CN115369388A - 化学处理槽设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种化学处理槽设备，包括：玻璃槽体及围栅型框架；玻璃槽体由数个玻璃板所固定成开口朝上的槽体；围栅型框架包括底框架、竖立于底框架上的数个立柱、结合于数个立柱顶部的一围框，每个立柱设有至少一横向的保持件，玻璃槽体设置于底框架上且位于围框内，周围环绕着数个立柱，每个立柱以保持件与玻璃板接触，以此维持着所述玻璃槽体的型体。上述方案，利用玻璃槽体的特性，减少沉积情形，且能尽早发现立即清洗，延长使用寿命，且更便于更换。

Description

化学处理槽设备

技术领域

本发明涉及化学沉积槽技术领域，特别涉及一种化学处理槽设备，尤其指一种用于电路板进行化学沉积制程所使用的槽体。

背景技术

化学沉积制程，是将被沉积物置于槽体中，槽内含有欲沉积金属离子的化学药液，并通过适当的触媒(如钯)引发欲沉积金属离子的连续还原沉积或置换沉积，可在被沉积物表面形成金属沉积层，以利后续的作业。化学沉积制程广泛用于金属化工业中，用于在各种类型的基板上沉积铜、锡、银、镍、金等金属。惟，进行化学沉积作业，金属离子除了会沉积于被沉积物表面外，也会沉积于槽体的内壁，一旦沉积现象开始发生，若不及时处理(排放药水后用强酸类的化学液清洗槽体)，沉积情形就会呈倍数成长，导致后续清洗槽体的难度增加、耗时更长。

再者，目前槽体大部份是由塑料或金属槽所构成，容易发生沉积现象且清洗困难；当槽体可使用寿命到期时，通常是更换整组槽体、或是更换整条生产线，耗费大量人力与时间及金钱，为此本发明人即思考改良的结构。

发明内容

为解决上述问题，本发明的主要目的是提供一种化学处理槽设备，是由玻璃槽体及围栅型框架所构成，由围栅型框架围绕于玻璃槽体外围，支撑及维持玻璃槽体在沉积制程运作中的强度，利用玻璃槽体的特性，减少沉积情形，且能尽早发现立即清洗，延长使用寿命，且更便于更换，符合经济效益。

为实现前述目的，本发明采用了如下技术方案：

本发明为一种化学处理槽体设备，包括：玻璃槽体及围栅型框架；玻璃槽体由数个玻璃板所固定成开口朝上的槽体，包括两个长槽壁及两个短槽壁；围栅型框架包括底框架、竖立于底框架上的数个立柱及结合于数个立柱顶部的一围框，每个立柱设有至少一横向的保持件，玻璃槽体是设置于底框架上且位于围框内，周围环绕着数个立柱，每个立柱以保持件与玻璃板接触，维持整体的刚性。

作为较佳优选实施方案之一，玻璃槽体为长方型体，周围四边外围皆设有至少一个立柱，围框为长方型框且内框尺寸大于玻璃槽体。

作为较佳优选实施方案之一，还包括一传动链条组，传动链条组安装于玻璃槽体外侧，包括马达、传动组件及两组链条组，两组链条组分别设置于所述长槽壁外侧，链条组设有多个承接件，马达经由传动组件带动两个链条组同步传动。

作为较佳优选实施方案之一，围栅型框体还包括链条承轨及传动承架，链条承轨呈长条状设置于围框上且位于长槽壁外侧，传动承架设置于底框架上且位于短槽壁的外侧，传动组件是固定于传动承架上，每个环形链条组的上层区段是由链条承轨所承接。

作为较佳优选实施方案之一，链条承轨呈长条状且纵向断面呈U型，以承接链条组的上层区段。

作为较佳优选实施方案之一，传动组还包括两组链轮组及传动链条，每组链轮组具有一个轴且两端各连接着链轮，两组链轮组分别安装于短槽壁外侧且啮合支撑着两组链条组，传动链条啮合于其中一个链轮组的小链轮及马达，轴设有多个轴承组，位于短槽壁外侧的多个轴承组分别锁固在不同的传动承架。

作为较佳优选实施方案之一，玻璃槽体的长槽壁内侧还设有喷流组件，喷流组件包括供液管及数个喷流模块，供液管是由数个挂钩安装于长槽壁，多个喷流模块呈直立状固定且连通于供液管。

作为较佳优选实施方案之一，还包括一反应液供给循环过滤装置，反应液供给循环过滤装置是安装于一装置承架上，装置承架固定于底框架的一侧，反应液供给循环过滤装置经管路连于供液管，供给运作时所需的反应液。

与现有技术相比，本发明具有下列具体的功效：

本发明利用玻璃槽体可以透视观察到槽内状况，及时发现药水沉积状况并作相对应处理，延长槽体的使用寿命。

本发明玻璃槽体相较于传统塑料或金属槽体，沉积情况大幅减少。

本发明玻璃槽体相较于传统塑料或金属槽体，更容易清洗，清洗时间大幅减少。

本发明化学处理槽体设备是由玻璃槽体及围栅型框架所构成，当玻璃槽体使用寿命终了，利用易拆卸的特点，可以直接在现场直接更换槽体，节省人力与时间及费用。

本发明化学处理槽设备还安装传动连条组、喷流组件及反应液供给循环过滤装置等设备，以利整体顺利运作，另外结构中所有构件都可以拆卸，便于日后更换零件。

附图说明

图1为本发明化学处理槽设备的立体图；

图2为本发明化学处理槽设备的侧视图；

图3为本发明化学处理槽设备玻璃槽体与围栅型支架的分解图；

图4为本发明化学处理槽设备的分离图；

图5为本发明化学处理槽的局部放大图。

附图标记说明：

1-玻璃槽体；11-长槽壁；12-短槽壁；2-围栅型框架；21-底框架；22-立柱；23-围框；24-保持件；25-链条承轨；26-传动承架；27-装置承架；3-传动链条组；31-马达；32-传动组件；321-链轮组；3211-轴；3212-链轮3213-小链轮；3214-轴承；322-传动链条；33-链条组331-承接件；4-喷流组件；41-喷流模块；42-供液管；5-反应液供给循环过滤装置。

具体实施方式

下面将结合具体实施例和附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。需要说明的是，当组件被称为「安装于或固定于」另一个组件，意指它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是「连接」另一个组件，意指它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。在所示出的实施例中，方向表示上、下、左、右、前和后等是相对的，用于解释本案中不同部件的结构和运动是相对的。当部件处于图中所示的位置时，这些表示是恰当的。但是，如果组件位置的说明发生变化，那么认为这些表示也将相应地发生变化。

除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本发明技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体实施例的目的，不是旨在限制本发明。本文所使用的术语「和/或」包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本发明针对现有技术中槽体容易发生沉积现象且清洗困难的问题，提供一种化学处理槽设备。

如图1及图2所示，为本发明化学处理槽设备的立体图及侧视图。本发明化学处理槽设备包括玻璃槽体1及围栅型框架2，玻璃槽体1是由多个玻璃板所固定成开口朝上的槽体。围栅型框体2包括一底框架21、竖立于底框架21上的数个立柱22、结合于数个立柱22顶部的一围框23，每个立柱22设有至少一横向的保持件24，玻璃槽体1是设置于底框架21上且位于围框23内，周围环绕着数个立柱22，每个立柱22以保持件24与玻璃板接触，以此在化学沉积制程作业中维持玻璃槽体1结构的刚性。

另外化学处理槽设备还包括传动连条组3、喷流组件4及反应液供给循环过滤装置5，以此传动链条组3能采逐片移动方式带动一电路板于玻璃槽体1内移动，喷流模块4与反应液供给循环过滤装置5则供给反应液于玻璃槽体1内，以利进行相关化学沉积作业。

接着就各构件的结构作一详细的说明：

请一并参阅图3所示，玻璃槽体1是由数个玻璃板所固定成开口朝上的槽体，在本实施例中玻璃槽体1形状呈长方型体，周围由两个长槽壁11及两个短槽壁12合围而成。本发明使用透明玻璃槽体1的目的是利用其透明的特性，便于在化学药水沉积在角落和流态较差的位置时，及早发现处理，例如立即排放药水，之后用强酸类的化学液清洗槽体，以延长使用寿命。另外玻璃槽体1较于传统塑料或金属槽体，沉积情况也能大幅减少，且清洗上较为容易，减少清洗所需时间。

为了增加玻璃槽1容纳反应液及维持沉积运作中的结构强度，本发明是将由围栅型框架2承载及固定着玻璃槽体1，此方式除了能维持强度，且在日后玻璃槽体1因使用寿命到期欲更换时，更为容易及快速，能节省设备的替换成本。围栅型框架2包括一底框架21、竖立于底框架21上的数个立柱22、结合数个立柱22顶部的围框23。立柱22是以螺丝锁固于底框架21，以利于日后拆卸维修或更换。立柱22顶部一侧也设有方型法兰，围框23相对的多个位置也有多个方型法兰，固定方式也是以螺丝锁固，便于日后拆缷维修或更换。在本实施例中，围框23形状也为长方型，且围框23的内框尺寸大于玻璃槽体1。每个立柱22还设有至少一横向的保持件24，在本实施例中每个立柱22上设有两个保持件24，保持件24前端为圆盘式橡胶体。围环设的数个立柱22以保持件24与两个长槽壁11及两个短槽壁12接触，以此维持着玻璃槽体1的强度，在本实施中保持件24仅顶制于槽壁，并未涂胶黏贴固定，此为了具有轻微的避震缓冲效果。

如上所述本发明化学处理槽设备还包括传动连条组3等构件，为此结构上也需相对的承载或补强结构。请一并参阅图3、图4及图5，围栅型框架2还包括链条承轨25及数传动承架26。链条承轨25呈长条状且纵向断面呈U型，是设置于围框23上，组装后链条承轨25且位于长槽壁11外侧。传动承架26则设置底框架21上且组装后是位于短槽壁12的外侧，传动承架26顶部也是锁固于围框24处。

请一并参阅图1及图4，传动链条组3在组装后位于玻璃槽体1外围，负责带动一载具(图中未画出)于玻璃槽体1内移动，载具负责承载电路板。移动方式是由玻璃槽体1最左边的初始位置移动至最右边的最终位置。传动链条组3包括马达31、传动组件32及两组链条组33。两组链条组33分别设置于长槽壁11外侧，链条组33上另设有多个承接件331。承接件331具有朝上凹槽，用以承接载具(此部份与先前技术相同，故不此重复描述)。传动组件32可为各种传动结构，本发明仅提供其中一种方式说明，并不因此限制仅能使用此结构。传动组32包括两组链轮组321、传动链条322。每组链轮组321具有一个轴3211且两端各连接着链轮3212。两组链轮组321分别安装于短槽壁12外侧且啮合支撑着两组链条组33。传动链条322啮合于其中一个链轮组321的小链轮3213及马达31。

如图5所示，在上述结构中，传动组件32是固定于传动承架26上，实际上的固定方式是轴3211设有多个轴承组3214，位于短槽壁12两侧的多个轴承组3214分别锁固在不同的传动承架26上，以维持链条组33的紧度，另外其中一个传动支架26还锁固着马达31，由马达31负责输出动力。链条承轨25是承接着每个环形链条组33的上层区段，如此支撑及确保传动链条组3运作正常。

另外在玻璃槽体1于两长槽壁11处设有喷流组件4，喷流组件4包括数个喷流模块41及供液管42，多个喷流模块41呈直立状位长槽壁11内侧，由供液管42与多个喷流模块41连接。另外供液管42是由数个挂钩43安装于长槽壁11顶缘，让多个喷流模块41呈直立状位于玻璃槽体1内，喷流模块41设有多个喷头，能以预定角度及方向喷流反应液，且让反应液于玻璃槽体1产生相对方向的流动。

如图1及图4所示，反应液供给循环过滤装置5负责供给化学沉积作业中的反应液且能循环运作。反应液供给循环过滤装置5是安装于一装置承架27上，承架27是可拆卸式固定于底框架21上，所在位置是长槽壁11的另一边外侧，上述供液管42也能经其他管件与反应液供给循环过滤装置5所连接，由反应液供给循环过滤装置5提供运作所需反应液。

综合以上述，化学处理槽设备主要包括玻璃槽体1及围栅型框架2，并能安装传动连条组3、喷流模块41及反应液供给循环过滤装置5等设备，以利整体顺利运作，在本发明的结构中所有构件都可以拆卸，便于日后更换零件，而且玻璃槽体1也能进行拆卸，当使用寿命到期，日后可以直接在现场直接更换槽体，节省人力与时间，降低设备维护成本符合专利的申请要件。

以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施例的范围。即凡依本发明申请专利范围所作的均等变化及修饰，皆为本发明的专利范围所涵盖。

Claims (9)

1.一种化学处理槽设备，其特征在于，包括：

一玻璃槽体，由数个玻璃板所固定成开口朝上的槽体，包括两个长槽壁及两个短槽壁；

一围栅型框体，包括一底框架、竖立于所述底框架上的数个立柱及结合于数个立柱顶部的一围框，每个所述立柱设有至少一横向的保持件，所述玻璃槽体设置于所述底框架上且位于所述围框内，周围环绕着数个所述立柱，每个所述立柱以所述保持件与所述玻璃板接触，维持着所述玻璃槽体的型体。

2.根据权利要求1所述的化学处理槽设备，其特征在于，其中所述玻璃槽体为长方型体，周围四边外围皆设有至少一个所述立柱，所述围框呈长方型框，且所述围框的内框尺寸大于所述玻璃槽体。

3.根据权利要求1所述的化学处理槽设备，其特征在于，还包括一传动链条组，所述传动链条组安装于所述玻璃槽体外围，包括马达、传动组件及两组链条组，两组所述链条组分别设置于所述长槽壁外侧，所述链条组设有多个承接件，所述马达经由所述传动组件带动两个所述链条组同步传动。

4.根据权利要求3所述的化学处理槽设备，其特征在于，所述围栅型框体还包括链条承轨及数个传动承架，所述链条承轨设置于所述围框上且位于所述长槽壁外侧，所述传动承架设置于所述底框架上且位于所述短槽壁的外侧，所述传动组件是固定于所述传动承架上，每个环形所述链条组的上层区段是由所述链条承轨所承接。

5.根据权利要求4所述的化学处理槽设备，其特征在于，所述链条承轨呈长条状且纵向断面呈U型，以承接着所述链条组的上层区段。

6.根据权利要求3所述的化学处理槽设备，其特征在于，所述传动组还包括两组链轮组及传动链条，每组所述链轮组具有一个轴且两端各连接着链轮，两组所述链轮组分别安装于所述短槽壁外侧且啮合支撑着两组所述链条组，所述传动链条啮合于其中一个所述链轮组的小链轮及所述马达，所述轴设有多个轴承组，位于所述短槽壁外侧的多个所述轴承组分别锁固在不同的所述传动承架。

7.根据权利要求1所述的化学处理槽设备，其特征在于，所述玻璃槽体内的所述长槽壁内侧还设有喷流组件，所述喷流组件包括供液管及数个喷流模块，所述供液管是由数个挂钩安装于所述长槽壁，多个所述喷流模块呈直立状固定且连通于所述供液管。

8.根据权利要求1所述的化学处理槽设备，其特征在于，还包括一反应液供给循环过滤装置，所述反应液供给循环过滤装置是安装于一装置承架上，所述装置承架固定于所述底框架的一侧，所述反应液供给循环过滤装置经管路连于所述供液管，供给运作时所需的反应液。

9.根据权利要求1所述的化学处理槽设备，其特征在于，所述保持件仅顶制于槽壁的所述玻璃板，并未涂胶黏贴固定。

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