CN115368494B - 一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用 - Google Patents

一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用 Download PDF

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Abstract

本申请涉及化学增幅型光刻胶技术领域，具体公开了一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用。一种含六氟异丙醇单体共聚物，主要由A单体、B单体聚合制得；所述A单体内含有碱溶解性基团；所述B单体的结构式为：本申请的含六氟异丙醇单体共聚物可用于正型化学增幅型光刻胶制备，其具有图像形貌好、不产生T‑top等形貌缺陷的优点。

Description

一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光 刻胶、应用
技术领域
本申请涉及光刻胶技术领域，更具体地说，它涉及一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用。
背景技术
光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体。光刻胶是光刻工艺的核心材料，在光刻工艺中，光刻胶被涂抹在衬底上，光照或辐射通过掩膜板照射到衬底后，光刻胶在显影溶液中的溶解度便发生变化，经溶液溶解可溶部分后，光刻胶层形成与掩膜版上相对应的图形，再通过刻蚀在衬底上完成图形转移。并且根据下游应用的不同，衬底可以为印刷电路板、圆晶片、面板和集成电路板。
根据光刻胶的反应机理，一共可分为两类，一类是负性光刻胶，曝光后不可溶解，显影时未曝光区域被溶解，进而形成图形。另一类是正性光刻胶，曝光后可溶解，显影时曝光的区域被溶解形成图形。
对于正性光刻胶，可以利用化学增幅机理的链式反应来提高光化学反应效率，增强光刻胶感度。化学增幅型光刻胶主要由成膜树脂、溶解抑制剂、碱性淬灭剂、光产酸剂和溶剂等组成，曝光后光产酸剂分解产酸，催化光刻胶中的酸不稳定基团发生化学反应，催化反应完成后酸又被释放出来，继续催化链式反应。化学增幅型光刻胶具有高感度、高对比度和高分辨率的优点，得到广泛应用。
虽然化学增幅型光刻胶的优点非常突出，但是化学增幅型光刻胶容易受到环境中碱性物质的污染，导致多种图形缺陷，如T-top相貌，形成光刻图形的化学稳定性和表面张力等综合性能较差。
发明内容
为了改善化学增幅型光刻胶化学稳定性和表面张力差的问题，本申请提供一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用。
第一方面，本申请提供一种含六氟异丙醇单体共聚物，采用如下的技术方案：一种含六氟异丙醇单体共聚物，主要由A单体、B单体聚合制得；
所述A单体内含有碱溶解性基团；
所述B单体的结构式为：
通过采用上述技术方案，将含有碱溶解性基团的A单体与含氟取代苯乙烯单体进行聚合反应制得含氟共聚物，然后与成膜树脂、其他助剂一起制成化学增幅型光刻胶，在使用时，含氟共聚物分子结构上的氟原子取代氢原子后，碳链上的键能得到大幅度提升，对分子结构有着较强的保护作用，大幅度降低了光刻胶体系的表面能和粘聚性，改善其表面张力，含氟共聚物可以迁移至树脂表面，减少环境中碱性物质对曝光区胶膜的影响，同时碱溶性基团保证曝光区胶膜在显影液中的溶解性质，减少不溶性表皮层的产生，很好的提升了光刻胶的综合性能。
优选的，A单体中的碱溶解性基团为酚羟基，羧基，酸酐或者酰胺。
优选的，所述A单体的结构式为 中的一种；所述R1为羟基、羧基中的一种；所述R2为H、甲基、乙基中的一种；R3为甲基、乙基中的一种。
通过采用上述技术方案，优化和调整A单体的种类，调整分子结构组成和取代基团种类，使得聚合形成的含氟聚合物的分子状态更加稳定适配，不易受到外界环境的干扰，提升光刻胶的感度、分辨率等性能。
优选的，所述A单体为对羟基苯乙烯、乙烯基苯甲酸、丙烯酸、马来酸酐、马来酰亚胺中的一种。
通过采用上述技术方案，进一步筛选和优化A单体的分子结构组成，在保证较好碱溶解性的基础上增大含氟共聚物分子链的柔性，改善共聚物体系的化学稳定性和热稳定性，优化体系的自流动性和表面张力状态，减少光刻图形的形貌缺陷。
优选的，还包括有C单体，所述C单体为苯乙烯、丙烯酸酯、丙烯酸酯衍生物中的一种。
通过采用上述技术方案，采用A单体、B单体、C单体共同聚合制得含氟聚合物，C单体的引入可以进一步改善共聚物分子结构的排列状态，屏蔽活性基团的电子效应，在分子空间上使得光刻胶的活性基团得到更好的保护，同时也改善了光刻胶的润湿性能。
第二方面，本申请提供一种含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，采用如下的技术方案：
一种含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：将各类单体、引发剂、溶剂在容器内混合均匀，然后在惰性气体保护作用下加热至60-90℃反应8-20h制得中间液；
S2：将中间液滴加至去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤、烘干后即得。
通过采用上述技术方案，在合适的反应温度和反应时间条件下进行聚合反应，同时采用惰性气体保护，使得各类单体有序、稳定的聚合，制得分子结构均一的含氟共聚物树脂。
第三方面，本申请提供一种化学增幅型光刻胶，采用如下的技术方案：
一种化学增幅型光刻胶，主要由如下重量份数的原料制成：成膜树脂80-120份、含六氟异丙醇单体共聚物5-15份、光致产酸剂2-3.5份、碱性添加剂0.2-0.4份、溶剂300-2000份。
进一步优选的，成膜树脂为化学增幅型光刻胶成膜树脂。进一步优选的，化学增幅型光刻胶成膜树脂可以是带有保护基的酚醛树脂，对羟基苯乙烯树脂或者(甲基)丙烯酸树脂中的一种。
通过采用上述技术方案，将成膜树脂与含氟共聚物混合后制成光刻胶，在使用时含氟共聚物可以迁移至树脂表面形成一层薄膜，起到保护层的作用，显影时，含氟共聚物上的碱溶性基团促使该层保护膜溶解于显影液中，有效减少T-top形貌的产生，提升光刻胶的分辨率和图形状态。
优选的，所述光致产酸剂为二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐、二苯基碘鎓樟脑磺酸盐、二苯基碘鎓全氟-1-丁磺酸盐、二苯基碘鎓全氟辛烷磺酸盐、4-甲氧苯基碘鎓三氟代甲烷磺酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓四氟硼酸盐、双(4-叔丁基苯)碘鎓六氟磷酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁烷磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓樟脑磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟辛烷磺酸盐、三苯基锍鎓六氟磷酸盐、三苯基锍鎓三氟甲磺酸盐、三苯基锍鎓樟脑磺酸盐、三苯基锍鎓全氟-1-丁基磺酸盐、三苯基锍鎓全氟辛烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍鎓三氟甲磺酸盐、对甲苯基二苯基锍全氟辛烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍全氟-1-丁烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍樟脑磺酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍三氟代甲烷磺酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍三氟代甲烷磺酸盐、4-苯基苯硫基二苯基锍六氟代磷酸盐、1-(2-萘酰甲基)硫醇鎓三氟代甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基二甲基锍三氟代甲烷磺酸盐、2-甲基-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2，4，6-三(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-苯基-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-氯代苯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧苯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧-1-萘基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(苯并[d][1，3]二氧戊环-5-基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3，4，5-三甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3，4-二甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(2，4-二甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(2-甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丁氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-戊氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、二苯基二砜、二对甲苯基二砜、双(苯基磺酰基)重氮甲烷、双(4-氯代苯基磺酰基)重氮甲烷、双(对-甲苯基磺酰基)重氮甲烷、双(4-叔-丁基苯基磺酰基)重氮甲烷、双(2，4-二甲苯基磺酰基)重氮甲烷、双(环己基磺酰基)重氮甲烷、(苯甲酰)(苯基磺酰基)重氮甲烷、对-甲苯磺酸-1-苯甲酰-1-苯基甲酯、对-甲苯磺酸2-苯甲酰-2-羟基-2-苯基乙酯、三甲烷磺酸1，2，3-苯三基酯、对-甲苯磺酸2，6-二硝基苯甲酯、对-甲苯磺酸2-硝基苯甲酯、对-甲苯磺酸4-硝基苯甲酯、N-(苯基磺酰基氧)丁二酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)丁二酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)丁二酰亚胺、N-(全氟辛烷磺酸)丁二酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)邻苯二甲酰亚胺、N-(全氟辛烷磺酸)邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟辛烷磺酸)-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)萘甲叉酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)萘甲叉酰亚胺，N-(全氟辛烷磺酸)萘甲叉酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰基氧)萘甲叉酰亚胺中的一种或多种。
优选的，所述碱性添加剂为四正丁基氢氧化铵、四丁基乙酸铵、三正辛胺、2，6-二异丙基苯胺、三乙醇胺中的一种或多种。
优选的，所述溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、醋酸乙酯、2-庚酮、乙二醇单甲醚乙酸酯、环己酮、甲基戊酮醇、3-乙氧基丙酸中的一种或多种。
通过采用上述技术方案，进一步调整和优化光刻胶相关添加剂的种类，提升光刻胶的综合性能。
第四方面，本申请提供一种化学增幅型光刻胶的应用，采用如下的技术方案：
一种化学增幅型光刻胶的应用，将上述化学增幅型光刻胶经过涂膜、前烘、曝光、后烘、显影得到光刻图形。
综上所述，本申请具有以下有益效果：
1、由于本申请采用A、B、C等多种单体聚合制得含六氟异丙醇单体共聚物，将其应用于化学增幅型光刻胶，可以迁移至树脂表面，改善光刻胶体系的自流动性和表面张力，大大减少了T-top形貌等图形缺陷的产生，光刻图形更加稳定。
2、本申请中筛选和优化A单体和C单体的分子结构，进一步提升含六氟异丙醇单体共聚物的综合性能，以获得更佳的光刻图形。
附图说明
图1为本申请对比例1中光刻胶的SEM图。
图2为本申请对比例2中光刻胶的SEM图。
图3为本申请实施例3中光刻胶的SEM图。
图4为本申请实施例4中光刻胶的SEM图。
图5为本申请实施例5中光刻胶的SEM图。
图6为本申请实施例6中光刻胶的SEM图。
图7为本申请实施例7中光刻胶的SEM图。
图8为本申请实施例8中光刻胶的SEM图。
具体实施方式
以下结合实施例对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例及对比例的原料除特殊说明以外均为普通市售。
制备例
本申请的成膜树脂，由如下的步骤合成制得：
1)、在装有搅拌器、冷凝管和温度计的500ml四口烧瓶中，加入48.66g对乙酰氧基苯乙烯，10.42g苯乙烯，12.82g丙烯酸叔丁酯，4.93偶氮二异丁腈(AIBN)和155g甲醇混合均匀，然后在N2保护作用下，加热至70℃并反应20个小时制得前驱反应体系；
2)、将前驱反应体系的温度升到80℃，缓慢加入体系质量占比7％的甲醇钠和甲醇，继续反应，并且每隔一个小时，补加一次甲醇，6个小时后制得反应液；
3)、将反应液滴加到用去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干即得。
实施例
实施例1
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物，由A单体、B单体聚合制得，其中，A单体为马来酰亚胺，B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：在装有搅拌器、冷凝管和温度计的250ml四口烧瓶中，加入16.17g马来酰亚胺，45g1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇，1.64g偶氮二异丁腈和90g甲醇混合均匀，然后在氮气保护作用下，加热至90℃并反应8个小时制得中间液；
S2：将中间液缓慢滴加到用去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。
本实施例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂80g、含六氟异丙醇单体共聚物16g、光致产酸剂2g、碱性添加剂0.2g、溶剂300g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。光致产酸剂为二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐。碱性添加剂为三辛胺。溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用，包括如下步骤：将上述化学增幅型光刻胶采用旋涂的方式均匀涂抹在晶片表面，然后在130℃温度下烘干90s，然后升温至110℃继续烘烤90s，接着使用四甲基氢氧化铵显影液显影60s，清洗后得到光刻图形。
实施例2
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物，由A单体、B单体聚合制得，其中，A单体为甲基丙烯酸，B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：在装有搅拌器、冷凝管和温度计的250ml四口烧瓶中，加入14.34g甲基丙烯酸，45g1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇，1.64g偶氮二异丁腈和90g甲醇混合均匀，然后在氮气保护作用下，加热至60℃并反应15个小时制得中间液；
S2：将中间液缓慢滴加到用去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。
本实施例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂120g、含六氟异丙醇单体共聚物5g、光致产酸剂2g、碱性添加剂0.4g、溶剂2000g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。光致产酸剂为苯基锍鎓三氟甲磺酸盐。碱性添加剂为四正丁基氢氧化铵。溶剂为醋酸乙酯。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例1相同。
实施例3
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物，由A单体、B单体聚合制得，其中，A单体为2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯，B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：在装有搅拌器、冷凝管和温度计的250ml四口烧瓶中，加入29.7g 2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯，45g 1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇，1.64g偶氮二异丁腈和90g甲醇混合均匀，然后在氮气保护作用下，加热至70℃并反应20个小时制得中间液；
S2：将中间液缓慢滴加到用去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。
本实施例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂100g、含六氟异丙醇单体共聚物5g、光致产酸剂3.5g、碱性添加剂0.2g、溶剂689g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。光致产酸剂为N-羟基萘二甲酰胺三氟甲基磺酸酯。碱性添加剂为四正丁基氢氧化铵。溶剂为醋酸乙酯。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例1相同。
实施例4
本实施例的化学增幅型光刻胶与实施例3的不同之处在于：原料中含六氟异丙醇单体共聚物的加入量为10g，其余的与实施例3相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例3相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法与实施例3相同。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例3相同。
实施例5
本实施例的化学增幅型光刻胶与实施例3的不同之处在于：原料中含六氟异丙醇单体共聚物的加入量为15g，其余的与实施例3相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例3相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法与实施例3相同。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例3相同。
实施例6
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物，由A单体、B单体聚合制得，其中，A单体为对乙羟基苯乙烯，B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇。
本对比例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：在装有搅拌器、冷凝管和温度计的250ml四口烧瓶中，加入20g对乙羟基苯乙烯，45g1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇，3.28g偶氮二异丁腈和75g甲醇混合均匀，然后在氮气保护作用下，加热至70℃并反应20个小时，然后将温度升至80℃，加入甲醇钠和甲醇继续反应，期间每隔一个小时补加一次甲醇，反应6小时后得到中间液；
S2：将中间液缓慢滴加到用去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。
本实施例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂100g、含六氟异丙醇单体共聚物5g、光致产酸剂3.5g、碱性添加剂0.2g、溶剂260g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。光致产酸剂为N-羟基萘二甲酰胺三氟甲基磺酸酯。碱性添加剂为四正丁基氢氧化铵。溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯。
本对比例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例1相同。
实施例7
本实施例的化学增幅型光刻胶与实施例6的不同之处在于：原料中含六氟异丙醇单体共聚物的加入量为10g，其余的与实施例6相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例6相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法与实施例6相同。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例6相同。
实施例8
本实施例的化学增幅型光刻胶与实施例6的不同之处在于：原料中含六氟异丙醇单体共聚物的加入量为15g，其余的与实施例6相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例6相同。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法与实施例6相同。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例6相同。
实施例9
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例3的不同之处在于：A单体为马来酸酐，制备方法中的加入量为16.34g，其余的与实施例3相同。
实施例10
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例3的不同之处在于：A单体为4-乙烯基苯甲酸，制备方法中的加入量为24.51g，其余的与实施例3相同。
实施例11
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物，由A单体、B单体、C单体聚合制得，其中，A单体为2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯，B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇。C单体为苯乙烯。
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：在装有搅拌器、冷凝管和温度计的250ml四口烧瓶中，加入29.7g 2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯，45g 1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇，17.35g苯乙烯，1.64g偶氮二异丁腈和90g甲醇混合均匀，然后在氮气保护作用下，加热至70℃并反应20个小时制得中间液；S2：将中间液缓慢滴加到用去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。
本实施例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂100g、含六氟异丙醇单体共聚物15g、光致产酸剂3.5g、碱性添加剂0.2g、溶剂792g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。光致产酸剂为N-羟基萘二甲酰胺三氟甲基磺酸酯。碱性添加剂为四正丁基氢氧化铵。溶剂为醋酸乙酯。
本实施例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例1相同。
实施例12
本实施例的含六氟异丙醇单体共聚物与实施例11的不同之处在于：C单体为丙烯酸叔丁酯，制备方法中的加入量为21.35g，其余的与实施例11相同。
对比例
对比例1
本对比例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂100g、N-羟基萘二甲酰胺三氟甲基磺酸酯3g、碱性添加剂0.2g、溶剂689g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。碱性添加剂为三辛胺。溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯。
本对比例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例1相同。
对比例2
本对比例的化学增幅型光刻胶，由如下重量的原料混合制成：成膜树脂100g、N-羟基萘二甲酰胺三氟甲基磺酸酯3g、碱性添加剂0.2g、溶剂689g。
其中，成膜树脂为制备例的成膜树脂。碱性添加剂为三乙胺。溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯。
本对比例的化学增幅型光刻胶的应用与实施例1相同。
性能检测试验
检测方法
取实施例3-8以及对比例1-2中形成的光刻图形做SEM图，测试结果如图1-8所示。
分析实施例3-5以及对比例1-2并结合图1-5可以看出，对比例1-2中采用常规的化学增幅型光刻胶形成的光刻图形存在非常明显的T-top形貌缺陷。而本申请实施例3-5中加入含六氟异丙醇单体共聚物后，改善了光刻胶体系的自流动性和表面张力，光刻图形中不存在明显的T-top形貌，光刻图形清晰、稳定。并且，实施例3-5中分别添加5％、10％、15％的含六氟异丙醇单体共聚物，从图3-5中可以看出15％的添加量的光刻胶图形更加稳定均匀。
分析实施例6-8并结合图6-8可以看出，优化和调整A单体的分子结构，可以进一步提升光刻胶的综合性能，从图6-8中可以看出，膜厚增加后，依然不存在明显的T-top形貌。
本具体实施例仅仅是对本申请的解释，其并不是对本申请的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本申请的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (4)

1.一种化学增幅型光刻胶，其特征在于，主要由如下重量份数的原料制成：成膜树脂80-120份、含六氟异丙醇单体共聚物5-15份、光致产酸剂2-3.5份、碱性添加剂0.2-0.4份、溶剂300-2000份；
所述含六氟异丙醇单体共聚物，主要由A单体、B单体聚合制得；
所述A单体为2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯；
所述B单体为1,1,1,3,3,3-六氟-2-(4-乙烯基苯基)-2-丙醇；
所述含六氟异丙醇单体共聚物的制备方法，包括如下步骤：
S1：将各类单体、引发剂、溶剂在容器内混合均匀，然后在惰性气体保护作用下加热至60-90℃反应8-20h制得中间液；
S2：将中间液滴加至去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤、烘干后即得；
光刻胶中使用的溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、醋酸乙酯、乙二醇单甲醚乙酸酯中的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的一种化学增幅型光刻胶，其特征在于，所述光致产酸剂为二苯基碘鎓三氟甲磺酸盐、二苯基碘鎓樟脑磺酸盐、二苯基碘鎓全氟-1-丁磺酸盐、二苯基碘鎓全氟辛烷磺酸盐、4-甲氧苯基碘鎓三氟代甲烷磺酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓四氟硼酸盐、双(4-叔丁基苯)碘鎓六氟磷酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁烷磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓樟脑磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟辛烷磺酸盐、三苯基锍鎓六氟磷酸盐、三苯基锍鎓三氟甲磺酸盐、三苯基锍鎓樟脑磺酸盐、三苯基锍鎓全氟-1-丁基磺酸盐、三苯基锍鎓全氟辛烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍鎓三氟甲磺酸盐、对甲苯基二苯基锍全氟辛烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍全氟-1-丁烷磺酸盐、对甲苯基二苯基锍樟脑磺酸盐、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍三氟代甲烷磺酸盐、4-叔丁基苯基二苯基锍三氟代甲烷磺酸盐、4-苯基苯硫基二苯基锍六氟代磷酸盐、1-(2-萘酰甲基)硫醇鎓三氟代甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基二甲基锍三氟代甲烷磺酸盐、2-甲基-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2，4，6-三(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-苯基-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-氯代苯基)-4，6-双(三 氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧苯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧- 1-萘基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(苯并[d][1，3]二氧戊环-5-基)-4，6-双(三 氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3，4，5-三甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3，4-二甲氧苯乙烯基)-4，6-双 (三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(2，4-二甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(2-甲氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丁氧苯乙烯基)-4，6-双(三 氯代甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-戊氧苯乙烯基)-4，6-双(三氯代甲基)-1，3，5-三嗪、二苯基二砜、二对甲苯基二砜、双(苯基磺酰基)重氮甲烷、双(4-氯代苯基磺酰基)重氮甲烷、双(对-甲苯基磺酰基)重氮甲烷、双(4-叔-丁基苯基磺酰基)重氮甲烷、双(2，4-二甲苯基磺酰基)重氮甲烷、双(环己基磺酰基)重氮甲烷、(苯甲酰)(苯基磺酰基)重氮甲烷、对-甲苯磺酸-1-苯甲酰-1-苯基甲酯、对-甲苯磺酸2-苯甲酰-2-羟基-2-苯基乙酯、三甲烷磺酸1，2，3-苯三基酯、对-甲苯磺酸2，6- 二硝基苯甲酯、对-甲苯磺酸2-硝基苯甲酯、对-甲苯磺酸4-硝基苯甲酯、N-(苯基磺酰基氧)丁二酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)丁二酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)丁二酰亚胺、N-(全氟辛烷磺酸)丁二酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)邻苯二甲酰亚胺、N-(全氟辛烷磺酸)邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟辛烷磺酸)-5-降冰片烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(三氟代甲基磺酰基氧)萘甲叉酰亚胺、N-(全氟-1-丁烷磺酸)萘甲叉酰亚胺，N-(全氟辛烷磺酸)萘甲叉酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰基 氧)萘甲叉酰亚胺中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种化学增幅型光刻胶，其特征在于，所述碱性添加剂为四正丁基氢氧化铵、四丁基乙酸铵、三正辛胺、2，6-二异丙基苯胺、三乙醇胺中的一种或多种。
4.一种化学增幅型光刻胶的应用，其特征在于，将如权利要求1-3任一所述化学增幅型光刻胶经过涂膜、前烘、曝光、后烘、显影得到光刻图形。
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