CN115014206A - 一种载板工况自动检测设备和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提出了一种载板工况自动检测设备和方法，该设备包括：固定底座；X向平移机构，其滑动设置于所述固定底座上，并沿X向运动；Y向平移机构，其滑动设置于所述X向平移机构上，并沿Y向运动；滑移台机构，其滑动设置于所述固定底座上，并沿X向运动，所述滑移台机构上放置有载板；转运机构，其固设于所述固定底座上，用于进行载板在输送带和滑移台机构之间的转运；至少两个检测机构，其设于所述Y向平移机构上，且所述载板位于两个检测机构之间，用于采集与载板的距离和二维码数据。本发明能够对载板的上下表面变形情况进行检测，且能够同时对pin脚的缺失情况进行判断，检测准确高效，避免发生漏检情况，提高了企业的生产效率。

Description

一种载板工况自动检测设备和方法
技术领域
本发明涉及芯片制造技术领域，具体而言，涉及一种载板工况自动检测设备和方法。
背景技术
载板用于在生产设备作业时装载固定产品，如芯片，从投入生产到产品生产流程结束后回收为一个使用周期，每个周期开始前，需要对载板工况进行检测，以确保载板各项指标正常方可投入使用。载板工况的指标如下：板面平整无明显变形，差异不超过1mm；各pin脚无缺失，无严重变形，偏移不超过1mm；内框边缘无明显变形，差异不超过1mm；载板两头的二维码(载板ID)可正常读取。
目前，载板工况为人工检测，工作量大，并且存在漏检，导致不良载板进入生产环节，引发产品不良和报废损失，给企业带来重大损失。
发明内容
本发明的目的在于提供一种载板工况自动检测设备和方法，解决了现有技术中人工检测工作量大，并且存在漏检的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种载板工况自动检测设备，包括：固定底座；X向平移机构，其滑动设置于所述固定底座上，并沿X向运动；Y向平移机构，其滑动设置于所述X向平移机构上，并沿Y向运动；滑移台机构，其滑动设置于所述固定底座上，并沿X向运动，所述滑移台机构上放置有载板；转运机构，其固设于所述固定底座上，用于进行载板在输送带和滑移台机构之间的转运；至少两个检测机构，其设于所述Y向平移机构上，且所述载板位于两个检测机构之间，用于采集与载板的距离和二维码数据。
作为优选方案，所述X向平移机构包括两个平行设置于固定底座上的第一滑轨，跨设于两个所述第一滑轨上的第一滑台，所述第一滑台与第一滑轨滑动配合连接。
作为优选方案，所述Y向平移机构包括安装座和第二滑台，所述安装座与沿Y向设于第一滑台上的第二滑轨滑动连接，所述安装座沿Z向固设于第二滑台侧部，所述两个检测机构相对设置于安装座上，且两个检测机构之间具有可供载板通过的间隙。
作为优选方案，所述滑移台机构包括撑板、撑杆、托板、夹具工装和驱动件，所述托板位于撑板上方并通过撑杆与其固定连接，所述撑板滑动设置于固定底座上，且其底端部设置有驱动件，用于驱动滑移台机构沿X向运动，所述夹具工装设于托板上表面，用于固定载板。
作为优选方案，所述夹具工装包括位于载板三个侧部的三个夹块，和位于载板另一侧部的一个挡板，且所述挡板位于靠近检测机构一侧。
作为优选方案，所述转运机构为机械手，所述机械手固设于固定底座上，且其端部连接有吸盘，用于吸取载板。
作为优选方案，所述检测机构包括可拆卸连接于安装座上的激光测距仪和二维码识别器，所述激光测距仪用于检测其与载板表面的距离，所述二维码识别器用于检测载板上的二维码是否正常。
本发明还提供了一种载板工况自动检测方法，实施于如上任一项所述的载板工况自动检测设备，包括如下步骤：利用机械手上的吸盘将输送带上的载板吸起，转运至滑移台机构上；启动夹具工装，夹具工装的夹块相向运动挤压载板使其位置固定；驱动X向平移机构朝滑移台机构一侧运动，使得载板处于安装座上的两个检测机构之间；驱动Y向平移机构和滑移台机构按照设定路径移动，同时利用安装座上的二维码识别器读取载板上的二维码数据，以及利用激光测距仪获取其与载板表面的距离数据；根据所述二维码数据判断二维码是否失效，根据距离数据判断载板的板面和内框是否变形，以及pin脚是否缺失；检测完成后，依次驱动X向平移机构、Y向平移机构和滑移台机构复位，再利用机械手吸取载板转运至合格区。
作为优选方案，所述根据距离数据判断载板的板面和内框是否变形，以及pin脚是否缺失，包括：所述两个检测机构分别为第一激光测距仪和第二激光测距仪，所述第一激光测距仪位于载板上方，检测获得其与待测载板上表面的距离为L，所述第二激光测距仪位于载板下方，检测获得其与待测载板下表面的距离为H，设第一激光测距仪和第二激光测距仪与标准载板上下表面的距离分别为L0和H0；当激光测距仪移动到非pin脚坐标位置时，|L-L0|＞M，或|H-H0|＞N，M，N为设定阈值，则判定载板的板面或内框发生变形；当激光测距仪移动到pin脚坐标位置时，|L-L0|＜Y，Y为设定阈值，则判定载板的pin脚缺失。
与现有技术相比，本发明的有益效果包括：通过在Y向平移机构上安装激光测距仪和二维码识别器，载板处于上下两个激光测距仪之间，与该检测设备相连的上位机存储有该载板对应的点阵坐标，并规划有检测路线。检测时，首先驱动Y向平移机构移动至原点，再使其沿Y向对载板的第一行上下表面进行检测，采集距离数据，第一行检测完成后，启动驱动件使得滑移台机构沿X向微移，再对第二行进行检测，依次往复，完成整个载板的检测。本发明能够对载板的上下表面变形情况进行检测，且能够同时对pin脚的缺失情况进行判断，检测准确高效，避免发生漏检情况，提高了企业的生产效率。
附图说明
参照附图来说明本发明的公开内容。应当了解，附图仅仅用于说明目的，而并非意在对本发明的保护范围构成限制。在附图中，相同的附图标记用于指代相同的部件。其中：
图1为本发明实施例载板工况自动检测设备的结构示意图；
图2为本发明实施例载板工况自动检测设备的俯视图；
图3为本发明实施例滑移台机构的结构示意图；
图4为本发明实施例机械手的局部结构示意图；
图5为本发明实施例载板的结构示意图；
图6为本发明实施例待测载板和标准载板的结构示意图。
图中标号：1固定底座、2第一滑轨、3第一滑台、4安装座、5第二滑台、6第二滑轨、7第三滑台、7.1撑板、7.2撑杆、7.3托板、8检测组件、9电机、10夹具工装、10.1夹块、10.2挡板、11第三滑轨、12载板、12.1载板主体、12.2载板内框、12.3pin脚、12.4二维码、13机械手、14滚珠丝杠、15吸盘。
具体实施方式
容易理解，根据本发明的技术方案，在不变更本发明实质精神下，本领域的一般技术人员可以提出可相互替换的多种结构方式以及实现方式。因此，以下具体实施方式以及附图仅是对本发明的技术方案的示例性说明，而不应当视为本发明的全部或者视为对本发明技术方案的限定或限制。
根据本发明的一实施方式结合图1和2示出。一种载板工况自动检测设备，包括：固定底座1、X向平移机构、Y向平移机构、滑移台机构、转运机构和检测机构。X向平移机构滑动设置于固定底座1上，并沿X向运动，Y向平移机构滑动设置于X向平移机构上，并沿Y向运动。滑移台机构滑动设置于固定底座1上，并沿X向运动，滑移台机构上放置有载板12；转运机构固设于固定底座1上，用于进行载板12在输送带和滑移台机构之间的转运。两个检测机构设于Y向平移机构上，且载板12位于两个检测机构之间，用于采集与载板12的距离和二维码数据。
具体的，上述X向平移机构包括两个平行设置于固定底座1上的第一滑轨2，跨设于两个第一滑轨2上的第一滑台3，第一滑台3与第一滑轨2滑动配合连接。
Y向平移机构包括安装座4和第二滑台5，安装座4与沿Y向设于第一滑台3上的第二滑轨6滑动连接，安装座4沿Z向固设于第二滑台5侧部，两个检测机构相对设置于安装座4上，且两个检测机构之间具有可供载板12通过的间隙。
参见图3，滑移台机构包括撑板7.1、撑杆7.2、托板7.3、夹具工装10和驱动件，托板7.3位于撑板7.1上方并通过撑杆7.2与其固定连接，撑板7.1滑动设置于固定底座1上，且其底端部设置有驱动件，用于驱动滑移台机构沿X向运动。本发明实施例中，驱动件采用电机9加滚珠丝杠14结构，该结构设计位移精度高，能够准确控制滑移台机构的移动距离。
应理解，上述X向平移机构、Y向平移机构和滑移台机构的驱动装置可采用气缸，电机9加滚珠丝杠14，或电机9加皮带轮等结构。
上述夹具工装10设于托板7.3上表面，用于固定载板12。具体的，该夹具工装10包括位于载板12三个侧部的三个夹块10.1，和位于载板12另一侧部的一个挡板10.2，且挡板10.2位于靠近检测机构一侧。夹块10.1的张紧可采用气缸控制。
参见图4，上述转运机构为机械手13，机械手13固设于固定底座1上，且其端部连接有吸盘15，用于吸取载板12，不易造成载板12表面发生变形磨损。
本发明实施例中，检测机构包括可拆卸连接于安装座4上的激光测距仪和二维码识别器，激光测距仪用于检测其与载板12表面的距离，二维码识别器用于检测载板12上的二维码12.4是否正常。激光测距仪可选用基恩士IL系列激光传感器。
具体的，两个检测机构分别为第一激光测距仪和第二激光测距仪，第一激光测距仪位于载板12上方，且在载板12上方的安装座4上还设有二维码识别器，第二激光测距仪位于载板12下方。
参见图5，载板12包括载板主体12.1，载板主体12.1上均匀开设有多个载板内框12.2，该载板内框12.2用于放置芯片，在载板内框12.2旁边的载板主体12.1上设有多个pin脚12.3，且在载板主体12.1两端部设有二维码12.4，该二维码12.4即载板ID。
本发明还提供了一种载板工况自动检测方法，实施于如上述的载板工况自动检测设备，包括如下步骤：
利用机械手13上的吸盘15将输送带上的载板12吸起，转运至滑移台机构上；
1)启动夹具工装10，夹具工装10的夹块10.1相向运动挤压载板12使其位置固定；
2)驱动X向平移机构朝滑移台机构一侧运动，使得载板12处于安装座4上的两个检测机构之间；
3)驱动Y向平移机构和滑移台机构按照设定路径移动，同时利用安装座4上的二维码识别器读取载板12上的二维码数据，以及利用激光测距仪获取其与载板12表面的距离数据；
4)根据二维码数据判断二维码12.4是否失效，根据距离数据判断载板12的板面和内框是否变形，以及pin脚12.3是否缺失；
5)检测完成后，依次驱动X向平移机构、Y向平移机构和滑移台机构复位，再利用机械手13吸取载板12转运至合格区。
参见图6，根据距离数据判断载板12的板面和内框是否变形，以及pin脚12.3是否缺失，包括：两个检测机构分别为第一激光测距仪和第二激光测距仪，第一激光测距仪位于载板12上方，检测获得其与待测载板12上表面的距离为L，第二激光测距仪位于载板12下方，检测获得其与待测载板下表面的距离为H，设第一激光测距仪和第二激光测距仪与标准载板上下表面的距离分别为L0和H0。
当激光测距仪移动到非pin脚坐标位置时，|L-L0|＞M，或|H-H0|＞N，M，N为设定阈值，则判定载板的板面或内框发生变形；当激光测距仪移动到pin脚坐标位置时，|L-L0|＜Y，Y为设定阈值，则判定载板的pin脚缺失。
综上所述，本发明的有益效果包括：通过在Y向平移机构上安装激光测距仪和二维码识别器，载板12处于上下两个激光测距仪之间，与该检测设备相连的上位机存储有该载板12对应的点阵坐标，并规划有检测路线，检测路线优选为“弓”形。检测时，首先驱动Y向平移机构移动至原点，再使其沿Y向对载板的第一行上下表面进行检测，采集距离数据，第一行检测完成后，启动驱动件使得滑移台机构沿X向微移，再对第二行进行检测，依次往复，完成整个载板的检测。本发明能够对载板12的上下表面变形情况进行检测，且能够同时对pin脚的缺失情况进行判断，检测准确高效，避免发生漏检情况，提高了企业的生产效率。
本发明的技术范围不仅仅局限于上述说明中的内容，本领域技术人员可以在不脱离本发明技术思想的前提下，对上述实施例进行多种变形和修改，而这些变形和修改均应当属于本发明的保护范围内。

Claims (9)

1.一种载板工况自动检测设备，其特征在于，包括：
固定底座；
X向平移机构，其滑动设置于所述固定底座上，并沿X向运动；
Y向平移机构，其滑动设置于所述X向平移机构上，并沿Y向运动；
滑移台机构，其滑动设置于所述固定底座上，并沿X向运动，所述滑移台机构上放置有载板；
转运机构，其固设于所述固定底座上，用于进行载板在输送带和滑移台机构之间的转运；
至少两个检测机构，其设于所述Y向平移机构上，且所述载板位于两个检测机构之间，用于采集与载板的距离和二维码数据。
2.根据权利要求1所述的载板工况自动检测设备，其特征在于，所述X向平移机构包括两个平行设置于固定底座上的第一滑轨，跨设于两个所述第一滑轨上的第一滑台，所述第一滑台与第一滑轨滑动配合连接。
3.根据权利要求1所述的载板工况自动检测设备，其特征在于，所述Y向平移机构包括安装座和第二滑台，所述安装座与沿Y向设于第一滑台上的第二滑轨滑动连接，所述安装座沿Z向固设于第二滑台侧部，所述两个检测机构相对设置于安装座上，且两个检测机构之间具有可供载板通过的间隙。
4.根据权利要求1所述的载板工况自动检测设备，其特征在于，所述滑移台机构包括撑板、撑杆、托板、夹具工装和驱动件，所述托板位于撑板上方并通过撑杆与其固定连接，所述撑板滑动设置于固定底座上，且其底端部设置有驱动件，用于驱动滑移台机构沿X向运动，所述夹具工装设于托板上表面，用于固定载板。
5.根据权利要求4所述的载板工况自动检测设备，其特征在于，所述夹具工装包括位于载板三个侧部的三个夹块，和位于载板另一侧部的一个挡板，且所述挡板位于靠近检测机构一侧。
6.根据权利要求1所述的载板工况自动检测设备，其特征在于，所述转运机构为机械手，所述机械手固设于固定底座上，且其端部连接有吸盘，用于吸取载板。
7.根据权利要求1所述的载板工况自动检测设备，其特征在于，所述检测机构包括可拆卸连接于安装座上的激光测距仪和二维码识别器，所述激光测距仪用于检测其与载板表面的距离，所述二维码识别器用于检测载板上的二维码是否正常。
8.一种载板工况自动检测方法，实施于如权利要求1至7任一项所述的载板工况自动检测设备，包括如下步骤：
利用机械手上的吸盘将输送带上的载板吸起，转运至滑移台机构上；
启动夹具工装，夹具工装的夹块相向运动挤压载板使其位置固定；
驱动X向平移机构朝滑移台机构一侧运动，使得载板处于安装座上的两个检测机构之间；
驱动Y向平移机构和滑移台机构按照设定路径移动，同时利用安装座上的二维码识别器读取载板上的二维码数据，以及利用激光测距仪获取其与载板表面的距离数据；
根据所述二维码数据判断二维码是否失效，根据距离数据判断载板的板面和内框是否变形，以及pin脚是否缺失；
检测完成后，依次驱动X向平移机构、Y向平移机构和滑移台机构复位，再利用机械手吸取载板转运至合格区。
9.根据权利要求8所述的载板工况自动检测方法，其特征在于，所述根据距离数据判断载板的板面和内框是否变形，以及pin脚是否缺失，包括：
所述两个检测机构分别为第一激光测距仪和第二激光测距仪，所述第一激光测距仪位于载板上方，检测获得其与待测载板上表面的距离为L，所述第二激光测距仪位于载板下方，检测获得其与待测载板下表面的距离为H，设第一激光测距仪和第二激光测距仪与标准载板上下表面的距离分别为L0和H0；
当激光测距仪移动到非pin脚坐标位置时，|L-L0|＞M，或|H-H0|＞N，M，N为设定阈值，则判定载板的板面或内框发生变形；
当激光测距仪移动到pin脚坐标位置时，|L-L0|＜Y，Y为设定阈值，则判定载板的pin脚缺失。
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