CN115139210A - 用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种同步抛光装置。一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，包括一机座，机座上设置有：一抛光盘；一摆臂驱动机构，与抛光盘连接，带动抛光盘在水平方向万向移动；一转动盘机构，具有设置在机座之上的转动盘和设置在机座之下的主轴减速电机，主轴减速电机的电机轴连接转动盘，主轴减速电机带动转动盘转动；一固定器，可拆卸的设置在转动盘上，用于固定石英厚板。本发明可同时对具有凹槽的产品进行槽底与槽侧面同时抛光，提高抛光速度。

Description

用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置

技术领域

本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种同步抛光装置。

背景技术

随着半导体产业景气向上，制程工艺的趋势是向密集度愈高的方向发展。尤其是使用在刻蚀设备上的石英零件产品的质量要求越来越高，对于石英厚板零件的光洁度的技术指标需求大幅度增长的背景下。

传统的石英厚板的凹槽抛光装置是通过氢气与氧气的火焰抛光，通过将石英厚板放置于石墨台面上，通过将氢气与氧气通过石英火枪后燃烧，对凹槽进行火焰灼烧，通过火焰加热石英厚板表面，石英表面温度升高，当达到适合温度石英表面融化，因此达到抛光的效果，之后在进行退火处理，此方法在石英厚板的凹槽抛光时，对所需抛光环境和热加工人员的要求非常高，尤其是对火焰抛光人员的加工专业性的要求很高，人员的专业能力直接影响石英厚板光洁度以及产品内应力。

发明内容

本发明针对上述技术问题，目的在于提供一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置。

一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，包括一机座，所述机座上设置有：

一抛光盘；

一摆臂驱动机构，与所述抛光盘连接，带动所述抛光盘在水平方向万向移动；

一转动盘机构，具有设置在机座之上的转动盘和设置在所述机座之下的主轴减速电机，所述主轴减速电机的电机轴连接所述转动盘，所述主轴减速电机带动所述转动盘转动；

一固定器，可拆卸的设置在所述转动盘上，用于固定石英厚板。

本发明优选适用于具有凹槽的石英厚板，在使用时，将石英厚板置于转动盘上，优选放置于转动盘的中部，通过固定器将石英厚板进行固定。将抛光盘置于石英厚板凹槽之内。在放入抛光液，通过驱动摆臂驱动机构带动抛光盘在石英厚板凹槽之内水平方向万向移动，同时通过驱动主轴减速电机带动转动盘转动，进而带动石英厚板转动，石英厚板的转动方向与抛光盘的万向移动方向优选为相反方向，实现通过抛光盘自动对石英厚板的凹槽槽底、凹槽侧面以及凹槽底部弧形倒角的抛光。在抛光完成后，在石英厚板凹槽内取出抛光盘，松开固定器即可。

所述抛光盘为一弹性抛光盘，所述抛光盘包括：

一抛光盘本体，圆柱形结构，从顶面向下挖设有一圈抛光盘容纳槽；

一滑块，类圆环状结构，设置于所述抛光盘容纳槽内；

若干弹簧杆，沿周向均匀设置在所述抛光盘本体内壁和所述滑块外壁之间，一端与所述抛光盘本体内壁连接，另一端与所述滑块外壁连接；

一限位器，通过轴承设置于所述滑块内环内侧，通过所述限位器与所述摆臂驱动机构可拆卸连接。

本发明的抛光盘通过若干弹簧杆实现了滑块和抛光盘本体之间具有微动效果，在摆臂驱动机构驱动抛光盘至石英厚板凹槽的边缘时，弹簧杆可实现压缩，使抛光盘与石英厚板凹槽侧面进行贴合并施加径向力，该径向力可实现更好的抛光效果和抛光精度。

所述弹簧杆包括：

一弹簧杆外套，内部中空，一端具有连接接头，另一端为敞开结构，内部设置有内螺纹；

一弹簧圈，具有两个过渡接头，一个过渡接头设置有外螺纹，另一个过渡接头设置有内螺纹，两个所述过渡接头之间连接有弹簧，所述弹簧圈设置于所述弹簧杆外套内，一个所述过渡接头与所述弹簧杆外套螺纹连接；

一弹簧杆内杆，一端具有连接接头，另一端设置有外螺纹并插入于所述弹簧杆外套内且与另一个所述过渡接头螺纹连接；

所述弹簧杆外套的连接接头和所述弹簧杆内杆的连接接头中的一个所述连接接头可拆卸连接所述抛光盘本体内壁，另一个所述连接接头可拆卸连接所述滑块外壁。

所述抛光盘还包括：

一聚氨酯抛光皮，至少贴于所述抛光盘本体外壁上。

所述摆臂驱动机构包括：

一摆幅减速电机，设置于所述机座之下，具有轴向为竖向的电机轴；

一第一摆动连接柱，一端穿过所述机座与所述摆幅减速电机的电机轴连接，另一端位于所述机座之上，顶面设置有摆动限位槽，所述摆动限位槽为径向设置的直槽；

一第二摆动连接柱，底部设置有摆动限位块，所述摆动限位块设置在所述摆动限位槽内并可沿所述摆动限位槽滑动；

一第一摆动连接杆，一端与所述第二摆动连接柱连接；

一第二摆动连接杆，中部与所述第一摆动连接杆的另一端经万向节连接；

一第三摆动连接柱，可转动的设置在所述机座上，与所述第二摆动连接杆的一端连接；

一顶针，长度方向为竖向，可拆卸的固定在所述第二摆动连接杆的另一端，所述顶针的底部与所述抛光盘可拆卸连接。

本发明的摆臂驱动机构采用上述结构，通过驱动摆幅减速电机转动，第一摆动连接柱跟着转动，第二摆动连接柱在摆动限位槽的限制下，沿着摆动限位槽径向移动，在移动过程中，带动第一摆动连接杆、万向节和第二摆动连接杆移动，最终实现顶针在水平方向上万向移动，进而实现带动顶针底部的抛光盘在水平方向上万向移动。

所述第一摆动连接杆的一端与所述第二摆动连接柱铰接，铰接所采用的铰接销轴的轴向为水平方向；

所述摆臂驱动机构还包括：

一U型连接块，固定在所述第三摆动连接柱上；

一转动轴，轴向为水平方向，与所述第二摆动连接杆的一端固定，两端转动连接于所述U型连接块的侧壁上；

一施压气缸，固定在所述U型连接块上，具有活塞杆，所述活塞杆的端部设置有一Y型接头；

一连接片，一端与所述第二摆动连接杆固定，另一端与所述Y型接头铰接，铰接所采用的铰接销轴的轴向为水平方向。

本发明通过施压气缸的活塞杆伸缩，可实现对第二摆动连接杆施加向下的压力，最终实现顶针底部的抛光盘向石英厚板凹槽槽底施加压力，对石英厚板凹槽槽底实现较好的抛光目的。

所述固定器为四个，四个所述固定器两两对称设置在所述转动盘的四周，两个对称的所述固定器的中心线与另两个对称的所述固定器的中心线垂直。

所述固定器包括：

一固定器底座，与所述转动盘可拆卸连接，设置有底座通槽，所述底座通槽内设置有防止固定器伸缩杆转动的限位键；

一固定器伸缩杆，外壁上设置有与所述限位键配合滑动连接的限位槽，穿设于所述底座通槽内且两端伸出于所述底座通槽，所述固定器伸缩杆设置有伸缩杆通槽，所述伸缩杆通道内设置有内螺纹，所述固定器伸缩杆的一端设置有限制固定器尼龙块移动方向的伸缩杆凹槽；

一固定器定位螺丝，长度方向与所述固定器伸缩杆的长度方向垂直，穿过所述固定器底座伸入于所述底座通槽，端部朝向所述固定器伸缩杆；

一固定器手转螺丝，具有外螺纹，穿设在所述伸缩杆通槽内并与所述固定器伸缩杆螺纹连接，一端伸出于所述固定器伸缩杆，另一端伸出于所述伸缩杆凹槽内；

一固定器尼龙块，至少一端设置在所述伸缩杆凹槽内并与所述固定器手转螺丝的另一端经卡簧连接。

本发明的固定器使用时，石英厚板放置于转动盘上，优选放置于转动盘的中心，将四个固定器两两对称设置在石英厚板的四周，通过转动固定器定位螺丝解除对固定器伸缩杆的限制，移动固定器伸缩杆至合适位置，之后通过转动固定器定位螺丝将固定器伸缩杆固定。转动固定器手转螺丝，固定器尼龙块伸出并逐渐向石英厚板靠近至贴紧石英厚板外壁，通过微调四个固定器，使得石英厚板尽量在转动盘的中心位置。实现对石英厚板的固定。

所述转动盘上设置有至少四排用于安装所述固定器的转动盘螺丝孔，至少一排所述转动盘螺丝孔对应一个所述固定器，每排所述转动盘螺丝孔的排列方向均为转动盘的径向方向；

所述固定器底座上设置有至少一个底座螺丝孔，所述固定器底座通过螺丝可拆卸的设置在所述转动盘上。

所述固定器尼龙块的一端设置有第一连接孔，所述固定器尼龙块的另一端设置有第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔联通，所述第一连接孔的内径小于所述第二连接孔的内径，所述第一连接孔的内径小于所述固定器手转螺丝上外螺纹的外径；

所述固定器手转螺丝的另一端设置有一圈卡簧凹槽，所述固定器手转螺丝的另一端穿过所述第一连接孔后伸入于所述第二连接孔；

所述第二连接孔内设置有所述卡簧，所述卡簧与所述卡簧凹槽卡接。

有益效果：本发明具有如下优点：

1、可同时对具有凹槽的产品进行槽底与槽侧面同时抛光，提高抛光速度。

2、抛光效率高、成本低，减少资源浪费。

3、装置结构简单，操作方便，易于上手，大大减少了人工成本。

4、解决传统火焰抛光方式需要将石英厚板抛光后进行退火处理以及火焰抛光的专业性操作。

附图说明

图1为本发明的一种整体结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1的侧视图；

图4为图1的部分放大示意图；

图5为图2的部分放大示意图；

图6为本发明抛光盘的一种结构示意图；

图7为图6的俯视图；

图8为图7的A-A剖视图；

图9为本发明弹簧杆的一种结构示意图；

图10为图9的一种剖视图；

图11为本发明弹簧圈的一种结构示意图；

图12为图11的一种剖视图；

图13为本发明固定器的一种结构示意图；

图14为图13的一种剖视图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本发明。

参照图1至图5，一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，包括机座1，机座1上设置有抛光盘2、摆臂驱动机构3、转动盘机构4、固定器5。

参照图6至图8，抛光盘2为弹性抛光盘，抛光盘2包括抛光盘本体21、滑块22、若干弹簧杆23、限位器24、轴承25、聚氨酯抛光皮26。

抛光盘本体21为圆柱形结构，抛光盘本体21的高度和外径可以根据石英厚板凹槽的规格来确定。抛光盘本体21从顶面向下挖设有一圈抛光盘容纳槽211，抛光盘容纳槽211的横截面为圆柱形结构，还可以在抛光盘容纳槽211槽底向下再挖设一圈容纳槽，以用于容纳限位器24和轴承25。

滑块22为类圆环状结构，滑块22设置于抛光盘容纳槽211内。滑块22的底面可以为封闭底面，即只有顶面为敞开结构。

若干弹簧杆23沿周向均匀设置在抛光盘本体21内壁和滑块22外壁之间，弹簧杆23的一端与抛光盘本体21内壁连接，弹簧杆23的另一端与滑块22外壁连接。

参照图9至图12，弹簧杆23包括弹簧杆外套231、弹簧圈232、弹簧杆内杆233。弹簧杆外套231的内部中空，弹簧杆外套231的一端具有连接接头2311，弹簧杆外套231的另一端为敞开结构，弹簧杆外套231的内部设置有内螺纹。弹簧圈232具有过渡接头2321和过渡接头2322，过渡接头2321设置有外螺纹，过渡接头2322设置有内螺纹，两个过渡接头之间连接有弹簧2323，弹簧圈232设置于弹簧杆外套231内，过渡接头2321与弹簧杆外套231螺纹连接。弹簧杆内杆233的一端具有连接接头2331，弹簧杆内杆233的另一端设置有外螺纹并插入于弹簧杆外套231内且与过渡接头2322螺纹连接。连接接头2311和连接接头2331中的一个连接接头可拆卸连接抛光盘本体21内壁，另一个连接接头可拆卸连接滑块22外壁。如图6和图7中所示，连接接头2311可拆卸连接滑块22外壁，连接接头2331可拆卸连接抛光盘本体21内壁。在连接时，可以采用卡接结合螺丝/螺栓连接的方式。在抛光盘本体21内壁上、滑块22外壁上分别沿周向设置有若干连接片，连接片上设置有连接通孔，连接接头2311和连接接头2331上也设置有连接通孔。连接片插入于连接接头2311或连接接头2331，螺丝或螺栓可拆卸的固定连接片和连接接头，实现可拆卸连接。

限位器24通过轴承25设置于滑块22内环内侧，抛光盘2通过限位器24与摆臂驱动机构3可拆卸连接。

聚氨酯抛光皮26至少贴于抛光盘本体21外壁上。聚氨酯抛光皮26可以仅仅包覆于抛光盘本体21外壁上。

本发明的抛光盘2通过若干弹簧杆23实现了滑块22和抛光盘本体21之间具有微动效果，在摆臂驱动机构3驱动抛光盘2至石英厚板凹槽的边缘时，弹簧杆23可实现压缩，使抛光盘2与石英厚板凹槽侧面进行贴合并施加径向力，该径向力可实现更好的抛光效果和抛光精度。

摆臂驱动机构3与抛光盘2连接，摆臂驱动机构3带动抛光盘2在水平方向万向移动。使用时，摆臂驱动机构3带动抛光盘2在石英厚板凹槽内移动。

参照图1至图3，摆臂驱动机构3包括摆幅减速电机31、第一摆动连接柱32、第二摆动连接柱33、第一摆动连接杆34、第二摆动连接杆35、第三摆动连接柱36、顶针37。

摆幅减速电机31设置于机座1之下，具有轴向为竖向的电机轴。

第一摆动连接柱32的一端穿过机座1与摆幅减速电机31的电机轴连接，第一摆动连接柱32的另一端位于机座1之上，顶面设置有摆动限位槽321，摆动限位槽321为径向设置的直槽。

第二摆动连接柱33的底部设置有摆动限位块，摆动限位块设置在摆动限位槽321内并可沿摆动限位槽321滑动。

第一摆动连接杆34的一端与第二摆动连接柱33连接。

第二摆动连接杆35的中部与第一摆动连接杆34的另一端经万向节连接。

第三摆动连接柱36可转动的设置在机座1上，设置时，可以通过轴承设置于机座1上。第三摆动连接柱36与第二摆动连接杆35的一端连接。

顶针37的长度方向为竖向，顶针37可拆卸的固定在第二摆动连接杆35的另一端，顶针37的底部与抛光盘2可拆卸连接。具体的，顶针37的底部与抛光盘2的限位器24插接或卡接连接。

本发明的摆臂驱动机构3采用上述结构，通过驱动摆幅减速电机31转动，第一摆动连接柱32跟着转动，第二摆动连接柱33在摆动限位槽321的限制下，沿着摆动限位槽321径向移动，在移动过程中，带动第一摆动连接杆34、万向节和第二摆动连接杆35移动，最终实现顶针37在水平方向上万向移动，进而实现带动顶针37底部的抛光盘2在水平方向上万向移动。

为了实现摆臂驱动机构3对抛光盘2具有向下施压的压力，本发明还进行了如下设计：

第一摆动连接杆34的一端与第二摆动连接柱33铰接，铰接所采用的铰接销轴的轴向为水平方向。

摆臂驱动机构3还包括U型连接块38、转动轴39、施压气缸(未图示)、连接片(未图示)。

U型连接块38固定在第三摆动连接柱36上。转动轴39的轴向为水平方向，转动轴39与第二摆动连接杆35的一端固定，转动轴39的两端转动连接于U型连接块38的侧壁上。施压气缸固定在U型连接块38上，施压气缸具有活塞杆，施压气缸的活塞杆的端部设置有Y型接头。连接片的一端与第二摆动连接杆35固定，连接片的另一端与Y型接头铰接，铰接所采用的铰接销轴的轴向为水平方向。本发明通过施压气缸的活塞杆伸缩，可实现对第二摆动连接杆35施加向下的压力，最终实现顶针37底部的抛光盘2向石英厚板凹槽槽底施加压力，对石英厚板凹槽槽底实现较好的抛光目的。

转动盘机构4具有设置在机座1之上的转动盘41和设置在机座1之下的主轴减速电机42，主轴减速电机42的电机轴连接转动盘41，主轴减速电机42带动转动盘41转动。具体的，在机座1上可以挖设容纳转动盘41的机座槽，使得转动盘41可以在机座槽内转动。主轴减速电机42的电机轴从底部向上伸出与转动盘41的底部连接，以带动转动盘41转动。

参照图4和图5，转动盘41上设置有至少四排用于安装固定器5的转动盘螺丝孔411，至少一排转动盘螺丝孔411对应一个固定器5，每排转动盘螺丝孔411的排列方向均为转动盘41的径向方向。优选的，转动盘41上设置有八排转动盘螺丝孔411，两排转动盘螺丝孔411为一组对应一个固定器5。四组转动盘螺丝孔411分别在转动盘41的四周按90°分配。

固定器5可拆卸的设置在转动盘41上，固定器5用于固定石英厚板。参照图1、图2、图4和图5，固定器5为四个，四个固定器5两两对称设置在转动盘41的四周，两个对称的固定器5的中心线与另两个对称的固定器5的中心线垂直。

参照图13和图14，固定器5包括固定器底座51、固定器伸缩杆52、固定器定位螺丝53、固定器手转螺丝54、固定器尼龙块55。

固定器底座51与转动盘41可拆卸连接，具体的，在固定器底座51上设置有至少一个底座螺丝孔511，固定器底座51通过螺丝可拆卸的设置在转动盘41上。固定器底座51优选为倒T字形结构的底座，在其横段两侧分别设置有一个底座螺丝孔511，以更稳定的固定在转动盘41上。固定器底座51上设置有底座通槽，该底座通槽的长度方向为水平方向，以贯穿固定器底座51的前后侧面，底座通槽内设置有防止固定器伸缩杆52转动的限位键。

固定器伸缩杆52的外壁上设置有与限位键配合滑动连接的限位槽，固定器伸缩杆52穿设于底座通槽内且两端伸出于底座通槽，固定器伸缩杆52设置有伸缩杆通槽，伸缩杆通道内设置有内螺纹，固定器伸缩杆52的一端设置有限制固定器尼龙块55移动方向的伸缩杆凹槽521。

固定器定位螺丝53的长度方向与固定器伸缩杆52的长度方向垂直，固定器定位螺丝53穿过固定器底座51伸入于底座通槽，固定器定位螺丝53的端部朝向固定器伸缩杆52。固定器定位螺丝53露出于固定器底座51外的端部可设置有用于转动的转动部。

固定器手转螺丝54具有外螺纹，固定器手转螺丝54穿设在伸缩杆通槽内并与固定器伸缩杆52螺纹连接，固定器手转螺丝54的一端伸出于固定器伸缩杆52并可设置有用于转动的转动部，固定器手转螺丝54的另一端伸出于伸缩杆凹槽内。

固定器尼龙块55至少一端设置在伸缩杆凹槽内并与固定器手转螺丝54的另一端经卡簧连接。

固定器尼龙块55和固定器手转螺丝54的连接方式可以优选如下设计：

固定器尼龙块55的一端设置有第一连接孔551，固定器尼龙块55的另一端设置有第二连接孔552，第一连接孔551和第二连接孔552联通，第一连接孔551的内径小于第二连接孔552的内径，第一连接孔551的内径小于固定器手转螺丝54上外螺纹的外径。固定器手转螺丝54的另一端设置有一圈卡簧凹槽，固定器手转螺丝54的另一端穿过第一连接孔551后伸入于第二连接孔552。第二连接孔552内设置有卡簧56，卡簧56与卡簧凹槽卡接。

本发明的固定器5使用时，石英厚板放置于转动盘41上，优选放置于转动盘41的中心，将四个固定器5两两对称设置在石英厚板的四周，通过转动固定器定位螺丝53解除对固定器伸缩杆52的限制，移动固定器伸缩杆52至合适位置，之后通过转动固定器定位螺丝53将固定器伸缩杆52固定。转动固定器手转螺丝54，固定器尼龙块55伸出并逐渐向石英厚板靠近至贴紧石英厚板外壁，通过微调四个固定器5，使得石英厚板尽量在转动盘41的中心位置。实现对石英厚板的固定。

本发明优选适用于具有凹槽的石英厚板6在使用时，参照图1至图3，将石英厚板6置于转动盘41上，优选放置于转动盘41的中部，通过四个固定器5将石英厚板6的前后左右进行固定。将抛光盘2置于石英厚板6凹槽之内。在放入抛光液，通过驱动摆臂驱动机构3带动抛光盘2在石英厚板6凹槽之内水平方向万向移动，同时通过驱动主轴减速电机42带动转动盘41转动，进而带动石英厚板6转动，石英厚板6的转动方向与抛光盘2的万向移动方向优选为相反方向，实现通过抛光盘2自动对石英厚板6的凹槽槽底、凹槽侧面以及凹槽底部弧形倒角的抛光。在抛光完成后，在石英厚板6凹槽内取出抛光盘2，松开固定器5即可。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，包括一机座，其特征在于，所述机座上设置有：

一抛光盘；

一摆臂驱动机构，与所述抛光盘连接，带动所述抛光盘在水平方向万向移动；

一转动盘机构，具有设置在机座之上的转动盘和设置在所述机座之下的主轴减速电机，所述主轴减速电机的电机轴连接所述转动盘，所述主轴减速电机带动所述转动盘转动；

一固定器，可拆卸的设置在所述转动盘上，用于固定石英厚板。

2.如权利要求1所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述抛光盘为一弹性抛光盘，所述抛光盘包括：

一抛光盘本体，圆柱形结构，从顶面向下挖设有一圈抛光盘容纳槽；

一滑块，类圆环状结构，设置于所述抛光盘容纳槽内；

若干弹簧杆，沿周向均匀设置在所述抛光盘本体内壁和所述滑块外壁之间，一端与所述抛光盘本体内壁连接，另一端与所述滑块外壁连接；

一限位器，通过轴承设置于所述滑块内环内侧，通过所述限位器与所述摆臂驱动机构可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述弹簧杆包括：

一弹簧杆外套，内部中空，一端具有连接接头，另一端为敞开结构，内部设置有内螺纹；

一弹簧圈，具有两个过渡接头，一个过渡接头设置有外螺纹，另一个过渡接头设置有内螺纹，两个所述过渡接头之间连接有弹簧，所述弹簧圈设置于所述弹簧杆外套内，一个所述过渡接头与所述弹簧杆外套螺纹连接；

一弹簧杆内杆，一端具有连接接头，另一端设置有外螺纹并插入于所述弹簧杆外套内且与另一个所述过渡接头螺纹连接；

所述弹簧杆外套的连接接头和所述弹簧杆内杆的连接接头中的一个所述连接接头可拆卸连接所述抛光盘本体内壁，另一个所述连接接头可拆卸连接所述滑块外壁。

4.如权利要求2所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述抛光盘还包括：

一聚氨酯抛光皮，至少贴于所述抛光盘本体外壁上。

5.如权利要求1所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述摆臂驱动机构包括：

一摆幅减速电机，设置于所述机座之下，具有轴向为竖向的电机轴；

一第一摆动连接柱，一端穿过所述机座与所述摆幅减速电机的电机轴连接，另一端位于所述机座之上，顶面设置有摆动限位槽，所述摆动限位槽为径向设置的直槽；

一第二摆动连接柱，底部设置有摆动限位块，所述摆动限位块设置在所述摆动限位槽内并可沿所述摆动限位槽滑动；

一第一摆动连接杆，一端与所述第二摆动连接柱连接；

一第二摆动连接杆，中部与所述第一摆动连接杆的另一端经万向节连接；

一第三摆动连接柱，可转动的设置在所述机座上，与所述第二摆动连接杆的一端连接；

一顶针，长度方向为竖向，可拆卸的固定在所述第二摆动连接杆的另一端，所述顶针的底部与所述抛光盘可拆卸连接。

6.如权利要求5所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述第一摆动连接杆的一端与所述第二摆动连接柱铰接，铰接所采用的铰接销轴的轴向为水平方向；

所述摆臂驱动机构还包括：

一U型连接块，固定在所述第三摆动连接柱上；

一转动轴，轴向为水平方向，与所述第二摆动连接杆的一端固定，两端转动连接于所述U型连接块的侧壁上；

一施压气缸，固定在所述U型连接块上，具有活塞杆，所述活塞杆的端部设置有一Y型接头；

一连接片，一端与所述第二摆动连接杆固定，另一端与所述Y型接头铰接，铰接所采用的铰接销轴的轴向为水平方向。

7.如权利要求1至6中任意一项所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述固定器为四个，四个所述固定器两两对称设置在所述转动盘的四周，两个对称的所述固定器的中心线与另两个对称的所述固定器的中心线垂直。

8.如权利要求7所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述固定器包括：

一固定器底座，与所述转动盘可拆卸连接，设置有底座通槽，所述底座通槽内设置有防止固定器伸缩杆转动的限位键；

一固定器伸缩杆，外壁上设置有与所述限位键配合滑动连接的限位槽，穿设于所述底座通槽内且两端伸出于所述底座通槽，所述固定器伸缩杆设置有伸缩杆通槽，所述伸缩杆通道内设置有内螺纹，所述固定器伸缩杆的一端设置有限制固定器尼龙块移动方向的伸缩杆凹槽；

一固定器定位螺丝，长度方向与所述固定器伸缩杆的长度方向垂直，穿过所述固定器底座伸入于所述底座通槽，端部朝向所述固定器伸缩杆；

一固定器手转螺丝，具有外螺纹，穿设在所述伸缩杆通槽内并与所述固定器伸缩杆螺纹连接，一端伸出于所述固定器伸缩杆，另一端伸出于所述伸缩杆凹槽内；

一固定器尼龙块，至少一端设置在所述伸缩杆凹槽内并与所述固定器手转螺丝的另一端经卡簧连接。

9.如权利要求8所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述转动盘上设置有至少四排用于安装所述固定器的转动盘螺丝孔，至少一排所述转动盘螺丝孔对应一个所述固定器，每排所述转动盘螺丝孔的排列方向均为转动盘的径向方向；

所述固定器底座上设置有至少一个底座螺丝孔，所述固定器底座通过螺丝可拆卸的设置在所述转动盘上。

10.如权利要求8所述的用于半导体用石英厚板凹槽槽底面与槽侧面同步抛光装置，其特征在于，所述固定器尼龙块的一端设置有第一连接孔，所述固定器尼龙块的另一端设置有第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔联通，所述第一连接孔的内径小于所述第二连接孔的内径，所述第一连接孔的内径小于所述固定器手转螺丝上外螺纹的外径；

所述固定器手转螺丝的另一端设置有一圈卡簧凹槽，所述固定器手转螺丝的另一端穿过所述第一连接孔后伸入于所述第二连接孔；

所述第二连接孔内设置有所述卡簧，所述卡簧与所述卡簧凹槽卡接。

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