CN115003042A - 一种氨水辅助退膜方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种氨水辅助退膜方法，所述方法为在基板水平通过退膜槽时，氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋，所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。具体包括如下步骤，S1：氨水保存，将氨水保存在塑料桶中；S2：通过负压机接入导管，将氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下进入退膜槽；S3：在基板水平通过退膜槽时，氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气，并在后续不断喷进的氨水打入挤压，氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面，氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水，完成退膜。本发明氨水辅助退膜方法具有退膜干净、不易被腐蚀和造成残留等优点。
Description
技术领域
本发明涉及PCB制作退膜技术领域，具体为一种氨水辅助退膜方法。
背景技术
退膜是在曝光之后，将需要的线路上干膜进行固化，然后退化掉没有固化掉的干膜，再通过蚀刻等技术将裸露出的铜进行咬蚀掉，实现电路制作过程，然而在退膜过程中，由于退膜液呈现碱性，碱性偏弱会导致退膜不干净进而导致蚀刻不尽，如果碱性过强，如pH超过10会导致线路被腐蚀，尤其在IC载板方面，其线宽线距低于50微米，甚至会造成化学物质残留，不易被清除。
为解决上述问题，有人提出一种新式无机环保型退膜液的中国专利申请（申请号：2017111658206），其公开了一种包含退膜加速剂的退膜液，其中，退膜加速剂为胺类化合物氨水……等中的一种或两种以上的混合。该退膜液在退膜使用后在一定程度降低废液的处理难度，但其退膜仍不干净，易有残留。
发明内容
本发明提供一种具有退膜干净、不易被腐蚀和造成残留的氨水辅助退膜方法。
为了实现上述目的，通过以下技术方案实现。
一种氨水辅助退膜方法，所述方法为在基板水平通过退膜槽时，氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋，所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。本发明氨水辅助退膜方法中采用的氨水为浓氨水，其在基板水平通过退膜槽时，以喷淋方式对板面上下同步喷淋，使膜加述脱离板面，实现有效辅助退膜。具体地，本发明采用喷淋方式从板面上下方向向中间喷淋，带动退膜槽内的退膜药水垂直打向板面，由于本发明采用的是浓氨水，其在板面喷淋的过程中会不断地挥发出氨气进行冲击未被腐蚀残留的退膜药水，且不断放出的氨气对固化干膜与未固化干膜的交界处具有垂直切力，其使得固化干膜边缘更加平整垂直，对于后续工艺的蚀刻具有很好地促进作用，使板面不仅退膜干净，而且不易被腐蚀和造成残留。
进一步地，所述氨水辅助退膜方法包括如下步骤，
S1：氨水保存，将氨水保存在塑料桶中；由于氨水易挥发出氨气，且随温度升高和放置时间延长而挥发率增加，而且会随浓度的增大挥发量增加，本发明中采用的是浓氨水，为减少其保存过程中发生挥发现象，将氨水保存在塑料桶中，以减少或避免氨水的挥发。
S2：通过负压机接入导管，将氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下进入退膜槽；负压机启动后，氨水在负压的作用力下，通过导管进入退膜槽中，并通过导管喷淋至板的上下表面，喷淋过程中不断挥发出的氨气，挥发的氨气不断地冲击板面未被腐蚀残留的退膜药水，且不断放出的氨气对固化干膜与未固化干膜的交界处具有垂直切力，其使得固化干膜边缘更加平整垂直，对于后续工艺的蚀刻具有很好地促进作用。
S3：在基板水平通过退膜槽时，氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气，并在后续不断喷进的氨水打入挤压，氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面，氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水，完成退膜。
进一步地，所述导管包括上导管和下导管，所述上导管和下导管分别位于所述基板的上下方向所在位置，且所述上导管和下导管的相对面均开设有喷淋孔。采用包括上导管和下导管的导管设置，上导管和下导管分别位于基板的上下方向，使氨水在不断地挥发过程中，挥发出的氨气不断地向基板的上下两面冲击，使膜加述脱离板面，实现有效辅助退膜。
进一步地，所述上导管上的喷淋压力为2.5-3.5kg/cm2，所述下导管上的喷淋压力为3-4kg/cm2。采用上导管喷淋压力小于下导管上的喷淋压力的设置，使基板在退膜药水中上下受力保持平衡，进而确保氨水的喷淋均匀度，使退膜均匀度好，产品质量高。
进一步地，所述退膜药水的温度为40-50摄氏度。所述退膜药水在此温度范围内时，氨水在喷淋至退膜药水中后会加速挥发产生氨气，使氨水尽可能发挥最大作用，提升氨水的利用率及退膜的质量；由于氨水具有制冷效果，需要升高温度来控制药水的反应速率，如退膜药水的温度低于40摄氏度，则氨水挥发出的氨气有限，无法带动退膜药水向板面上下冲击，其起不到喷淋的效果；而如果所述退膜药水的温度高于50摄氏度后，则会导致氨水快速挥发，而超出压力喷射范围，反而也无法起作用。
进一步地，所述退膜槽上设置有一排直径约为1mm的小孔，所述小孔处设有导气管，所述导气管与装有浓盐酸的玻璃仪器连接。退膜槽上小孔，以及与小孔连通的导气管，退膜槽内的氨气自小孔排出经导气管后进入玻璃仪器，采用玻璃仪器进行收集退膜槽中多出的氨气。
进一步地，所述玻璃仪器吸收氨气后，加热玻璃仪器，使玻璃仪器产生的氯化铵蒸发分解通入到氢氧化钠溶液中，分离盐酸和氨气，盐酸被氢氧化钠吸收，氨气被释放出来，再通入到氨水保存塑料箱中进行循环使用。
进一步地，所述氢氧化钠溶液的浓度为10mol/L。使经玻璃仪器内产生的氯化氨能够完全分离出盐酸和氨气。
进一步地，所述的氨水辅助退膜方法中，每隔一个小时补加5%的退膜添加剂溶液。使退膜槽的退膜药水的浓度保持。
本发明氨水辅助退膜方法及方法与现有技术相比，具有如下有益效果：
本发明氨水辅助退膜方法中采用的氨水为浓氨水，其在基板水平通过退膜槽时，以喷淋方式对板面上下同步喷淋，使膜加述脱离板面，实现有效辅助退膜。具体地，本发明采用喷淋方式从板面上下方向向中间喷淋，带动退膜槽内的退膜药水垂直打向板面，由于本发明采用的是浓氨水，其在板面喷淋的过程中会不断地挥发出氨气进行冲击未被腐蚀残留的退膜药水，且不断放出的氨气对固化干膜与未固化干膜的交界处具有垂直切力，其使得固化干膜边缘更加平整垂直，对于后续工艺的蚀刻具有很好地促进作用，使板面不仅退膜干净，而且不易被腐蚀和造成残留。
具体实施方式
下面将结合具体实施例对本发明氨水辅助退膜方法作进一步详细描述。
一种氨水辅助退膜方法，所述方法为在基板水平通过退膜槽时，氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋，所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。本发明氨水辅助退膜方法中采用的氨水为浓氨水，其在基板水平通过退膜槽时，以喷淋方式对板面上下同步喷淋，使膜加述脱离板面，实现有效辅助退膜。具体地，本发明采用喷淋方式从板面上下方向向中间喷淋，带动退膜槽内的退膜药水垂直打向板面，由于本发明采用的是浓氨水，其在板面喷淋的过程中会不断地挥发出氨气进行冲击未被腐蚀残留的退膜药水，且不断放出的氨气对固化干膜与未固化干膜的交界处具有垂直切力，其使得固化干膜边缘更加平整垂直，对于后续工艺的蚀刻具有很好地促进作用，使板面不仅退膜干净，而且不易被腐蚀和造成残留。
进一步地，所述氨水辅助退膜方法包括如下步骤，
S1：氨水保存，将氨水保存在塑料桶中；由于氨水易挥发出氨气，且随温度升高和放置时间延长而挥发率增加，而且会随浓度的增大挥发量增加，本发明中采用的是浓氨水，为减少其保存过程中发生挥发现象，将氨水保存在塑料桶中，以减少或避免氨水的挥发。
S2：通过负压机接入导管，将氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下进入退膜槽；负压机启动后，氨水在负压的作用力下，通过导管进入退膜槽中，并通过导管喷淋至板的上下表面，喷淋过程中不断挥发出的氨气，挥发的氨气不断地冲击板面未被腐蚀残留的退膜药水，且不断放出的氨气对固化干膜与未固化干膜的交界处具有垂直切力，其使得固化干膜边缘更加平整垂直，对于后续工艺的蚀刻具有很好地促进作用。
S3：在基板水平通过退膜槽时，氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气，并在后续不断喷进的氨水打入挤压，氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面，氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水，完成退膜。
进一步地，所述导管包括上导管和下导管，所述上导管和下导管分别位于所述基板的上下方向所在位置，且所述上导管和下导管的相对面均开设有喷淋孔。采用包括上导管和下导管的导管设置，上导管和下导管分别位于基板的上下方向，使氨水在不断地挥发过程中，挥发出的氨气不断地向基板的上下两面冲击，使膜加述脱离板面，实现有效辅助退膜。其相对于现有技术，直接采用具有氨水混合的退膜液进行退膜，本发明中采用喷淋的方式，使不断挥发出的氨气带动退膜药水冲击基板上下面，使膜加述脱离板面，其效率更高，而且退膜的均匀度更好，板面无残留。
进一步地，所述上导管上的喷淋压力为2.5-3.5kg/cm2，所述下导管上的喷淋压力为3-4kg/cm2。采用上导管喷淋压力小于下导管上的喷淋压力的设置，使基板在退膜药水中上下受力保持平衡，进而确保氨水的喷淋均匀度，使退膜均匀度好，产品质量高。
进一步地，所述退膜药水的温度为40-50摄氏度。所述退膜药水在此温度范围内时，氨水在喷淋至退膜药水中后会加速挥发产生氨气，使氨水尽可能发挥最大作用，提升氨水的利用率及退膜的质量；由于氨水具有制冷效果，需要升高温度来控制药水的反应速率，如退膜药水的温度低于40摄氏度，则氨水挥发出的氨气有限，无法带动退膜药水向板面上下冲击，其起不到喷淋的效果；而如果所述退膜药水的温度高于50摄氏度后，则会导致氨水快速挥发，而超出压力喷射范围，反而也无法起作用。
进一步地，所述退膜槽上设置有一排直径约为1mm的小孔，所述小孔处设有导气管，所述导气管与装有浓盐酸的玻璃仪器连接。退膜槽上小孔，以及与小孔连通的导气管，退膜槽内的氨气自小孔排出经导气管后进入玻璃仪器，采用玻璃仪器进行收集退膜槽中多出的氨气。
进一步地，所述玻璃仪器吸收氨气后，加热玻璃仪器，使玻璃仪器产生的氯化铵蒸发分解通入到氢氧化钠溶液中，分离盐酸和氨气，盐酸被氢氧化钠吸收，氨气被释放出来，再通入到氨水保存塑料箱中进行循环使用，提升氨水的利用率。
进一步地，所述氢氧化钠溶液的浓度为10mol/L。使经玻璃仪器内产生的氯化氨能够完全分离出盐酸和氨气。
进一步地，所述的氨水辅助退膜方法中，每隔一个小时补加5%的退膜添加剂溶液。使退膜槽的退膜药水的浓度保持，以解决因导入氨水带入部分水分引起退膜药水被稀释的问题。
上述实施例仅为本发明的具体实施例，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些显而易见的替换形式均属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述方法为在基板水平通过退膜槽时，氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋，所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。
2.根据权利要求1所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，包括如下步骤，
S1：氨水保存，将氨水保存在塑料桶中；
S2：通过负压机接入导管，将氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下进入退膜槽；
S3：在基板水平通过退膜槽时，氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气，并在后续不断喷进的氨水打入挤压，氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面，氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水，完成退膜。
3.根据权利要求2所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述导管包括上导管和下导管，所述上导管和下导管分别位于所述基板的上下方向，且所述上导管和下导管的相对面均开设有喷淋孔。
4.根据权利要求3所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述上导管上的喷淋压力为2.5-3.5kg/cm2，所述下导管上的喷淋压力为3-4kg/cm2。
5.根据权利要求4所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述退膜药水的温度为40-50摄氏度。
6.根据权利要求5所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述退膜槽上设置有一排直径约为1mm的小孔，所述小孔处设有导气管，所述导气管与装有浓盐酸的玻璃仪器连接。
7.根据权利要求6所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述玻璃仪器吸收氨气后，加热玻璃仪器，使玻璃仪器产生的氯化铵蒸发分解通入到氢氧化钠溶液中，分离盐酸和氨气，盐酸被氢氧化钠吸收，氨气被释放出来，再通入到氨水保存塑料箱中进行循环使用。
8.根据权利要求7所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述氢氧化钠溶液的浓度为10mol/L。
9.根据权利要求8所述的氨水辅助退膜方法，其特征在于，每隔一个小时补加5%的退膜添加剂溶液。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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