CN115029070A - 一种c向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法 - Google Patents
一种c向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115029070A CN115029070A CN202210846300.6A CN202210846300A CN115029070A CN 115029070 A CN115029070 A CN 115029070A CN 202210846300 A CN202210846300 A CN 202210846300A CN 115029070 A CN115029070 A CN 115029070A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- polishing solution
- percent
- alumina
- agent
- alumina polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本发明公开了一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,所述氧化铝抛光液包括以下百分比组分:α氧化铝粉体7%~30%、分散剂0.01%~0.3%、氧化剂0.01%~1%、络合剂0.01%~0.5%、表面活性剂0.1%~2%、消泡剂0.01%~0.2%、悬浮剂0.05%~1%、pH调节剂调节pH在11~14、余量为纯水包括按百分比依次加入原来并混合搅拌和调节混合液的pH值。本发明中悬浮剂能有效的提升氧化铝抛光液的悬浮能力,分散剂和表面活性剂能够使氧化铝微粉更加均匀的分散,pH调节剂能够保持抛光液稳定的pH值,进而便于达到较为稳定地去除速率,确保C向蓝宝石良好的表面质量。
Description
技术领域
本发明涉及抛光技术领域,尤其涉及一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法。
背景技术
蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近2019℃高温的恶劣条件下工作。目前蓝宝石的两大主要用途:一类是衬底材料,其中主要是LED半导体衬底材料。LED照明用蓝宝石衬底占蓝宝石衬底应用比例达90%以上。因此,LED对蓝宝石衬底需求影响最为直接,也最为重要。另一类就是窗口材料,如手表表盘、航空、航天、精密制造、特殊制造等等。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题,本发明提出了一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法。
本发明提出的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,所述氧化铝抛光液包括以下百分比组分:α氧化铝粉体7%~30%、分散剂0.01%~0.3%、氧化剂0.01%~1%、络合剂0.01%~0.5%、表面活性剂0.1%~2%、消泡剂0.01%~0.2%、悬浮剂0.05%~1%、pH调节剂调节pH在11~14、余量为纯水;
所述氧化铝抛光液制备过程包括以下步骤:
S1:将α氧化铝、纯水按比例加入搅拌容器中在搅拌条件下依次加入一定比例的分散剂、氧化剂、络合剂、表面活性剂、消泡剂和溶解好的悬浮剂;
S2:用pH调节剂将pH调节至12~13,并补充纯水至需要的固含量,持续搅拌4~5h即可。
优选地,所述氧化铝抛光液还包括以下百分比组分:氧化铝粉体:15%~25%、分散剂0.05%~0.2%、氧化剂0.05%~0.5%、络合剂0.05%~0.2%、表面活性剂0.5%~1%、消泡剂0.05%~0.1%、悬浮剂0.05%~1%、pH调节剂调节pH在12~13、余量为纯水。
优选地,所述α氧化铝粒径为300nm~1000nm。
优选地,所述分散剂为聚乙二醇、焦磷酸钠、六偏磷酸钠中的一种或多种的混合物。
优选地,所述氧化剂为双氧水、硝酸钠、硝酸钾、有机过氧化物中的一种或多种的混合物,所述络合剂为EDTA、硫脲的一种或两种的混合物。
优选地,所述表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化铵中的一种或多种的混合物。
优选地,所述消泡剂为有机硅消泡剂或聚醚类消泡剂中的一种或两种的混合物。
优选地,所述悬浮剂为羧甲基纤维素、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺中的一种或多种。
优选地,所述pH调节剂中酸性pH调节剂为硝酸、硫酸中的任一种,碱性pH调节剂为氢氧化钠、氢氧化钾、二乙醇胺中的任一种或多种的混合物。
本发明的有益效果为:
本发明中包括α氧化铝粉体、氧化剂、分散剂、络合剂、表面活性剂、消泡剂、悬浮剂和pH调节剂,悬浮剂能有效的提升氧化铝抛光液的悬浮能力,分散剂和表面活性剂能够使氧化铝微粉更加均匀的分散,pH调节剂能够保持抛光液稳定的pH值,进而便于达到较为稳定地去除速率,确保C向蓝宝石良好的表面质量。
附图说明
图1为本发明提出的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法的流程结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
实施例1:
称取纯水500g,α氧化铝150g,焦磷酸钠10g,双氧水30g,EDTA8g,TX-1035g,有机硅消泡剂15g,依次加入搅拌器中,搅拌0.5h后加入事先用100g纯水溶解35g纤维素的溶液,然后用50%氢氧化钠溶液调节pH至12~14范围,最后补加纯水调节固含量为20%,持续搅拌4~5h。
实施例2:
称取纯水250g,α氧化铝70g,焦磷酸钠5g,双氧水15g,EDTA4g,TN-1020g,有机硅消泡剂10g,依次加入搅拌器中,搅拌0.5h后加入事先用50g纯水溶解20g纤维素的溶液,然后用50%氢氧化钠溶液调节pH至12~13范围,最后补加纯水调节固含量为20%,持续搅拌4~5h。
实施例3:
称取纯水500g,α氧化铝60g,焦磷酸钠5g,六偏磷酸钠8g,硝酸钠30g,EDTA8g,TX-1035g,有机硅消泡剂15g,依次加入搅拌器中,搅拌0.5h后加入事先用100g纯水溶解45g纤维素的溶液,然后用50%氢氧化钾溶液调节pH至12~13范围,最后补加纯水调节固含量为20%,持续搅拌4~5h。
实施例4:
称取纯水500g,α氧化铝200g,六偏磷酸钠10g,聚乙二醇6005g,硝酸钠20g,EDTA5g,TX-1035g,有机硅消泡剂15g,依次加入搅拌器中,搅拌0.5h后加入事先用100g纯水溶解35g纤维素的溶液,然后用50%氢氧化钠溶液调节pH至12~13范围,最后补加纯水调节固含量为20%,持续搅拌4~5h。
上述实施例经过批量生产后在莱玛特机台测试的效果有以下几个方面的优势:
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述氧化铝抛光液包括以下百分比组分:α氧化铝粉体7%~30%、分散剂0.01%~0.3%、氧化剂0.01%~1%、络合剂0.01%~0.5%、表面活性剂0.1%~2%、消泡剂0.01%~0.2%、悬浮剂0.05%~1%、pH调节剂调节pH在11~14、余量为纯水;
所述氧化铝抛光液制备过程包括以下步骤:
S1:将α氧化铝、纯水按比例加入搅拌容器中在搅拌条件下依次加入一定比例的分散剂、氧化剂、络合剂、表面活性剂、消泡剂和溶解好的悬浮剂;
S2:用pH调节剂将pH调节至12~13,并补充纯水至需要的固含量,持续搅拌4~5h即可。
2.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述氧化铝抛光液还包括以下百分比组分:氧化铝粉体:15%~25%、分散剂0.05%~0.2%、氧化剂0.05%~0.5%、络合剂0.05%~0.2%、表面活性剂0.5%~1%、消泡剂0.05%~0.1%、悬浮剂0.05%~1%、pH调节剂调节pH在12~13、余量为纯水。
3.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述α氧化铝粒径为300nm~1000nm。
4.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述分散剂为聚乙二醇、焦磷酸钠、六偏磷酸钠中的一种或多种的混合物。
5.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述氧化剂为双氧水、硝酸钠、硝酸钾、有机过氧化物中的一种或多种的混合物,所述络合剂为EDTA、硫脲的一种或两种的混合物。
6.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基溴化铵中的一种或多种的混合物。
7.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述消泡剂为有机硅消泡剂或聚醚类消泡剂中的一种或两种的混合物。
8.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述悬浮剂为羧甲基纤维素、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺中的一种或多种。
9.根据权利要求1所述的一种C向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,所述pH调节剂中酸性pH调节剂为硝酸、硫酸中的任一种,碱性pH调节剂为氢氧化钠、氢氧化钾、二乙醇胺中的任一种或多种的混合物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210846300.6A CN115029070A (zh) | 2022-07-19 | 2022-07-19 | 一种c向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210846300.6A CN115029070A (zh) | 2022-07-19 | 2022-07-19 | 一种c向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115029070A true CN115029070A (zh) | 2022-09-09 |
Family
ID=83128814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210846300.6A Pending CN115029070A (zh) | 2022-07-19 | 2022-07-19 | 一种c向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115029070A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116042098A (zh) * | 2023-02-08 | 2023-05-02 | 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 | 一种纳米氧化铝抛光液及在红外硫系玻璃抛光中的应用 |
CN116144270A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-05-23 | 湖南三安半导体有限责任公司 | 一种抛光液及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107987731A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-04 | 北京航天赛德科技发展有限公司 | 一种用于蓝宝石3d抛光的抛光液及其制备方法 |
CN108239484A (zh) * | 2016-12-23 | 2018-07-03 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种蓝宝石抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 |
CN108587474A (zh) * | 2018-03-25 | 2018-09-28 | 湖南皓志科技股份有限公司 | 一种氧化铝微粉抛光液及其制备方法 |
-
2022
- 2022-07-19 CN CN202210846300.6A patent/CN115029070A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108239484A (zh) * | 2016-12-23 | 2018-07-03 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种蓝宝石抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 |
CN107987731A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-04 | 北京航天赛德科技发展有限公司 | 一种用于蓝宝石3d抛光的抛光液及其制备方法 |
CN108587474A (zh) * | 2018-03-25 | 2018-09-28 | 湖南皓志科技股份有限公司 | 一种氧化铝微粉抛光液及其制备方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116042098A (zh) * | 2023-02-08 | 2023-05-02 | 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 | 一种纳米氧化铝抛光液及在红外硫系玻璃抛光中的应用 |
CN116144270A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-05-23 | 湖南三安半导体有限责任公司 | 一种抛光液及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN115029070A (zh) | 一种c向蓝宝石的氧化铝抛光液的制备方法 | |
CN107987731B (zh) | 一种用于蓝宝石3d抛光的抛光液及其制备方法 | |
CN104835731A (zh) | 一种大尺寸4H、6H-SiC单晶片的快速抛光方法 | |
CN108102552A (zh) | 一种用于氧化锆陶瓷3d抛光的抛光液及其制备方法 | |
CN111303772A (zh) | 一种超快速低损碳化硅衬底抛光液及其制备方法 | |
CN113668066A (zh) | 一种用于快速制绒的制绒添加剂及应用 | |
CN111073520A (zh) | 碳化硅晶圆片抛光用抛光粉及其制备方法、抛光液 | |
CN104084598A (zh) | 一种太阳能电池高密度单分散银粉的生产方法 | |
Li et al. | Hydrogen generation performance of novel Al–LiH–metal oxides | |
CN102503218A (zh) | 一种增强型粉体水泥助磨剂 | |
CN105040108A (zh) | 多晶硅太阳能电池的制绒方法 | |
CN108864949B (zh) | 一种用于抛光玻璃的稀土抛光液及其制备方法 | |
GB2035380A (en) | Process for the chemical deposition of gold by autocatalytic reduction | |
CN114477836A (zh) | 一种可控型纳米水化硅酸钙早强剂的制备方法、纳米水化硅酸钙早强剂及其应用 | |
CN105647478A (zh) | 镍元素掺杂二氧化硅复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法 | |
CN111020707A (zh) | 一种单晶硅制绒辅助剂及其应用 | |
CN107384220B (zh) | 一种用于led蓝宝石衬底的抛光硅溶胶及其制备方法 | |
CN108251057B (zh) | 磁力研磨液及其制备方法 | |
CN107541145B (zh) | 一种绿色环保抛光硅溶胶及其制备方法 | |
CN113755842A (zh) | 一种金属抛光液及其制备方法和应用 | |
CN114605922B (zh) | 一种快速抛光的化学抛光液及其制备方法 | |
CN117004323A (zh) | 一种复配氧化铝粉体抛光液及其制备方法 | |
CN108359383B (zh) | 一种蓝宝石材料表面精密加工专用耐磨纳米浆料 | |
CN115109521B (zh) | 一种基于碳化硅陶瓷片抛光的双cmp抛光液的抛光方法 | |
CN102230228B (zh) | 单晶硅太阳能电池表面处理用制绒剂及使用方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |