CN115106339A - 晶圆清洁机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆清洁机构，包括：壳体组件，其内部中空以形成容纳腔；晶圆承托组件，其设置于所述容纳腔内；以及热风组件，其布置于所述容纳腔内，且所述热风组件位于所述晶圆承托组件的正上方；其中，所述热风组件包括：热风元件；以及至少两条热风管道，其与所述热风元件的输出端相连通；所述晶圆承托组件用于承托晶圆，一所述热风管道的输出口布置于晶圆的周向区域，另一所述热风管道的输出口布置于晶圆的中心区域，所述热风元件通过热风管道持续向容纳腔吹送热风，以将所述容纳腔形成热风环境。根据本发明，其清洗效果较好，提高清洗效率，同时自动化程度高，无需人工操作，大大提高了工作效率。

Description

晶圆清洁机构

技术领域

本发明涉及非标自动化领域。更具体地说，本发明涉及一种晶圆清洁机构。

背景技术

在非标自动化领域中，采用不同结构形式的清洗装置来实现晶圆进行清洗是众所周知的。在研究和实现晶圆进行清洗的过程中，发明人发现现有技术中的清洗装置至少存在如下问题：

晶圆在研磨过程中，晶圆表面会产生会产生杂质及水珠，需要将杂质及水珠进行清洁，而现有的装置需要人工进行辅助清洁，清洁效率低下，清洁效果较差。

有鉴于此，实有必要开发一种晶圆清洁机构，用以解决上述问题。

发明内容

针对现有技术中存在的不足之处，本发明的主要目的是，提供一种晶圆清洁机构，其利用热风元件通过热风管道持续向晶圆吹风热风，以便对晶圆进行清洗操作，清洗效果较好，提高清洗效率，同时自动化程度高，无需人工操作，大大提高了工作效率。

为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种晶圆清洁机构，包括：壳体组件，其内部中空以形成容纳腔；

晶圆承托组件，其设置于所述容纳腔内；以及

热风组件，其布置于所述容纳腔内，且所述热风组件位于所述晶圆承托组件的正上方；

其中，所述热风组件包括：热风元件；以及

至少两条热风管道，其与所述热风元件的输出端相连通；

所述晶圆承托组件用于承托晶圆，一所述热风管道的输出口布置于晶圆的周向区域，另一所述热风管道的输出口布置于晶圆的中心区域，

所述热风元件通过热风管道持续向容纳腔吹送热风，以将所述容纳腔形成热风环境。

优选的，还包括：吹风件，其固定安装于所述壳体组件的顶部，且所述吹风件所述晶圆承托组件的正上方。

优选的，所述晶圆承托组件包括：旋转驱动器，其固定安装于所述壳体组件的底部区域；

中间传动轴，其与所述旋转驱动器的动力输出端传动连接；以及

承托件，其位于所述中间传动轴的上方，且所述承托件与所述中间传动轴固定连接；

在所述旋转驱动器的作用下，所述承托件以所述中间传动轴的轴线为轴心转动。

优选的，所述中间传动轴的内部开设有连通管路，所述承托件的表面开设有定位孔，所述连通管路的一端与所述定位孔相连通，所述连通管路的另一端与外部的气源设备相连通；

在所述气源设备的作用下，所述连通管路及所述定位孔之间呈负压环境。

优选的，所述晶圆承托组件还包括：防护罩，其固定安装于所述旋转驱动器及中间传动轴的外周。

优选的，所述壳体组件包括：第一壳体；

第二壳体，其布置于所述第一壳体的正上方；以及

第三壳体单元，其可活动的布置于所述第一壳体与第二壳体之间；

所述第一壳体、第二壳体及第三壳体单元之间限定出容纳腔。

优选的，所述第三壳体单元包括：第三壳体，其布置于所述第一壳体与第二壳体之间；以及

开合驱动器，其固定安装于所述第一壳体上，且所述开合驱动器的动力输出端与所述第三壳体传动连接；

在所述开合驱动器的作用下，所述第三壳体可选择性的开启或关闭。

优选的，所述第三壳体单元还包括：导向元件，其布置于所述第三壳体的侧端，且所述导向元件的活动部与所述第三壳体固定连接。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本发明中利用热风元件通过热风管道持续向晶圆吹风热风，以便对晶圆进行清洗操作，清洗效果较好，提高清洗效率，同时自动化程度高，无需人工操作，大大提高了工作效率。

本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制，其中：

图1为根据本发明一个实施方式提出的晶圆清洁机构的三维结构视图；

图2为根据本发明一个实施方式提出的晶圆清洁机构的另一视角的三维结构视图；

图3为根据本发明一个实施方式提出的晶圆清洁机构的剖视图；

图4为根据本发明一个实施方式提出的晶圆清洁机构的剖视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接的关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本发明的一实施方式结合图1～4的示出，可以看出，晶圆清洁机构140，其包括：壳体组件141，其内部中空以形成容纳腔1414；

晶圆承托组件142，其设置于所述容纳腔1414内；以及

热风组件143，其布置于所述容纳腔1414内，且所述热风组件143位于所述晶圆承托组件142的正上方；

其中，所述热风组件143包括：热风元件；以及

至少两条热风管道1431，其与所述热风元件的输出端相连通；

所述晶圆承托组件142用于承托晶圆，一所述热风管道1431的输出口布置于晶圆的周向区域，另一所述热风管道1431的输出口布置于晶圆的中心区域，

所述热风元件通过热风管道1431持续向容纳腔1414吹送热风，以将所述容纳腔1414形成热风环境。

可理解的是，研磨完毕后的晶圆被放置于晶圆承托组件142上，所述热风元件通过热风管道1431持续朝晶圆吹风热风，以将晶圆表面的杂质吹离，同时将晶圆表面的水珠烘干，以对晶圆进行清洗操作，清洗效果较好，提高清洗效率，同时自动化程度高，无需人工操作，大大提高了工作效率。

进一步，所述晶圆清洁机构140还包括：吹风件144，其固定安装于所述壳体组件141的顶部，且所述吹风件144所述晶圆承托组件142的正上方。

可理解的是，本发明通过设置吹风件144对晶圆进一步吹风，提升的晶圆的清洗效果。

进一步，所述晶圆承托组件142包括：旋转驱动器1421，其固定安装于所述壳体组件141的底部区域；

中间传动轴1422，其与所述旋转驱动器1421的动力输出端传动连接；以及

承托件1423，其位于所述中间传动轴1422的上方，且所述承托件1423与所述中间传动轴1422固定连接；

在所述旋转驱动器1421的作用下，所述承托件1423以所述中间传动轴1422的轴线为轴心转动。

可理解的是，晶圆被放置于承托件1423上，所述旋转驱动器1421驱动所述承托件1423转动，以同步带动晶圆，进而使得所述热风元件通过热风管道1431对晶圆的所有区域进行吹风清洗操作，使得晶圆具有较好的清洗效果，提高了工作效率。

进一步，所述中间传动轴1422的内部开设有连通管路14221，所述承托件1423的表面开设有定位孔14231，所述连通管路14221的一端与所述定位孔14231相连通，所述连通管路14221的另一端与外部的气源设备相连通；

在所述气源设备的作用下，所述连通管路14221及所述定位孔14231之间呈负压环境。

可理解的是，晶圆被放置于承托件1423上，在所述气源设备的作用下，所述连通管路14221及所述定位孔14231之间呈负压环境，以将晶圆吸附固定，防止晶圆随意活动对清洗操作造成影响，同时防止晶圆损坏以增加成本。

进一步，所述晶圆承托组件142还包括：防护罩1424，其固定安装于所述旋转驱动器1421及中间传动轴1422的外周。

可理解的是，本发明中通过设置防护罩1424以防止晶圆清洗时产生的杂质对所述旋转驱动器1421及中间传动轴1422造成影响，延长所述旋转驱动器1421及中间传动轴1422的使用寿命，降低成本。

进一步，所述壳体组件141包括：第一壳体1411；

第二壳体1412，其布置于所述第一壳体1411的正上方；以及

第三壳体单元1413，其可活动的布置于所述第一壳体1411与第二壳体1412之间；

所述第一壳体1411、第二壳体1412及第三壳体单元1413之间限定出容纳腔1414。

进一步，所述第三壳体单元1413包括：第三壳体14131，其布置于所述第一壳体1411与第二壳体1412之间；以及

开合驱动器14132，其固定安装于所述第一壳体1411上，且所述开合驱动器14132的动力输出端与所述第三壳体14131传动连接；

在所述开合驱动器14132的作用下，所述第三壳体14131可选择性的开启或关闭。

可理解的是，当有研磨后的晶圆需要清洗时，所述开合驱动器14132控制所述第三壳体14131打开，以使得所述第一壳体1411、第二壳体1412之间形成以敞口，研磨后的晶圆通过敞口放置于承托件1423上固定，所述开合驱动器14132控制所述第三壳体14131关闭，以使得容纳腔1414密封，晶圆进行清洗操作，清洗完毕后，将晶圆取出。

进一步，所述第三壳体单元1413还包括：导向元件14133，其布置于所述第三壳体14131的侧端，且所述导向元件14133的活动部与所述第三壳体14131固定连接。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本发明的说明的。对本发明的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本发明的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种晶圆清洁机构，其特征在于，包括：

壳体组件(141)，其内部中空以形成容纳腔(1414)；

晶圆承托组件(142)，其设置于所述容纳腔(1414)内；以及

热风组件(143)，其布置于所述容纳腔(1414)内，且所述热风组件(143)位于所述晶圆承托组件(142)的正上方；

其中，所述热风组件(143)包括：热风元件；以及

至少两条热风管道(1431)，其与所述热风元件的输出端相连通；

所述晶圆承托组件(142)用于承托晶圆，一所述热风管道(1431)的输出口布置于晶圆的周向区域，另一所述热风管道(1431)的输出口布置于晶圆的中心区域，

所述热风元件通过热风管道(1431)持续向容纳腔(1414)吹送热风，以将所述容纳腔(1414)形成热风环境。

2.如权利要求1所述的晶圆清洁机构，其特征在于，还包括：吹风件(144)，其固定安装于所述壳体组件(141)的顶部，且所述吹风件(144)所述晶圆承托组件(142)的正上方。

3.如权利要求1所述的晶圆清洁机构，其特征在于，所述晶圆承托组件(142)包括：旋转驱动器(1421)，其固定安装于所述壳体组件(141)的底部区域；

中间传动轴(1422)，其与所述旋转驱动器(1421)的动力输出端传动连接；以及

承托件(1423)，其位于所述中间传动轴(1422)的上方，且所述承托件(1423)与所述中间传动轴(1422)固定连接；

在所述旋转驱动器(1421)的作用下，所述承托件(1423)以所述中间传动轴(1422)的轴线为轴心转动。

4.如权利要求3所述的晶圆清洁机构，其特征在于，所述中间传动轴(1422)的内部开设有连通管路(14221)，所述承托件(1423)的表面开设有定位孔(14231)，所述连通管路(14221)的一端与所述定位孔(14231)相连通，所述连通管路(14221)的另一端与外部的气源设备相连通；

在所述气源设备的作用下，所述连通管路(14221)及所述定位孔(14231)之间呈负压环境。

5.如权利要求3所述的晶圆清洁机构，其特征在于，所述晶圆承托组件(142)还包括：防护罩(1424)，其固定安装于所述旋转驱动器(1421)及中间传动轴(1422)的外周。

6.如权利要求1所述的晶圆清洁机构，其特征在于，所述壳体组件(141)包括：第一壳体(1411)；

第二壳体(1412)，其布置于所述第一壳体(1411)的正上方；以及

第三壳体单元(1413)，其可活动的布置于所述第一壳体(1411)与第二壳体(1412)之间；

所述第一壳体(1411)、第二壳体(1412)及第三壳体单元(1413)之间限定出容纳腔(1414)。

7.如权利要求6所述的晶圆清洁机构，其特征在于，所述第三壳体单元(1413)包括：第三壳体(14131)，其布置于所述第一壳体(1411)与第二壳体(1412)之间；以及

开合驱动器(14132)，其固定安装于所述第一壳体(1411)上，且所述开合驱动器(14132)的动力输出端与所述第三壳体(14131)传动连接；

在所述开合驱动器(14132)的作用下，所述第三壳体(14131)可选择性的开启或关闭。

8.如权利要求6所述的晶圆清洁机构，其特征在于，所述第三壳体单元(1413)还包括：导向元件(14133)，其布置于所述第三壳体(14131)的侧端，且所述导向元件(14133)的活动部与所述第三壳体(14131)固定连接。

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