CN115026750A - 一种硅舟装配用的工装 - Google Patents

Abstract

一种硅舟装配用的工装，包括限位板以及相邻设置的支撑夹台与限位夹台，支撑夹台上设有用于夹持工件的夹持部，限位夹台设有夹座和可滑动的抵推件，限位板位于夹座与抵推件之间，抵推件用于推动限位板转动以使得限位板夹合至夹座，抵推件的内部设有空腔，抵推件的上部设有可转动的转轴，转轴的第一轴段设有朝向抵接面凸起的顶杆部，抵推件的上侧面设有供顶杆部穿过的开口，转轴相对抵接面偏心设置，转轴用于带动顶杆部转动以使得顶杆部伸出抵接面或缩回至空腔。上述方案通过支撑夹台和限位夹台的设置使得侧支杆能够以合适的角度装配到法兰盘，使用简单，操作方便，且有效提升了装配精度，具备较好的实用性。

Description

一种硅舟装配用的工装

技术领域

本发明涉及半导体加工设备的技术领域，具体涉及一种硅舟装配用的工装。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其主要加工方式有单片加工和批量片加工，即每次加工单片或多片晶圆。在晶圆生产的过程中，一般需要通过硅舟进行运输。

考虑到晶圆的精度要求较高，因此对硅舟的装配要求也较为严格。目前常见的硅舟大多包括顶盖、底盖和多个侧支杆，顶盖和底盖均为法兰盘，侧支杆的两端分别连接至顶盖和底盖，并保证侧支杆相对法兰盘的端面为垂直状态，相邻侧支杆彼此平行。为实现对晶圆的有效支撑，侧支杆的周向角度（即以侧支杆的轴线为转轴所对应的转动角度）往往需要保持在较小的误差范围内。

现有的硅舟大多由人工进行装配，侧支杆相对法兰盘的周向角度往往无法保证，若侧支杆的周向角度存在偏斜，就会对晶圆的边缘造成损伤，无法满足质量要求。

发明内容

本发明的目的是解决现有技术中的硅舟装配时，侧支杆相对法兰盘的周向角度无法准确调节，装配精度低的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种硅舟装配用的工装，包括限位板以及相邻设置的支撑夹台与限位夹台，所述支撑夹台上设有用于夹持工件的夹持部，所述限位夹台的一端向上凸起以形成夹座且另一端设有沿横向滑动的抵推件，所述限位板位于所述夹座与抵推件之间，所述限位板的下部转动连接至所述夹座的下部，所述抵推件朝向所述限位板的那侧面为圆弧形的抵接面，所述抵推件的抵接面用于推动限位板转动以使得限位板夹合至所述夹座，所述抵推件的内部设有空腔，所述抵推件的上部设有可转动的转轴，所述转轴包括位于空腔内的第一轴段和伸出至抵推件的外侧的第二轴段，所述第一轴段设有朝向抵接面凸起的顶杆部，所述抵推件的上侧面设有供所述顶杆部穿过的开口，所述转轴相对所述抵接面偏心设置，所述转轴用于带动所述顶杆部转动以使得顶杆部伸出抵接面或缩回至空腔。

与现有技术相比，上述方案通过支撑夹台的设置实现了对硅舟的法兰盘的夹持固定，通过限位夹台上的夹座和限位板的设置实现了对侧支杆的夹持固定，且通过滑动抵推件实现了对限位板的角度的精确调节，保证侧支杆能够以合适的角度装配到法兰盘，使用简单，操作方便，且有效提升了装配精度，具备较好的实用性。此外，当需要进行批量装配时，可以先滑动抵推件抵至限位板使得限位板达到预设角度，随后通过外力将抵推件进行固定，此时直接将侧支杆放入限位板和夹座之间，即可进行同型号硅舟的批量快速装配；若批量装配时，因支撑夹台对法兰盘的夹持角度出现了误差，此时可以通过转动转轴，使得顶杆部在转轴的带动下伸出至抵接面的外侧，由于抵接面为圆弧形，从而确保顶杆部能够抵接至限位板，实现对限位板的角度的细微且精确的调节，保证侧支杆仍能以所需角度安装至法兰盘。

作为优选的，所述限位夹台设有沿横向设置的导向部，所述导向部为长形槽，所述长形槽沿竖向贯穿所述限位夹台，所述抵推件沿所述长形槽滑动，所述抵推件的底部设有插接至所述长形槽的定位螺栓，所述定位螺栓用于控制所述抵推件相对导向部的固定，从而通过调节定位螺栓，即可使得抵推件相对导向部由滑动状态改为固定状态，操作简单方便。

作为优选的，上述方案还包括拨环，所述拨环沿轴向滑动连接至所述第二轴段，所述第二轴段设有键槽，所述拨环的内环面设有配合至所述键槽的卡齿，所述拨环朝向抵推件的一侧设有凸起的嵌齿，所述抵推件朝向拨环的一侧设有用于供嵌齿进行嵌接的环形槽。当需要对顶杆部的位置进行调节时，通过将嵌齿与环形槽调整到分离状态，此时转轴可以自由转动，方便操作者进行调节；而当调节完成后，通过将嵌齿重新嵌入环形槽，由于嵌齿和环形槽之间的摩擦力的存在，转轴即相对抵推件锁死，使得顶杆部能够被固定在所需位置。

作为优选的，所述夹座的下部设有容纳槽，所述限位板的下部设有凸起的转接端，所述转接端转动连接于所述容纳槽内，从而不仅结构更为紧凑，而且使得限位板和夹座对侧支杆的支撑作用更为稳定。

作为优选的，上述方案还包括限位立柱和锁紧件，所述限位夹台沿竖向滑动连接于所述限位立柱，所述锁紧件用于控制所述限位夹台与限位立柱相对固定，从而能够实现限位夹台的高度的调节。

作为优选的，所述锁紧件为限位螺栓，所述限位立柱设有多个沿竖向分布的供所述限位螺栓配合的限位孔，调节简单方便。

作为优选的，上述方案还包括用于推动所述支撑夹台沿竖向移动的升降架，从而能够实现支撑夹台的高度的调节。

作为优选的，所述支撑夹台为两个且并列设置，所述限位夹台为两个且并列设置于两个支撑夹台之间，从而满足大多数的装配需求。

附图说明

图1为一种硅舟装配用的工装的前侧的示意图；

图2为一种硅舟装配用的工装的后侧的示意图；

图3为一种硅舟装配用的工装的隐去抵推件后侧面的示意图；

图4为一种硅舟装配用的工装的抵推件的轴测示意图；

图5为一种硅舟装配用的工装的抵推件的主视示意图；

图6为沿图5中A-A剖面线的剖视示意图；

图7为沿图5中B-B剖面线的剖视示意图；

图8为沿图6中C-C剖面线的剖视示意图。

附图标记说明，

1、支撑夹台；110、夹持部；111、固定板；112、夹持螺栓；2、限位夹台；210、夹座；211、容纳槽；220、抵推件；221、定位螺栓；222、空腔；223、开口；224、环形槽；230、限位板；231、转接端；240、导向部；3、限位立柱；310、锁紧件；311、限位螺栓；312、限位孔；4、升降架；5、转轴；510、顶杆部；520、键槽；530、阶梯轴台；6、拨环；610、嵌齿；620、卡齿。

具体实施例

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。另外需要说明的是，本发明实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后、内、外）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

请参阅图1-图8，本发明的实施例提供的一种硅舟装配用的工装，包括限位板230以及相邻设置的支撑夹台1与限位夹台2，所述支撑夹台1上设有用于夹持工件的夹持部110，所述限位夹台2的一端向上凸起以形成夹座210且另一端设有沿横向滑动的抵推件220，所述限位板230位于所述夹座210与抵推件220之间，所述限位板230的下部转动连接至所述夹座210的下部，所述抵推件220朝向所述限位板230的那侧面为圆弧形的抵接面，所述抵推件220的抵接面用于推动限位板230转动以使得限位板230夹合至所述夹座210，所述抵推件220的内部设有空腔222，所述抵推件220的上部设有可转动的转轴5，所述转轴5包括位于空腔222内的第一轴段和伸出至抵推件220的外侧的第二轴段，所述第一轴段设有朝向抵接面凸起的顶杆部510，所述抵推件220的上侧面设有供所述顶杆部510穿过的开口223，所述转轴5相对所述抵接面偏心设置，所述转轴5用于带动所述顶杆部510转动以使得顶杆部510伸出抵接面或缩回至空腔222。

上述方案通过支撑夹台1的设置实现了对硅舟的法兰盘的夹持固定，同时通过将侧支杆放置在限位板230上，并推动抵推件220的限位面抵至限位板230，使得限位板230在抵接面的带动下转动至合适的角度，此时由于侧支杆的侧面与限位板230为贴合状态，即实现了侧支杆能够以合适的角度被夹持在限位板230和夹座210之间的功能，方便后续侧支杆相对法兰盘的装配作业。此外，当需要进行批量装配时，可以先滑动抵推件220抵至限位板230使得限位板230达到预设角度，随后通过外力将抵推件220进行固定，此时直接将侧支杆放入限位板230和夹座210之间，即可进行同型号硅舟的批量快速装配；若批量装配时，因支撑夹台1对法兰盘的夹持角度出现了误差，此时可以通过转动转轴5，使得顶杆部510在转轴5的带动下伸出至抵接面的外侧，由于抵接面为圆弧形，从而确保顶杆部510能够抵接至限位板230，实现对限位板230的角度的细微且精确的调节，保证侧支杆仍能以所需角度安装至法兰盘。与现有技术相比，上述方案使用简单，操作方便，且有效提升了装配精度，具备较好的实用性。

在本实施例中，限位夹台2设有沿横向设置的导向部240，导向部240为长形槽，长形槽沿竖向贯穿限位夹台2，抵推件220沿着长形槽滑动从而能够靠近或远离限位板230。抵推件220的底部设有插接至长形槽的定位螺栓221，定位螺栓221的螺帽位于长形槽的下侧。当旋动定位螺栓221使得螺帽与长形槽分离时，抵推件220能够相对导向部240自由滑移；当旋动定位螺栓221使得螺帽与长形槽抵接时，抵推件220即相对导向部240固定，操作简单方便。应当理解，导向部240也可以替换为其他形式，例如滑轨或滑轴，只要能供抵推件220滑动连接即可，本设计对此不做限定。

作为对上述实施例的进一步优化，上述方案还包括拨环6，拨环6沿轴向滑动连接至第二轴段，且第二轴段远离抵推件220的那端直径增大形成阶梯轴台530，以防拨环6脱出。第二轴段设有四个沿周向分布的键槽520，拨环6的内环面设有四个沿轴向分布的卡齿620，卡齿620与键槽520相配合以使得拨环6和转轴5周向固定。拨环6朝向抵推件220的一侧设有凸起的嵌齿610，抵推件220朝向拨环6的一侧设有环形槽224，环形槽224的槽宽小于嵌齿610的齿宽，从而使得嵌齿610能够靠过盈配合嵌接至环形槽224。当需要对顶杆部510的位置进行调节时，通过将嵌齿610与环形槽224调整到分离状态，此时转轴5可以自由转动，方便操作者进行调节；而当调节完成后，通过将嵌齿610重新嵌入环形槽224，由于嵌齿610和环形槽224之间的摩擦力的存在，转轴5即相对抵推件220锁死，使得顶杆部510能够被固定在所需位置。

在本实施例中，夹座210的下部设有容纳槽211，限位板230的转接端231转动连接于容纳槽211内，从而不仅结构更为紧凑，而且使得限位板230和夹座210对侧支杆的支撑作用更为稳定。

进一步的，上述实施例还包括限位立柱3和锁紧件310，限位夹台2沿竖向滑动连接于限位立柱3，锁紧件310用于控制限位夹台2与限位立柱3相对固定，从而能够实现限位夹台2的高度的调节。锁紧件310优选为限位螺栓311，同时限位立柱3设有多个沿竖向分布的供限位螺栓311配合的限位孔312，从而使得调节简单方便。

进一步的，上述实施例还包括用于推动支撑夹台1沿竖向移动的升降架4，升降架4由四根连杆依次铰接形成四连杆结构，升降架4的中部设有沿横向设置的可调节升降架4的宽度的螺杆，通过旋动螺杆，当升降架4宽度减小时，由于四连杆结构的作用，支撑夹台1将升起；当升降架4宽度增大时，支撑夹台1将下降，原理同现有技术中的千斤顶相同。当然，升降架4可以是现有技术中的其他结构，只要能实现支撑夹台1的高度的调节即可。

支撑夹台1的夹持部110在本实施例中包括沿竖向设置的固定板111和可朝向固定板111移动的夹持螺栓112组成，通过旋动夹持螺栓112朝向固定板111移动，即可使得法兰盘被夹持在固定板111和夹持螺栓112之间。

在本实施例中，支撑夹台1为两个且并列设置，从而使得支撑夹台1上的两个法兰盘的端面相对；限位夹台2为两个且并列设置于两个支撑夹台1之间，从而实现对侧支杆的稳定支撑，满足大多数的装配需求。当然，根据需要限位夹台2和支撑夹台1的个数也可以进行调整。

虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。对本领域技术人员来说，在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种硅舟装配用的工装，其特征在于，包括限位板（230）以及相邻设置的支撑夹台（1）与限位夹台（2），所述支撑夹台（1）上设有用于夹持工件的夹持部（110），所述限位夹台（2）的一端向上凸起以形成夹座（210）且另一端设有沿横向滑动的抵推件（220），所述限位板（230）位于所述夹座（210）与抵推件（220）之间，所述限位板（230）的下部转动连接至所述夹座（210）的下部，所述抵推件（220）朝向所述限位板（230）的那侧面为圆弧形的抵接面，所述抵推件（220）的抵接面用于推动限位板（230）转动以使得限位板（230）夹合至所述夹座（210），所述抵推件（220）的内部设有空腔（222），所述抵推件（220）的上部设有可转动的转轴（5），所述转轴（5）包括位于空腔（222）内的第一轴段和伸出至抵推件（220）的外侧的第二轴段，所述第一轴段设有朝向抵接面凸起的顶杆部（510），所述抵推件（220）的上侧面设有供所述顶杆部（510）穿过的开口（223），所述转轴（5）相对所述抵接面偏心设置，所述转轴（5）用于带动所述顶杆部（510）转动以使得顶杆部（510）伸出抵接面或缩回至空腔（222）。

2.根据权利要求1所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，所述限位夹台（2）设有沿横向设置的导向部（240），所述导向部（240）为长形槽，所述长形槽沿竖向贯穿所述限位夹台（2），所述抵推件（220）沿所述长形槽滑动，所述抵推件（220）的底部设有插接至所述长形槽的定位螺栓（221），所述定位螺栓（221）用于控制所述抵推件（220）相对导向部（240）的固定。

3.根据权利要求2所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，还包括拨环（6），所述拨环（6）沿轴向滑动连接至所述第二轴段，所述第二轴段设有键槽（520），所述拨环（6）的内环面设有配合至所述键槽（520）的卡齿（620），所述拨环（6）朝向抵推件（220）的一侧设有凸起的嵌齿（610），所述抵推件（220）朝向拨环（6）的一侧设有用于供嵌齿（610）进行嵌接的环形槽（224）。

4.根据权利要求1所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，所述夹座（210）的下部设有容纳槽（211），所述限位板（230）的下部设有凸起的转接端（231），所述转接端（231）转动连接于所述容纳槽（211）内。

5.根据权利要求1所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，还包括限位立柱（3）和锁紧件（310），所述限位夹台（2）沿竖向滑动连接于所述限位立柱（3），所述锁紧件（310）用于控制所述限位夹台（2）与限位立柱（3）相对固定。

6.根据权利要求5所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，所述锁紧件（310）为限位螺栓（311），所述限位立柱（3）设有多个沿竖向分布的供所述限位螺栓（311）配合的限位孔（312）。

7.根据权利要求1所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，还包括用于推动所述支撑夹台（1）沿竖向移动的升降架（4）。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种硅舟装配用的工装，其特征在于，所述支撑夹台（1）为两个且并列设置，所述限位夹台（2）为两个且并列设置于两个支撑夹台（1）之间。

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