26-0.34mm;所述加热板的电加热板单元为可调温电热板,所述加热托板通过加热支柱支承于烘烤箱底板上。基板托钉的设置,使基板与面板之间形成加热狭隙,提高对玻璃基板加温的一致性和均匀性,同时也避免在玻璃基板上产生静电而引起的基板玻璃破损开裂。
本发明的优选实施方式,所述烘烤箱支架由支架横梁和支架纵梁相互固定连接而成框式结构,所述滑动导轨为直线滑动导轨,烘烤箱支架通过支架滑座滑动支承于滑动导轨上。结构简单,便于制作。
本发明的优选实施方式,所述箱门密闭器包括固定安装于箱门摆轴上的箱门摆杆,在箱门摆杆上铰连有箱门铰支座,该箱门铰支座与烘烤箱门固定连接,在箱门摆杆上还安装有箱门倾角螺栓,该箱门倾角螺栓的外伸端抵接于烘烤箱门上。所述箱门摆杆上安装有两根箱门倾角螺栓,该两根箱门倾角螺栓分别位于箱门铰支座铰支点的两侧。该结构能有效消除摆轴、摆杆所引起的箱门上下侧闭合间隙不一致造成的热风外泄和挥发性蒸汽外渗,有效地增强了箱门关闭的密合度。
本发明的优选实施方式,所述基板顶升装置的顶升架由相互交叉的顶升纵梁和顶升横梁固定连接而成;顶升架通过升降导套滑动支承于升降导杆上,该升降导杆固定连接于烘烤箱支承架上。所述烘烤箱底板与加热托板之间固定安装有顶升滑套,顶升杆滑动穿过顶升滑套。形成了稳定的滑动导向结构,结构刚性好,运动准确可靠。
本发明的优选实施方式,所述摆轴驱动箱有两只,顶升电机通过顶升驱动轴与该两摆轴驱动箱传动连接;摆轴驱动箱的输出轴与对应的顶升摆轴传动连接,在顶升摆轴的两端均固定设置有顶升摆臂,顶升摆臂外伸端的顶升滑销设置于对应顶升座的顶升滑槽中。增强对玻璃基板顶升的同步性,减少玻璃顶升弯曲和破损。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明移动式显示基板预烘烤箱单元作进一步详细说明。
图1是本发明移动式显示基板预烘烤箱单元具体实施方式的立体结构示意图;
图2是图1所示结构的俯视图;
图3是图2的A—A剖面结构示意图;
图4是图1中烘烤箱滑动架的立体结构示意图;
图5是图1中烘烤箱单元的立体结构示意图;
图6是图5中烘烤箱门的立体结构示意图;
图7是图6中箱门启闭器的立体结构示意图;
图8是图7中箱门启闭器的正视结构示意图;
图9是图7中箱门启闭器的侧视结构示意图;
图10是图3中加热板组件的俯视结构示意图;
图11是图10的正视结构示意图;
图12是图10的仰视结构示意图;
图13是图10中Ⅰ部的局部放大图;
图14是图10中Ⅱ部的局部放大图;
图15是图12中基板托钉的正视结构;
图16是图15的俯视图;
图17是图3中基板顶升机构的立体结构示意图;
图18是图17中顶升驱动结构示意图;
图19是图17中顶升驱动单元的正视结构示意图;
图20是图19中顶升座的结构示意图;
图21是图17中顶升杆和顶针托盘的立体结构示意图;
图22是图21中顶升杆结构示意图;
图23是图21中顶针托盘的结构示意图。
图中,1—烘烤箱、101—烘烤箱上盖、102—上盖平抬销、103—烘烤箱门、104—箱门启闭器、105—箱门启闭摆轴、106—箱门摆轴气缸、107—加热面板、108—加热板块、109—加热托板、110—烘烤箱底板、111—加热板立柱、112 —烘烤腔、113—顶针滑套、114—烘烤箱壁、115—平抬气缸、116—平压气缸、 117—摆杆座、118—箱门摆杆、119—箱门倾角螺栓、120—箱门铰支座、121—顶针孔、122—基板托钉、123—板手孔;2—烘烤箱滑动架、201—烘烤箱支架、 202—支架滑座、203—滑动导轨、204—升降导杆、205—升降导套、206—导杆连接板;3—基板顶升装置、301—顶升杆、302—顶升纵梁、303—顶升横梁、304 —顶升座、305—顶升摆臂、306—顶升轴座、307—顶升摆轴、308—顶升滑销、 309—摆轴变速箱、310—顶升驱动轴、311—顶升电机、312—顶升滑槽、313—顶升限位板、314—顶针重锤、315—顶针托盘、316—托盘螺杆。
具体实施方式
如图1、图2及图3所示的移动式显示基板预烘烤箱单元,该烘烤箱单元的烘烤箱1固定安装于烘烤箱滑动架32上,在烘烤箱滑动架2上还滑动支承有基板顶升装置3。烘烤箱1的烘烤箱壁114和烘烤箱底板110围成烘烤腔112,该烘烤腔112呈开口向上的矩形盒状。烘烤箱1通过其烘烤箱底板110固定安装于烘烤箱支承架201上。在烘烤箱支承架201的下侧面固定安装有四根升降导杆 204,基板顶升装置3通过升降导套205滑动支承于升降导杆204上;在四根升降导杆204的下伸端固定连接有导杆连接板206,该导杆连接板206用以增强四根升降导杆204的刚性和导向稳定性。
在烘烤腔112内固定安装有加热板组件,加热板组件通过若干根加热板支柱111安装于烘烤箱底板110上。在加热板组件与烘烤箱支承架201之间还设置有若干根顶针滑套113;烘烤箱壁114和烘烤箱底板110均由对应铝合金型材骨架面板和填充在骨架与面板间的保温隔热材料构成,以提高箱壁和底板的强度及隔热性能。
如图4所示,烘烤箱滑动架2包括烘烤箱支承架201和滑动导轨203,烘烤箱支承架201由铝合金型材固定连接成板框结构,在烘烤箱支承架201的两相对侧边通过支架滑座202支承于滑动导轨203上,两根滑动导轨203相互平行布置,滑动导轨203采用常用的直线滑动导轨;在烘烤箱支承架201上安装有烘烤箱1。
如图5所示,在烘烤箱壁114和烘烤箱底板110围成的烘烤腔112腔口位置设置有可平动开启的烘烤箱上盖101,烘烤箱上盖101同样由上盖铝合金骨架和面板,以及填充于骨架和面板之间的隔热保温材料构成。在烘烤箱上盖101 的四角位置固定设置有上盖平抬销102,上盖平抬销102托承于对应的平抬气缸 115的托承板上;在烘烤箱上盖101的四角位置还设置有向下垂直平压的平压气缸116,平抬气缸115和平压气缸116成对地设置于烘烤箱上盖101的四角位置。平抬气缸115的托承板固定安装于平抬气缸115的活塞杆端,平压气缸116的平压头也固定安装于平压气缸116的活塞杆端,平抬气缸115和平压气缸116均固定安装于烘烤设备的机梁上。当需要对烘烤箱1进行检修、维护和清洁操作时,四个平抬气缸115通过对应的上盖平抬销102垂直向上地将烘烤箱上盖101以平动的方式向上抬起而脱离烘烤腔112的腔口位置,烘烤箱1的箱体则可沿烘烤设备机架上的滑动导轨202沿水平方向向外移出,以形成足够的操作空间;当烘烤箱1平移回到工作位置时,平压气缸116对烘烤箱上盖101向下提供压紧力,使其紧密地贴合在烘烤腔112的腔口位置;此时烘烤箱上盖101和烘烤腔112形成密闭的烘烤腔室。在烘烤箱1的烘烤箱壁114上设置有两扇烘烤箱门103,用于烘烤玻璃基板的送入和移出。本实施例中,烘烤箱上的两扇烘烤箱门103分别位于烘烤箱1相邻的烘烤箱壁上。
如图6、图7、图8及图9所示,烘烤箱门103是通过箱门密闭器104 安装于箱门摆轴105上,在箱门摆轴105的两端均设置有箱门摆轴气缸106,该箱门摆轴气缸106为叶片式摆动气缸,也可以为伸缩摆动气缸或齿轮齿条摆动气缸。箱门摆轴气缸106是通过箱门摆轴105、箱门密闭器104驱动烘烤箱门103 摆动而实现箱门打开或关闭的,箱门摆轴气缸106固定安装于烘烤箱支架201,也可安装于烘烤箱壁114上。由于受箱门关闭摆角的影响,箱门上下两侧与箱体壁的关闭贴合力和密封程度是存在明显差异,很难保证密封的一致性,故而很容易形成密封不严,直接影响烘烤箱腔内温度的一致性和均匀性,明显对烘烤基板性能和品质造成影响;加之摆轴扭转力矩、摆臂的安装精度均会影响箱门与箱壁之间的密封程度。
在箱门摆轴105上等距地安装有若干箱门密闭器104,每一箱门密闭器 104的箱门摆杆118下端均通过其上的摆杆座117固定安装于箱门摆轴105上,箱门摆杆118的上端铰连有箱门支座120,箱门铰支座120呈T字型结构,该箱门铰支座120固定安装于烘烤箱门103上。在箱门摆杆118上还拧接有两根相距设置的箱门倾角螺栓119,该两根箱门倾角螺栓119分别位于箱门铰支座120铰支点的两侧,倾角螺栓119的外伸端与烘烤箱门103相抵触而相接,调节箱门倾角螺栓119的外伸长度即可改变烘烤箱门103的安装倾角,使得烘烤箱门密封周边与烘烤箱体壁之间具体严密的密闭效果和均等密封力。在该结构中通过箱门铰支座120和箱门倾角螺栓119的相互作用,可以有效地消除摆角和安装精度对密闭精度的影响。
如图10、图11、图12、图13及图14所示,设置于烘烤箱1箱腔中的加热板组件由上向下依次相互叠置的加热面板107、加热板108及加热托板109。加热面板107由整块铝合金板构成,在铝合金板的上表面覆有一层致密的氧化铝层,加热板108由25块电加热板相互拼接而成,每一加热板108对应有一加热托板109,加热托板109为不锈钢板。每一加热板108均独立地连向电源并受控制系统控制,这样可以根据加热区域的实际温度。调控对应区域加热板108的加热电流,以实现对温度的精准调控。加热托板109通过若干加热板支柱111支撑于烘烤箱底板110上。在加热托板109与烘烤箱底板110之间还固定有有通孔的顶针滑套113。在加热面板107的板面还嵌装有若干基板托钉122,加热面板107 的板面还设有若干顶针孔121,顶针孔121与顶针滑套113上通孔相互贯通。
如图15、图16所示的基板托板钉122,基板托钉122通过下端的螺纹旋接头旋接于加热板组件上,在基板托钉122上端设置有两个板手孔123,以便将基板托钉122拧装加热板组件上。在基板托钉122的上端面设有凸台部,基板托钉122的上端面与加热面板107的板面处于同一平面上,该凸台顶部距加热面板 107之间的间距控制在0.3±0.04mm之间。若干基板托钉122凸台顶部构成了玻璃基板的托承平面。
如图17、图18及图19所示,基板顶升装置3的顶升架由铝合金型材制成的顶升纵梁302和顶升横梁303垂直交叉固定而成矩形框式结构,在顶升架的顶升纵梁302上固定旋接安装有托盘螺杆316,每一托盘螺杆316对应一顶升杆301,顶升杆301穿过加热托板109、加热板108和加热面板107伸至烘烤腔112 中。基板顶升装置3的顶升架滑动设置于烘烤箱支承架201的下方。在烘烤箱支承架201上安装有两相对称布置的摆轴驱动箱309,两摆轴驱动箱309分别位于顶升电机311的两侧,顶升电机311为带有减速机构的伺服电机,顶升电机311 通过顶升驱动轴310与摆轴驱动箱309传动连接。在每一摆轴驱动箱309的输出轴端依次安装有两通过顶升滑销308固定相连的顶升摆臂305,位于外端的顶升摆臂305又与顶升摆轴307固定连接,在顶升摆轴307的外伸端也固定安装有顶升摆臂305,顶升摆轴307通过顶升轴座306转动支承于烘烤箱支承架201上。
如图20所示,顶升滑销308滑动地位于对应的顶升座304的顶升滑槽 312中,顶升座304固定安装于基板顶升装置3的顶升架上。当顶升电机311通过顶升驱动轴310驱动其两侧的摆轴驱动箱309时,摆轴驱动箱309驱动顶升摆臂305及其上的顶升滑销308通过顶升座304驱动基板顶升装置3的顶升架作上下往复升降,并经其上的托盘螺杆316和顶升杆301完成对玻璃基板的顶升或就位。
如图21、图22及图23所示,固定拧接于顶升纵梁302上的托盘螺杆316 的上端设置有顶针托盘315,在每一顶针托盘315的上方均对应有一顶升杆301,顶升杆301的杆身外还滑套有对应的顶针滑套113,顶升杆301的下端杆身上固定安装有顶针重锤314,顶升杆301的下杆端以球冠面支承于顶针托盘315的盘面上,这种结构确保顶升杆301顶升运动的顺畅度,并有效避免顶升杆301的卡顿,保证对玻璃基板的平稳升降顶动。

Claims (10)

1.一种移动式显示基板预烘烤箱单元,包括烘烤箱(1)和基板顶升装置(3),烘烤箱(1)位于基板顶升装置(3)的上方,其特征在于:所述烘烤箱(1)和基板顶升装置(3)之间设置有烘烤箱滑动架(2);该烘烤箱滑动架(2)包括烘烤箱支架(201)和滑动导轨(203),相互平行设置的滑动导轨(203)位于所述烘烤箱支承架(201)的两相对侧边;所述烘烤箱(1)的烘烤箱壁(114)和烘烤箱底板(110)围成烘烤腔(112),烘烤箱底板(110)固定安装于烘烤箱支承架(201)上,在烘烤腔(112)的腔口位置设置有可平动开启的烤箱上盖(101),在烘烤腔(112)内固定安装有加热板组件,该加热板组件包括自上向下依次叠置的加热面板(107)、加热板(108)和加热托板(109),加热板(108)由若干电加热板单元拼接而成,每一加热板(108)对应一加热托板(109);所述烘烤箱壁(114)上至少设置有一烘烤箱门(103),该烘烤箱门(103)通过箱门密闭器(104)安装于箱门摆轴(105)上;所述基板顶升装置(3)的顶升架上安装有顶针托盘(315),在顶针托盘(315)的上方设置有顶针杆(301),顶针杆(301)穿过加热托板(109)、加热板(108)和加热面板(107)伸至烘烤腔(112)内,所述基板顶升装置(3)的顶升架滑动设置于烘烤箱支架(201)的下方,固定安装于烘烤箱支承架(201)上的摆轴驱动箱(309)驱动顶升摆臂(305),位于顶升摆臂(305)外伸端的顶升滑销(308)滑动设置于顶升座(304)上的顶升滑槽(312)内,该顶升座(304)固定安装于所述顶升架上。
2.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述烘烤箱上盖(101)上成对地设置有平抬气缸(115)和平压气缸(116)。
3.根据权利要求2所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述烘烤箱上盖(101)的四角位置均设置有相对的平抬气缸(115)和平压气缸(116),平抬气缸(115)用于烘烤箱上盖(101)平移上抬,平压气缸(116)用于向下平压烘烤箱上盖(101)。
4.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述加热面板(107)上均布有若干基板托钉(122),该基板托钉(122)的顶部距加热面板(107)的间距L=0.26-0.34mm;所述加热板(108)的电加热板单元为可调温电热板,所述加热托板(109)通过加热支柱(111)支承于烘烤箱底板(110)上。
5.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述烘烤箱支架(201)由支架横梁和支架纵梁相互固定连接而成框式结构,所述滑动导轨(203)为直线滑动导轨,烘烤箱支架(201)通过支架滑座(202)滑动支承于滑动导轨(203)上。
6.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述箱门密闭器(104)包括固定安装于箱门摆轴(105)上的箱门摆杆(118),在箱门摆杆(118)上铰连有箱门铰支座(120),该箱门铰支座(120)与烘烤箱门(103)固定连接,在箱门摆杆(118)上还安装有箱门倾角螺栓(119),该箱门倾角螺栓(119)的外伸端抵接于烘烤箱门(103)上。
7.根据权利要求6所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述箱门摆杆(118)上安装有两根箱门倾角螺栓(119),该两根箱门倾角螺栓(119)分别位于箱门铰支座(120)铰支点的两侧。
8.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述基板顶升装置(3)的顶升架由相互交叉的顶升纵梁(302)和顶升横梁(303)固定连接而成;顶升架通过升降导套(205)滑动支承于升降导杆(204)上,该升降导杆(204)固定连接于烘烤箱支承架(201)上。
9.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述烘烤箱底板(110)与加热托板(109)之间固定安装有顶升滑套(113),顶升杆(301)滑动穿过顶升滑套(113)。
10.根据权利要求1所述的移动式显示基板预烘烤箱单元,其特征在于:所述摆轴驱动箱(309)有两只,顶升电机(311)通过顶升驱动轴(310)与该两摆轴驱动箱(309)传动连接;摆轴驱动箱(309)的输出轴与对应的顶升摆轴(307)传动连接,在顶升摆轴(307)的两端均固定设置有顶升摆臂(305),顶升摆臂(305)外伸端的顶升滑销(308)设置于对应顶升座(304)的顶升滑槽(312)中。
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