CN115091393A - 一种便于离子枪钼片安装的定位结构 - Google Patents
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- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 184
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 43
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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Abstract
本发明涉及微调钼片安装离子枪技术领域。一种便于离子枪钼片安装的定位结构，包括离子枪主体，离子枪主体上设有若干个待安装的上钼片与下钼片，其特征在于：所述的上钼片上方设有定位盖，定位盖上对称设有若干个可以对上钼片与下钼片定位的定位销，定位盖上开设有若干个用于安装钼片的安装槽，定位盖的中部还开设有若干个观察孔，定位盖上均匀分布开设有若干个预留孔，每个预留孔内均设有预留钉。本发明提供了一种可以快速对钼片进行定位，且钼片定位后准确度高，无需反复拆卸调节的一种便于离子枪钼片安装的定位结构；解决了现有技术中存在的钼片安装时定位不准确，离子枪实际使用时偏差较大，影响产品质量的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及微调钼片安装离子枪技术领域，尤其涉及一种便于离子枪钼片安装的定位结构。
背景技术
微调机是用于晶体产品生产过程中用于晶体微调工序的设备，其利用干式蚀刻原理对晶体频率进行微调，干蚀刻通常是一种电浆蚀刻，由于蚀刻作用的不同，电浆中离子的物理性轰击晶体产品银面，将多余的银刮除，使得晶体产品的频率符合制造规格书的要求，微调机配套使用辅助真空室进行工件的真空室内外交换，可以进行不间断的刻蚀微调，生产效率高。
微调机的核心部件是离子枪（IONGUN），离子枪的日常维护保养主要是更换钼片，以保证能进行正常的蚀刻功能，而钼片是由厚度0.2mm和0.3mm两种不同的尺寸组合安装，在安装时需要对其进行垂直位置校准，以保证离子枪输出参数正常，目前现有的校准方式是用多根定位针进行校准作业，但校准时两片钼片会发生轻微错位，很难保证两片钼片处于同一垂直方向上，导致离子枪安装至微调机上使用时，输出参数不平均，影响产品品质，同时，也增加了维护保养人员的工作量，增加人力成本。
现有的离子枪在维护保养的过程中只是使用专用的定位针进行钼片的定位，定位完成后的离子枪在实际使用过程中存在输出速率偏差较大，容易影响产品品质，同时，组装不良的离子枪需要重新拆解对钼片进行重新定位，极大增加了维护人员的工作量，因此具有改进的必要。
发明内容
本发明提供了一种可以快速对钼片进行定位，且钼片定位后准确度高，无需反复拆卸调节的一种便于离子枪钼片安装的定位结构；解决了现有技术中存在的钼片安装时定位不准确，离子枪实际使用时偏差较大，影响产品质量的技术问题。
本发明的上述技术问题是通过下述技术方案解决的：一种便于离子枪钼片安装的定位结构，包括离子枪主体，离子枪主体上设有若干个待安装的上钼片与下钼片，其特征在于：所述的上钼片上方设有定位盖，定位盖上对称设有若干个可以对上钼片与下钼片定位的定位销，定位盖上开设有若干个用于安装钼片的安装槽，定位盖的中部还开设有若干个观察孔，定位盖上均匀分布开设有若干个预留孔，每个预留孔内均设有预留钉。安装时上钼片与下钼片叠加放置在离子枪主体上，然后通过预留钉将上钼片与下钼片固定在离子枪上，防止上钼片与下钼片偏转，再将定位盖盖在最上方的上钼片上，然后将定位销插在定位盖上，通过定位销将上钼片与下钼片的位置固定，定位盖也可以起到辅助定位的作用，可以避免上钼片与下钼片发生偏转，再通过观察孔观察上钼片与下钼片是否对齐，确认对齐后，最后通过安装槽分别将上钼片与下钼片固定在离子枪主体上，通过组合的方式保证钼片定位一次成功，同时，一次校准成功也免去了返工，极大减轻了维护人员的工作量，节约了人力成本。
作为优选，所述的上钼片与下钼片上均开设有相通的定位通孔，且定位通孔与定位销配合安装。定位通孔的作用是便于定位销对上钼片与下钼片同时定位，定位销差劲定位通孔后，上钼片与下钼片就不会轻易发生晃动或移动。
作为优选，所述的定位盖上开设有若干个定位插孔，且定位插孔为阶梯孔，定位销为阶梯轴。阶梯式的定位插孔与定位销配合，既便于定位销的安装与拆卸，也可以通过确认定位销的顶部平面是否位于同一平面判断定位销是否插到位。
作为优选，所述的定位插孔直径较小的孔尺寸与定位通孔的尺寸相同。定位插孔与定位通孔相连通，并且定位插孔直径较小的孔尺寸与定位通孔的尺寸相同，这样才能保证定位销插入定位通孔后上钼片与下钼片不会随意晃动。
作为优选，所述的定位插孔的数量为10个，定位销的数量为10个。定位插孔的数量可以根据实际情况调节位置与数量，本发明以10个定位插孔与10个定位销为例进行说明，10个定位销均匀分布在定位盖上，保证定位销插入后上钼片与下钼片不会产生偏转。
作为优选，所述的安装槽内设有若干个用于将上钼片安装在离子枪主体上的第一安装螺钉。由于上钼片与下钼片安装点不同，所以通过不同的螺钉分别固定安装，第一安装螺钉用于将上钼片固定安装在离子枪主体上。
作为优选，所述的安装槽内设有若干个用于将下钼片安装在离子枪主体上的第二安装螺钉。由于上钼片与下钼片安装点不同，所以通过不同的螺钉分别固定安装，第而安装螺钉用于将下钼片固定安装在离子枪主体上。
作为优选，所述的安装槽的数量为4个，观察孔的数量为3个，且观察孔与定位销间隔设置，预留孔为4个，且预留孔的尺寸大于等于预留钉的尺寸，预留孔均匀分布在定位盖的四角。安装槽的数量与位置需要根据上钼片与下钼片的安装点来调节，4个安装槽可以将上钼片与下钼片的四个方位进行充分固定，保证上钼片与下钼片定位的牢固与准确性，预留孔的尺寸大于或等于预留钉的尺寸，这样便于后续拆卸定位盖，4个预留钉对上钼片与下钼片的四角进行初步定位，防止上钼片与下钼片偏转。
作为优选，所述的上钼片与下钼片叠加放置在离子枪主体的待安装面，然后将预留钉安装在上钼片与下钼片的四角，再将定位盖盖在上钼片的上方，此时预留钉位于预留孔内，然后将若干个定位销沿定位插孔插入，直至定位销的端部插入至定位通孔内，此时定位销对上钼片与下钼片充分定位，防止上钼片与下钼片发生偏移。先通过预留钉安装在上钼片与下钼片的四角，将上钼片与下钼片初步固定，防止其偏转，然后将定位盖可以盖在最上方的上钼片上，再通过定位销进一步的将上钼片与下钼片完全定位，确保上钼片与下钼片互相平行以及位置的准确，避免了直接将上钼片与下钼片安装在离子枪主体时由于偏移产生的误差。
作为优选，所述的上钼片与下钼片完成定位后通过安装槽将其安装在离子枪的安装面上，先通过观察孔观察上钼片与下钼片上的定位通孔是否对齐，确认对齐后，由于上钼片与下钼片的安装点不同，所以分别通过第一安装螺钉与第二安装螺钉进行安装，通过若干个第一安装螺钉将上钼片安装在离子枪上，通过若干个第二安装螺钉安装在离子枪上，安装完成后依次将定位销以及定位盖拆卸下来，就完成了上钼片与下钼片的定位与安装。在完成对上钼片以及下钼片的定位后，先通过观察孔观察上钼片与下钼片上的定位通孔是否对齐，确认对齐后，由于上钼片与下钼片的形状以及厚度会有所差异，所以上钼片与下钼片固定在离子枪主体上的安装点不同，因此需要分别使用第一安装螺钉与第二安装螺钉对上钼片与下钼片进行安装与固定。
因此，本发明的一种便于离子枪钼片安装的定位结构具备下述优点：钼片安装时定位准确度高，便于操作，一次就能校准成功，无需反复拆卸重新定位安装，节省人力成本与校准时间。
附图说明
图1是本发明的一种便于离子枪钼片安装的定位结构的立体结构示意图。
图2是图1的俯视结构示意图。
图3是图1的主视剖视结构示意图。
图中，离子枪主体1，上钼片2，下钼片3，定位通孔4，定位盖5，定位插孔6，定位销7，安装槽8，第一安装螺钉9，第二安装螺钉10，观察孔11，预留孔12，预留钉13。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对发明的技术方案作进一步具体的说明。
实施例：
如图1和2和3所示，一种便于离子枪钼片安装的定位结构，包括离子枪主体1，离子枪主体1上安装有上钼片2与下钼片3，上钼片2与下钼片3上均开设有若干个定位通孔4，离子枪主体1上盖有定位盖5，上钼片2与下钼片3位于离子枪主体1与定位盖5之间，定位盖5上均匀分布有10个定位插孔6，定位插孔6为阶梯孔，定位插孔6上直径较小的孔尺寸与定位通孔4的尺寸相同，每个定位插孔6内均安装有定位销7，定位销7为阶梯轴，定位销7与定位插孔6相配合，并且定位销7插入至定位通孔4内，定位盖5上还开设有3个观察孔11，观察孔11与定位销7间隔分布，定位盖5的四角上均开设有一个预留孔12，每个预留孔12内均安装有预留钉13，预留孔12的尺寸大于等于预留顶的尺寸，定位盖5上对称开设有3个安装槽8，每个安装槽8内均安装有若干个将上钼片2固定在离子枪主体1上的第一安装螺钉9，每个安装槽8内还安装有若干个将下钼片3安装在离子枪主体1上的第二安装螺钉10。
使用时，上钼片2与下钼片3叠加放置在离子枪主体1的待安装面上，然后通过预留钉13将上钼片2与下钼片3固定在离子枪主体1上，然后将定位盖5扣在上钼片2上方，再将定位销7插在定位插孔6内，保证每个定位销7均通过定位插孔6插入到定位通孔4内，通过观察孔11观察上钼片2与下钼片3上的定位通孔4知否对齐，切确认对齐后，最后再通过第一安装螺钉9将上钼片2固定在离子枪主体1上，通过第二安装螺钉10将下钼片3固定安装在离子枪主体1上，安装完成后就可以取下定位销7，然后取出定位盖5，就完成了钼片的安装。
Claims (10)
1.一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，包括离子枪主体，离子枪主体上设有若干个待安装的上钼片与下钼片，其特征在于：所述的上钼片上方设有定位盖，定位盖上对称设有若干个可以对上钼片与下钼片定位的定位销，定位盖上开设有若干个用于安装钼片的安装槽，定位盖的中部还开设有若干个观察孔，定位盖上均匀分布开设有若干个预留孔，每个预留孔内均设有预留钉。
2.根据权利要求1所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的上钼片与下钼片上均开设有相通的定位通孔，且定位通孔与定位销配合安装。
3.根据权利要求1所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的定位盖上开设有若干个定位插孔，且定位插孔为阶梯孔，定位销为阶梯轴。
4.根据权利要求2或3所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的定位插孔直径较小的孔尺寸与定位通孔的尺寸相同。
5.根据权利要求3所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的定位插孔的数量为10个，定位销的数量为10个。
6.根据权利要求1所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的安装槽内设有若干个用于将上钼片安装在离子枪主体上的第一安装螺钉。
7.根据权利要求1所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的安装槽内设有若干个用于将下钼片安装在离子枪主体上的第二安装螺钉。
8.根据权利要求1所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的安装槽的数量为4个，观察孔的数量为3个，且观察孔与定位销间隔设置，预留孔为4个，且预留孔的尺寸大于等于预留钉的尺寸，预留孔均匀分布在定位盖的四角。
9.根据权利要求1或2或3所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的上钼片与下钼片叠加放置在离子枪主体的待安装面，然后将预留钉安装在上钼片与下钼片的四角，再将定位盖盖在上钼片的上方，此时预留钉位于预留孔内，然后将若干个定位销沿定位插孔插入，直至定位销的端部插入至定位通孔内，此时定位销对上钼片与下钼片充分定位，防止上钼片与下钼片发生偏移。
10.根据权利要求9所述的一种便于离子枪主体钼片安装的定位结构，其特征在于：所述的上钼片与下钼片完成定位后通过安装槽将其安装在离子枪的安装面上，先通过观察孔观察上钼片与下钼片上的定位通孔是否对齐，确认对齐后，由于上钼片与下钼片的安装点不同，所以分别通过第一安装螺钉与第二安装螺钉进行安装，通过若干个第一安装螺钉将上钼片安装在离子枪上，通过若干个第二安装螺钉安装在离子枪上，安装完成后依次将定位销以及定位盖拆卸下来，就完成了上钼片与下钼片的定位与安装。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210858007.1A CN115091393B (zh) | 2022-07-21 | 2022-07-21 | 一种便于离子枪钼片安装的定位结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210858007.1A CN115091393B (zh) | 2022-07-21 | 2022-07-21 | 一种便于离子枪钼片安装的定位结构 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115091393A true CN115091393A (zh) | 2022-09-23 |
| CN115091393B CN115091393B (zh) | 2024-03-01 |
Family
ID=83298222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210858007.1A Active CN115091393B (zh) | 2022-07-21 | 2022-07-21 | 一种便于离子枪钼片安装的定位结构 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN115091393B (zh) |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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