CN115106689B - 一种单晶炉水冷屏焊接治具 - Google Patents
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- 238000003466 welding Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 65
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 19
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
- B23K37/04—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work
- B23K37/053—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work aligning cylindrical work; Clamping devices therefor
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Abstract
本发明涉及单晶炉水冷屏焊接技术领域，具体为一种单晶炉水冷屏焊接治具，包括基板，所述基板顶部设有上料模块、卸料模块，所述上料模块上设有焊接模块，所述上料模块包括与所述基板顶部连接的类椅状工作台。本发明中，料框内的内筒和外筒掉落进两个传料管内，然后二者被橡胶板夹紧，启动电动推杆，电动推杆带动齿板、搭板和气缸转动，当气缸转动至左侧板体顶部时，气缸活动端下降，其通过挤压板体使与该板体间接连接的C形板下降，然后两个橡胶板跟随下降，两个橡胶板配合下带着内筒掉落，之后按相同步骤完成外筒的掉落，分先后顺序的完成上料作业，并且外筒准确套在内筒外侧，提高了焊接效率。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉水冷屏焊接技术领域，具体为一种单晶炉水冷屏焊接治具。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
水冷屏的焊接，需要将制作水冷屏的外筒准确的套在内筒外侧后才能进行焊接作业，现在的焊接治具虽然能完成上料作业，但是无法自行做到这一点，需要人工手动组装，严重降低了焊接效率。
发明内容
本发明旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
为此，本发明所采用的技术方案为：
一种单晶炉水冷屏焊接治具，包括基板，所述基板顶部设有上料模块、卸料模块，所述上料模块上设有焊接模块，所述上料模块包括与所述基板顶部连接的类椅状工作台、与所述类椅状工作台顶部连接的料框、安装于所述料框一侧的两个护料壳、与所述护料壳底部连接的料斗、与所述料斗底部连接的传料管、活动安装于所述类椅状工作台顶部的传动杆、套接于所述传动杆顶端的转板、设于所述转板前端的搭板、与所述传动杆啮合的齿板、和与所述齿板连接的电动推杆，所述电动推杆与类椅状工作台顶部连接，所述料框一侧开设有两个出料口，两个所述出料口分别与两个护料壳内部连通，所述类椅状工作台顶部设有传输组件，所述传输组件包括滑动套接于所述传料管外侧的C形板、关于所述C形板对称并与所述C形板顶部活动连接的橡胶板、套接于两个所述橡胶板之间的皮筋、与所述传料管连接的两个弧形板、与所述C形板底部连接的多个杆体、活动套接于所述杆体底端的弹簧、连接于多个所述杆体之间的板体、与所述搭板底部连接的气缸，所述类椅状工作台顶部开设有适于板体安装的槽口，所述传料管前后两侧均开设有适于橡胶板升降的滑槽，所述卸料模块与所述搭板连接的两个插杆、套接于所述插杆外端的磁铁、安装于所述类椅状工作台一侧的脱料板和与所述基板顶部连接的装料盒，所述搭板通过插杆和磁铁与转板活动插接，所述脱料板顶部设置为斜面。
通过采用上述技术方案，料框内的内筒和外筒掉落进两个传料管内，然后二者被橡胶板夹紧，启动电动推杆，电动推杆带动齿板、搭板和气缸转动，当气缸转动至左侧板体顶部时，气缸活动端下降，其通过挤压板体使与该板体间接连接的C形板下降，然后两个橡胶板跟随下降，两个橡胶板配合下带着内筒掉落，之后按相同步骤完成外筒的掉落，分先后顺序的完成上料作业，并且外筒准确套在内筒外侧，提高了焊接效率。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述焊接模块包括与所述搭板顶部连接的双向电动推杆、与所述双向电动推杆活动端连接的内弧板、位于所述内弧板外侧并与所述搭板顶部连接的两个外弧板、与所述搭板顶部连接的变光护罩。
通过采用上述技术方案，焊接模块可以将水冷屏用的内筒和外筒限位、固定后，再进行焊接，结构简单，使用起来快捷、方便。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述搭板两侧均设置手把，所述手把设置为弧形并且由金属材料制成。
通过采用上述技术方案，设置手把，使用者可以轻松推拉搭板。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述转板底部设置有平稳组件，所述平稳组件包括与所述转板底部连接的竖杆和与所述竖杆底端连接的支板，所述支板底部与类椅状工作台顶部摩擦。
通过采用上述技术方案，平稳组件起到稳定转板转动的目的，降低转板转动时出现问题的概率。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：两个所述传料管分别位于两个板体顶部，靠近所述类椅状工作台左侧的传料管内径小于远离所述类椅状工作台左侧的传料管。
通过采用上述技术方案，位于类椅状工作台左侧的传料管用于传输内筒，位于类椅状工作台右侧的传料管用于传输外筒。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：多个所述橡胶板内端分别延伸至两个传料管内部，所述弧形板位于橡胶板内侧，所述弧形板外壁与橡胶板内侧摩擦。
通过采用上述技术方案，橡胶板每次升降时都会经过弧形板，保证橡胶板能够顺利的一个个传输内筒或外筒。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述杆体均活动贯穿类椅状工作台，多个所述杆体等间距、呈扇形排列。
通过采用上述技术方案，杆体升降不会对两个传料管产生影响。
本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述内弧板和外弧板顶部位于同一水平面，所述外弧板和内弧板之间构成弧形夹道。
通过采用上述技术方案，弧形夹道可以将内筒牢牢夹紧，为焊接作业做准备。
通过采用上述技术方案，本发明所取得的有益效果为：
1.本发明中，料框内的内筒和外筒掉落进两个传料管内，然后二者被橡胶板夹紧，启动电动推杆，电动推杆带动齿板、搭板和气缸转动，当气缸转动至左侧板体顶部时，气缸活动端下降，其通过挤压板体使与该板体间接连接的C形板下降，然后两个橡胶板跟随下降，两个橡胶板配合下带着内筒掉落，之后按相同步骤完成外筒的掉落，分先后顺序的完成上料作业，并且外筒准确套在内筒外侧，提高了焊接效率。
2.本发明中，掉落的内筒进入到弧形夹道内部，然后控制双向电动推杆活动端延伸，内弧板配合外弧板将内筒牢牢夹紧，之后掉落的外筒套在内筒外侧，然后通过外部焊枪完成焊接作业，使用起来简单方便，焊接效果好。
3.本发明中，焊接作业完成后，向外侧拉动搭板，然后焊接好的水冷屏与脱料板碰撞，脱料板将水冷屏向上顶起，然后水冷屏被装料盒装取，结构简单，卸料快捷。
附图说明
图1为本发明整体结构正视图；
图2为本发明整体结构立体图；
图3为本发明上料模块示意图；
图4为本发明护料壳、料斗和传料管的连接关系示意图；
图5为本发明图3的A部结构放大图；
图6为本发明图3的B部结构放大图；
图7为本发明卸料模块示意图；
图8为本发明焊接模块示意图。
附图标记：
100、基板；
200、上料模块；210、类椅状工作台；220、料框；230、护料壳；240、料斗；250、传料管；260、传动杆；270、转板；280、搭板；290、齿板；291、电动推杆；
300、传输组件；310、C形板；320、橡胶板；330、皮筋；340、弧形板；350、杆体；360、弹簧；370、板体；380、气缸；
400、卸料模块；410、插杆；420、磁铁；430、脱料板；440、装料盒；
500、焊接模块；510、双向电动推杆；520、内弧板；530、外弧板；540、变光护罩；
600、平稳组件；610、竖杆；620、支板。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。
下面结合附图描述本发明的一些实施例提供的一种单晶炉水冷屏焊接治具。
实施例一：
结合图1-图8所示，本发明提供的一种单晶炉水冷屏焊接治具，包括基板100，所述基板100顶部设有上料模块200、卸料模块400，所述上料模块200上设有焊接模块500，所述上料模块200包括与所述基板100顶部连接的类椅状工作台210、与所述类椅状工作台210顶部连接的料框220、安装于所述料框220一侧的两个护料壳230、与所述护料壳230底部连接的料斗240、与所述料斗240底部连接的传料管250、活动安装于所述类椅状工作台210顶部的传动杆260、套接于所述传动杆260顶端的转板270、设于所述转板270前端的搭板280、与所述传动杆260啮合的齿板290、和与所述齿板290连接的电动推杆291，所述电动推杆291与类椅状工作台210顶部连接，所述料框220一侧开设有两个出料口，两个所述出料口分别与两个护料壳230内部连通，所述类椅状工作台210顶部设有传输组件300；
所述传输组件300包括滑动套接于所述传料管250外侧的C形板310、关于所述C形板310对称并与所述C形板310顶部活动连接的橡胶板320、套接于两个所述橡胶板320之间的皮筋330、与所述传料管250连接的两个弧形板340、与所述C形板310底部连接的多个杆体350、活动套接于所述杆体350底端的弹簧360、连接于多个所述杆体350之间的板体370、与所述搭板280底部连接的气缸380，所述类椅状工作台210顶部开设有适于板体370安装的槽口，所述传料管250前后两侧均开设有适于橡胶板320升降的滑槽；
所述卸料模块400与所述搭板280连接的两个插杆410、套接于所述插杆410外端的磁铁420、安装于所述类椅状工作台210一侧的脱料板430和与所述基板100顶部连接的装料盒440，所述搭板280通过插杆410和磁铁420与转板270活动插接，所述脱料板430顶部设置为斜面。
具体的，所述焊接模块500包括与所述搭板280顶部连接的双向电动推杆510、与所述双向电动推杆510活动端连接的内弧板520、位于所述内弧板520外侧并与所述搭板280顶部连接的两个外弧板530、与所述搭板280顶部连接的变光护罩540，通过焊接模块500，可以将水冷屏用的内筒和外筒限位固定后，再进行焊接，结构简单，使用起来快捷、方便。
进一步的，两个所述传料管250分别位于两个板体370顶部，靠近所述类椅状工作台210左侧的传料管250内径小于远离所述类椅状工作台210左侧的传料管250，位于类椅状工作台210左侧的传料管250用于传输内筒，位于类椅状工作台210右侧的传料管250用于传输外筒。
进一步的，多个所述橡胶板320内端分别延伸至两个传料管250内部，所述弧形板340位于橡胶板320内侧，所述弧形板340外壁与橡胶板320内侧摩擦，采用该布局设计，橡胶板320每次升降时都会经过弧形板340，保证橡胶板320能够顺利的一个个传输内筒或外筒。
进一步的，所述杆体350均活动贯穿类椅状工作台210，多个所述杆体350等间距、呈扇形排列，采用该布局设计，杆体350升降不会对两个传料管250产生影响。
进一步的，所述内弧板520和外弧板530顶部位于同一水平面，所述外弧板530和内弧板520之间构成弧形夹道，通过弧形夹道，可以将内筒牢牢夹紧，为焊接作业做准备。
实施例二：
结合图2、图3、图7和图8所示，在实施例一的基础上，所述搭板280两侧均设置手把，所述手把设置为弧形并且由金属材料制成，设置手把，使用者可以轻松推拉搭板280。
实施例三：
结合图2和图8所示，在上述实施例中，所述转板270底部设置有平稳组件600，所述平稳组件600包括与所述转板270底部连接的竖杆610和与所述竖杆610底端连接的支板620，所述支板620底部与类椅状工作台210顶部摩擦，平稳组件600起到稳定转板270转动的目的，降低转板270转动时出现问题的概率。
本发明的工作原理及使用流程：当本发明投入实际使用时，料框220内的内筒和外筒在护料壳230的保护下通过料斗240掉落进两个传料管250内，这里受传料管250尺寸规定影响，内筒和外筒无法自由掉落，但是二者可以顺利的掉落至两个橡胶板320之间，然后启动电动推杆291，电动推杆291带动齿板290转动，机械传动下，传动杆260通过转板270带动搭板280和气缸380转动，当气缸380转动至板体370顶部时（这里，优选转板270先转动至左侧的传料管250底部），气缸380活动端下降，其通过挤压板体370使与该板体370间接连接的C形板310下降，然后两个橡胶板320跟随下降，两个橡胶板320配合下带着内筒下降，该过程延续至内筒或外筒掉落，然后掉落的内筒进入到弧形夹道内部，然后控制双向电动推杆510活动端延伸，内弧板520配合外弧板530将内筒牢牢夹紧，之后按着相同的步骤完成外筒的掉落，外筒套在内筒外侧，由此完成焊接左侧的初步条件，然后通过外部焊枪将内筒与外筒焊接，直至焊接作业完成后，向外侧拉动搭板280，然后焊接好的水冷屏与脱料板430碰撞，脱料板430将水冷屏向上顶起，然后水冷屏被装料盒440装取。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解，在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种单晶炉水冷屏焊接治具，包括基板（100），所述基板（100）顶部设有上料模块（200）、卸料模块（400），所述上料模块（200）上设有焊接模块（500），其特征在于，所述上料模块（200）包括与所述基板（100）顶部连接的类椅状工作台（210）、与所述类椅状工作台（210）顶部连接的料框（220）、安装于所述料框（220）一侧的两个护料壳（230）、与所述护料壳（230）底部连接的料斗（240）、与所述料斗（240）底部连接的传料管（250）、活动安装于所述类椅状工作台（210）顶部的传动杆（260）、套接于所述传动杆（260）顶端的转板（270）、设于所述转板（270）前端的搭板（280）、与所述传动杆（260）啮合的齿板（290）、和与所述齿板（290）连接的电动推杆（291），所述电动推杆（291）与类椅状工作台（210）顶部连接，所述料框（220）一侧开设有两个出料口，两个所述出料口分别与两个护料壳（230）内部连通，所述类椅状工作台（210）顶部设有传输组件（300）；
所述传输组件（300）包括滑动套接于所述传料管（250）外侧的C形板（310）、关于所述C形板（310）对称并与所述C形板（310）顶部活动连接的橡胶板（320）、套接于两个所述橡胶板（320）之间的皮筋（330）、与所述传料管（250）连接的两个弧形板（340）、与所述C形板（310）底部连接的多个杆体（350）、活动套接于所述杆体（350）底端的弹簧（360）、连接于多个所述杆体（350）之间的板体（370）、与所述搭板（280）底部连接的气缸（380），所述类椅状工作台（210）顶部开设有适于板体（370）安装的槽口，所述传料管（250）前后两侧均开设有适于橡胶板（320）升降的滑槽；
所述卸料模块（400）与所述搭板（280）连接的两个插杆（410）、套接于所述插杆（410）外端的磁铁（420）、安装于所述类椅状工作台（210）一侧的脱料板（430）和与所述基板（100）顶部连接的装料盒（440），所述搭板（280）通过插杆（410）和磁铁（420）与转板（270）活动插接，所述脱料板（430）顶部设置为斜面。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，所述焊接模块（500）包括与所述搭板（280）顶部连接的双向电动推杆（510）、与所述双向电动推杆（510）活动端连接的内弧板（520）、位于所述内弧板（520）外侧并与所述搭板（280）顶部连接的两个外弧板（530）、与所述搭板（280）顶部连接的变光护罩（540）。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，所述搭板（280）两侧均设置手把，所述手把设置为弧形并且由金属材料制成。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，所述转板（270）底部设置有平稳组件（600），所述平稳组件（600）包括与所述转板（270）底部连接的竖杆（610）和与所述竖杆（610）底端连接的支板（620），所述支板（620）底部与类椅状工作台（210）顶部摩擦。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，两个所述传料管（250）分别位于两个板体（370）顶部，靠近所述类椅状工作台（210）左侧的传料管（250）内径小于远离所述类椅状工作台（210）左侧的传料管（250）。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，多个所述橡胶板（320）内端分别延伸至两个传料管（250）内部，所述弧形板（340）位于橡胶板（320）内侧，所述弧形板（340）外壁与橡胶板（320）内侧摩擦。
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，所述杆体（350）均活动贯穿类椅状工作台（210），多个所述杆体（350）等间距、呈扇形排列。
8.根据权利要求2所述的一种单晶炉水冷屏焊接治具，其特征在于，所述内弧板（520）和外弧板（530）顶部位于同一水平面，所述外弧板（530）和内弧板（520）之间构成弧形夹道。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210857331.1A CN115106689B (zh) | 2022-07-21 | 2022-07-21 | 一种单晶炉水冷屏焊接治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210857331.1A CN115106689B (zh) | 2022-07-21 | 2022-07-21 | 一种单晶炉水冷屏焊接治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115106689A CN115106689A (zh) | 2022-09-27 |
| CN115106689B true CN115106689B (zh) | 2022-11-11 |
Family
ID=83333841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210857331.1A Active CN115106689B (zh) | 2022-07-21 | 2022-07-21 | 一种单晶炉水冷屏焊接治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115106689B (zh) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN203045245U (zh) * | 2012-12-13 | 2013-07-10 | 常州博朗低温设备有限公司 | 绝热气瓶内外筒的焊接定位装置 |
| CN106670719A (zh) * | 2017-02-23 | 2017-05-17 | 北京汽车股份有限公司 | 定位机构 |
| CN110280917A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-09-27 | 十堰勤融工贸有限公司 | 一种不锈钢管激光切割设备 |
| CN212683015U (zh) * | 2020-08-03 | 2021-03-12 | 内蒙古机电职业技术学院 | 一种管类工件焊接用定位机构 |
| CN215588319U (zh) * | 2021-09-02 | 2022-01-21 | 浙江臻强精密机械股份有限公司 | 一种单晶炉水冷屏焊接治具 |
| CN114749864B (zh) * | 2022-05-23 | 2023-06-23 | 安徽双骏智能科技有限公司 | 一种发动机支架套筒焊接定位夹具及其使用方法 |
-
2022
- 2022-07-21 CN CN202210857331.1A patent/CN115106689B/zh active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115106689A (zh) | 2022-09-27 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |