CN115400924A - 一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。技术问题如下：不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，硅片的取放极为不便，并且通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，胶料的回收处理困难。技术方案如下：一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘和匀胶系统等；电动转盘连接有用于硅片上多余胶料去除的匀胶系统。本发明通过基准片对多孔板进行水平度检测，用以模拟硅片放置于该位置时的水平度，用以确保硅片放置时的平整度，并且通过抽风的吸力固定硅片，实现对硅片的便捷取放以及固定，以及将多余胶料进行回收处理，避免胶料在限位环内堆积。

Description

一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机

技术领域

本发明涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。

背景技术

涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺，光刻胶涂布的过程一般包括将硅片安置于涂胶显影机，由涂胶显影机的光刻胶喷嘴向硅片表面喷上光刻胶。

但由于硅片固定的精密程度高，在涂胶固定过程中，硅片一面需要涂胶，不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，以至于硅片变形甚至损毁，对硅片的固定麻烦，以致于硅片的取放极为不便，并且在对硅片涂胶时，通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，容易在挡板的位置黏附堆积，胶料的回收处理更加困难。

发明内容

为了克服不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，硅片的取放极为不便，并且通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，胶料的回收处理更加困难的缺点，本发明提供一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。

本发明的技术方案为：一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘、收胶环、第一驱动组件、环形风管和第二驱动组件；电动转盘转动部上固接有收胶环；收胶环内部开有第二导胶槽；第二导胶槽底部设置有楔形垫片，楔形垫片上表面为左低右高；收胶环左部连通有排胶口；收胶环上环形阵列式安装有三个第一驱动组件；三个第一驱动组件输入端均与第二导胶槽连通；收胶环上表面通过连接柱固接有环形风管；环形风管内部开有第一导风槽；环形风管上表面环形阵列式安装有三个第二驱动组件；三个第二驱动组件输入端均与第一导风槽连通；还包括有匀胶系统、检测系统和循环系统；电动转盘连接有用于将硅片上多余胶料去除的匀胶系统；匀胶系统与环形风管连接；电动转盘连接有用于对匀胶系统进行水平度检测的检测系统；检测系统与匀胶系统连接；收胶环连接有用于回收多余胶料的循环系统；循环系统与匀胶系统连接。

作为本发明的一种优选技术方案，匀胶系统由动力单元和甩胶单元组成；电动转盘连接有动力单元；环形风管上表面连接有用于将胶料甩平的甩胶单元；甩胶单元与动力单元连接；动力单元包括有安装座、第一动力组件、传动杆和第一齿轮；电动转盘固定部上固接有安装座；安装座上部安装有第一动力组件；第一动力组件输出轴固接有传动杆；传动杆与安装座转动连接；传动杆上部固接有第一齿轮；第一齿轮与甩胶单元连接。

作为本发明的一种优选技术方案，甩胶单元包括有支架、转轴、抽风罩、多孔板和第二齿轮；环形风管上表面环形阵列式固接有六个支架；六个支架上各转动连接有一个转轴，转轴为空心管；六个转轴下部均与第一导风槽连通；六个转轴上部各连通有一个抽风罩；每个抽风罩上部均设有一个倒钩部；每个抽风罩上部均开有一个环形槽；六个抽风罩上部各安装有多孔板；多孔板与检测系统连接；六个转轴外表面下部各固接有一个第二齿轮；六个第二齿轮均与第一齿轮啮合。

作为本发明的一种优选技术方案，检测系统由基准片和平整检测单元组成；电动转盘右部连接有平整检测单元；平整检测单元连接有基准片；基准片与多孔板接触；平整检测单元包括有支板、安装架、电动滑轨、电动滑块、支撑梁、横杆、弹性件、弧形板、定位杆、第一电动执行器、衔接板、第一滑杆、连杆、第二动力组件、平整检测仪、第一连接板和U形叉；电动转盘右部固接有支板；支板上表面固接有安装架；安装架上表面安装有电动滑轨；电动滑轨上滑动连接有电动滑块；电动滑块上固接有支撑梁；支撑梁中部固接有横杆；横杆左部固接有弹性件；弹性件左部固接有弧形板；弧形板右侧前部和右侧后部各固接有一个定位杆；两个定位杆均与横杆滑动连接；支撑梁上部安装有第一电动执行器；第一电动执行器伸缩部固接有衔接板；衔接板左部固接有两个第一滑杆；两个第一滑杆均与支撑梁滑动连接；两个第一滑杆下部共同固接有连杆；连杆上表面安装有第二动力组件；第二动力组件输出轴固接有平整检测仪；连杆右部固接有第一连接板；第一连接板下部固接有U形叉；基准片放置在U形叉上；基准片位于平整检测仪的下方。

作为本发明的一种优选技术方案，循环系统由防护单元、刮胶单元和收集单元组成；收胶环连接有用于挡住甩出的胶料的防护单元；防护单元连接有用于将甩出的胶料刮动的刮胶单元；防护单元连接有用于收集多余胶料的收集单元；收集单元与刮胶单元连接；收集单元与收胶环连接；防护单元包括有第二电动执行器、环形板和防护框；收胶环外表面对称安装有两个第二电动执行器；两个第二电动执行器伸缩部共同固接有环形板；环形板上环形阵列式固接有六个防护框；防护框与刮胶单元连接；防护框与收集单元连接；六个防护框上部各设有一个防溅槽。

作为本发明的一种优选技术方案，刮胶单元包括有第三电动执行器、连接杆、第二滑杆和环形刮条；环形板上环形阵列有六对第三电动执行器；每个第三电动执行器伸缩部各固接有一个连接杆；每个连接杆远离第三电动执行器的一侧各固接有一个第二滑杆；每个第二滑杆均与防护框滑动连接；每两个第二滑杆下部共同固接有一个环形刮条；每个环形刮条外表面各与一个防护框滑动连接；环形刮条与收集单元连接。

作为本发明的一种优选技术方案，收集单元包括有限位环、导胶管、第二连接板、第三动力组件、第三齿轮、内齿环、抽胶管、环形管和凸条；每个防护框内各固接有一个限位环；每个限位环下部各连通有一个导胶管；每个导胶管下部均与收胶环连通；每个防护框内各固接有一个第二连接板；每个第二连接板各与一个限位环同轴；每个第二连接板上各安装有一个第三动力组件；每个第三动力组件输出轴各固接有一个第三齿轮；每个限位环上各转动连接有一个内齿环；每个内齿环上部各与一个第二连接板转动连接；每个内齿环各与一个第三齿轮啮合；限位环中部掏空设置有楔形面；每个限位环内各固接有一个抽胶管；每个抽胶管朝向楔形面的一侧开有若干个通孔；每个抽胶管各与一个内齿环滑动连接；每个内齿环各固接有一个环形管；每个环形管各位于一个抽胶管内；环形管上环形阵列式固接有若干个凸条。

作为本发明的一种优选技术方案，抽风罩上部外边缘为流线型，且环形槽开在倒钩部内侧。

作为本发明的一种优选技术方案，防溅槽向防护框中心方向凸出，且防溅槽开口朝下。

作为本发明的一种优选技术方案，凸条为硅胶材料，凸条上开有十字切口且凸条上外环面设置有若干环形凹槽。

本发明的有益效果：本发明通过基准片对多孔板进行水平度检测，用以模拟硅片放置于该位置时的水平度，通过多点检测的方式，确保多孔板的平整度，用以确保硅片放置时的平整度，避免硅片放置的位置不水平，在对硅片涂胶时，硅片上的胶料在流平作用下，硅片上的胶料不平整。

本发明通过三个第二驱动组件将环形风管内的空气持续抽出，风管通过转轴，将抽风罩内的空气抽出，以此再配合多孔板使得硅片被吸附固定，若需要将硅片取下时，第二驱动组件停止抽风，硅片的固定效果消失即可实现对硅片的便捷取放以及固定，避免机械加持对硅片的挤压变形。

本发明通过三个第一驱动组件输入端将收胶环内空气持续抽出，收胶环则通过六个导胶管，再配合抽胶管将限位环内的胶料抽出，用于对胶料的回收处理，若抽胶管上的通孔被胶料堵住，胶料的抽出效率降低，此时，凸条沿着抽胶管内表面滑动，凸条对抽胶管上的通孔进行疏通，并刮动抽胶管内滞留的胶料，进而避免胶料在限位环内堆积。

附图说明

图1为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的立体结构示意图；

图2为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的主视图；

图3为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的第一种组合立体结构示意图；

图4为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的甩胶单元部分剖视图；

图5为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的A区放大立体结构示意图；

图6为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的平整检测单元局部立体结构示意图；

图7为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的第二种组合立体结构示意图；

图8为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的B区放大立体结构示意图；

图9为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的刮胶单元立体结构示意图；

图10为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的第三种组合立体结构示意图；

图11为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的收集单元部分剖视图；

图12为本发明的具有平整涂胶功能的涂胶显影机的C区放大立体结构示意图。

其中：1-电动转盘，2-收胶环，3-第一驱动组件，4-环形风管，5-第二驱动组件，6-基准片，2001-楔形垫片，2002-排胶口，2003-第二导胶槽，4001-第一导风槽，101-安装座，102-第一动力组件，103-传动杆，104-第一齿轮，201-支架，202-转轴，203-抽风罩，204-多孔板，205-第二齿轮，20301-倒钩部，20302-环形槽，301-支板，302-安装架，303-电动滑轨，304-电动滑块，305-支撑梁，306-横杆，307-弹性件，308-弧形板，309-定位杆，3010-第一电动执行器，3011-衔接板，3012-第一滑杆，3013-连杆，3014-第二动力组件，3015-平整检测仪，3016-第一连接板，3017-U形叉，401-第二电动执行器，402-环形板，403-防护框，40301-防溅槽，501-第三电动执行器，502-连接杆，503-第二滑杆，504-环形刮条，601-限位环，602-导胶管，603-第二连接板，604-第三动力组件，605-第三齿轮，606-内齿环，607-抽胶管，608-环形管，609-凸条，60101-楔形面。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

实施例1

一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，根据图1-2所示，包括有电动转盘1、收胶环2、第一驱动组件3、环形风管4和第二驱动组件5；电动转盘1转动部上固接有收胶环2；收胶环2内部开有第二导胶槽2003；第二导胶槽2003底部设置有楔形垫片2001，楔形垫片2001上表面为左低右高；收胶环2左部连通有排胶口2002；收胶环2上环形阵列式安装有三个第一驱动组件3；三个第一驱动组件3输入端均与第二导胶槽2003连通；收胶环2上表面通过连接柱焊接有环形风管4；环形风管4内部开有第一导风槽4001；环形风管4上表面环形阵列式安装有三个第二驱动组件5；三个第二驱动组件5输入端均与第一导风槽4001连通；

还包括有匀胶系统、检测系统和循环系统；电动转盘1连接有用于将硅片上多余胶料去除的匀胶系统；匀胶系统与环形风管4连接；电动转盘1连接有用于对匀胶系统进行水平度检测的检测系统；检测系统与匀胶系统连接；收胶环2连接有用于回收多余胶料的循环系统；循环系统与匀胶系统连接。

第一驱动组件3为抽风机。

第二驱动组件5为抽风机。

根据图1和图3-5所示，匀胶系统由动力单元和甩胶单元组成；电动转盘1连接有动力单元；环形风管4上表面连接有用于将胶料甩平的甩胶单元；甩胶单元与动力单元连接；

动力单元包括有安装座101、第一动力组件102、传动杆103和第一齿轮104；电动转盘1固定部上固接有安装座101；安装座101上部安装有第一动力组件102；第一动力组件102输出轴固接有传动杆103；传动杆103与安装座101转动连接；传动杆103上部固接有第一齿轮104；第一齿轮104与甩胶单元连接。

第一动力组件102为伺服电机。

根据图1和图3-5所示，甩胶单元包括有支架201、转轴202、抽风罩203、多孔板204和第二齿轮205；环形风管4上表面环形阵列式焊接有六个支架201；六个支架201上各转动连接有一个转轴202，转轴202为空心管；六个转轴202下部均与第一导风槽4001连通；六个转轴202上部各连通有一个抽风罩203；每个抽风罩203上部均设有一个倒钩部20301；每个抽风罩203上部均开有一个环形槽20302；六个抽风罩203上部各安装有多孔板204；多孔板204与检测系统连接；六个转轴202外表面下部各固接有一个第二齿轮205；六个第二齿轮205均与第一齿轮104啮合。

抽风罩203上部外边缘为流线型，且环形槽20302开在倒钩部20301内侧，有效减少胶料在抽风罩203上部的残留，以及在倒钩部20301上的胶料，在甩动的完成后，环形槽20302使得倒钩部20301下部的残留更少胶料便于去除。

根据图1、图3和图6所示，检测系统由基准片6和平整检测单元组成；电动转盘1右部连接有平整检测单元；平整检测单元连接有基准片6；基准片6与多孔板204接触；

平整检测单元包括有支板301、安装架302、电动滑轨303、电动滑块304、支撑梁305、横杆306、弹性件307、弧形板308、定位杆309、第一电动执行器3010、衔接板3011、第一滑杆3012、连杆3013、第二动力组件3014、平整检测仪3015、第一连接板3016和U形叉3017；电动转盘1右部焊接有支板301；支板301上表面螺栓连接有安装架302；安装架302上表面安装有电动滑轨303；电动滑轨303上滑动连接有电动滑块304；电动滑块304上固接有支撑梁305；支撑梁305中部焊接有横杆306；横杆306左部固接有弹性件307；弹性件307左部固接有弧形板308；弧形板308右侧前部和右侧后部各焊接有一个定位杆309；两个定位杆309均与横杆306滑动连接；支撑梁305上部安装有第一电动执行器3010；第一电动执行器3010伸缩部固接有衔接板3011；衔接板3011左部固接有两个第一滑杆3012；两个第一滑杆3012均与支撑梁305滑动连接；两个第一滑杆3012下部共同焊接有连杆3013；连杆3013上表面安装有第二动力组件3014；第二动力组件3014输出轴固接有平整检测仪3015；连杆3013右部焊接有第一连接板3016；第一连接板3016下部焊接有U形叉3017；基准片6放置在U形叉3017上；基准片6位于平整检测仪3015的下方。

弹性件307为弹簧。

第一电动执行器3010为电动推杆。

第二动力组件3014为伺服电机。

根据图1和图7-12所示，循环系统由防护单元、刮胶单元和收集单元组成；收胶环2连接有用于挡住甩出的胶料的防护单元；防护单元连接有用于将甩出的胶料刮动的刮胶单元；防护单元连接有用于收集多余胶料的收集单元；收集单元与刮胶单元连接；收集单元与收胶环2连接；

防护单元包括有第二电动执行器401、环形板402和防护框403；收胶环2外表面对称安装有两个第二电动执行器401；两个第二电动执行器401伸缩部共同固接有环形板402；环形板402上环形阵列式焊接有六个防护框403；防护框403与刮胶单元连接；防护框403与收集单元连接；六个防护框403上部各设有一个防溅槽40301。

第二电动执行器401为电动推杆。

防溅槽40301向防护框403中心方向凸出，且防溅槽40301开口朝下，用于避免胶料甩在防护框403内壁时，从上方溅出。

根据图1和图9所示，刮胶单元包括有第三电动执行器501、连接杆502、第二滑杆503和环形刮条504；环形板402上环形阵列有六对第三电动执行器501；每个第三电动执行器501伸缩部各固接有一个连接杆502；每个连接杆502远离第三电动执行器501的一侧各固接有一个第二滑杆503；每个第二滑杆503均与防护框403滑动连接；每两个第二滑杆503下部共同固接有一个环形刮条504；每个环形刮条504外表面各与一个防护框403滑动连接；环形刮条504与收集单元连接。

第三电动执行器501为电动推杆。

环形刮条504为硅胶材质，用于减少胶料的粘连。

根据图1和图10-12所示，收集单元包括有限位环601、导胶管602、第二连接板603、第三动力组件604、第三齿轮605、内齿环606、抽胶管607、环形管608和凸条609；每个防护框403内各固接有一个限位环601；每个限位环601下部各连通有一个导胶管602；每个导胶管602下部均与收胶环2连通；每个防护框403内各固接有一个第二连接板603；每个第二连接板603各与一个限位环601同轴；每个第二连接板603上各安装有一个第三动力组件604；每个第三动力组件604输出轴各固接有一个第三齿轮605；每个限位环601上各转动连接有一个内齿环606；每个内齿环606上部各与一个第二连接板603转动连接；每个内齿环606各与一个第三齿轮605啮合；限位环601中部掏空设置有楔形面60101；每个限位环601内各焊接有一个抽胶管607；每个抽胶管607朝向楔形面60101的一侧开有若干个通孔；每个抽胶管607各与一个内齿环606滑动连接；每个内齿环606各固接有一个环形管608；每个环形管608各位于一个抽胶管607内；环形管608上环形阵列式固接有若干个凸条609。

第三动力组件604为伺服电机。

凸条609为硅胶材料，凸条609上开有十字切口且凸条609上外环面设置有若干环形凹槽，用于疏通抽胶管607上的通孔，并将封堵的胶料勾出。

在使用该涂胶显影机前，首先将电动转盘1安装在涂胶工作间内，接通电源，接着操作人员控制工作间内的机械手，将硅片依次转移至各个多孔板204上正中的位置，接着控制启动三个第二驱动组件5，三个第二驱动组件5将环形风管4内的空气持续抽出，风管通过转轴202，将抽风罩203内的空气抽出，以此再配合多孔板204使得硅片被吸附固定，若需要将硅片取下时，第二驱动组件5停止抽风，硅片的固定效果消失即可实现对硅片的便捷取放以及固定，避免机械加持对硅片的挤压变形，接着控制启动电动转盘1转动，同步带动各个硅片转动，使得每个多孔板204上均固定有一个硅片，实现了对多个硅片同时均胶，提高了工作效率。

在放置硅片之前，若硅片放置的位置不水平，则在对硅片涂胶时，硅片上的胶料在流平作用下，硅片上的胶料不平整也不均匀，故而在放置硅片之前，对放置硅片的抽风罩203以及多孔板204的表面水平度进行检测，此时，操作人员控制电动滑块304在电动滑轨303上向左移动，同步带动平整检测仪3015和基准片6向左移动，接着弧形板308与一个防护框403接触，弹性件307被压缩，直至弹性件307无法被压缩时，电动滑块304停止移动，此时平整检测仪3015位于多孔板204的上方，接着控制启动第一电动执行器3010，第一电动执行器3010收缩，同步带动U形叉3017往下运动，U形叉3017带动基准片6向下运动，接着基准片6平稳地放置于多孔板204上，直至U形叉3017与基准片6分离，并且平整检测仪3015抵在基准片6的上表面，控制关闭第一电动执行器3010，对基准片6进行水平检测，用以模拟硅片放置于该位置时的水平度，接着控制启动第一电动执行器3010，同步带动平整检测仪3015往上移动，并且U形叉3017还未接触基准片6，避免U形叉3017使得基准片6产生移动，控制关闭第一电动执行器3010，接着控制启动第二动力组件3014，第二动力组件3014输出轴转动，同步带动平整检测仪3015转动，再次重复上述过程，对基准片6再次进行水平度检测，通过多点检测的方式，确保多孔板204的平整度，待基准片6的水平度检测完成后，控制启动第一电动执行器3010，第一电动执行器3010伸长冰复位，同步控制U形叉3017往上运动，同步带动基准片6与多孔板204分离，接着控制电动滑块304向右运动至初始位置，此时即完成了对一个多孔板204的水平度检测，而后通过电动转盘1的配合，对剩余的多孔板204的水平度进行检测。

接着通过机械手将硅片依次放置于各个多孔板204上，并通过三个第二驱动组件5抽风，对各个硅片进行固定，而后通过输胶管，在电动转盘1的配合下将胶料依次挤在各个硅片的表面上，接着将输胶管移开，控制关闭电动转盘1，并控制启动两个第二电动执行器401，两个第二电动执行器401伸长，同步带动各个防护框403往上运动，直至防溅槽40301的位置高于硅片放置的位置，再是控制启动第一动力组件102，第一动力组件102输出轴转动，同步带动各个转轴202转动，进而带动各个硅片自转，此时硅片上的多余胶料在转动过程中被甩出，被甩出的多余胶料通过防护框403挡住，并通过防溅槽40301，防止胶料接触到防护框403后向上溅出，并且抽风罩203上部外边缘为流线型，在甩胶过程中，有效减少胶料在抽风罩203上部的残留，当有胶料留滞在抽风罩203上，甩胶过程中，环形槽20302使得倒钩部20301下部的残留更少胶料，而后通过防护框403内设置的环形刮条504将胶料黏附，此时由于胶料黏附在防护框403内表面，通过重力使之向下流动的速度较慢，并且胶料易在防护框403内表面残留，长时间不处理，胶料变质硬化后，影响后续的胶料收集，此时控制启动第三电动执行器501，第三电动执行器501收缩，同步带动环形刮条504沿着防护框403内表面向下移动，环形刮条504将黏附在防护框403内表面的胶料及时刮下，减少胶料在防护框403内表面的残留。

接着环形刮条504将胶料向下推动，直至胶料进入到限位环601内，并且胶料沿着楔形面60101流动，此时，胶料聚集在限位环601内下部，控制启动三个第一驱动组件3，三个第一驱动组件3输入端将收胶环2内空气持续抽出，收胶环2则通过六个导胶管602，再配合抽胶管607将限位环601内的胶料抽出，用于对胶料的回收处理，并且当环形刮条504下降至与楔形面60101接触，环形刮条504发生变形，环形刮条504内的胶料被挤出至限位环601内，若抽胶管607上的通孔被胶料堵住，胶料的抽出效率降低，此时通过控制启动第三动力组件604，第三动力组件604输出轴转动，同步带动环形管608转动，使得环形管608带动若干个凸条609转动，凸条609沿着抽胶管607内表面滑动，当凸条609与抽胶管607上的通孔对应时，凸条609恢复，并挤入抽胶管607上的通孔内，将封堵的胶料向外推动，并随着凸条609的转动，凸条609在退出抽胶管607上的通孔时，凸条609通过其上开有的十字切口，凸条609变形后与抽胶管607内壁的接触面积变大，并且凸条609的硅胶材质有良好的形变能力，更加贴合抽胶管607内壁，凸条609在转动过程中，刮动抽胶管607内滞留的胶料运动，避免胶料固结，进而将胶料快速从抽胶管607内转移出去，进而避免胶料在限位环601内堆积，接着胶料沿着导胶管602进入到收胶环2内，并沿着楔形垫片2001的斜面流动，往排胶口2002方向聚集，而后，只需打开排胶口2002，即可将胶料取出。

应当理解，以上的描述仅仅用于示例性目的，并不意味着限制本发明。本领域的技术人员将会理解，本发明的变型形式将包含在本文的权利要求的范围内。

Claims (10)

1.一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘（1）、收胶环（2）、第一驱动组件（3）、环形风管（4）和第二驱动组件（5）；电动转盘（1）转动部上固接有收胶环（2）；收胶环（2）内部开有第二导胶槽（2003）；第二导胶槽（2003）底部设置有楔形垫片（2001），楔形垫片（2001）上表面为左低右高；收胶环（2）左部连通有排胶口（2002）；收胶环（2）上环形阵列式安装有三个第一驱动组件（3）；三个第一驱动组件（3）输入端均与第二导胶槽（2003）连通；收胶环（2）上表面通过连接柱固接有环形风管（4）；环形风管（4）内部开有第一导风槽（4001）；环形风管（4）上表面环形阵列式安装有三个第二驱动组件（5）；三个第二驱动组件（5）输入端均与第一导风槽（4001）连通；其特征是，还包括有匀胶系统、检测系统和循环系统；电动转盘（1）连接有用于将硅片上多余胶料去除的匀胶系统；匀胶系统与环形风管（4）连接；电动转盘（1）连接有用于对匀胶系统进行水平度检测的检测系统；检测系统与匀胶系统连接；收胶环（2）连接有用于回收多余胶料的循环系统；循环系统与匀胶系统连接。

2.按照权利要求1所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，匀胶系统由动力单元和甩胶单元组成；电动转盘（1）连接有动力单元；环形风管（4）上表面连接有用于将胶料甩平的甩胶单元；甩胶单元与动力单元连接；动力单元包括有安装座（101）、第一动力组件（102）、传动杆（103）和第一齿轮（104）；电动转盘（1）固定部上固接有安装座（101）；安装座（101）上部安装有第一动力组件（102）；第一动力组件（102）输出轴固接有传动杆（103）；传动杆（103）与安装座（101）转动连接；传动杆（103）上部固接有第一齿轮（104）；第一齿轮（104）与甩胶单元连接。

3.按照权利要求2所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，甩胶单元包括有支架（201）、转轴（202）、抽风罩（203）、多孔板（204）和第二齿轮（205）；环形风管（4）上表面环形阵列式固接有六个支架（201）；六个支架（201）上各转动连接有一个转轴（202），转轴（202）为空心管；六个转轴（202）下部均与第一导风槽（4001）连通；六个转轴（202）上部各连通有一个抽风罩（203）；每个抽风罩（203）上部均设有一个倒钩部（20301）；每个抽风罩（203）上部均开有一个环形槽（20302）；六个抽风罩（203）上部各安装有多孔板（204）；多孔板（204）与检测系统连接；六个转轴（202）外表面下部各固接有一个第二齿轮（205）；六个第二齿轮（205）均与第一齿轮（104）啮合。

4.按照权利要求3所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，检测系统由基准片（6）和平整检测单元组成；电动转盘（1）右部连接有平整检测单元；平整检测单元连接有基准片（6）；基准片（6）与多孔板（204）接触；平整检测单元包括有支板（301）、安装架（302）、电动滑轨（303）、电动滑块（304）、支撑梁（305）、横杆（306）、弹性件（307）、弧形板（308）、定位杆（309）、第一电动执行器（3010）、衔接板（3011）、第一滑杆（3012）、连杆（3013）、第二动力组件（3014）、平整检测仪（3015）、第一连接板（3016）和U形叉（3017）；电动转盘（1）右部固接有支板（301）；支板（301）上表面固接有安装架（302）；安装架（302）上表面安装有电动滑轨（303）；电动滑轨（303）上滑动连接有电动滑块（304）；电动滑块（304）上固接有支撑梁（305）；支撑梁（305）中部固接有横杆（306）；横杆（306）左部固接有弹性件（307）；弹性件（307）左部固接有弧形板（308）；弧形板（308）右侧前部和右侧后部各固接有一个定位杆（309）；两个定位杆（309）均与横杆（306）滑动连接；支撑梁（305）上部安装有第一电动执行器（3010）；第一电动执行器（3010）伸缩部固接有衔接板（3011）；衔接板（3011）左部固接有两个第一滑杆（3012）；两个第一滑杆（3012）均与支撑梁（305）滑动连接；两个第一滑杆（3012）下部共同固接有连杆（3013）；连杆（3013）上表面安装有第二动力组件（3014）；第二动力组件（3014）输出轴固接有平整检测仪（3015）；连杆（3013）右部固接有第一连接板（3016）；第一连接板（3016）下部固接有U形叉（3017）；基准片（6）放置在U形叉（3017）上；基准片（6）位于平整检测仪（3015）的下方。

5.按照权利要求4所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，循环系统由防护单元、刮胶单元和收集单元组成；收胶环（2）连接有用于挡住甩出的胶料的防护单元；防护单元连接有用于将甩出的胶料刮动的刮胶单元；防护单元连接有用于收集多余胶料的收集单元；收集单元与刮胶单元连接；收集单元与收胶环（2）连接；防护单元包括有第二电动执行器（401）、环形板（402）和防护框（403）；收胶环（2）外表面对称安装有两个第二电动执行器（401）；两个第二电动执行器（401）伸缩部共同固接有环形板（402）；环形板（402）上环形阵列式固接有六个防护框（403）；防护框（403）与刮胶单元连接；防护框（403）与收集单元连接；六个防护框（403）上部各设有一个防溅槽（40301）。

6.按照权利要求5所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，刮胶单元包括有第三电动执行器（501）、连接杆（502）、第二滑杆（503）和环形刮条（504）；环形板（402）上环形阵列有六对第三电动执行器（501）；每个第三电动执行器（501）伸缩部各固接有一个连接杆（502）；每个连接杆（502）远离第三电动执行器（501）的一侧各固接有一个第二滑杆（503）；每个第二滑杆（503）均与防护框（403）滑动连接；每两个第二滑杆（503）下部共同固接有一个环形刮条（504）；每个环形刮条（504）外表面各与一个防护框（403）滑动连接；环形刮条（504）与收集单元连接。

7.按照权利要求6所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，收集单元包括有限位环（601）、导胶管（602）、第二连接板（603）、第三动力组件（604）、第三齿轮（605）、内齿环（606）、抽胶管（607）、环形管（608）和凸条（609）；每个防护框（403）内各固接有一个限位环（601）；每个限位环（601）下部各连通有一个导胶管（602）；每个导胶管（602）下部均与收胶环（2）连通；每个防护框（403）内各固接有一个第二连接板（603）；每个第二连接板（603）各与一个限位环（601）同轴；每个第二连接板（603）上各安装有一个第三动力组件（604）；每个第三动力组件（604）输出轴各固接有一个第三齿轮（605）；每个限位环（601）上各转动连接有一个内齿环（606）；每个内齿环（606）上部各与一个第二连接板（603）转动连接；每个内齿环（606）各与一个第三齿轮（605）啮合；限位环（601）中部掏空设置有楔形面（60101）；每个限位环（601）内各固接有一个抽胶管（607）；每个抽胶管（607）朝向楔形面（60101）的一侧开有若干个通孔；每个抽胶管（607）各与一个内齿环（606）滑动连接；每个内齿环（606）各固接有一个环形管（608）；每个环形管（608）各位于一个抽胶管（607）内；环形管（608）上环形阵列式固接有若干个凸条（609）。

8.按照权利要求3所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，抽风罩（203）上部外边缘为流线型，且环形槽（20302）开在倒钩部（20301）内侧。

9.按照权利要求5所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，防溅槽（40301）向防护框（403）中心方向凸出，且防溅槽（40301）开口朝下。

10.按照权利要求7所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，其特征是，凸条（609）为硅胶材料，凸条（609）上开有十字切口且凸条（609）上外环面设置有若干环形凹槽。

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