CN115095509A - 微型泵 - Google Patents

微型泵 Download PDF

Info

Publication number
CN115095509A
CN115095509A CN202210864485.3A CN202210864485A CN115095509A CN 115095509 A CN115095509 A CN 115095509A CN 202210864485 A CN202210864485 A CN 202210864485A CN 115095509 A CN115095509 A CN 115095509A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode layer
micropump
frame
plate
electrically connected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202210864485.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115095509B (zh
Inventor
李浪
叶家俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Midi Acoustics Technology Jiangyin Co ltd
Original Assignee
Midi Acoustics Technology Jiangyin Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Midi Acoustics Technology Jiangyin Co ltd filed Critical Midi Acoustics Technology Jiangyin Co ltd
Priority to CN202210864485.3A priority Critical patent/CN115095509B/zh
Publication of CN115095509A publication Critical patent/CN115095509A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115095509B publication Critical patent/CN115095509B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/047—Pumps having electric drive
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R4/00—Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation
    • H01R4/02—Soldered or welded connections
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R4/00—Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation
    • H01R4/04—Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation using electrically conductive adhesives
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

本发明提供一种微型泵，包括：一底板；一夹板；一共振片，共振片的中心处设有一中空孔；一基板，包括一外框、一悬浮板、至少一连接部、至少一间隙；一压电元件，包括一压电陶瓷片，压电陶瓷片背对悬浮板的表面上设有第一电极层、第二电极层和绝缘带；压电陶瓷片面对悬浮板的一面上设有第三电极层；一导电连接件，包括一绝缘框，绝缘框的外侧上设有一第一引脚和一第二引脚，绝缘框上背对外框的表面上设有一第一导电体和一第二导电体；绝缘框的内侧设有至少一第一引线力臂和至少一第二引线力臂，绝缘框内设有一第一连接片和一第二连接片；一下盖；一振动膜；一上盖。本发明中的微型泵同一面出正负极，简化产品结构。

Description

微型泵
技术领域
本发明涉及压电陶瓷技术领域，特别是一种微型泵。
背景技术
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。
举例来说，于医药产业中，许多需要采用气压动力驱动的仪器或设备，采用以压电气泵来达成其气体输送的目的。而常规压电气泵的陶瓷驱动单元由压电陶瓷，振动基板，上下电极引出板组成，在生产过程中各零件之间都用胶水粘接。零件数量多，工艺难；另外因为电极板的焊接产生的高温，会降低压电陶瓷的性能，且高温也会使零件平整度发生变化，影响气泵的气流量和气压最值。
公开号为CN111692085A的中国发明专利申请公开了一种微型泵，包括依序堆叠的设置的进气板、共振片、压电致动器、绝缘片及导电片。进气板具有进气孔、汇流排孔及汇流腔室。共振片具有中空孔。压电致动器与共振片之间定义腔室空间，压电致动器包含悬浮板、外框、连接部及压电元件，连接部连接于悬浮板及外框之间，并定义间隙以供气体流通。导电片具有多个接触导电端，用以电连接压电元件。当压电致动器受驱动时，气体由进气孔导入，流经汇流腔室、中空孔导入腔室空间内，再经由间隙排出，以实现气体的传输。上述微型泵中两个引脚分布在不同的部件上，因此加工工艺相对复杂。
针对上述情况，期望提供一种微型泵。
发明内容
为达到上述发明的目的，本发明提供了一种微型泵，压电元件由传统的正反面分别为正负电极更改为同一面出正负电极，简化了微型泵的结构，提高了装配效率。
包括：
一底板，所述底板上设有至少一进气孔；
一夹板，贴合组装在所述底板上，所述夹板上设有至少一汇流排孔和一汇流腔室，至少一所述汇流排孔对应至少一所述进气孔，至少一所述汇流排孔连通所述汇流腔室；
一共振片，贴合组装在所述夹板上，所述共振片的中心处设有一中空孔；
一基板，所述基板包括一外框、一悬浮板、至少一连接部、至少一间隙；所述外框贴合组装在所述共振片上；至少一所述连接部连接于所述悬浮板及所述外框之间，提供弹性支撑；至少一所述间隙设置于所述悬浮板及所述外框之间，提供气体流通；
一压电元件，包括一压电陶瓷片，所述压电陶瓷片贴合于所述悬浮板的一侧表面；所述压电陶瓷片背对所述悬浮板的表面上设有第一电极层、第二电极层和绝缘带，所述第一电极层和所述第二电极层通过所述绝缘带隔开；所述压电陶瓷片面对所述悬浮板的一面上设有第三电极层，所述第三电极层与所述第二电极层电连接；
一导电连接件，包括一绝缘框，所述绝缘框贴合在所述外框上，且与所述压电元件位于外框的同一侧；所述绝缘框的外侧上设有一第一引脚和一第二引脚，所述绝缘框上背对外框的表面上设有一第一导电体和一第二导电体，所述第一导电体和第二导电体分隔开，所述第一导电体与所述第一引脚电连接，所述第二导电体与所述第二引脚电连接；所述绝缘框的内侧设有至少一第一引线力臂和至少一第二引线力臂，所述绝缘框内设有一第一连接片和一第二连接片；至少一所述第一引线力臂的一端与所述第一导电体电连接，另一端与所述第一连接片电连接；至少一所述第二引线力臂的一端与所述第二导电体电连接，另一端与所述第二连接片电连接；所述第一连接片与所述第一电极层电连接；所述第二连接片与所述第二电极层电连接；
一下盖，贴合组装在所述绝缘框上，所述下盖上设有至少一入气孔；
一振动膜，所述振动膜的边缘设置设有一框体连接部，所述框体连接部贴合组装在所述下盖上；所述振动膜上设有一通道孔；
一上盖，贴合组装在所述框体连接部上，且与所述下盖分布在振动膜的两侧，所述上盖上设有一排气孔。
具体地，所述进气孔和所述汇流排孔的数量均为四，四个所述进气孔均匀分布在所述底板上，四个所述汇流排孔均匀分布在所述夹板上。
具体地，所述连接部的个数为四，所述间隙的个数为四，四个所述连接部和四个所述间隙分别均匀分布在所述悬浮板和外框之间。
优选地，所述悬浮板上背对所述压电元件的表面中心位置具有第一凸起部。
进一步地，所述第一凸起部的横截面为圆形。
具体地，所述压电陶瓷片上设有电极过孔，所述电极过孔内填充有导电填充物，所述第二电极层和第三电极层通过电极过孔内的所述导电填充物电连接。
优选地，所述导电填充物为导电银浆。
具体地，所述绝缘带为弧形。
具体地，所述压电陶瓷片的横截面为圆形或方形。
优选地，所述第二电极层的面积为2.7～3.7mm2。
优选地，所述导电连接件为电路板。
进一步地，所述电路板为柔性电路板。
具体地，所述第一引线力臂和所述第二引线力臂的数量均为二个以上。
具体地，所述第一连接片和第二连接片呈对角分布在所述绝缘框内。
具体地，所述第一连接片和第二连接片分布在所述绝缘框内的中间两侧位置。
具体地，所述第一连接片通过焊点连接或导电胶水粘接在所述第一电极层上，所述第二连接片通过焊点连接或导电胶水粘接在所述第二电极层上。
具体地，所述第一连接片和第二连接片上均设有连接通孔。
具体地，所述下盖面对所述振动膜的表面上设有第二凸起部，所述第二凸起部位于所述通道孔的正下方。
本发明微型泵，具有下述有益效果：
(1)电极引出全部从压电元件同一面引出，减少上下电极，简化了装配工序，同时可以简化产品结构，提高装配效率，工艺评估装配效率可以提高15％；
(2)导电连接件采用柔性电路板FPC，替代上下电极，减少装配零件数量,且因柔性线路板异形排布设计,有效降低了因温度变化材料鼓胀系数不同引起的关键尺寸的变异；
(3)第一连接片和第二连接片通过焊点连接和/或导电胶连接在所对应的电极层上，实现其稳固连接，避免传统的高温焊接引起的陶瓷性能退化和金属件的局部变形。
(4)悬浮板上设置了第一凸起部，下盖上设置了第二凸起部，有效阻止了气体反向流动，产品的最高气压标准得到有效提高；
(5)结构简单，使用方便。
附图说明
图1为本实施例的微型泵的爆炸图；
图2为本实施例中的底板的结构示意图；
图3为本实施例中的夹板的结构示意图；
图4为本实施例中的共振片的结构示意图；
图5为本实施例中的基板与压电元件连接的结构示意图；
图6为本实施例中的基板的结构示意图；
图7为本实施例中的压电元件的主视图；
图8为本实施例中的压电元件的剖视图；
图9为本实施例中的第一连接片和第二连接片呈对角分布的电路板的结构示意图；
图10为本实施例中的第一连接片和第二连接片呈中间分布的电路板的结构示意图；
图11为本实施例中的下盖、振动膜和上盖的结构示意图；
图12为本实施例的微型泵的结构示意图；
图13为本实施例的微型泵工作时的原理图。
附图标记说明：
1-底板：
101-进气孔；
2-夹板：
201-汇流排孔；202-汇流腔室；
3-共振片：
301-中空孔；
4-基板：
401-外框；402-悬浮板；403-连接部；404-间隙；405-第一凸起部；
5-压电元件：
501-压电陶瓷片；502-第一电极层；503-第二电极层；504-绝缘带；505-第三电极层；506-电极过孔；507-导电填充物；
6-导电连接件：
601-绝缘框；602-第一引脚；603-第二引脚；604-第一导电体；605-第二导电体；606-第一引线力臂；607第二引线力臂；608-第一连接片；609-第二连接片；610-连接通孔；
7-下盖：
701-入气孔；702-第二凸起部；
8-振动膜：
801-通道孔；802-框体连接部；
9-上盖：
901-排气孔。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。
如图1和图12所示，一种微型泵，包括一底板1、一夹板2、一共振片3、一基板4、一压电元件5、一导电连接件6、一下盖7、一振动膜8和一上盖9。
如图2所示，所述底板1上设有至少一进气孔101；如图3所示，所述夹板2贴合组装在所述底板1上，所述夹板2上设有至少一汇流排孔201和一汇流腔室202，至少一所述汇流排孔201对应至少一所述进气孔101，至少一所述汇流排孔201连通所述汇流腔室202。在本实施例中，所述进气孔101和所述汇流排孔201的数量均为四，四个所述进气孔101均匀分布在所述底板1上，四个所述汇流排孔201均匀分布在所述夹板2上，充分保证气流量。
如图4所示，所述共振片3贴合组装在所述夹板2上，所述共振片3的中心处设有一中空孔301；
如图5所示，所述基板4包括一外框401、一悬浮板402、至少一连接部403、至少一间隙404；所述外框401贴合组装在所述共振片3上；至少一所述连接部403连接于所述悬浮板402及所述外框401之间，提供弹性支撑，使悬浮板402可相对于所述外框401进行振动；至少一所述间隙404设置于所述悬浮板402及所述外框401之间，提供气体流通。在本实施例中，如图5所示，所述连接部403的个数为四，所述间隙404的个数为四，四个所述连接部403和四个所述间隙404分别均匀分布在所述悬浮板402和外框401之间，四个所述连接部403充分保证了悬浮板402与外框401连接的可靠性，四个间隙404也保证足够多的通道供气体流通。
进一步地，如图6所示，所述悬浮板402上背对所述压电元件5的表面中心位置具有第一凸起部505，在压电元件5向下振动时，悬浮板402上的第一凸起部505可以有效堵住共振片3上的中空孔301，防止气体回流，起到单向阀的作用。在本实施例中，所述第一凸起部505的横截面为圆形。
如图7和图8所示，所述压电元件5，包括一压电陶瓷片501，所述压电陶瓷片501贴合于所述悬浮板402的一侧表面；所述压电陶瓷片501背对所述悬浮板402的表面上设有第一电极层502、第二电极层503和绝缘带504，所述第一电极层502和所述第二电极层503通过所述绝缘带504隔开；所述压电陶瓷片501面对所述悬浮板402的一面上设有第三电极层505，所述第三电极层505与所述第二电极层503电连接。具体地，所述压电陶瓷片501上设有电极过孔506，所述电极过孔506内填充有导电填充物507，所述第二电极层503和第三电极层505通过电极过孔506内的导电填充物507电连接。在本实施例中，所述导电填充物507为导电银浆。
关于在压电陶瓷片501上制备第一电极层502、第二电极层503和第三电极层505的制备：利用过孔丝印工艺，在印制第一电极层502、第二电极层503和第三电极层505，而后将第二电极层503通过电极过孔506中的导电银浆与第三电极层505连通，从而实现压电陶瓷片501的正、负极层同面，便于安装。压电陶瓷片501的横截面成圆形或方形，但不限定于上述两种图形。由于第二电极层503和第三电极层505同为正极或同为负极，因此在压电陶瓷片501中第二电极层503和第三电极层505重合的区域并不能发生振动，因此，第二电极层503的区域越小越好；同时考虑到需要将第二连接片609与所述第二电极层503通过导电胶水粘接或者焊点连接，第二电极层503的面积太小，不易连接，综合上述两点考虑，所述所述第二电极层的面积为2.7～3.7mm2最佳。另外，压电陶瓷片501上的电极过孔506可以采用过激光打孔的工艺制备，保证精度。
在本实施例中，所述绝缘带504呈弧形结构，可以有效防止应力集中，导致第一电极层502和/或第二电极层503损坏。
如图9所示，所述导电连接件6，包括一绝缘框601，所述绝缘框601贴合在所述外框401上，且与所述压电元件5位于外框401的同一侧；所述绝缘框601的外侧上设有一第一引脚602和一第二引脚603，所述绝缘框601上背对外框401的表面上设有一第一导电体604和一第二导电体605，所述第一导电体604和第二导电体605分隔开，所述第一导电体604与所述第一引脚602电连接，所述第二导电体605与所述第二引脚603电连接；所述绝缘框601的内侧设有至少一第一引线力臂606和至少一第二引线力臂607，所述绝缘框601内设有一第一连接片608和一第二连接片609；至少一所述第一引线力臂606的一端与所述第一导电体604电连接，另一端与所述第一连接片608电连接；至少一所述第二引线力臂607的一端与所述第二导电体605电连接，另一端与所述第二连接片609电连接；所述第一连接片608与所述第一电极层502电连接；所述第二连接片609与所述第二电极层503电连接。优选地，导电连接件6可为电路板。更优选地，所述电路板为柔性电路板，上面的部件都可以通过刻蚀工艺制成，然后通过粘贴工艺固定到所述外框401上，从而减少装配零件数量(采用1个预制的导电连接件6，即可完成电路连接)，降低装配难度；因其异形排布设计，有效降低了因温度变化材料鼓胀系数不同引起的关键尺寸的变化。所述第一连接片608通过焊点连接或导电胶水粘接在所述第一电极层502上，所述第二连接片609通过焊点连接或导电胶水粘接在所述第二电极层503上，实现其稳固连接，避免传统的高温焊接引起的陶瓷性能退化和金属件的局部变形，可将产品最高气压标准可以将传统的300mmHg提高到350mmHg以上。
在本实施例中，所述第一引线力臂606和所述第二引线力臂607的数量均为二个，在某一个第一引线力臂606和/或第二引线力臂607断裂时，另外的第一引线力臂和/或第二引线力臂也可以正常工作。
如图9，第一连接片608和第二连接片609呈对角分布在所述导电连接件6上。另外，如图10所示，第一连接片608和第二连接片609也可以分布在所述绝缘框601内的中间两侧位置。上述两种方式均是均匀连接，可以保证压电元件5受力的均匀性，但是，考虑到压电陶瓷片501的有效振动面积，第一连接片608和第二连接片609呈对角分布在所述绝缘框601内上，压电陶瓷片501的有效振动面积最大。
在本实施例中，所述第一连接片608和第二连接片609上均设有连接通孔610，焊料和/或导电胶水可以充分流到两个连接片的背面，使得第一连接片608和第二连接片609牢固地与所对应的电极层连接。
如图11所示，所述下盖7，贴合组装在所述绝缘框601上，所述下7上设有至少一入气孔701；所述振动膜8，所述振动膜8的边缘设置设有一框体连接部802，所述框体连接部802贴合组装在所述下盖7上；所述振动膜8上设有一通道孔801；所述上盖9，贴合组装在所述框体连接部802上，且与所述下盖7分布在振动膜8的两侧，所述上盖9上设有一排气孔901。
在本实施例中，所述下盖7面对所述振动膜8的表面上设有第二凸起部702，所述第二凸起702部位于所述通道孔801的正下方；第二凸起部702所起的作用与第一凸起部505类似。
关于上述微型泵的工作原理，如图13所示，其中，箭头方向为气体流动方向。首先通过导电连接件6上的第一引脚602和第二引脚603连接外部电源，压电元件5被驱动电压后，以产生形变带动悬浮板402向上移动，同时，共振片3收到共振远离影响而被同步向上振动，微型泵内的气体通过排气孔901排出，微型泵的内腔产生负压，外部的气体通过进气孔101汲取，经过汇流通道201进而进入到汇流腔室202，再依次通过中空孔301、间隙404、入气孔701和通道孔801，最后通过排气孔901排出。而当共振片3和振动膜8向下振动时，中空孔301和通道孔801分别被第一凸起部505和第二凸起部702堵住，气体无法反向流动。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不仅限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (18)

1.一种微型泵，其特征在于，包括：
一底板，所述底板上设有至少一进气孔；
一夹板，贴合组装在所述底板上，所述夹板上设有至少一汇流排孔和一汇流腔室，至少一所述汇流排孔对应至少一所述进气孔，至少一所述汇流排孔连通所述汇流腔室；
一共振片，贴合组装在所述夹板上，所述共振片的中心处设有一中空孔；
一基板，所述基板包括一外框、一悬浮板、至少一连接部、至少一间隙；所述外框贴合组装在所述共振片上；至少一所述连接部连接于所述悬浮板及所述外框之间，提供弹性支撑；至少一所述间隙设置于所述悬浮板及所述外框之间，提供气体流通；
一压电元件，包括一压电陶瓷片，所述压电陶瓷片贴合于所述悬浮板的一侧表面；所述压电陶瓷片背对所述悬浮板的表面上设有第一电极层、第二电极层和绝缘带，所述第一电极层和所述第二电极层通过所述绝缘带隔开；所述压电陶瓷片面对所述悬浮板的一面上设有第三电极层，所述第三电极层与所述第二电极层电连接；
一导电连接件，包括一绝缘框，所述绝缘框贴合在所述外框上，且与所述压电元件位于外框的同一侧；所述绝缘框的外侧上设有一第一引脚和一第二引脚，所述绝缘框上背对外框的表面上设有一第一导电体和一第二导电体，所述第一导电体和第二导电体分隔开，所述第一导电体与所述第一引脚电连接，所述第二导电体与所述第二引脚电连接；所述绝缘框的内侧设有至少一第一引线力臂和至少一第二引线力臂，所述绝缘框内设有一第一连接片和一第二连接片；至少一所述第一引线力臂的一端与所述第一导电体电连接，另一端与所述第一连接片电连接；至少一所述第二引线力臂的一端与所述第二导电体电连接，另一端与所述第二连接片电连接；所述第一连接片与所述第一电极层电连接；所述第二连接片与所述第二电极层电连接；
一下盖，贴合组装在所述绝缘框上，所述下盖上设有至少一入气孔；
一振动膜，所述振动膜的边缘设置设有一框体连接部，所述框体连接部贴合组装在所述下盖上；所述振动膜上设有一通道孔；
一上盖，贴合组装在所述框体连接部上，且与所述下盖分布在振动膜的两侧，所述上盖上设有一排气孔。
2.据权利要求1所述的微型泵，其特征在于，所述进气孔和所述汇流排孔的数量均为四，四个所述进气孔均匀分布在所述底板上，四个所述汇流排孔均匀分布在所述夹板上。
3.据权利要求1所述的微型泵，其特征在于，所述连接部的个数为四，所述间隙的个数为四，四个所述连接部和四个所述间隙分别均匀分布在所述悬浮板和外框之间。
4.据权利要求1或3所述的微型泵，其特征在于，所述悬浮板上背对所述压电元件的表面中心位置具有第一凸起部。
5.据权利要求4所述的微型泵，其特征在于，所述第一凸起部的横截面为圆形。
6.据权利要求1所述的微型泵，其特征在于，所述压电陶瓷片上设有电极过孔，所述电极过孔内填充有导电填充物，所述第二电极层和第三电极层通过电极过孔内的所述导电填充物电连接。
7.据权利要求6所述的微型泵，其特征在于，所述导电填充物为导电银浆。
8.据权利要求1或6或7所述的微型泵，其特征在于，所述绝缘带为弧形。
9.据权利要求1或5或6或7所述的微型泵，其特征在于，所述压电陶瓷片的横截面为圆形或方形。
10.据权利要求1或5或6或7所述的微型泵，其特征在于，所述第二电极层的面积为2.7～3.7mm2。
11.据权利要求1所述的微型泵，其特征在于，所述导电连接件为电路板。
12.据权利要求11所述的微型泵，其特征在于，所述电路板为柔性电路板。
13.据权利要求1或11或12所述的微型泵，其特征在于，所述第一引线力臂和所述第二引线力臂的数量均为二个以上。
14.据权利要求1或11或12所述的微型泵，其特征在于，所述第一连接片和第二连接片呈对角分布在所述绝缘框内。
15.据权利要求1或11或12所述的微型泵，其特征在于，所述第一连接片和第二连接片分布在所述绝缘框内的中间两侧位置。
16.据权利要求1或11或12所述的微型泵，其特征在于，所述第一连接片通过焊点连接或导电胶水粘接在所述第一电极层上，所述第二连接片通过焊点连接或导电胶水粘接在所述第二电极层上。
17.据权利要求16所述的微型泵，其特征在于，所述第一连接片和第二连接片上均设有连接通孔。
18.据权利要求11所述的微型泵，其特征在于，所述下盖面对所述振动膜的表面上设有第二凸起部，所述第二凸起部位于所述通道孔的正下方。
CN202210864485.3A 2022-07-21 2022-07-21 微型泵 Active CN115095509B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210864485.3A CN115095509B (zh) 2022-07-21 2022-07-21 微型泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210864485.3A CN115095509B (zh) 2022-07-21 2022-07-21 微型泵

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115095509A true CN115095509A (zh) 2022-09-23
CN115095509B CN115095509B (zh) 2024-09-10

Family

ID=83299188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210864485.3A Active CN115095509B (zh) 2022-07-21 2022-07-21 微型泵

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115095509B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115406432A (zh) * 2022-11-01 2022-11-29 天津集智航宇科技有限公司 一种激光陀螺的垂直向形变补偿装置及补偿方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203476838U (zh) * 2013-06-24 2014-03-12 研能科技股份有限公司 微型气体传输装置
US20150163598A1 (en) * 2012-04-05 2015-06-11 Nec Tokin Corporation Piezoelectric element, piezoelectric vibration module, and methods of manufacturing the same
CN204538087U (zh) * 2015-04-27 2015-08-05 苏州攀特电陶科技股份有限公司 孔化连接基板电极的压电陶瓷双晶片
JP2016051894A (ja) * 2014-09-01 2016-04-11 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 圧電素子及びこれを含む圧電振動モジュール
CN206711921U (zh) * 2017-04-14 2017-12-05 广东捷成科创电子股份有限公司 压电泵
CN111586222A (zh) * 2020-06-24 2020-08-25 精拓丽音科技（北京）有限公司 一种压电陶瓷组件和一种电子设备
CN111692085A (zh) * 2019-03-15 2020-09-22 研能科技股份有限公司 微型泵
CN111980886A (zh) * 2020-09-21 2020-11-24 常州威图流体科技有限公司 一种压电微泵支承结构及气体控制装置
CN217632862U (zh) * 2022-07-21 2022-10-21 米笛声学科技(江阴)有限公司 微型泵

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150163598A1 (en) * 2012-04-05 2015-06-11 Nec Tokin Corporation Piezoelectric element, piezoelectric vibration module, and methods of manufacturing the same
CN203476838U (zh) * 2013-06-24 2014-03-12 研能科技股份有限公司 微型气体传输装置
JP2016051894A (ja) * 2014-09-01 2016-04-11 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 圧電素子及びこれを含む圧電振動モジュール
CN204538087U (zh) * 2015-04-27 2015-08-05 苏州攀特电陶科技股份有限公司 孔化连接基板电极的压电陶瓷双晶片
CN206711921U (zh) * 2017-04-14 2017-12-05 广东捷成科创电子股份有限公司 压电泵
CN111692085A (zh) * 2019-03-15 2020-09-22 研能科技股份有限公司 微型泵
CN111586222A (zh) * 2020-06-24 2020-08-25 精拓丽音科技（北京）有限公司 一种压电陶瓷组件和一种电子设备
CN111980886A (zh) * 2020-09-21 2020-11-24 常州威图流体科技有限公司 一种压电微泵支承结构及气体控制装置
CN217632862U (zh) * 2022-07-21 2022-10-21 米笛声学科技(江阴)有限公司 微型泵

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115406432A (zh) * 2022-11-01 2022-11-29 天津集智航宇科技有限公司 一种激光陀螺的垂直向形变补偿装置及补偿方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN115095509B (zh) 2024-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104500374B (zh) 流体控制装置
US5008582A (en) Electronic device having a cooling element
EP3346131B1 (en) Fluid control apparatus and method for adjusting fluid control apparatus
CN217632862U (zh) 微型泵
JP2007165664A (ja) 振動子の配線構造及び圧電ポンプ
CN115095509B (zh) 微型泵
WO2000058205A1 (fr) Connecteur a ecartement etroit, convertisseur d'ecartement, micromachine, actionneur piezo-electrique, actionneur electrostatique, tete d'impression a jet d'encre, imprimante a jet d'encre, dispositif a cristaux liquides et appareil electronique
CN217641399U (zh) 压电致动器
JP2002127420A (ja) 圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法
CN115132913A (zh) 压电致动器
WO2019159862A1 (ja) 保持装置
JP2010062494A (ja) フレキシブル回路基板およびその製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、半導体装置
JP2013147965A (ja) 圧電ポンプ
CN111692085A (zh) 微型泵
TWI750462B (zh) 微型泵
JP2005201235A (ja) 圧電ポンプ
JP2003347622A (ja) 圧電素子の製造方法及び圧電素子、電歪アクチュエータの製造方法及び電歪アクチュエータ、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド
JP4848319B2 (ja) 圧電ポンプ
TW202202729A (zh) 壓電致動器
JP2002319717A (ja) 圧電アクチュエータ
TWI725602B (zh) 致動裝置
JP2004227858A (ja) 電気接点開閉装置及び電気接点開閉装置の製造方法
CN211715297U (zh) 致动装置
JP4516365B2 (ja) 超音波モータ
JPH09307218A (ja) 端子間接続装置及び静電アクチュエータの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant