CN203747762U - 一种钼片自动定位器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于石英晶体元器件领域,具体是一种钼片自动定位器,其特征在于:底座由底板和底架构成,盖座由盖板和盖架构成,底架与底板、盖板与盖架均通过固定螺丝固定,钼片由上钼片与下钼片组成,盖板与底板具有相同的卡位凹槽、通孔及螺纹孔,下钼片、上钼片分别与底板及盖板的中间部位有对应的卡位凹槽、通孔及螺纹孔,底座与下钼片、盖板与上钼片均通过内六角螺丝固定,并具有对应的卡位凹槽,底座、盖座、上下钼片对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球定位,通过内六角螺丝将底座与盖座组装形成钼片自动定位器。本实用新型有效解决底座与盖座对位时上下的钼片出现移位偏差状况,保证产品的电气特性和信赖性。
Description
技术领域
本实用新型属于石英晶体元器件的设备领域,具体是一种钼片自动定位器。
背景技术
目前在石英晶体制造过程中,钼片的定位主要靠手动完成,在钼片手动定位器的底座与盖座定位过程中,上下的钼片容易出现移位偏差,从而导致如下缺陷:第一、离子枪刻蚀耗用高,导致离子枪故障率高,维护率高;第二、微调载条刻蚀损耗严重,维护治具的成本高;第三、刻蚀时间延长导致微调时间延长,造成微调效率低和产能低;第四、造成微调载条受损,导致直接刻蚀到被银电极,微调前后的电阻上升,微调优良率低,形成生产成本上升;第五、造成产品的电气特性(FL一致性、DLD一致性)和信赖性变差。随着石英晶体向小型化规格发展,设备使用厂家对设备制程能力要求逐步提高,精度要求及耗用要求提高,现有的手动钼片定位器已经不能满足要求。
发明内容
本实用新型的目的是在克服手动定位器所存在的缺陷,提供一种能解决底座与盖座自动准确对位,上下的钼片不会出现移位偏差的钼片自动定位器。
本实用新型采用以下技术方案实现:
一种钼片自动定位器,包括底座、钼片、盖座,其特征在于:底座由底板和底架构成,盖座由盖板和盖架构成,底架与底板、盖板与盖架均通固定螺丝固定,钼片由工位及大小一致的上钼片与下钼片组成,盖板与底板具有相同的卡位凹槽、通孔及螺纹孔,下钼片、上钼片分别与底板及盖板的中间部位有对应的卡位凹槽、通孔及螺纹孔,底座与下钼片用内六角螺丝固定,盖座与上钼片用内六角螺丝固定,底座与盖座有对应的卡位凹槽,底座、盖座、上下钼片对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球定位,通过内六角螺丝将底座与盖座组装形成钼片自动定位器。
本实用新型底座、盖座、上下钼片对应位置的卡位凹槽内用耐高温、耐磨的陶瓷球定位,并通过固定螺丝固定,可以有效解决底座与盖座对位时上下钼片出现移位偏差状况,降低离子枪的耗用率和故障率,降低微调载条的维护成本,提高微调效率和微调产能,保证产品电气特性和信赖性。
附图说明
图1是本实用新型底板的结构示意图。
图2是本实用新型底架的结构示意图。
图3是本实用新型盖板的结构示意图。
图4是本实用新型盖架的结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图所示,对本实用新型的具体实施方式做进一步说明。
如图1至4所示,一种钼片自动定位器,由底座1、钼片9、盖座2构成,其中底座1由底板3和底架11构成,盖座2由盖板4和盖架12构成,底架11与底板3、盖板4和盖架12均通过固定螺丝15固定,钼片9由工位及大小一致的上钼片与下钼片组成,盖板4与底板3具有对应的卡位凹槽一6、卡位凹槽二7、卡位凹槽三8、通孔5及螺纹孔10,下钼片、上钼片分别与底板3及盖板4的中间部位有对应的卡位凹槽二7、卡位凹槽三8、通孔5及螺纹孔10,底座1与下钼片、盖座2与上钼片均通过内六角螺丝14固定,底座1、钼片9、盖座2对位对应位置的卡位凹槽内用耐高温、耐磨的陶瓷球13定位,通过内六角螺丝14将底座1与盖座2组装形成钼片自动定位器。
更具体地,如图1所示,本实用新型底板3四周有十二个卡位凹槽一6和十二个通孔5,内壁有四个螺纹孔10,中间部位有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10;下钼片中间部位有圆形孔,四周有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10,通过内六角螺丝14将底座1与下钼片9组合在一起。
如图3所示,本实用新型盖板4四周有十二个卡位凹槽一6、十个螺纹孔5和二个通孔10,内壁有四个螺纹孔5,中间部位有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10;盖架12是把手状的固定架,通过固定螺丝15将盖板4与盖架12组合形成盖座2,上钼片9中间部位有圆形孔,四周有四个卡位凹槽二7、四个卡位凹槽三8、二个通孔5和二个螺纹孔10,通过内六角螺丝14将盖座2与上钼片组合在一起。陶瓷球13的特征是耐高温、耐磨,且尺寸一致。
本实用新型述底板3与盖板4的卡位凹槽一6,外观尺寸一致且一一对应;底板3的卡位凹槽二7与盖板4的卡位凹槽三8对应;底板3的卡位凹槽三8与盖板4的卡位凹槽二7对应。
本实用新型的钼片四周有倒角,所述的底座1、盖座2、底板3、盖板4、底架11、盖架12、内六角螺丝14、固定螺丝15均采用不锈钢材料。
Claims (4)
1.一种钼片自动定位器,包括底座(1)、钼片(9)、盖座(2),其特征在于:底座(1)由底板(3)和底架(11)构成,盖座(2)由盖板(4)和盖架(12)构成,底架(11)与底板(3)、底板(3)和底架(11)均通过固定螺丝(15)固定,钼片(9)由工位及大小一致的上钼片与下钼片组成,盖板(4)与底板(3)具有对应的卡位凹槽一(6)、卡位凹槽二(7)、卡位凹槽三(8)、通孔(5)及螺纹孔(10),下钼片、上钼片分别与底板(3)及盖板(4)的中间部位有对应的卡位凹槽二(7)、卡位凹槽三(8)、通孔(5)及螺纹孔(10),底座(1)与下钼片、盖板(4)与上钼片均通过内六角螺丝(14)固定,底座(1)、钼片(9)、盖座(2)对位对应位置的卡位凹槽内用陶瓷球(13)定位,通过内六角螺丝(14)将底座(1)与盖座(2)组装形成钼片自动定位器。
2.根据权利要求1所述的钼片自动定位器,其特征在于:底板(3)四周有十二个卡位凹槽一(6)和十二个通孔(5),内壁有四个螺纹孔(10),中间部位有四个卡位凹槽二(7)、四个卡位凹槽三(8)、二个通孔(5)和二个螺纹孔(10);下钼片中间部位有圆形孔,四周有四个卡位凹槽二(7)、四个卡位凹槽三(8)、二个通孔(5)和二个螺纹孔(10),通过内六角螺丝(14)将底座(1)与下钼片(9)组合在一起;盖板(4)四周有十二个卡位凹槽一(6)、十个螺纹孔(5)和二个通孔(10),内壁有四个螺纹孔(5),中间部位有四个卡位凹槽二(7)、四个卡位凹槽三(8)、二个通孔(5)和二个螺纹孔(10);盖架(12)是把手状的固定架,通过固定螺丝(15)将盖板(4)与盖架(12) 组合形成盖座(2),上钼片(9)中间部位有圆形孔,四周有四个卡位凹槽二(7)、四个卡位凹槽三(8)、二个通孔(5)和二个螺纹孔(10),通过内六角螺丝(14)将盖座(2)与上钼片组合在一起。
3.根据权利要求1或2所述的钼片自动定位器,其特征在于:所述底板(3)与盖板(4)的卡位凹槽一(6),外观尺寸一致且一一对应;底板(3)的卡位凹槽二(7)与盖板(4)的卡位凹槽三(8)对应;底板(3)面的卡位凹槽三(8)与盖板(4)面的卡位凹槽二(7)对应。
4.根据权利要求1或2所述的一种钼片自动定位器,其特征在于:钼片四周有倒角。
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CN111487259A (zh) * | 2020-04-24 | 2020-08-04 | 上海帆声图像科技有限公司 | 一种玻璃盖板丝印外观检测设备及检测算法 |
CN115091393A (zh) * | 2022-07-21 | 2022-09-23 | 宁波晶创科技有限公司 | 一种便于离子枪钼片安装的定位结构 |
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