CN115026043A - 一种金属基材的清洗方法与系统装置 - Google Patents

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CN115026043A CN202210822342.6A CN202210822342A CN115026043A CN 115026043 A CN115026043 A CN 115026043A CN 202210822342 A CN202210822342 A CN 202210822342A CN 115026043 A CN115026043 A CN 115026043A
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蒋新
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Abstract

本发明提供了一种金属基材的清洗方法与系统装置，所述金属基材的清洗方法包括：将金属基材依次进行脱脂清洗、除锈处理、至少两次的减薄处理、酸洗与中和处理，完成金属基材的清洗，再对清洗后的金属基材进行干燥处理。本发明采用定制化的清洗模块、干燥模块及配套的药液浓度管理装置，实现了清洗、干燥一体化的安全智能自动处理。

Description

一种金属基材的清洗方法与系统装置
技术领域
本发明属于细金属掩模板制造技术领域，涉及金属材料的清洗，尤其涉及一种金属基材的清洗方法与系统装置。
背景技术
精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)是OLED(Organic ElectroluminescenceDisplay，有机发光半导体)蒸镀工艺中的核心零部件，主要用于在OLED生产过程中沉积有机物质并形成像素。随着有源矩阵有机发光二极管显示屏逐渐取代智能手机中的LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)，面板制造商正在迅速增加新的产能，加速对精细金属掩模板的需求。FMM的上游材料为Invar金属(因瓦合金)、刻蚀液及树脂等原料，经过蚀刻、电铸和多重材料(金属+树脂材料)复合可制得FMM材料。在FMM材料制造过程中，涉及到对上游材料的清洗，为避免FMM材料形成多气孔、划痕、粗糙度差的问题，对于清洗工艺提出了较高的要求。
CN112893213A公开了一种用于构筑成形基材清洗的自动化双面清洗设备，包括控制系统、传感系统、金属基材翻转系统和清洗系统。清洗系统包括水平导轨、龙门框架、传动机构和清洗装置，清洗装置为干湿复合清洗的高效清洗头，用于实现金属基材的各个表面的擦洗清洁。
CN112410797A公开了一种清洗设备，用于清洗基材，包括：第一清洗装置，所述第一清洗装置包括第一清洗液；及第二清洗装置，所述第二清洗装置包括第二清洗液；运送装置，所述运送装置用于输送所述基材至所述第一清洗装置及所述第二清洗装置；其中，所述第一清洗液包括水，碱性物质，助溶剂和第一表面活性剂；所述第二清洗液包括水，酸性物质，螯合剂和第二表面活性剂。
CN107022766A公开了一种金属表面清洗的方法，包括将金属基材浸渍于清洗剂中，所述清洗剂为含有表面活性剂，乳化剂，络合剂，硝酸盐，碳酸盐及高铁酸盐的水溶液；所述金属基材为铝、铝合金、镁合金、镁铝合金中的至少一种；所述清洗剂的pH值为8～10。
现有清洗设备存在一定的技术壁垒，常规的柔性基材清洗方式存在问题，因此，如何提供既能实现清洗、干燥一体化安全智能操作设备，同时提高清洗效率，是亟待解决的技术问题。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种金属基材的清洗方法与系统装置，根据处理对象特性采用定制化的清洗模块、干燥模块及配套的药液浓度管理装置，实现了清洗、干燥一体化的安全智能自动处理。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种金属基材的清洗方法，所述金属基材的清洗方法包括：
将金属基材依次进行脱脂清洗、除锈处理、至少两次的减薄处理、酸洗与中和处理，完成金属基材的清洗，再对清洗后的金属基材进行干燥处理。
本发明提供的金属基材的清洗方法，针对金属基材依次进行模块化处理，经处理后的金属基材表面光滑，无凹痕或抓痕，避免金属基材发生腐蚀或软化，增强了清洗效果，降低了工艺成本。
作为本发明一个优选技术方案，所述金属基材的清洗方法还包括：
在所述脱脂清洗后，对金属基材进行一段热水洗。
在所述除锈处理后，对金属基材进行二段热水洗。
在所述减薄处理后，对金属基材进行三段热水洗。
在所述中和处理后，对金属基材进行四段热水洗。
在所述的一段热水洗、二段热水洗、三段热水洗与四段热水洗过程中，采用清洗液对金属表面进行喷淋清洗。
在所述一段热水洗、二段热水洗、三段热水洗与四段热水洗过程中采用的清洗液分别为RO水。
作为本发明一个优选技术方案，所述脱脂处理包括：采用脱脂药液浸没金属基材。
所述脱脂药液的温度为40～62℃，例如可以是40.0℃、40.5℃、42.0℃、45.0℃、45.5℃、48.0℃、49.5℃、50.0℃、50.5℃、52.0℃、53.0℃、54.5℃、55.0℃、58.5℃、60.0℃、61.5℃或62℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
相邻的两次所述减薄处理之间还包括：对所述金属基材进行水洗处理。
所述除锈处理包括：采用除锈药液对金属基材进行喷淋清洗。
所述除锈药液的温度为40～50℃，例如可以是40.0℃、40.5℃、41.0℃、41.5℃、42.0℃、42.5℃、44.0℃、44.5℃、44.8℃、45.0℃、45.2℃、45.5℃、46.0℃、47.0℃、48.0℃、49.5℃或50.0℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明一个优选技术方案，所述减薄处理包括：采用酸性药液对金属基材进行喷淋清洗。
所述酸性药液的温度为42～60℃，例如可以是42.0℃、42.5℃、44.0℃、44.5℃、44.8℃、45.0℃、45.2℃、45.5℃、46.0℃、47.0℃、47.5℃、48.0℃、50.0℃、50.5℃、51.0℃、51.5℃、52.0℃、52.5℃、54.0℃、54.5℃、54.8℃、55.0℃、55.2℃、55.5℃、56.0℃、57.0℃、58.0℃、59.5℃或60.0℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
需要说明的是，本发明中采用酸性药剂进行至少两次减薄处理，对金属基材表面的金属氧化层进行去除。本领域技术人员可根据具体情况调整减薄处理过程中酸性药液的温度，将首次减薄处理的药剂温度控制在42～48℃之间，逐渐提高后续减薄处理的温度，并控制在50～60℃。
作为本发明一个优选技术方案，所述的干燥处理包括对金属基材依次进行吹扫、除水与烘干。
所述烘干的温度为180～260℃，例如可以是180℃、185℃、190℃、195℃、200℃、210℃、220℃、230℃、240℃、245℃、250℃、255℃或260℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明一个优选技术方案，所述的金属基材的清洗方法还包括：在所述清洗过程中，分别对脱脂清洗、除锈处理、减薄处理、酸洗与中和处理产生的药液进行浓度调节、温度调节和循环利用。
所述的金属基材的清洗方法还包括：在所述干燥处理结束后，对金属基材进行去静电处理。
作为本发明一个优选技术方案，所述的金属基材的清洗方法具体包括如下步骤：
(Ⅰ)采用传送单元将金属基材送入清洗单元内，依次进行脱脂清洗、一段热水洗、除锈处理、二段热水洗、至少两次的二次减薄处理、三段热水洗、酸洗、中和处理与四段热水洗处理，完成金属基材的清洗；
(Ⅱ)将步骤(Ⅰ)中清洗后的金属基材依次进行吹扫与除水，随后在180～260℃条件下进行烘干；
(Ⅲ)将步骤(Ⅱ)中经烘干后的金属基材进行静电去除处理。
第二方面，本发明提供了一种金属基材的清洗系统装置，所述的金属基材的清洗系统装置用于第一方面所述的金属基材的清洗方法中；
所述的金属基材的清洗系统装置包括依次连接的清洗模块与干燥模块，所述的清洗模块包括依次设置的脱脂清洗腔室、除锈腔室、至少两个减薄腔室、酸洗腔室与中和腔室，所述的干燥模块用于对清洗后的金属基材进行干燥处理。
本发明提供的金属基材的清洗系统装置中，根据处理对象特性采用定制化的清洗模块、干燥模块及配套的药液处置装置，实现了清洗、干燥一体化的安全智能自动处理，并且兼容原材料减薄处理，增强清洗效果，实现技术突破，同时能够降低成本。
需要说明的是，本发明提供的金属基材的清洗系统装置，工作效率高、适用范围广，特别适用于柔性金属基材的清洗。
作为本发明一个优选技术方案，所述的清洗模块还包括一段热水洗腔室、二段热水洗腔室、三段热水洗腔室与四段热水洗腔室。
所述的一段热水洗腔室位于所述脱脂清洗腔室与除锈腔室之间。
所述的二段热水洗腔室位于所述除锈腔室与减薄腔室之间。
所述的三段热水洗腔室位于所述酸洗腔室与中和腔室之间。
所述的四段热水洗腔室位于所述中和腔室与干燥模块之间。
在所述清洗模块内，相邻的两个腔室之间分别设置有过渡段。
所述的过渡段包括至少两组挡液组件，相邻的两组挡液组件之间设置有气帘进行吹扫。
需要说明的是，相邻的两个处理腔室间利用过渡段进行药液\水分阻挡，避免药液串扰降低处理效果，防止水分造成药液损耗，采用两组专业的挡液组件(上下挡液滚轮)，在金属基材传送过程中，可有效去除液体，同时两组挡液组件中间设置气帘吹扫，增强阻隔效果。
相邻的两个所述减薄腔室之间还设置有水洗腔室。
即，本发明中的清洗模块包括依次设置的脱脂清洗腔室、过渡段、一段热水洗腔室、过渡段、除锈腔室、过渡段、二段热水洗腔室、过渡段、一次减薄腔室、过渡段、二次减薄腔室、过渡段、水洗腔室、过渡段、酸洗腔室、过渡段、三段热水洗腔室、过渡段、中和腔室、过渡段与四段热水洗腔室。
所述的脱脂清洗腔室内设置有浸泡池与超声波清洗装置，所述的浸泡池内填充有脱脂药液，将金属基材置于所述浸泡池内，所述的超声波清洗装置用于去除金属基材表面的附着物。
所述的一段热水洗腔室、二段热水洗腔室、三段热水洗腔室与四段热水洗腔室内独立地设置有第一喷洗装置。
所述的减薄腔室内设置有第二喷洗装置，所述的除锈腔室内设置有第三喷洗装置，所述的酸洗腔室内设置有第四喷洗装置，所述的中和腔室内设置有第五喷洗装置。
需要说明的是，除锈腔室/酸洗腔室/中和腔室中分别采用第三喷洗装置/第四喷洗装置/第五喷洗装置，主要通过喷嘴喷出一定压力和流量的药液，对金属基材表面的金属氧化层进行去除，实现微蚀。
所述的干燥模块包括依次设置的FR腔室、除水腔室与烘干腔室。
所述的FR腔室内设置有吹扫装置与存液槽。
需要说明的是，本发明中的FR腔室内设置的吹扫装置使用扇型喷嘴，利用其打击力较强的特点，通过采用合理的分布间距，对玻璃表面进行清洗。FR腔室内的存液槽采用逐级溢流模式，提升纯水使用效率。
所述的除水腔室内设置有风刀除雾装置，所述的风刀除雾装置包括至少两个抽风组件。
需要说明的是，除水腔室采用风刀除雾装置，用于将金属基材表面吹干，其中，风刀除雾装置设有上/下两组抽风，将水汽抽走，风刀上方设有隔板，将风刀前后隔离开，进行干/湿分区，风刀除雾装置内整体气流模拟，确保产生的水汽不会污染到金属基材。
所述的烘干腔室内设置有悬浮式烘干装置。
需要说明的是，烘干腔室内采用悬浮式烘箱进行充分干燥，金属基材在烘道内真正实现无接触的悬浮状态，杜绝划伤、划痕等现象。在不同的风速和张力下都能保证金属基材稳定性，正弦波曲线运行能有效解决起皱或翘边现象。
作为本发明一个优选技术方案，所述的金属基材的清洗系统装置还包括传动单元，所述的传动单元用于驱动金属基材经过清洗模块，并移动至干燥模块内。
所述的传动单元包括传送组件，所述的传送组件包括支撑板与驱动装置，所述的支撑板用于固定金属基材，所述的驱动装置用于驱动支撑板移动，并带动金属基材依次进入清洗模块、干燥模块与出料单元。
所述的金属基材的清洗系统装置还包括控制单元与药液处置单元，所述的药液处置单元用于分别调节脱脂清洗腔室、除锈腔室、至少两个减薄腔室、酸洗腔室与中和腔室内的药液，所述的控制单元分别电性连接所述的药液处置单元与清洗模块。
所述的药液处置单元包括脱脂回收槽、脱脂储存槽与脱脂调制槽，所述的脱脂回收槽用于回收所述脱脂清洗腔室内的脱脂药液，所述的脱脂储存槽用于储存脱脂药液，所述的脱脂调制槽用于调节脱脂药液的浓度。
所述的药液处置单元包括至少两个酸液回收槽、至少两个酸液储存槽、至少两个酸液调制槽、酸碱浓度管理装置与蚀刻储液槽，所述的酸液回收槽用于回收所述减薄腔室内的酸性药液，所述的酸液储存槽用于储存酸性药液，所述的酸液调制槽用于调节酸性药液的浓度，所述的酸碱浓度管理装置用于检测酸液回收槽、酸液储存槽、酸液调制槽、酸碱浓度管理装置与蚀刻储液槽内药液的酸碱度。
所述的药液处置单元包括除锈回收槽、除锈储存槽与除锈调制槽，所述的除锈回收槽用于回收所述除锈腔室内的除锈药液，所述的除锈储存槽用于储存除锈药液，所述的除锈调制槽用于调节除锈药液的浓度。
所述的金属基材的清洗系统装置还包括出料单元，所述的出料单元内设置有第一除静电装置与第二除静电装置，所述的第一除静电装置与第二除静电装置分为位于金属基材的上端与下端。
需要说明的是，本发明中的出料单元用于金属基材出料，上下部分别设置有第一除静电装置与第二除静电装置，针对烘烤的高静电状态，进行有效去除。
所述系统是指设备系统、装置系统或生产装置。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明提供的一种金属基材的清洗方法与系统装置，根据处理对象特性采用定制化的清洗模块、干燥模块及配套的药液浓度管理装置，实现金属基材依次进行模块化清洗、干燥一体化的安全智能自动处理，并且兼容原材料减薄处理，经处理后的金属基材表面光滑，无凹痕或抓痕，避免金属基材发生腐蚀或软化，增强了清洗效果，降低了工艺成本。
附图说明
图1为本发明实施例1提供的金属基材的清洗系统装置的结构示意图；
图2为本发明实施例2提供的金属基材的清洗方法的流程图。
其中，1-脱脂清洗腔室；2-一段热水洗腔室；3-除锈腔室；4-二段热水洗腔室；5-一次减薄腔室；6-水洗腔室；7-二次减薄腔室；8-酸洗腔室；9-三段热水洗腔室；10-中和腔室；11-四段热水洗腔室；12-FR腔室；13-除水腔室；14-烘干腔室；15-第一除静电装置；16-第二除静电装置；17-金属基材。
具体实施方式
需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本领域技术人员理应了解的是，本发明中必然包括用于实现工艺完整的必要管线、常规阀门和通用泵设备，但以上内容不属于本发明的主要发明点，本领域技术人员可以基于工艺流程和设备结构选型进可以自行增设布局，本发明对此不做特殊要求和具体限定。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在一个具体实施方式中，本发明提供了一种金属基材的清洗方法，所述的金属基材的清洗方法具体包括如下步骤：
(1)采用传送单元将金属基材17送入清洗单元内，依次进行脱脂清洗、一段热水洗、除锈处理、二段热水洗、至少两次减薄处理、三段热水洗、酸洗、中和处理与四段热水洗处理，完成金属基材17的清洗；
(2)将步骤(1)中清洗后的金属基材17依次进行吹扫、除水与烘干；
(3)将步骤(2)中经烘干后的金属基材17进行静电去除处理。
在一些实施方式中，步骤(1)中，相邻的两次所述减薄处理之间还包括：对所述金属基材17进行水洗处理。
在一些实施方式中，在所述的一段热水洗、二段热水洗、三段热水洗与四段热水洗过程中，采用清洗液对金属表面进行喷淋清洗。
在一些实施方式中，所述脱脂处理包括：采用脱脂药液浸没金属基材17，所述脱脂药液的温度为40～62℃。
在一些实施方式中，所述除锈处理包括：采用除锈药液对金属基材17进行喷淋清洗，所述除锈药液的温度为40～50℃。
在一些实施方式中，所述减薄处理包括：采用酸性药液对金属基材17进行喷淋清洗，所述酸性药液的温度为42～60℃。
在一些实施方式中，所述的干燥处理包括对金属基材17依次进行吹扫、除水与烘干。
在一些实施方式中，所述烘干的温度为180～260℃。
在一些实施方式中，所述的金属基材的清洗方法还包括：在所述清洗过程中，分别对脱脂清洗、除锈处理、减薄处理、酸洗与中和处理产生的药液进行浓度调节、温度调节和循环利用。
在一些实施方式中，所述的金属基材的清洗方法还包括：在所述干燥处理结束后，对金属基材17进行去静电处理。
在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种金属基材的清洗系统装置，所述的金属基材的清洗系统装置用于一个具体实施方式所述的金属基材的清洗方法中：
所述的金属基材的清洗系统装置包括依次连接的清洗模块与干燥模块，所述的清洗模块包括依次设置的脱脂清洗腔室1、除锈腔室3、至少两个减薄腔室、酸洗腔室8与中和腔室10，所述的干燥模块用于对清洗后的金属基材17进行干燥处理。
传动单元，所述的传动单元用于驱动金属基材17经过清洗模块，并移动至干燥模块内。
控制单元与药液处置单元，所述的药液处置单元用于分别调节脱脂清洗腔室1、除锈腔室3、至少两个减薄腔室、酸洗腔室8与中和腔室10内的药液，所述的控制单元分别电性连接所述的药液处置单元与清洗模块。
在一些实施方式中，所述的清洗模块还包括一段热水洗腔室2、二段热水洗腔室4、三段热水洗腔室9与四段热水洗腔室11。所述的一段热水洗腔室2位于所述脱脂清洗腔室1与除锈腔室3之间。所述的二段热水洗腔室4位于所述除锈腔室3与减薄腔室之间。所述的三段热水洗腔室9位于所述酸洗腔室8与中和腔室10之间。所述的四段热水洗腔室11位于所述中和腔室10与干燥模块之间。
在一些实施方式中，所述的一段热水洗腔室2、二段热水洗腔室4、三段热水洗腔室9与四段热水洗腔室11独立地包括第一喷洗装置、存储槽、驱动组件与过滤组件，所述的第一喷洗装置向金属基材17表面喷射清洗液。
在一些实施方式中，所述的存储槽内设置有酸碱调节组件、第一加热组件与第一温度传感组件，所述的控制单元分别电性连接所述的酸碱调节组件、第一加热组件与第一温度传感组件。
本发明中的一段热水洗腔室2、二段热水洗腔室4、三段热水洗腔室9与四段热水洗腔室11中分别采用第一喷洗装置的喷嘴喷出一定压力和流量的清洗液，对金属基材17表面的残留药液进行置换去除，保证下一步工艺段金属基材17表面的稳定性。通过四段热水洗，每段设置有存储槽、驱动组件(泵浦)、过滤组件(过滤器)，分别独立供给，可实现不同的压力流量调节。每个存储槽内设第一加热组件与第一温度传感组件，检测清洗液温度情况，相较常温水置换，采用热水置换去除药液残留更为有效。同时，存储槽内设置有酸碱调节组件，检测药液置换效果。四段热水洗腔室11中的最后一排喷管，供给方式为升温槽内厂务直供升温后直接供给，如此可提高槽内水置换率，保证水洁净度。
在一些实施方式中，在所述清洗模块内，相邻的两个腔室之间分别设置有过渡段。所述的过渡段包括至少两组挡液组件，相邻的两组挡液组件之间设置有气帘进行吹扫。
相邻的两个处理腔室间利用过渡段进行药液\水分阻挡，避免药液串扰降低处理效果，防止水分造成药液损耗，采用两组专业的挡液组件(上下挡液滚轮)，在金属基材17传送过程中，可有效去除液体，同时两组挡液组件中间设置气帘吹扫，增强阻隔效果。
即，本发明中的清洗模块包括依次设置的脱脂清洗腔室1、过渡段、一段热水洗腔室2、过渡段、除锈腔室3、过渡段、二段热水洗腔室4、过渡段、一次减薄腔室5、过渡段、二次减薄腔室7、过渡段、酸洗腔室8、过渡段、三段热水洗腔室9、过渡段、中和腔室10、过渡段与四段热水洗腔室11。
在一些实施方式中，所述的干燥模块包括依次设置的FR腔室12、除水腔室13与烘干腔室14。
在一些实施方式中，所述的FR腔室12内设置有吹扫装置与存液槽。本发明中的FR腔室12内设置的吹扫装置使用扇型喷嘴，利用其打击力较强的特点，通过采用合理的分布间距，对玻璃表面进行清洗。FR腔室12内的存液槽采用逐级溢流模式，提升纯水使用效率。
在一些实施方式中，所述的除水腔室13内设置有风刀除雾装置，所述的风刀除雾装置包括至少两个抽风组件。除水腔室13采用风刀除雾装置，用于将金属基材17表面吹干，其中，风刀除雾装置设有上/下两组抽风，将水汽抽走，风刀上方设有隔板，将风刀前后隔离开，进行干/湿分区，风刀除雾装置内整体气流模拟，确保产生的水汽不会污染到金属基材17。
在一些实施方式中，所述的烘干腔室14内设置有悬浮式烘干装置。烘干腔室14内采用悬浮式烘箱进行充分干燥，金属基材17在烘道内真正实现无接触的悬浮状态，杜绝划伤、划痕等现象。在不同的风速和张力下都能保证金属基材17稳定性，正弦波曲线运行能有效解决起皱或翘边现象。
在一些实施方式中，所述的脱脂清洗腔室1内设置有浸泡池与超声波清洗装置，所述的浸泡池内填充有脱脂药液，将金属基材17置于所述浸泡池内，所述的超声波清洗装置用于去除金属基材17表面的附着物。
在一些实施方式中，所述的药液处置单元包括脱脂回收槽、脱脂储存槽与脱脂调制槽，所述的脱脂回收槽用于回收所述脱脂清洗腔室1内的脱脂药液，所述的脱脂储存槽用于储存脱脂药液，所述的脱脂调制槽用于调节脱脂药液的浓度。
所述的脱脂回收槽、脱脂储存槽与脱脂调制槽内独立地设置有分别与所述控制单元电性连接的第二加热组件、第一循环组件与第二温度传感组件。
药液处置单元中的脱脂回收槽的数量为一个，初始进行建浴配槽至指定浓度，在处理过程对脱脂清洗腔室1内脱脂药液进行回收再利用。槽内设置有第二加热组件、第一循环组件与第二温度传感组件，第二加热组件将脱脂药液加热，第二温度传感组件检测脱脂药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制第二加热组件停止工作。同时，第一循环组件对槽内进行搅动，提高脱脂药液的温度均匀性，在循环过程中可对脱脂药液内杂质进行过滤。槽内设置一个浓度管理装置，主要通过电导率指标进行管控，一定浓度的脱脂药液具有特定的电导率数值，标定建立曲线后可自动化管控。示例性地，脱脂药液可采用碳酸钠、硅酸钠、三聚磷酸钠、硫酸铜或辛基酚聚氧乙烯醚中的任一种或至少两种的组合。
脱脂储存槽是针对已经建浴配比完成的脱脂药液进行保温，在处理过程中，通过高精度供给泵向脱脂回收槽内进行定量的补给，保证脱脂回收槽内脱脂药液浓度指标。脱脂储存槽内设置有第二加热组件、第一循环组件与第二温度传感组件，第二加热组件加热药液，第二温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制第二加热组件停止工作。同时，第一循环组件对槽内进行搅动，提高脱脂药液的温度均匀性，在循环过程中可对脱脂药液内杂质进行过滤。
脱脂调制槽是针对药液进行稀释，建浴配比成指定浓度，槽内设置有第二加热组件、第一循环组件与第二温度传感组件，第二加热组件加热药液，第二温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制第二加热组件停止工作。同时，第一循环组件对槽内进行搅动，提高脱脂药液的温度均匀性，在循环过程中可对脱脂药液内杂质进行过滤。另外槽内还设置一个浓度管理装置，主要通过电导率指标进行管控，一定浓度的脱脂药液具有特定的电导率数值，标定建立曲线后可自动化管控。
药液处置单元还包括第一药气防泄露装置，采用双层槽盖，双层密封，同时通入压缩空气，使其处于正压状态，槽盖边缘采用长压条板压紧，并配置开盖感应传感器。关键电气元器件包括泵浦，电机等设置护罩，并通入压缩空气，使护罩内处于正压状态，防止药液蒸气侵蚀。
在一些实施方式中，所述的减薄腔室内设置有第二喷洗装置，所述的除锈腔室3内设置有第三喷洗装置，所述的酸洗腔室8内设置有第四喷洗装置，所述的中和腔室10内设置有第五喷洗装置。
所述的第二喷洗装置用于向金属基材17的表面喷洒酸性药液，所述的第三喷洗装置用于向金属基材17的表面喷洒除锈药液。所述的第四喷洗装置用于向金属基材17的表面喷洒酸洗药液。所述的第五喷洗装置用于向金属基材17的表面喷洒中和药液。
在一些实施方式中，相邻的两个所述减薄腔室还设置有水洗腔室6，所述水洗腔室6与相邻的减薄腔室之间分别设置有过渡段。
当采用两个减薄腔室时，分别记为一次减薄腔室5与二次减薄腔室7。
一次减薄腔室5内的第二喷洗装置主要通过喷嘴喷出一定压力和流量的酸性药液，对金属基材17表面的金属氧化层进行去除，实现预减薄。金属基材17以一定速度进入一次减薄腔室5内进行微蚀。其中，第二喷洗装置采用单扇型喷嘴，利用其喷淋流量分布均等的特点，并对其进行合理的排布，提升除锈均一性；喷管采用多区单独控制方式，每个喷管设有单独的压力计以及调节阀，可单独调节，确保喷淋流量均一性。另外，一次减薄腔室5出口下部设置溢流式液刀，提高均一性。示例性地，酸性药液可采用硝酸溶液、磷酸溶液或稀硫酸溶液中的任一种或至少两种的组合。
所述的二次减薄腔室7内的第二喷洗装置通过喷嘴喷出一定压力和流量的强氧化性和酸性药液，对金属基材17表面的金属氧化层进行去除，实现再次减薄。金属基材17以一定速度进入二次减薄腔室7，进行减薄。其中，第二喷洗装置采用单圆型喷嘴，利用其喷淋流量分布均等的特点，并对其进行合理的排布，上下喷管可相对进行摇动，摇动距离1/2或3/2管道高度，提升除锈均一性；喷管采用多区单独控制方式，每个喷管设有单独的压力计以及调节阀，同时每个喷区采用独立泵浦供给，可单独调节，确保喷淋流量均一性。二次减薄腔室7出口上下设置补偿喷管，可针对性进行补偿，下部设置溢流式液刀，提高均一性。示例性地，酸性药液可采用硝酸溶液、磷酸溶液或稀硫酸溶液中的任一种或至少两种的组合，强氧化性可采用HF、NH4F或H2O2中的任一种。
在一些实施方式中，所述的药液处置单元包括一次酸液回收槽、一次酸液储存槽、一次酸液调制槽、酸碱浓度管理装置与第一蚀刻储液槽，所述的一次酸液回收槽用于回收所述一次减薄腔室5内的酸性药液，所述的一次酸液储存槽用于储存酸性药液，所述的一次酸液调制槽用于调节酸性药液的浓度，所述的酸碱浓度管理装置用于检测一次酸液回收槽、一次酸液储存槽、一次酸液调制槽、酸碱浓度管理装置与第一蚀刻储液槽内药液的酸碱度。
所述的一次酸液回收槽、一次酸液储存槽、一次酸液调制槽与第一蚀刻储液槽内独立地设置有第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件，所述的第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件分别电性连接控制单元。
在一些实施方式中，所述的药液处置单元包括二次酸液回收槽、二次酸液储存槽、二次酸液调制槽、酸碱浓度管理装置与第二蚀刻储液槽，所述的二次酸液回收槽用于回收所述二次减薄腔室7内的强氧化性药液，所述的二次酸液储存槽用于储存强氧化性药液，所述的二次酸液调制槽用于调节强氧化性药液的浓度，所述的酸碱浓度管理装置用于检测二次酸液回收槽、二次酸液储存槽、二次酸液调制槽、酸碱浓度管理装置与第二蚀刻储液槽内药液的酸碱度。
所述的二次酸液回收槽、二次酸液储存槽、二次酸液调制槽与第二蚀刻储液槽内独立地设置有第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件，所述的第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件分别电性连接控制单元。
一次酸液回收槽和二次酸液回收槽的数量均为一个，初始进行建浴配槽至指定浓度，针对一次减薄腔室5或二次减薄腔室7内的药液进行回收再利用。一次酸液回收槽和二次酸液回收槽的槽内分别设置有第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件。第三加热组件将药液加热，温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制第三加热组件停止工作。同时，冷却系统开始工作，通过冷却水将药液温度降低，当低于设定值时，温度传感组件输出信号至控制单元，控制单元控制冷却系统停止工作，同时第三加热组件开始工作，如此循环往复，控制药液实际温度与设定温度的偏差不超过±0.5℃。循环组件对槽内进行搅动，提高药液的温度均匀性，在循环过程中可对药液内杂质进行过滤。针对槽内酸性药液，采用酸碱浓度管理装置，对槽内溶液进行取样，不同酸电离程度不同，消耗的碱性药液差别存在，从而判定混酸浓度数据，工艺过程中可自动化管控。
一次酸液储存槽与二次酸液储存槽，是针对已经建浴配比完成的药液，进行保温，在处理过程中，通过高精度供给泵，向一次酸液回收槽或内进行定量的补给，保证药液浓度指标。一次酸液储存槽与二次酸液储存槽分别设置有第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件。加热组件将药液加热，温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制加热组件停止工作，同时，循环组件对槽内进行搅动，提高药液的温度均匀性，在循环过程中可对药液内杂质进行过滤。
一次酸液调制槽与二次酸液调制槽是针对药液分别进行稀释，建浴配比成指定浓度，槽内分别设置有第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件。加热组件将药液加热，温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制加热组件停止工作，同时，循环组件对槽内进行搅动，提高药液的温度均匀性，在循环过程中可对药液内杂质进行过滤。针对槽内混合酸溶液，采用酸碱浓度管理装置，主要通过槽内溶液进行取样，不同酸电离程度不同，消耗的碱性药液差别存在，从而判定药液浓度数据，实现可自动化管控。
第一蚀刻储液槽与第二蚀刻储液槽，可设置两个，其中一个备用。第一蚀刻储液槽与第二蚀刻储液槽内分别设置第三加热组件、第二循环组件与第三温度传感组件。加热组件将药液加热，温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制加热组件停止工作，同时，冷却系统开始工作，通过冷却水将药液温度降低。当低于设定值时，温度传感组件输出信号至控制单元，控制单元控制冷却系统停止工作，同时加热组件开始工作，如此循环往复，控制药液实际温度与设定温度的偏差不超过±0.5℃。
在一些实施方式中，药液处置单元还包括两个第二药气防泄露装置，分别针对于一次减薄腔室5与二次减薄腔室7，其中，第二药气防泄露装置的上槽采用双层槽盖，双层密封，同时通入压缩空气，使其处于正压状态，防止药液蒸气侵蚀。槽盖边缘采用长压条板压紧，并配置开盖感应传感器。药液槽入口/出口设有活动护窗，无金属基材17进出时，互动护窗关闭，减少酸气外泄。
在一些实施方式中，除锈腔室3/酸洗腔室8/中和腔室10中分别采用第三喷洗装置/第四喷洗装置/第五喷洗装置，主要通过喷嘴喷出一定压力和流量的药液，对金属基材17表面的金属氧化层进行去除，实现微蚀。金属基材17以一定速度进入除锈腔室3/酸洗腔室8/中和腔室10，进行微蚀。示例性地，除锈药液可采用盐酸、草酸、钼酸铵、十二烷基硫酸钠或十二烷基磺酸钠中的任一种或至少两种的组合；酸洗药液可采用硝酸溶液、磷酸溶液或稀硫酸溶液中的任一种或至少两种的组合；中和药液可采用氢氧化钠、碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸铵或碳酸氢铵中的任一种或至少两种的组合。
在一些实施方式中，所述的药液处置单元包括除锈回收槽、除锈储存槽与除锈调制槽，所述的除锈回收槽用于回收所述除锈腔室3内的除锈药液，所述的除锈储存槽用于储存除锈药液，所述的除锈调制槽用于调节除锈药液的浓度。
其中，除锈腔室3内的第三喷洗装置采用单扇型喷嘴，利用其喷淋流量分布均等的特点，并对其进行合理的排布，提升除锈均一性。喷管采用多区单独控制方式，每个喷管设有单独的压力计以及调节阀，可单独调节，确保喷淋流量均一性。除锈腔室3出口下部设置溢流式液刀，提高均一性。
药液处置单元中的除锈回收槽的数量为一个，初始进行建浴配槽至指定浓度，对除锈腔室3内药液进行回收再利用。槽内设置有第四加热组件、第三循环组件、第四温度传感组件和冷却系统。第四加热组件将药液加热，第四温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制加热组件停止工作，同时冷却系统开始工作，通过冷却水将药液温度降低。当低于设定值时，第四温度传感组件输出信号至控制单元，控制单元控制冷却系统停止工作，同时第四加热组件开始工作，如此循环往复，控制药液实际温度与设定温度的偏差不超过±1℃。第三循环组件对槽内进行搅动，提高药液的温度均匀性，同时循环过程中可对药液内杂质进行过滤。槽内设置一个浓度管理装置，主要通过酸碱度指标进行管控，一定浓度的药液具有特性的酸碱度数值，标定建立曲线后可自动化管控。
除锈储存槽：针对已经建浴配比完成的药液，进行保温，通过高精度供给泵向除锈回收槽内进行定量的补给，保证除锈回收槽内药液浓度指标。槽内设置有第四加热组件、第三循环组件、第四温度传感组件和冷却系统。第四加热组件将药液加热，第四温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制第四加热组件停止工作，同时，第三循环组件对槽内进行搅动，提高药液的温度均匀性，循环过程中可对药液内杂质进行过滤。
除锈调制槽：针对药液进行稀释，建浴配比成指定浓度，槽内设置第四加热组件、第三循环组件、第四温度传感组件和冷却系统。第四加热组件将药液加热，第四温度传感组件检测药液温度到达设定值后，输出信号至控制单元，控制单元控制第四加热组件停止工作，同时，第三循环组件对槽内进行搅动，提高药液的温度均匀性，循环过程中可对药液内杂质进行过滤。槽内设置一个浓度管理装置，主要通知电导率指标进行管控，一定浓度的碱性药液具有特性的电导率数值，标定建立曲线后可自动化管控。
在一些实施方式中，所述的药液处置单元包括酸洗回收槽、酸洗储存槽与酸洗调制槽，所述的酸洗回收槽用于回收所述酸洗腔室8内的酸洗药液，所述的酸洗储存槽用于储存酸洗药液，所述的酸洗调制槽用于调节除锈药液的浓度。
在一些实施方式中，所述的药液处置单元包括中和回收槽、中和储存槽与中和调制槽，所述的中和回收槽用于回收所述中和腔室10内的中和药液，所述的中和储存槽用于储存中和药液，所述的中和调制槽用于调节中和药液的浓度。
在一些实施方式中，药液处置单元还包括第三药气防泄露装置，针对除锈腔室3，其中，第三药气防泄露装置采用双层槽盖，双层密封，同时通入压缩空气，使其处于正压状态，防止药液蒸气侵蚀，槽盖边缘采用长压条板压紧，并配置开盖感应传感器。
在一些实施方式中，所述的金属基材的清洗系统装置还包括出料单元，所述的出料单元连接干燥模块。所述的出料单元内设置有第一除静电装置15与第二除静电装置16，所述的第一除静电装置15与第二除静电装置16分为位于金属基材17的上端与下端。
在一些实施方式中，所述的传动单元包括传送组件，所述的传送组件包括支撑板与驱动装置，所述的支撑板用于固定金属基材17，所述的驱动装置用于驱动支撑板移动，并带动金属基材17依次进入清洗模块、干燥模块与出料单元。
在一些实施方式中，本发明中的出料单元用于金属基材17出料，上下部分别设置有第一除静电装置15与第二除静电装置16，针对烘烤的高静电状态，进行有效去除。
其中，第一除静电装置15与第二除静电装置16的工作原理如下所述：
(1)空化：空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。在减压力作用时，液体中产生真空核群泡的现象，在压缩力作用时，真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力，由此剥离被清洗物表面的污垢，从而达到精密洗净目的。同时，跳频声波矩阵洁净装置在溶解H2的热水中，空化作用增强，使其清洗能力增强。
(2)直进流：超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。声波强度在0.5W/cm2时。肉眼能看到直进流，垂直于振动面产生流动，流速约为10cm/s，通过此直进流使被清洗物表面的微油污垢被搅拌，污垢表面的清洗液也产生对流，溶解污物的溶解液与新液混合，使溶解速度加快，对污物的搬运起着很大的作用。
实施例1
本实施例提供了一种金属基材的清洗系统装置，如图1所示，包括依次连接的清洗模块与干燥模块，清洗模块包括依次设置的脱脂清洗腔室1、过渡段、一段热水洗腔室2、过渡段、除锈腔室3、过渡段、二段热水洗腔室4、过渡段、一次减薄腔室5、过渡段、水洗腔室6、过渡段、二次减薄腔室7、过渡段、酸洗腔室8、过渡段、三段热水洗腔室9、过渡段、中和腔室10、过渡段与四段热水洗腔室11。过渡段为两组挡液滚轮，相邻的两组挡液滚轮之间设置有气帘进行吹扫。
一段热水洗腔室2、二段热水洗腔室4、三段热水洗腔室9和四段热水洗腔室11独立地包括第一喷洗装置、存储槽、驱动组件与过滤组件，第一喷洗装置用于向金属基材17表面喷射清洗液，储液槽内设置有酸碱调节组件、第一加热组件与第一温度传感组件。
脱脂清洗腔室1内设置有浸泡池与超声波清洗装置，浸泡池内填充有脱脂药液。浸泡池还连接脱脂回收槽、脱脂储存槽与脱脂调制槽，脱脂回收槽、脱脂储存槽与脱脂调制槽内独立地设置第二加热组件、第一循环组件与第二温度传感组件，第一药气防泄露装置。
一次减薄腔室5与二次减薄腔室7内分别设置有第二喷洗装置，一次减薄腔室5内的第二喷洗装置主要通过喷嘴喷出一定压力和流量的酸性药液，二次减薄腔室7内的第二喷洗装置通过喷嘴喷出一定压力和流量的强氧化性和酸性药液。
一次减薄腔室5内的第二喷洗装置还配置一次酸液回收槽、一次酸液储存槽、一次酸液调制槽、酸碱浓度管理装置、第一蚀刻储液槽与第二药气防泄露装置。一次酸液回收槽、一次酸液储存槽、一次酸液调制槽与第一蚀刻储液槽内独立地设置有第三加热组件、第二循环组件、第三温度传感组件和冷却系统。
二次减薄腔室7内的第二喷洗装置还配置二次酸液回收槽、二次酸液储存槽、二次酸液调制槽、酸碱浓度管理装置、第二蚀刻储液槽与第二药气防泄露装置。二次酸液回收槽、二次酸液储存槽、二次酸液调制槽与第二蚀刻储液槽内独立地设置有第三加热组件、第二循环组件、第三温度传感组件和冷却系统。
除锈腔室3内设置有第三喷洗装置，酸洗腔室8内设置有第四喷洗装置，中和腔室10内设置有第五喷洗装置。第三喷洗装置还配置有除锈回收槽、除锈储存槽、除锈调制槽和第三药气防泄露装置。除锈回收槽、除锈储存槽与除锈调制槽的槽内设置有第四加热组件、第三循环组件、第四温度传感组件和冷却系统。酸洗腔室8内设置酸洗回收槽、酸洗储存槽与酸洗调制槽。中和腔室10内设置中和回收槽、中和储存槽与中和调制槽。
干燥模块依次设置的FR腔室12、除水腔室13与烘干腔室14，用于对清洗后的金属基材17进行干燥处理，FR腔室12连接四段热水洗腔室11，经清洗模块后的金属基材17进行干燥。FR腔室12内设置有吹扫装置与存液槽。除水腔室13内设置有风刀除雾装置，风刀除雾装置两个抽风组件，烘干腔室14内设置有气浮式烘干装置进行烘干。
金属基材的清洗系统装置还包括出料单元用于金属基材17出料，上下部分别设置有第一除静电装置15与第二除静电装置16，针对烘烤的高静电状态，进行有效去除。
金属基材的清洗系统装置还包括传动单元，传动单元包括传送组件，传送组件包括支撑板与驱动装置，支撑板用于固定金属基材17，驱动装置用于驱动支撑板移动，并带动金属基材17依次进入清洗模块、干燥模块与出料单元。
实施例2
本实施例提供了一种金属基材的清洗方法，如图2所示，具体包括如下步骤：
(1)传送单元通过引板将金属基材17送入清洗单元内，首先采用脱脂药液浸泡金属基材17进行脱脂处理，采用的脱脂药液的温度为55℃，随后向金属基材17表面喷淋RO水，进行一段热水洗处理；
(2)向步骤(1)中经一段热水洗后的金属基材17表面喷淋除锈药液进行除锈处理，除锈药液的温度为45℃，随后向金属基材17表面喷淋RO水，进行二段热水洗处理；
(3)向步骤(2)中经二段热水洗后的金属基材17表面喷淋酸性药液进行一次减薄处理，酸性药液的温度为45℃；
(4)将向步骤(3)中经一次减薄处理后的金属基材17进行水洗处理，随后向金属基材17表面喷淋酸性药液进行二次减薄处理，酸性药液的温度为55℃；
(5)向步骤(4)中经二次减薄处理后的金属基材17表面喷淋酸洗药液进行除锈处理，随后再向金属基材17表面喷淋RO水，进行三段热水洗处理；
(6)向步骤(5)中经酸洗处理后的金属基材17表面喷淋中和药液进行中和处理，随后再向金属基材17表面喷淋RO水，进行四段热水洗处理；
(7)随后将金属基材17依次进行吹扫，再采用风刀除雾装置，将金属基材17表面吹干，最后在240℃的条件下烘干，完成金属基材17的干燥；
(8)将干燥的金属基材17传送至出料单元，通过上下部分别设置的第一除静电装置15与第二除静电装置16进行静电去除，完成金属基材17的清洗。
经清洗得到金属基材17表面光滑，无凹痕或抓痕，基材边缘未发生卷翘现象，接触角为15°，部分厚度偏差±0.2μm。
实施例3
本实施例提供了一种金属基材的清洗方法，具体包括如下步骤：
(1)传送单元通过引板将金属基材17送入清洗单元内，首先采用脱脂药液浸泡金属基材17进行脱脂处理，采用的脱脂药液的温度为54℃，随后向金属基材17表面喷淋RO水，进行一段热水洗处理；
(2)向步骤(1)中经一段热水洗后的金属基材17表面喷淋除锈药液进行除锈处理，除锈药液的温度为43℃，随后向金属基材17表面喷淋RO水，进行二段热水洗处理；
(3)向步骤(2)中经二段热水洗后的金属基材17表面喷淋酸性药液进行一次减薄处理，酸性药液的温度为42℃；
(4)将向步骤(3)中经一次减薄处理后的金属基材17进行水洗处理，随后向金属基材17表面喷淋酸性药液进行二次减薄处理，酸性药液的温度为56℃；
(5)向步骤(4)中经二次减薄处理后的金属基材17表面喷淋酸洗药液进行除锈处理，随后再向金属基材17表面喷淋RO水，进行三段热水洗处理；
(6)向步骤(5)中经酸洗处理后的金属基材17表面喷淋中和药液进行中和处理，随后再向金属基材17表面喷淋RO水，进行四段热水洗处理；
(7)随后将金属基材17依次进行吹扫，再采用风刀除雾装置，将金属基材17表面吹干，最后在200℃的条件下烘干，完成金属基材17的干燥；
(8)将干燥的金属基材17传送至出料单元，通过上下部分别设置的第一除静电装置15与第二除静电装置16进行静电去除，完成金属基材17的清洗。
经清洗得到金属基材17表面光滑，无凹痕或抓痕，基材边缘未发生卷翘现象，接触角为18°，部分厚度偏差±0.2μm。
实施例4
本实施例提供了一种金属基材的清洗方法，具体包括如下步骤：
(1)传送单元通过引板将金属基材17送入清洗单元内，首先采用脱脂药液浸泡金属基材17进行脱脂处理，采用的脱脂药液的温度为60℃，随后向金属基材17表面喷淋RO水，进行一段热水洗处理；
(2)向步骤(1)中经一段热水洗后的金属基材17表面喷淋除锈药液进行除锈处理，除锈药液的温度为50℃，随后向金属基材17表面喷淋RO水，进行二段热水洗处理；
(3)向步骤(2)中经二段热水洗后的金属基材17进入表面喷淋酸性药液进行一次减薄处理，酸性药液的温度为48℃；
(4)将向步骤(3)中经一次减薄处理后的金属基材17进行水洗处理，随后向金属基材17表面喷淋酸性药液进行二次减薄处理，酸性药液的温度为52℃；
(5)向步骤(4)中经二次减薄处理后的金属基材17表面喷淋酸洗药液进行除锈处理，随后再向金属基材17表面喷淋RO水，进行三段热水洗处理；
(6)向步骤(5)中经酸洗处理后的金属基材17表面喷淋中和药液进行中和处理，随后再向金属基材17表面喷淋RO水，进行四段热水洗处理；
(7)随后将金属基材17依次进行吹扫，再采用风刀除雾装置，将金属基材17表面吹干，最后在180℃的条件下烘干，完成金属基材17的干燥；
(8)将干燥的金属基材17传送至出料单元，通过上下部分别设置的第一除静电装置15与第二除静电装置16进行静电去除，完成金属基材17的清洗。
经清洗得到金属基材17表面光滑，无凹痕或抓痕，基材边缘未发生卷翘现象，接触角为20°，部分厚度偏差±0.2μm。
对比例1
本对比例提供了一种金属基材的清洗方法，与实施例2的区别在于，未进行步骤(3)中的一次减薄处理，以及步骤(4)的二次减薄处理，其余操作条件与工艺参数与实施例1完全相同。
经清洗得到金属基材17表面光滑，有凹痕，基材边缘未发生卷翘现象，接触角为35°，部分厚度偏差±0.5μm。
由实施例1～3可知，采用本发明提供的清洗方法，针对金属基材17依次进行模块化处理，经处理后的金属基材17表面光滑，无凹痕或抓痕，金属基材17发生腐蚀或软化，接触角≤20°，金属基材17部分厚度偏差±0.2μm，增强了清洗效果，降低了工艺成本。
由实施例1与对比例1可知，对比例1中清洗后的金属基材17的接触角有所增大，且厚度偏差要大于实施例1，这主要是由于实施例1中采用一次减薄处理进行预减薄，再进行二次减薄处理，能够有效地去除金属氧化层，降低金属基材17的接触角，提高了除锈均一性。
本发明提供的金属基材的清洗系统装置中，根据处理对象特性采用定制化的清洗模块、干燥模块及配套的药液浓度管理装置，实现金属基材17依次进行模块化清洗、干燥一体化的安全智能自动处理，并且兼容原材料减薄处理，经处理后的金属基材17表面光滑，无凹痕或抓痕，避免金属基材17发生腐蚀或软化，增强了清洗效果。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种金属基材的清洗方法，其特征在于，所述金属基材的清洗方法包括：
将金属基材依次进行脱脂清洗、除锈处理、至少两次的减薄处理、酸洗与中和处理，完成金属基材的清洗，再对清洗后的金属基材进行干燥处理。
2.根据权利要求1所述的金属基材的清洗方法，其特征在于，所述金属基材的清洗方法还包括：
在所述脱脂清洗后，对金属基材进行一段热水洗；
在所述除锈处理后，对金属基材进行二段热水洗；
在所述减薄处理后，对金属基材进行三段热水洗；
在所述中和处理后，对金属基材进行四段热水洗；
在所述的一段热水洗、二段热水洗、三段热水洗与四段热水洗过程中，采用清洗液对金属表面进行喷淋清洗。
3.根据权利要求1所述的金属基材的清洗方法，其特征在于，所述脱脂处理包括：采用脱脂药液浸没金属基材；
所述脱脂药液的温度为40～62℃；
所述除锈处理包括：采用除锈药液对金属基材进行喷淋清洗；
所述除锈药液的温度为40～50℃。
4.根据权利要求1所述的金属基材的清洗方法，其特征在于，所述减薄处理包括：采用酸性药液对金属基材进行喷淋清洗；
所述酸性药液的温度为42～60℃；
相邻的两次所述减薄处理之间还包括：对所述金属基材进行水洗处理。
5.根据权利要求1所述的金属基材的清洗方法，其特征在于，所述的干燥处理包括对金属基材依次进行吹扫、除水与烘干；
所述烘干的温度为180～260℃。
6.根据权利要求1所述的金属基材的清洗方法，其特征在于，所述的金属基材的清洗方法还包括：在所述清洗过程中，分别对脱脂清洗、除锈处理、减薄处理、酸洗与中和处理产生的药液进行浓度调节、温度调节和循环利用；
所述的金属基材的清洗方法还包括：在所述干燥处理结束后，对金属基材进行去静电处理。
7.根据权利要求1所述的金属基材的清洗方法，其特征在于，所述的金属基材的清洗方法具体包括如下步骤：
(Ⅰ)采用传送单元将金属基材送入清洗单元内，依次进行脱脂清洗、一段热水洗、除锈处理、二段热水洗、至少两次的二次减薄处理、三段热水洗、酸洗、中和处理与四段热水洗处理，完成金属基材的清洗；
(Ⅱ)将步骤(Ⅰ)中清洗后的金属基材依次进行吹扫与除水，随后在180～260℃条件下进行烘干；
(Ⅲ)将步骤(Ⅱ)中经烘干后的金属基材进行静电去除处理。
8.一种金属基材的清洗系统装置，其特征在于，所述的金属基材的清洗系统装置用于权利要求1-7任一项所述的金属基材的清洗方法中；
所述的金属基材的清洗系统装置包括依次连接的清洗模块与干燥模块，所述的清洗模块包括依次设置的脱脂清洗腔室、除锈腔室、至少两个减薄腔室、酸洗腔室与中和腔室，所述的干燥模块用于对清洗后的金属基材进行干燥处理。
9.根据权利要求8所述的金属基材的清洗系统装置，其特征在于，所述的清洗模块还包括一段热水洗腔室、二段热水洗腔室、三段热水洗腔室与四段热水洗腔室；
所述的一段热水洗腔室位于所述脱脂清洗腔室与除锈腔室之间；
所述的二段热水洗腔室位于所述除锈腔室与减薄腔室之间；
所述的三段热水洗腔室位于所述酸洗腔室与中和腔室之间；
所述的四段热水洗腔室位于所述中和腔室与干燥模块之间；
在所述清洗模块内，相邻的两个腔室之间分别设置有过渡段；
所述的过渡段包括至少两组挡液组件，相邻的两组挡液组件之间设置有气帘进行吹扫；
相邻的两个所述减薄腔室之间还设置有水洗腔室；
所述的脱脂清洗腔室内设置有浸泡池与超声波清洗装置，所述的浸泡池内填充有脱脂药液，将金属基材置于所述浸泡池内，所述的超声波清洗装置用于去除金属基材表面的附着物；
所述的一段热水洗腔室、二段热水洗腔室、三段热水洗腔室与四段热水洗腔室内独立地设置有第一喷洗装置；
所述的减薄腔室内设置有第二喷洗装置，所述的除锈腔室内设置有第三喷洗装置，所述的酸洗腔室内设置有第四喷洗装置，所述的中和腔室内设置有第五喷洗装置；
所述的干燥模块包括依次设置的FR腔室、除水腔室与烘干腔室；
所述的FR腔室内设置有吹扫装置与存液槽；
所述的除水腔室内设置有风刀除雾装置，所述的风刀除雾装置包括至少两个抽风组件；
所述的烘干腔室内设置有悬浮式烘干装置。
10.根据权利要求8所述的金属基材的清洗系统装置，其特征在于，所述的金属基材的清洗系统装置还包括传动单元，所述的传动单元用于驱动金属基材经过清洗模块，并移动至干燥模块内；
所述的金属基材的清洗系统装置还包括控制单元与药液处置单元，所述的药液处置单元用于分别调节脱脂清洗腔室、除锈腔室、至少两个减薄腔室、酸洗腔室与中和腔室内的药液，所述的控制单元分别电性连接所述的药液处置单元与清洗模块；
所述的金属基材的清洗系统装置还包括出料单元，所述的出料单元内设置有第一除静电装置与第二除静电装置，所述的第一除静电装置与第二除静电装置分为位于金属基材的上端与下端。
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1111200A (zh) * 1993-07-20 1995-11-08 株式会社戴福库 汽车擦洗机
JP2004307987A (ja) * 2003-04-09 2004-11-04 Chang Gung Univ 金属表面処理水溶液の組成および金属表面処理水溶液を利用した金属表面処理方法
EP2623263A1 (de) * 2012-09-21 2013-08-07 ISE Automotive GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenverdichtung und Reinigung eines Metallbauteils
CN103590062A (zh) * 2013-10-10 2014-02-19 杭州鼎盛炉业有限公司 一种节酸环保型带钢酸洗线及方法
CN104014504A (zh) * 2014-05-05 2014-09-03 无锡锦绣轮毂有限公司 轮毂表面前处理工艺
CN110815057A (zh) * 2019-11-05 2020-02-21 昆山亚比斯环保包装材料有限公司 一种无酸磷化金属板材的处理方法
CN111455368A (zh) * 2020-04-30 2020-07-28 广州上仕工程管理有限公司 一种耐腐蚀合金件的表面处理方法
CN111760763A (zh) * 2019-12-10 2020-10-13 苏州德帕特电子科技有限公司 一种自动化电子产品表面喷涂工艺
CN113560145A (zh) * 2021-07-23 2021-10-29 安徽誉林汽车部件有限公司 一种汽车金属零件表面处理工艺及设备

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1111200A (zh) * 1993-07-20 1995-11-08 株式会社戴福库 汽车擦洗机
JP2004307987A (ja) * 2003-04-09 2004-11-04 Chang Gung Univ 金属表面処理水溶液の組成および金属表面処理水溶液を利用した金属表面処理方法
EP2623263A1 (de) * 2012-09-21 2013-08-07 ISE Automotive GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenverdichtung und Reinigung eines Metallbauteils
CN103590062A (zh) * 2013-10-10 2014-02-19 杭州鼎盛炉业有限公司 一种节酸环保型带钢酸洗线及方法
CN104014504A (zh) * 2014-05-05 2014-09-03 无锡锦绣轮毂有限公司 轮毂表面前处理工艺
CN110815057A (zh) * 2019-11-05 2020-02-21 昆山亚比斯环保包装材料有限公司 一种无酸磷化金属板材的处理方法
CN111760763A (zh) * 2019-12-10 2020-10-13 苏州德帕特电子科技有限公司 一种自动化电子产品表面喷涂工艺
CN111455368A (zh) * 2020-04-30 2020-07-28 广州上仕工程管理有限公司 一种耐腐蚀合金件的表面处理方法
CN113560145A (zh) * 2021-07-23 2021-10-29 安徽誉林汽车部件有限公司 一种汽车金属零件表面处理工艺及设备

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