CN115397613A - 具有调用功能的研磨/抛光装置 - Google Patents

Abstract

一种研磨机/抛光机，其包括样本固持器、台板、被配置成移动样本固持器和台板中的至少一者的致动器、输入装置、机器可读存储装置和控制器。输入装置包括多个快速调用输入并且被配置成接收代表研磨/抛光参数的研磨/抛光参数输入，这些研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者。快速调用输入可在与用户参数输入相同的界面上选择。控制器被配置成：基于由输入装置接收的输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到机器可读存储装置；将参数与多个快速调用输入中的一个输入相关联；响应于快速调用输入的选择来配置参数；并且根据参数来执行操作。

Description

具有调用功能的研磨/抛光装置

相关申请

本申请要求于2021年3月22日提交的名称为“GRINDING/POLISHING DEVICES WITHRECALL[具有调用功能的研磨/抛光装置]”的美国专利申请序列号17/208,490以及于2020年3月31日提交的名称为“GRINDING/POLISHING DEVICES WITH RECALL[具有调用功能的研磨/抛光装置]”的美国临时专利申请序列号63/002,923的权益。美国专利申请序列号17/208,490和美国临时专利申请序列号63/002,923的全部内容通过援引明确并入本文。

背景技术

本公开内容总体上涉及研磨/抛光系统，更特别地涉及具有调用功能的研磨/抛光装置。

出于许多目的并在多种多样的部门和行业内对样本执行研磨和抛光操作。在一些应用中，通过研磨/抛光操作对样本进行的表面制备是例如在制造部门中测试材料和部件时所依赖的样本测试(比如显微镜检查)的先决条件。研磨/抛光装置既能够执行研磨操作又能够执行抛光操作，以将样本加工到特定应用所需的光洁度。

如可以预料的是，仍然需要一些研磨/抛光装置和方法，这些装置和方法在应用场合所需要的公差内将样本加工到期望规格。然而，研磨/抛光装置的用户控制通常是有限的。通常，研磨/抛光装置可能难以设置和控制，并且需要用户进行要符合多种需求的设置时间。这种低效率以及其他问题可能加重用户的负担，并导致时间损失和运营成本增加。提供改进的研磨/抛光装置和方法将是有利的。

发明内容

在实施例中，一种研磨机/抛光机包括：样本固持器，该样本固持器被配置成固定样本；台板；致动器，该致动器被配置成移动样本固持器和台板中的至少一者；输入装置，该输入装置包括多个快速调用输入并且被配置成接收代表研磨/抛光参数的研磨/抛光参数输入，这些研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者。快速调用输入可在与用户参数输入相同的界面上选择。在实施例中，存在机器可读存储装置和控制器。控制器被配置成：基于由输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到机器可读存储装置；并且将该多个用户选择的研磨/抛光参数与快速调用输入中的一个相关联。控制器可以被进一步配置成：响应于选择多个快速调用输入中的一个输入，基于存储在机器可读存储装置中的与多个快速调用输入中的所选择的一个输入相关联的研磨/抛光参数来配置研磨/抛光参数；并且控制致动器根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作。

研磨机/抛光机可以进一步包括水分配器，该水分配器被配置成向样本提供冷却水，其中研磨机/抛光机参数进一步包括水接通/截断。在这样的实施例中，控制器被进一步配置成根据所选择的循环时间和水接通/截断来控制水分配器。在其他实施例中，致动器包括马达和驱动器致动器，并且控制器被配置成控制马达根据所选择的研磨/抛光参数来使样本固持器和台板中的至少一者旋转。在示例中，控制器还被配置成驱动致动器，以根据所选择的施加的负载来将样本和台板中的一者压到样本和台板中的另一者中。

在又一些实施例中，研磨机/抛光机包括流体分配器，该流体分配器被配置成向样本提供流体，并且研磨机/抛光机参数进一步包括流体接通/截断和流体分配速率。控制器可以被进一步配置成根据所选择的循环时间、流体接通/截断和流体流分配速率来控制流体分配器。在实施例中，输入装置是触摸屏显示器，该触摸屏显示器被配置成显示快速调用输入和多个研磨机/抛光机参数，并且可以包括主屏幕。

控制器还可以被配置成在用户选择并保持多个快速调用输入中的一个时，将多个用户选择的研磨机/抛光机参数保存到机器可读存储装置。在实施例中，多个快速输入中的至少一个调用是无需访问输入装置的菜单就可访问的，并且在实施例中，是用户可立即访问的。研磨/抛光参数还可以包括循环时间、台板速度和样本速度中的至少一者、台板方向和样本方向中的至少一者、以及施加的负载。

在实施例中，一种非暂时性机器可读存储装置包括机器可读指令，这些机器可读指令在被执行时，使控制器：基于由输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到机器可读存储装置；将该多个用户选择的研磨/抛光参数与输入装置的多个快速调用输入中的一个相关联；响应于用户界面输入装置选择多个快速调用输入中的一个输入，基于存储在机器可读存储装置中的与快速调用输入中的所选择的一个相关联的研磨/抛光参数来配置研磨/抛光参数；并且控制研磨机/抛光机的致动器以根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作，该致动器被配置成移动研磨机/抛光机的样本固持器和台板中的至少一者。在这样的实施例中，研磨/抛光参数可以包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者。

研磨机/抛光机参数可以进一步包括水接通/截断中的至少一者，并且这些指令在被执行时，使控制器根据所选择的循环时间和水接通/截断来控制水分配器。在实施例中，致动器包括马达和驱动器致动器，并且这些指令在被执行时，使控制器控制马达根据所选择的研磨/抛光参数来使样本固持器和台板中的至少一者旋转，并且控制驱动致动器根据所选择的施加的负载来将样本和台板中的一者压到样本和台板中的另一者中。在其他实施例中，研磨机/抛光机进一步包括流体分配器，该流体分配器被配置成向样本提供流体，并且研磨机/抛光机参数进一步包括流体接通/截断和流体分配速率，并且这些指令在被执行时，使控制器根据所选择的循环时间、流体接通/截断和流体流分配速率来控制流体分配器。

在非暂时性机器可读存储装置的进一步的实施例中，输入装置包括触摸屏显示器，并且这些指令在被执行时，使控制器在触摸屏上显示快速调用输入和多个研磨机/抛光机参数。在又一些实施例中，这些指令在被执行时，使控制器在触摸屏显示器上显示主屏幕，其中，多个快速调用输入中的至少一个被显示在主屏幕上并且可从主屏幕选择。在另一方面中，这些指令在被执行时，可以使控制器在用户选择并保持多个快速调用输入中的一个时，将多个用户选择的研磨机/抛光机参数保存到机器可读存储装置。在实施例中，多个快速调用输入是无需访问用户界面输入装置的菜单就可访问的，并且在实施例中，是用户可立即访问的。在实施例中，研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度和样本速度中的至少一者、台板方向和样本方向中的至少一者、以及施加的负载。

附图说明

图1展示了示例研磨/抛光装置。

图2是图1的研磨/抛光装置的部件的框图。

图3展示了图1的研磨/抛光装置的示例输入装置。

图4展示了使用研磨/抛光装置的方法的流程图。

图5展示了使用研磨/抛光装置的方法的流程图。

附图不一定按比例绘制。在适当情况下，相似或相同的附图标记用于表示相似或相同的元件。

具体实施方式

本公开内容总体上涉及用于研磨/抛光装置的系统、方法和设备。将参考附图描述优选实施例。在以下描述中，没有详细描述众所周知的功能或构造，因为这些描述将因为不必要的细节使本公开内容变得晦涩难懂。

为了促进对所要求保护的技术的原理的理解并呈现其当前理解的最佳操作模式，现将参考附图中展示的实施例，并且将使用特定语言来描述这些实施例。然而，应当理解，这样不旨在限制所要求保护的技术的范围，因为本文所展示的所要求保护的技术的原理的所展示的装置以及这些进一步的应用的任何更改和进一步的修改是所要求保护的技术所属的领域的技术人员通常所能想到的。

如本文中所使用的，词语“示例性”是指“用作示例、实例或图示”。本文中所描述的实施例不是限制性的，而仅是示例性的。应当理解，所描述的实施例不一定被解释为较其他实施例是优选的或有利的。而且，术语“实施例”不要求所有所公开的实施例都包括所讨论的特征、优点或操作模式。

如本文所使用的，术语“电路”和“电路系统”是指物理电子部件(即，硬件)以及可以配置硬件、由硬件执行和/或以其他方式与硬件相关联的任何软件和/或固件(“代码”)。如本文所使用的，例如，当执行第一组一行或多行代码时，特定处理器和存储器可以包括第一“电路”，并且当执行第二组一行或多行第二代码时，可以包括第二“电路”。如本文所使用的，“和/或”是指列表中由“和/或”连接的多个项中的任何一项或多项。例如，“x和/或y”是指三元素集合{(x),(y),(x,y)}中的任何元素。换言之，“x和/或y”是指“x和y中的一个或两个”。作为另一示例，“x、y和/或z”是指七元素集合{(x),(y),(z),(x,y),(x,z),(y,z),(x,y,z)}中的任何元素。换言之，“x、y和/或z”是指“x、y和z中的一个或多个”。如本文所使用的，术语“示例性”是指用作非限制性示例、实例、或图示。如本文所使用的，术语“譬如(e.g.)”和“例如(for example)”引出一个或多个示例、实例、或图示的清单。如本文所使用的，每当电路系统包括执行某一功能所必要的硬件和代码(如果有必要的)时，该电路系统就“可操作”以执行该功能，而无论该功能的执行是否被禁用或未被启用(例如，通过操作员可配置的设定、出厂调节等)。

图1至图3中示出了用于对工件或样本执行研磨操作和抛光操作的研磨/抛光装置的示例。参考图1，研磨/抛光装置100包括：动力头组件102，该动力头组件具有带有样本116(示出了一个)的样本固持器112；带有碗状部106的柜或基座104；控制器190(图2)；以及输入装置或单元控制面板122。

继续参考图1，在所描绘的实施例中，碗状部106在基座104中形成开口。碗状部106包括比如透明塑料碗状部衬里等可移除碗状部衬里(未示出)，以防止残渣、污染物和残留物在碗状部中积聚。可以进一步在碗状部106周围设置防溅板(109)，以将流体容纳在碗状部中并使过度喷射减至最小，并防止物品无意中进入碗状部或接触研磨抛光装置的移动部件，比如台板108或样本固持器112。

台板108安装在碗状部106中。垫110被固定到台板108的顶部，并且被配置成在研磨/抛光循环期间接触样本116。许多类型的垫110可以用于研磨/抛光操作中。例如，垫110可以是研磨盘，比如碳化硅研磨盘或金刚石研磨盘。在其他实施例中，垫110可以是抛光垫。台板108可操作地连接到致动器117(图2)。作为示例，台板的下侧可以包括开口，这些开口用于接纳致动器的驱动板的顶部上的驱动销，以将台板固定到致动器，但是许多其他机构也可以用于将台板固定到致动器。

在研磨/抛光操作期间，致动器117由控制器190控制以使台板108旋转、往复运动或以其他方式移动，从而加工样本116。在实施例中，致动器117是被配置成使台板108以选择的速度并且在任一方向上旋转的双向马达。在其他实施例中，致动器包括马达，该马达可操作用于使台板振荡或以其他方式移动，以便加工样本。在一些实施例中，致动器可以被进一步配置成将台板朝向或背离样本移动，以便调整施加在台板与样本之间的负载或力(例如，线型致动器被控制成将台板朝向和背离样本移动或驱动)。可以使用许多类型的致动器以有利于研磨/抛光操作。

动力头组件102固定到基座104，并将样本固持器112相对于台板108定位。在所描绘的实施例中，样本固持器112包括许多样本接纳槽114，这些样本接纳槽固持经受装置100进行的研磨/抛光操作的样本116(图中示出了一个)。样本固持器112可操作地连接到动力头组件102的致动器118(图2)。在所示出的实施例中，样本固持器112经由卡盘115可拆卸地固定到致动器118。在研磨/抛光操作期间，致动器118由控制器190控制以使样本固持器112(和样本116)相对于台板108(和垫110)旋转、往复运动或以其他方式移动，从而加工样本116。在所示出的实施例中，致动器118包括双向马达，该双向马达被配置成使样本固持器112以所选择的速度并且在任一方向上旋转，并且该致动器进一步包括线型致动器，该线型致动器被配置成将样本固持器112(与样本116一起)朝向或背离台板108施压，以便调整施加在样本与台板之间的负载或力。在其他实施例中，致动器被配置成在操作期间使样本固持器112相对于台板往复运动或移动。可以使用任何期望的致动器。

流体分配器120位于基座104上，并且被定位成分配水，并且在所描绘的实施例中，可以将其他类型的流体分配到台板108上。分配到台板108上的流体可以被收集在碗状部106中，并且根据需要排出。分配器包括阀，这些阀可以被操作用于控制分配流率。在实施例中，控制器190操作分配器以打开和关闭分配器并调整流率。在所示出的实施例中，手动控制旋钮121也定位在基座106上，并且可操作用于控制由分配器120输送的流率的体积。

可以分配的流体可以包括例如水、包括金刚石的悬浮液和其他悬浮液、抛光悬浮液、润滑剂和其他流体。在某些实施例中，一种或多种流体可以由一个或多个分配器供应。在分配多种流体(比如水和另一类型的流体)的实施例中，水和(多种)其他流体由相应供应管线(未示出)提供，这些供应管线比如是供水管线和流体供应管线。在实施例中，水和其他流体从位于装置上或位于远处的储器或罐箱供应。控制器还可以提供流体的自动控制，这可以由用户在控制面板处选择。在实施例中，控制器190操作分配器以打开和关闭分配器并调整流率。

虽然在所描绘的实施例中，分配器可以从一个喷嘴分配水，并且从所示出的第二喷嘴分配另一类型的流体，但是在其他实施例中，第二喷嘴可以是第二分配器的部件，其作为独立单元并且与基座104分离。在这样的实施例中，流体流可以由独立单元控制，例如，由旋钮或独立分配器单元的控制器手动控制。第二喷嘴可以定位在装置100旁，并且在实施例中，固定到基座104。

单元控制面板122尤其显示研磨/抛光装置数据和信息等，并接收来自用户的输入。在实施例中，单元控制面板可以包括各种按钮、旋钮、开关、滑块、显示器、触摸屏、触摸板、灯、标记等，以显示信息和接收来自用户的输入。单元控制面板可以进一步包括其他部件，比如外围设备、音频电路和扬声器、麦克风、通信装置(有线或无线)以及如将认识到的其他部件。在所描绘的实施例中，单元控制面板122具有触敏显示器124。

转向图2，控制电路系统或控制器190包括可操作用于处理来自致动器117、118、分配器120和单元控制面板122的数据的电路系统(例如，微控制器和存储器，比如非暂时性机器可读存储装置191)。例如，控制器190可以包括控制研磨/抛光装置的操作的(多个)处理器和/或其他逻辑电路系统。(多个)示例处理器可以包括一个或多个微处理器，比如一个或多个“通用”微处理器、一个或多个专用微处理器和/或ASICS、一个或多个微控制器、和/或任何其他类型的处理和/或逻辑装置。例如，控制器190可以包括一个或多个数字信号处理器(DSP)。控制器190可操作用于接收来自单元控制面板122的用户输入信号，并且作为响应，控制研磨/抛光装置的部件，比如致动器、分配器、其部件、以及装置的其他元件。

转到图3，在所示出的实施例中，单元控制面板122包括具有面向操作员的图形用户界面126的触摸屏显示器124。在实施例中，图形用户界面126提供各种屏幕，这些屏幕显示研磨/抛光装置的信息和控制，包括各种研磨/抛光参数。图形用户界面126可以具有许多不同的屏幕、菜单、显示格式等，它们可由用户选择以查看信息并提供输入。

图形用户界面126可以进一步包括主屏幕128，在实施例中，该主屏幕是例如在通电时由控制面板122显示的默认屏幕。主屏幕128向用户提供信息，并允许用户例如在不需要导航到其他画面、遍历菜单等的情况下可立即访问的用户输入。在实施例中，在将装置通电时默认显示主屏幕128。在其他实施例中，图3的示例主屏幕128的内容被提供在可通过界面126上的一个或多个导航动作访问的一个或多个屏幕上。

主屏幕128可以包括与各种研磨/抛光参数相关联的许多研磨/抛光参数输入，比如所描绘的研磨/抛光参数输入130至142。研磨/抛光参数输入使用户能够调整用于研磨/抛光操作的各种研磨/抛光参数。示例研磨/抛光参数包括装置循环接通/截断和循环时间、台板速度(例如，旋转或往复运动的台板每分钟的旋转回数或往复运动次数)、台板的旋转方向、样本固持器速度(例如，旋转或往复运动的样本固持器每分钟的旋转回数或往复运动次数)、样本固持器的旋转方向、(多个)流体分配器接通/截断(例如，水分配器和/或用于除水以外的流体的分配器是接通/截断)、(多个)流体分配器流率、施加的负载(例如，通过例如操作致动器将台板或样本固持器压到台板或样本固持器中的另一者中而施加在台板与样本之间的力)等等。

可以用参数输入130至142以各种方式调整研磨/抛光参数。例如，参数可以通过按下触摸屏上的输入而被切换选中/未选中。输入130至142可以例如在被切换选中/未选中时改变外观，比如通过改变颜色或亮度、改变标记、或指示输入已经被切换的任何其他改变来改变外观。在实施例中，可以通过以下方式来调整参数：在显示器124上选择与用户想要改变的特定研磨/抛光参数相关联的参数输入130至142，以及通过分别选择调整输入152或154来向上或向下调整与参数相关联的值，直到达到期望值。在图3所描绘的实施例中，调整输入152和154具有箭头形式的标记，以指示向上调整(例如，增大值)和向下调整(例如，减小值)。可以使用任何期望的标记来传达输入的功能。

在所示出的实施例中，参数输入130至142还显示与参数相关联的研磨/抛光参数信息160至172。在实施例中，参数信息160至172在参数例如被用户来回选中(例如，选中/未选中)或调整时被更新。取决于与输入相关联的特定研磨/抛光参数，参数信息160至172可以包括接通/截断、所选择的循环时间(例如，“10分钟”、“0:10”等)、所选择的旋转或往复运动速度(例如，“50转每分(rpm)”、“80rpm”等)、接通/截断、旋转方向(例如，由箭头指示)、施加的负载(例如，“8磅(lbs)”、“35.5牛(N)”等)，等等。

在图3的特定实施例中，研磨/抛光参数被分派给每个参数输入130至142。参数输入130是循环时间输入，并且是可调整的，以设定控制器190将控制研磨/抛光装置操作一个循环的时间量。循环时间输入130可以包括标记，比如如图3所描绘的时钟标志，或其他标记，比如文本、数字、字符、图形等，以向用户传达输入与循环时间相关联。循环时间输入130的参数信息160显示循环的当前时间设定(例如，10分钟、12分钟等)。为了调整循环时间，用户可以选择循环时间输入130，并且接着按下调整输入152或154来向上或向下调整时间。参数信息160将随着用户用调整输入152、154调整循环时间而改变。在一个示例中，按下调整输入152、154一次以10秒的增量调整时间。在其他示例中，时间可以以1秒、30秒、一分钟的增量或任何其他期望增量来调整。在某些实施例中，时间也可以手动键入，例如，用数字键盘输入或屏幕上的键盘手动键入。

参数输入132是台板转速输入，并且是可调整的，以设定控制器190在循环期间操作致动器117来使台板旋转的速度。台板转速输入132包括指示台板速度的图形标记，但是也可以使用任何其他标记。台板转速输入132的参数信息162显示循环的当前速度设定(例如，50rpms、80rpms、0转每分/关(rpms/off)等)。可以选择台板转速输入132，并且用调整输入152、154或者用比如数字键盘或键盘等另一输入来调整速度。

参数输入134是样本固持器转速输入，并且是可调整的，以设定控制器190在循环期间操作致动器118来使样本固持器旋转的速度。样本固持器转速输入134包括指示样本固持器速度的图形标记，但是也可以使用任何其他标记。样本固持器速度输入134的参数信息164可以包括循环的当前速度设定(例如，50rpms、80rpms、0rpms/off等)。还可以选择样本固持器转速输入134，并且用调整输入152、154或者用比如数字键盘或键盘等另一输入来调整速度。

参数输入136是旋转方向输入，并且是可调整的，以设定控制器190在循环期间操作致动器117和/或118来使台板和/或样本固持器旋转的旋转方向。旋转方向输入136可以通过来回选中输入来调整，例如，通过按下触摸屏上的旋转方向输入136来调整。在实施例中，可以通过选择输入并调整这些调整输入152、154来调整方向输入136。在参数信息166处显示台板和/或样本固持器的旋转方向。在实施例中，参数信息166包括指示方向的箭头，但是指示台板和/或样本固持器的旋转方向的任何标记可以是期望的。

在此实施例中，参数输入138是负载输入，并且是可调整的，以通过使控制器190在循环期间操作致动器117和/或118将台板或样本固持器按压到台板或样本固持器中的另一者中来设定台板与样本之间的力或负载。负载输入138可以包括标记，比如图3所示的力标记，或者其他期望的标记，以向用户传达输入与负载设定相关联。负载输入130的参数信息168显示施加的力或负载(例如，8lbs、35N等)。为了调整负载，用户可以选择负载输入138，并且接着按下调整输入152或154来向上或向下调整力或负载。参数信息168将随着用户用调整输入152、154调整负载而改变。在一个示例中，按下调整输入152、154一次以1lb的增量调整负载。在其他示例中，负载可以以0.5lbs、2lbs等的增量来调整。在某些实施例中，负载也可以手动键入，例如，用数字键盘输入或屏幕上的键盘手动键入。

在所描绘的实施例中，参数输入140、142是流体分配器输入，一个用于水，并且另一个用于另一类型的流体。每个参数输入都是可选择的，以使控制器190在循环期间操作分配器120来分配水和/或其他流体。流率、接通/截断状态、或与分配器相关联的其他信息可以显示在参数信息170、172处。流率和接通/截断是可调整的，例如，通过选择期望输入140、142并用调整输入152、154调整。

图形用户界面126进一步包括许多其他输入、菜单、设定等。例如，在所描绘的实施例中，主屏幕128包括输入143以访问各种菜单、设定和其他数据屏幕。主屏幕进一步包括开始循环输入144，该开始循环输入可以在所有期望的参数输入130至142已经根据期望被选择和/或调整以发起研磨/抛光循环之后被选择。当发起研磨/抛光循环时，控制器190操作致动器117、118和分配器120，以在合适时根据研磨/抛光参数对一个或多个样本116执行研磨/抛光循环。该循环也可以根据其他参数来运行，这些参数可以是默认设定的、预编程的、或者可能是用户不可调整的。在用循环时间输入130选择的持续时间内执行循环运行，或者直到用户例如用停止循环输入146手动停止循环为止执行循环运行。在实施例中，可以在图形用户界面中和/或图形用户界面之外使用其他输入来暗示或停止循环。例如，参考图1，除了或代替图形用户界面上的开始/停止输入，该装置可以包括开始循环的开始按钮148和停止循环的停止按钮150。

回到图3，所描绘的图形用户界面126的主屏幕128还包括许多快速调用输入180至188。快速调用输入180至188可以包括标记，例如标志、数字、字符、图形等等。用户可以操作用户界面，以使控制器将当前研磨/抛光参数保存到存储器，并将这些参数分派给快速调用输入180至188中的一个。通过选择与期望参数相关联的快速调用输入，可以直接从主屏幕快速调用所保存的参数。

更具体地，在实施例中，用户可以通过选择或来回选中各种参数输入130至142以及例如用调整输入152、154调整参数值来调整一个或多个研磨/抛光参数，比如与各种参数输入130至142相关联的参数，这种调整可以是特定研磨/抛光循环所期望的。接着，用户可以操作单元控制面板122以将所选择的参数保存到存储器，并将所选择的参数分派给特定的快速调用输入。在实施例中，控制器190将参数保存到存储器或存储装置191(图2)，并且当用户按下并保持快速调用输入一段时间(例如，一秒或另一预选时间)时，将参数分派给快速调用输入180至188。

图形用户界面126可以向用户指示参数已被保存到存储器并且被分派给快速调用输入，例如通过快速调用输入上的标记的改变、对话等。快速调用输入180至188中的每一个都可以以类似的方式编程，以将快速调用输入与期望的多个研磨/抛光参数相关联。

虽然图3中示出了五个快速调用输入，但是可以使用任何数量的快速调用输入。在实施例中，快速调用输入在图形用户界面的主屏幕上，以便是用户可快速且立即访问的，而不需要例如导航遍历用户界面的菜单系统。在实施例中，快速调用输入出现在主屏幕上，并且在装置开启时默认出现。在其他实施例中，快速调用输入可以附加地或替代地在其他屏幕上和其他菜单内，这可以是不同用户所期望的。

用户可以根据需要通过逐次操作各种快速调用输入来执行研磨/抛光程序，其中与每个快速调用输入相关联的循环代表程序中的步骤。例如，操作员可以首先编程快速调用输入180至188，并且接着逐次按下输入180至188以执行与每个输入相关联的循环。在一个实施例中，用户等待先前循环完成，并且接着按下下一快速调用输入以开始循环中的下一步骤，依此类推，直到结束。在实施例中，当用户选择每个步骤时，包括多个步骤的程序(每个步骤与单个快速调用输入相关联)可以由控制器自动执行。此外，任意数量的快速调用输入可以例如由制造商预编程，以使用户能够执行研磨/抛光循环。参数输入中的任一个也可以具有可用单元控制板选择的预编程值。许多控制和操作方法可以与参数输入和快速调用输入一起使用。

图4中表示了操作研磨/抛光装置的方法200，该方法包括执行机器可读指令以使控制器执行步骤202至208。步骤202包括基于由输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到机器可读存储装置，研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者。步骤204包括将多个用户选择的研磨/抛光参数与输入装置的多个快速调用输入中的一个相关联。步骤206包括响应于用户界面输入装置对快速调用输入中的一个输入的选择，基于存储在机器可读存储装置中的、与多个快速调用输入中的所选择的一个相关联的研磨/抛光参数来配置研磨/抛光参数。步骤208包括控制研磨机/抛光机的致动器以根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作，该致动器被配置成移动研磨机/抛光机的样本固持器和台板中的至少一者。

图5表示用于操作研磨机/抛光机的方法300，其中研磨机/抛光机包括：(i)样本固持器，该样本固持器被配置成固定样本，(i)台板，(ii)致动器，该致动器被配置成移动样本固持器和台板中的至少一者，(iii)输入装置，该输入装置包括多个快速调用输入并且被配置成接收代表研磨/抛光参数的研磨/抛光参数输入，其中，这些研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者，并且其中，快速调用输入可在与用户参数输入相同的界面上选择，(iv)机器可读存储装置，以及(v)控制器。

根据方法300，步骤302包括基于由输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到机器可读存储装置。步骤304包括将多个用户选择的研磨/抛光参数与快速调用输入中的一个相关联。步骤306包括选择快速调用输入中的一个。步骤308包括基于存储在机器可读存储装置中的、与多个快速调用输入中的所选择的一个相关联的研磨/抛光参数来配置研磨/抛光参数。步骤310包括控制致动器根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作。

在实施例中，重复步骤306和步骤308以对多个快速调用输入进行编程，并且针对每个快速调用输入重复步骤310以例如依序执行多个研磨/抛光操作，其中每个操作代表程序中的步骤。通过针对每个快速调用输入重复步骤310，可以执行整个程序。

可以用硬件、软件、或硬件和软件的组合来实现所描述的方法和系统。可以以集中方式在至少一个计算系统中实现这些方法和/或系统，或者以不同的要素遍布在若干互连计算系统上的分布式方式实现这些方法和/或系统。适合于执行本文所描述的方法的任何种类的计算系统或其他设备都是适合的。硬件与软件的典型组合可以包括具有程序或其他代码的通用计算系统，该程序或其他代码当被加载和执行时控制该计算系统以使得该计算系统执行本文所描述的方法。另一个典型实施方式可以包括专用集成电路或芯片。一些实施方式可以包括非暂时性机器可读(例如，计算机可读)介质(例如，闪存驱动器、光盘、磁存储盘等)，该非暂时性机器可读介质上存储有可由机器执行的一行或多行代码，从而使机器执行如本文所描述的过程。

前文描述和附图说明了原理、优选实施例和操作模式。然而，本公开内容不应被解释为受限于上文讨论的特定实施例。本领域的技术人员将了解上文讨论的实施例的额外变化。

尽管已经参考某些实施方式描述了本方法和/或系统，但是本领域技术人员将理解，在不脱离本方法和/或系统的范围的情况下，可以进行各种改变并且可以用等效物替换。此外，在不脱离本公开内容范围的情况下，可以做出许多修改以使特定情况或材料适应于本公开内容的教导。例如，所公开的示例的框和/或部件可以被组合、分割、重新布置和/或以其他方式被修改。因此，本方法和/或系统不限于所公开的特定实施方式。替代地，本方法和/或系统将包括无论是从字面上还是依据等同原则都落入所附权利要求的范围内的所有实施方式。虽然控制器和方法被描述为与研磨/抛光装置结合使用，但是这些教导内容可以类似地应用于期望确定控制研磨和/或抛光操作的其他装置。

本文所引用的所有文件(包括期刊论文或摘要、发布或对应的美国或国外专利申请、发行或国外专利、或任何其他文件)各自通过援引完全并入本文，包括所引用的文件中呈现的所有数据、表格、附图和文本。

Claims (20)

1.一种研磨机/抛光机，包括：

样本固持器，所述样本固持器被配置成固定样本；

台板；

致动器，所述致动器被配置成移动所述样本固持器和所述台板中的至少一者；

输入装置，所述输入装置包括多个快速调用输入并且被配置成接收代表研磨/抛光参数的研磨/抛光参数输入，所述研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者，其中，所述快速调用输入可在与用户参数输入相同的界面上选择；

机器可读存储装置；以及

控制器，所述控制器被配置成：

基于由所述输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到所述机器可读存储装置；

将所述多个用户选择的研磨/抛光参数与所述多个快速调用输入中的一个输入相关联；

响应于所述快速调用输入中的一个的选择，基于存储在所述机器可读存储装置中的、与所述快速调用输入中的所选择的一个相关联的所述研磨/抛光参数来配置所述研磨/抛光参数；并且

控制所述致动器根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作。

2.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，进一步包括水分配器，所述水分配器被配置成向所述样本提供冷却水，所述研磨机/抛光机参数进一步包括水接通/截断，所述控制器被进一步配置成根据所选择的循环时间和水接通/截断来控制所述水分配器。

3.如权利要求2所述的研磨机/抛光机，其中，所述致动器包括马达和驱动器致动器，所述控制器被进一步配置成(i)控制所述马达根据所选择的研磨/抛光参数来使所述样本固持器和所述台板中的至少一者旋转，并且(ii)控制所述驱动致动器根据所选择的施加的负载来将所述样本和所述台板中的一者压到所述样本和所述台板中的另一者中。

4.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，进一步包括流体分配器，所述流体分配器被配置成向所述样本提供流体，所述研磨机/抛光机参数进一步包括流体接通/截断和流体分配速率，所述控制器被进一步配置成根据所选择的循环时间、流体接通/截断和流体流分配速率来控制所述流体分配器。

5.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述输入装置包括触摸屏显示器，所述触摸屏显示器被配置成显示所述快速调用输入和所述多个研磨机/抛光机参数。

6.如权利要求5所述的研磨机/抛光机，其中，所述触摸屏包括主屏幕，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个被显示在所述主屏幕上并且可从所述主屏幕选择。

7.如权利要求5所述的研磨机/抛光机，其中，所述控制器被配置成在用户选择并保持所述多个快速调用输入中的一个时，将所述多个用户选择的研磨机/抛光机参数保存到所述机器可读存储装置。

8.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个是无需访问所述输入装置的菜单就可访问的。

9.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个是用户可立即访问的。

10.如权利要求1所述的研磨机/抛光机，其中，所述研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度和样本速度中的至少一者、台板方向和样本方向中的至少一者、以及施加的负载。

11.一种非暂时性机器可读存储装置，包括机器可读指令，所述机器可读指令在被执行时使控制器：

基于由输入装置接收的研磨/抛光参数输入，将多个用户选择的研磨/抛光参数保存到所述机器可读存储装置，所述研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度、样本速度、台板方向、样本方向和施加的负载中的至少两者；

将所述多个用户选择的研磨/抛光参数与输入装置的多个快速调用输入中的一个相关联；

响应于所述用户界面输入装置的快速调用输入中的一个的选择，基于存储在所述机器可读存储装置中的、与所述多个快速调用输入中的所选择的一个输入相关联的所述研磨/抛光参数来配置所述研磨/抛光参数；并且

控制研磨机/抛光机的致动器，以根据经配置的研磨/抛光参数来执行研磨/抛光操作，所述致动器被配置成移动所述研磨机/抛光机的样本固持器和台板中的至少一者。

12.如权利要求11所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述研磨机/抛光机参数进一步包括水接通/截断中的至少一者，并且所述指令在被执行时，使所述控制器根据所选择的循环时间和水接通/截断来控制所述水分配器。

13.如权利要求12所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述致动器包括马达和驱动器致动器，并且所述指令在被执行时，使所述控制器(i)控制所述马达根据所选择的研磨/抛光参数来使所述样本固持器和所述台板中的至少一者旋转，并且(ii)控制所述驱动致动器根据所选择的施加的负载来将所述样本和所述台板中的一者压到所述样本和所述台板中的另一者中。

14.如权利要求11所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述研磨机/抛光机进一步包括流体分配器，所述流体分配器被配置成向所述样本提供流体，并且所述研磨机/抛光机参数进一步包括流体接通/截断和流体分配速率，并且所述指令在被执行时，使所述控制器根据所选择的循环时间、流体接通/截断和流体流分配速率来控制所述流体分配器。

15.如权利要求11所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述输入装置包括触摸屏显示器，并且所述指令在被执行时，使所述控制器在所述触摸屏上显示所述快速调用输入和所述多个研磨机/抛光机参数。

16.如权利要求15所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述指令在被执行时，使所述控制器在所述触摸屏显示器上显示主屏幕，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个被显示在所述主屏幕上并且可从所述主屏幕选择。

17.如权利要求15所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述指令在被执行时，使所述控制器在用户选择并保持所述多个快速调用输入中的一个时，将所述多个用户选择的研磨机/抛光机参数保存到所述机器可读存储装置。

18.如权利要求11所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个是无需访问所述用户界面输入装置的菜单就可访问的。

19.如权利要求13所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述多个快速调用输入中的至少一个是用户可立即访问的。

20.如权利要求13所述的非暂时性机器可读存储装置，其中，所述研磨/抛光参数包括循环时间、台板速度和样本速度中的至少一者、台板方向和样本方向中的至少一者、以及施加的负载。

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