CN114984722B - 一种超高纯气体纯化装置及纯化方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超高纯气体纯化装置及纯化方法，属于气体纯化领域。一种超高纯气体纯化装置及纯化方法，包括移动架体，所述移动架体上固定有过滤箱，所述移动架体上固定有纯化箱，所述过滤箱上连通有通气管，所述过滤箱的一侧面开设有两个卡槽，所述卡槽内均嵌入安装有橡胶条，两个所述橡胶条内分别固定有过滤网和活性炭吸附网，所述橡胶条的一侧面均对称固定有两个矩形块，所述矩形块上均开设有固定孔；本发明通过过滤网和活性炭吸附网的设置，可以初步对空气中的杂质进行过滤和净化，减少进入纯化箱内的杂质数量，通过橡胶条、矩形块、固定孔和限位机构之间的相互配合，可以同时将过滤网和活性炭吸附网取下，较为方便快捷。

Description

一种超高纯气体纯化装置及纯化方法

技术领域

本发明涉及气体纯化技术领域，尤其涉及一种超高纯气体纯化装置及纯化方法。

背景技术

超纯气体通常是指单一超纯气体或多种单一气体混合而成的混合超纯气体，其在光学分析或灯制品气体填充等方面得到广泛应用，现有气体纯化技术原理主要有催化氧化、物理吸附、化学吸附，其中，物理吸附使用较为广泛，通常都是采用分子筛吸附，能有效去除杂质CO2、H2O，纯化进程在高温下可逆，而且可以进行分子筛再生；

但是目前在使用分子筛时，一般会通过过滤网对杂质进行过滤，由于过滤网不能完全将杂质过滤掉，所以导致部分杂质依然沾附在分子筛的外表面，使滤孔发生堵塞，影响分子筛的纯化效果，因此我们提出了一种超高纯气体纯化装置及纯化方法。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中，过滤网不能完全将杂质过滤掉，所以导致部分杂质依然沾附在分子筛的外表面，使滤孔发生堵塞，影响分子筛的纯化效果的问题，而提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体，所述移动架体上固定有过滤箱，所述移动架体上固定有纯化箱，所述过滤箱上连通有通气管，所述过滤箱的一侧面开设有两个卡槽，所述卡槽内均嵌入安装有橡胶条，两个所述橡胶条内分别固定有过滤网和活性炭吸附网，所述橡胶条的一侧面均对称固定有两个矩形块，所述矩形块上均开设有固定孔，所述过滤箱的一侧面设置有用于卡合固定孔的限位机构，所述移动架体上设置有抽气机构，所述纯化箱的内壁固定有限位环，所述限位环内转动有分子筛，所述分子筛的底部连通有出气管且出气管通过轴承与纯化箱转动连接，所述纯化箱内设置有用于驱动出气管转动的旋转机构，所述纯化箱内设置有联动机构，所述纯化箱内设置有振动机构，所述纯化箱的一侧面通过铰链铰接有密封门。

优选的，所述限位机构包括固定在过滤箱一侧面的固定盒，所述固定盒内通过轴承转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的一端延伸至固定盒外并固定有旋钮，所述双向丝杆的外表面对称螺纹连接有两个移动块，所述移动块的两侧面均固定有连接条，所述连接条的一侧面均固定有与固定孔相卡合的固定杆，所述固定盒的两侧面均开设有限位槽，所述连接条滑动在限位槽内。

优选的，所述抽气机构包括固定在移动架体上的气泵，所述气泵的出气端通过进气管与纯化箱连通，所述气泵的进气端通过连接管与过滤箱连通，所述连接管位于活性炭吸附网的下方。

优选的，所述旋转机构包括固定在纯化箱一侧面的伺服电机，所述伺服电机的输出轴端固定有蜗杆，所述蜗杆的一端固定有主锥齿轮盘，所述主锥齿轮盘的外表面啮合连接有次锥齿轮盘，所述出气管固定在次锥齿轮盘的轴心处。

优选的，所述联动机构包括啮合连接在蜗杆外表面的蜗轮，所述蜗轮的外表面啮合连接有连接盘，所述连接盘与蜗轮的轴心处均固定有转杆，所述纯化箱内对称固定有两个立板，所述转杆的两端通过轴承分别与两个立板转动连接。

优选的，所述振动机构包括固定在立板两侧面的四个固定块，两个所述固定块之间固定有横杆，所述横杆的外表面均滑动有滑块，所述横杆的外表面均套接有复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别与固定块和滑块固定连接，两个所述滑块之间固定有固定条，所述固定条的一侧面固定有撞击块，其中一个所述转杆的外表面对称固定有两个凸轮。

优选的，所述撞击块的一侧面固定有橡胶垫，所述撞击块与橡胶垫的形状均为圆弧形。

优选的，所述出气管的一端贯穿纯化箱，所述出气管的外表面固定有阀门。

一种超高纯气体纯化装置的使用方法，包括以下步骤：

S1：旋转：净化后的气体进入纯化箱内时，启动伺服电机，伺服电机驱动蜗杆转动，从而带动主锥齿轮盘和次锥齿轮盘转动，使出气管和分子筛跟随一起转动，通过转动，将沾附在分子筛外表面的杂质旋落；

S2：振动：蜗杆转动时，会带动蜗轮和连接盘转动，使转杆和凸轮跟随一起转动，当凸轮的凸起端接触固定条时，会带动滑块在横杆的外表面向前滑动，对复位弹簧进行压缩，使撞击块和凸轮跟随一起向前滑动，对限位环进行适当程度的撞击，当凸轮的凸起端远离固定条时，通过复位弹簧的弹力，使固定条向后移动，从而使固定条和撞击块在水平方向上做往复运动，进一步将沾附在分子筛外表面的杂质振落；

S3：纯化：气体通过滤孔进入分子筛内，被吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体，纯化后的气体从出气管内流出，进行收集，通过阀门，控制出气管的开启和闭合。

与现有技术相比，本发明提供了一种超高纯气体纯化装置及纯化方法，具备以下有益效果：

1、该超高纯气体纯化装置及纯化方法，通过过滤网和活性炭吸附网的设置，可以初步对空气中的杂质进行过滤和净化，减少进入纯化箱内的杂质数量，通过橡胶条、矩形块、固定孔和限位机构之间的相互配合，可以同时将过滤网和活性炭吸附网取下，较为方便快捷。

2、该超高纯气体纯化装置及纯化方法，通过伺服电机、蜗杆、主锥齿轮盘和次锥齿轮盘的设置，可以驱动分子筛和出气管转动，通过旋转，可以将沾附在分子筛外表面的杂质旋落，避免杂质造成滤孔堵塞，影响气体的纯化效果。

3、该超高纯气体纯化装置及纯化方法，通过固定块、横杆、滑块、复位弹簧、固定条、撞击块和凸轮的设置，可以使固定条和撞击块在水平方向上做往复运动，可以将沾附在分子筛外表面的杂质振落，增强纯化效果。

4、该超高纯气体纯化装置及纯化方法，通过蜗轮、连接盘、转杆和立板的设置，使旋转机构与振动机构可以由同一个电源驱动，减少了电源的数量，从而减小了生产成本。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本发明通过对气体进行多层过滤和处理，可以减少沾附在分子筛外表面的杂质，避免杂质使滤孔堵塞，影响纯化效果。

附图说明

图1为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的正视图；

图2为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的结构后视图；

图3为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的过滤箱结构示意图；

图4为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的过滤网和活性炭吸附网结构示意图；

图5为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的限位机构示意图；

图6为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的纯化箱内部结构示意图；

图7为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的联动机构结构示意图；

图8为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法图7中A处结构放大图；

图9为本发明提出的一种超高纯气体纯化装置及纯化方法的纯化箱内部结构俯视图。

图中：1、移动架体；2、过滤箱；3、纯化箱；4、通气管；5、卡槽；6、橡胶条；7、过滤网；8、活性炭吸附网；9、矩形块；10、固定孔；11、限位机构；1101、固定盒；1102、双向丝杆；1103、旋钮；1104、移动块；1105、连接条；1106、固定杆；1107、限位槽；12、抽气机构；1201、气泵；1202、进气管；1203、连接管；13、限位环；14、分子筛；15、出气管；16、旋转机构；1601、伺服电机；1602、蜗杆；1603、主锥齿轮盘；1604、次锥齿轮盘；17、联动机构；1701、蜗轮；1702、连接盘；1703、转杆；1704、立板；18、振动机构；1801、固定块；1802、横杆；1803、滑块；1804、复位弹簧；1805、固定条；1806、撞击块；1807、凸轮；19、密封门；20、橡胶垫；21、阀门。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

实施例1：

参照图1-图9，一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体1，移动架体1上固定有过滤箱2，移动架体1上固定有纯化箱3，过滤箱2上连通有通气管4，过滤箱2的一侧面开设有两个卡槽5，卡槽5内均嵌入安装有橡胶条6，两个橡胶条6内分别固定有过滤网7和活性炭吸附网8，橡胶条6的一侧面均对称固定有两个矩形块9，矩形块9上均开设有固定孔10，过滤箱2的一侧面设置有用于卡合固定孔10的限位机构11，移动架体1上设置有抽气机构12，纯化箱3的内壁固定有限位环13，限位环13内转动有分子筛14，分子筛14的底部连通有出气管15且出气管15通过轴承与纯化箱3转动连接，纯化箱3内设置有用于驱动出气管15转动的旋转机构16，纯化箱3内设置有联动机构17，纯化箱3内设置有振动机构18，纯化箱3的一侧面通过铰链铰接有密封门19。

本发明中，通过过滤网7和活性炭吸附网8的设置，可以初步对空气中的杂质进行过滤和净化，减少进入纯化箱3内的杂质数量，通过橡胶条6、矩形块9、固定孔10和限位机构11之间的相互配合，可以同时将过滤网7和活性炭吸附网8取下，较为方便快捷，通过旋转机构16的设置，可以驱动分子筛14和出气管15转动，通过旋转，可以将沾附在分子筛14外表面的杂质旋落，避免杂质造成滤孔堵塞，影响气体的纯化效果，通过振动机构18的设置，可以使固定条1805和撞击块1806在水平方向上做往复运动，可以将沾附在分子筛14外表面的杂质振落，增强纯化效果，通过联动机构17的设置，使旋转机构16与振动机构18可以由同一个电源驱动，减少了电源的数量，从而减小了生产成本。

实施例2：

参照图1、图3、图4和图5，一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体1，移动架体1上固定有过滤箱2，移动架体1上固定有纯化箱3，过滤箱2上连通有通气管4，过滤箱2的一侧面开设有两个卡槽5，卡槽5内均嵌入安装有橡胶条6，两个橡胶条6内分别固定有过滤网7和活性炭吸附网8，橡胶条6的一侧面均对称固定有两个矩形块9，矩形块9上均开设有固定孔10，过滤箱2的一侧面设置有用于卡合固定孔10的限位机构11，移动架体1上设置有抽气机构12，纯化箱3的内壁固定有限位环13，限位环13内转动有分子筛14，分子筛14的底部连通有出气管15且出气管15通过轴承与纯化箱3转动连接，纯化箱3内设置有用于驱动出气管15转动的旋转机构16，纯化箱3内设置有联动机构17，纯化箱3内设置有振动机构18，纯化箱3的一侧面通过铰链铰接有密封门19，限位机构11包括固定在过滤箱2一侧面的固定盒1101，固定盒1101内通过轴承转动连接有双向丝杆1102，双向丝杆1102的一端延伸至固定盒1101外并固定有旋钮1103，双向丝杆1102的外表面对称螺纹连接有两个移动块1104，移动块1104的两侧面均固定有连接条1105，连接条1105的一侧面均固定有与固定孔10相卡合的固定杆1106，固定盒1101的两侧面均开设有限位槽1107，连接条1105滑动在限位槽1107内。

本发明中，将气体通过通气管4引入过滤箱2内，通过过滤网7，将混杂在气体中的杂质进行阻挡，通过活性炭吸附网8，对气体进行初步净化，减少进入纯化箱3内的杂质，当需要更换过滤网7和活性炭吸附网8时，工作人员拧动旋钮1103，旋钮1103带动双向丝杆1102转动，由于连接条1105滑动在限位槽1107内，从而带动两个移动块1104向中间移动，使连接条1105和固定杆1106跟随一起向中间移动，使固定杆1106从固定孔10内滑出，解除对矩形块9的限制，将橡胶条6从卡槽5内滑出，即可将橡胶条6、过滤网7和活性炭吸附网8一起拆卸进行更换，较为方便快捷。

实施例3：

参照图1和图6，一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体1，移动架体1上固定有过滤箱2，移动架体1上固定有纯化箱3，过滤箱2上连通有通气管4，过滤箱2的一侧面开设有两个卡槽5，卡槽5内均嵌入安装有橡胶条6，两个橡胶条6内分别固定有过滤网7和活性炭吸附网8，橡胶条6的一侧面均对称固定有两个矩形块9，矩形块9上均开设有固定孔10，过滤箱2的一侧面设置有用于卡合固定孔10的限位机构11，移动架体1上设置有抽气机构12，纯化箱3的内壁固定有限位环13，限位环13内转动有分子筛14，分子筛14的底部连通有出气管15且出气管15通过轴承与纯化箱3转动连接，纯化箱3内设置有用于驱动出气管15转动的旋转机构16，纯化箱3内设置有联动机构17，纯化箱3内设置有振动机构18，纯化箱3的一侧面通过铰链铰接有密封门19，抽气机构12包括固定在移动架体1上的气泵1201，气泵1201的出气端通过进气管1202与纯化箱3连通，气泵1201的进气端通过连接管1203与过滤箱2连通，连接管1203位于活性炭吸附网8的下方，出气管15的一端贯穿纯化箱3，出气管15的外表面固定有阀门21。

本发明中，气体在初步过滤之后，启动气泵1201，将气体从连接管1203吸入到进气管1202内，又从进气管1202进入纯化箱3内，进行纯化，气体通过滤孔进入分子筛14内，被吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体，纯化后的气体从出气管15内流出，进行收集，通过阀门21，控制出气管15的开启和闭合。

实施例4：

参照图6，一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体1，移动架体1上固定有过滤箱2，移动架体1上固定有纯化箱3，过滤箱2上连通有通气管4，过滤箱2的一侧面开设有两个卡槽5，卡槽5内均嵌入安装有橡胶条6，两个橡胶条6内分别固定有过滤网7和活性炭吸附网8，橡胶条6的一侧面均对称固定有两个矩形块9，矩形块9上均开设有固定孔10，过滤箱2的一侧面设置有用于卡合固定孔10的限位机构11，移动架体1上设置有抽气机构12，纯化箱3的内壁固定有限位环13，限位环13内转动有分子筛14，分子筛14的底部连通有出气管15且出气管15通过轴承与纯化箱3转动连接，纯化箱3内设置有用于驱动出气管15转动的旋转机构16，纯化箱3内设置有联动机构17，纯化箱3内设置有振动机构18，纯化箱3的一侧面通过铰链铰接有密封门19；旋转机构16包括固定在纯化箱3一侧面的伺服电机1601，伺服电机1601的输出轴端固定有蜗杆1602，蜗杆1602的一端固定有主锥齿轮盘1603，主锥齿轮盘1603的外表面啮合连接有次锥齿轮盘1604，出气管15固定在次锥齿轮盘1604的轴心处。

本发明中，气体进入纯化箱3内时，启动伺服电机1601，伺服电机1601驱动蜗杆1602转动，从而带动主锥齿轮盘1603和次锥齿轮盘1604转动，使出气管15和分子筛14跟随一起转动，通过转动，将沾附在分子筛14外表面的杂质旋落，避免杂质造成滤孔堵塞，影响气体的纯化效果。

实施例5：

参照图1、图6、图7、图8和图9，一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体1，移动架体1上固定有过滤箱2，移动架体1上固定有纯化箱3，过滤箱2上连通有通气管4，过滤箱2的一侧面开设有两个卡槽5，卡槽5内均嵌入安装有橡胶条6，两个橡胶条6内分别固定有过滤网7和活性炭吸附网8，橡胶条6的一侧面均对称固定有两个矩形块9，矩形块9上均开设有固定孔10，过滤箱2的一侧面设置有用于卡合固定孔10的限位机构11，移动架体1上设置有抽气机构12，纯化箱3的内壁固定有限位环13，限位环13内转动有分子筛14，分子筛14的底部连通有出气管15且出气管15通过轴承与纯化箱3转动连接，纯化箱3内设置有用于驱动出气管15转动的旋转机构16，纯化箱3内设置有联动机构17，纯化箱3内设置有振动机构18，纯化箱3的一侧面通过铰链铰接有密封门19，联动机构17包括啮合连接在蜗杆1602外表面的蜗轮1701，蜗轮1701的外表面啮合连接有连接盘1702，连接盘1702与蜗轮1701的轴心处均固定有转杆1703，纯化箱3内对称固定有两个立板1704，转杆1703的两端通过轴承分别与两个立板1704转动连接，振动机构18包括固定在立板1704两侧面的四个固定块1801，两个固定块1801之间固定有横杆1802，横杆1802的外表面均滑动有滑块1803，横杆1802的外表面均套接有复位弹簧1804，复位弹簧1804的两端分别与固定块1801和滑块1803固定连接，两个滑块1803之间固定有固定条1805，固定条1805的一侧面固定有撞击块1806，其中一个转杆1703的外表面对称固定有两个凸轮1807，撞击块1806的一侧面固定有橡胶垫20，撞击块1806与橡胶垫20的形状均为圆弧形。

本发明中，蜗杆1602转动时，会带动蜗轮1701和连接盘1702转动，使转杆1703和凸轮1807跟随一起转动，当凸轮1807的凸起端接触固定条1805时，会带动滑块1803在横杆1802的外表面向前滑动，对复位弹簧1804进行压缩，使撞击块1806和凸轮1807跟随一起向前滑动，对限位环13进行适当程度的撞击，当凸轮1807的凸起端远离固定条1805时，通过复位弹簧1804的弹力，使固定条1805向后移动，从而使固定条1805和撞击块1806在水平方向上做往复运动，进一步将沾附在分子筛14外表面的杂质振落，增强纯化效果，通过蜗轮1701的设置，使蜗杆1602与凸轮1807的转动，可以由同一个电源驱动，减少了电源的数量，从而减小了生产成本，通过橡胶垫20的弹力，避免撞击块1806与限位环13直接接触，对限位环13造成损坏。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种超高纯气体纯化装置，包括移动架体（1），其特征在于，所述移动架体（1）上固定有过滤箱（2），所述移动架体（1）上固定有纯化箱（3），所述过滤箱（2）上连通有通气管（4），所述过滤箱（2）的一侧面开设有两个卡槽（5），所述卡槽（5）内均嵌入安装有橡胶条（6），两个所述橡胶条（6）内分别固定有过滤网（7）和活性炭吸附网（8），所述橡胶条（6）的一侧面均对称固定有两个矩形块（9），所述矩形块（9）上均开设有固定孔（10），所述过滤箱（2）的一侧面设置有用于卡合固定孔（10）的限位机构（11），所述移动架体（1）上设置有抽气机构（12），所述纯化箱（3）的内壁固定有限位环（13），所述限位环（13）内转动有分子筛（14），所述分子筛（14）的底部连通有出气管（15）且出气管（15）通过轴承与纯化箱（3）转动连接，所述纯化箱（3）内设置有用于驱动出气管（15）转动的旋转机构（16），所述纯化箱（3）内设置有联动机构（17），所述纯化箱（3）内设置有振动机构（18），所述纯化箱（3）的一侧面通过铰链铰接有密封门（19）；所述限位机构（11）包括固定在过滤箱（2）一侧面的固定盒（1101），所述固定盒（1101）内通过轴承转动连接有双向丝杆（1102），所述双向丝杆（1102）的一端延伸至固定盒（1101）外并固定有旋钮（1103），所述双向丝杆（1102）的外表面对称螺纹连接有两个移动块（1104），所述移动块（1104）的两侧面均固定有连接条（1105），所述连接条（1105）的一侧面均固定有与固定孔（10）相卡合的固定杆（1106），所述固定盒（1101）的两侧面均开设有限位槽（1107），所述连接条（1105）滑动在限位槽（1107）内；所述抽气机构（12）包括固定在移动架体（1）上的气泵（1201），所述气泵（1201）的出气端通过进气管（1202）与纯化箱（3）连通，所述气泵（1201）的进气端通过连接管（1203）与过滤箱（2）连通，所述连接管（1203）位于活性炭吸附网（8）的下方；所述旋转机构（16）包括固定在纯化箱（3）一侧面的伺服电机（1601），所述伺服电机（1601）的输出轴端固定有蜗杆（1602），所述蜗杆（1602）的一端固定有主锥齿轮盘（1603），所述主锥齿轮盘（1603）的外表面啮合连接有次锥齿轮盘（1604），所述出气管（15）固定在次锥齿轮盘（1604）的轴心处；所述联动机构（17）包括啮合连接在蜗杆（1602）外表面的蜗轮（1701），所述蜗轮（1701）的外表面啮合连接有连接盘（1702），所述连接盘（1702）与蜗轮（1701）的轴心处均固定有转杆（1703），所述纯化箱（3）内对称固定有两个立板（1704），所述转杆（1703）的两端通过轴承分别与两个立板（1704）转动连接；所述振动机构（18）包括固定在立板（1704）两侧面的四个固定块（1801），两个所述固定块（1801）之间固定有横杆（1802），所述横杆（1802）的外表面均滑动有滑块（1803），所述横杆（1802）的外表面均套接有复位弹簧（1804），所述复位弹簧（1804）的两端分别与固定块（1801）和滑块（1803）固定连接，两个所述滑块（1803）之间固定有固定条（1805），所述固定条（1805）的一侧面固定有撞击块（1806），其中一个所述转杆（1703）的外表面对称固定有两个凸轮（1807）。

2.根据权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述撞击块（1806）的一侧面固定有橡胶垫（20），所述撞击块（1806）与橡胶垫（20）的形状均为圆弧形。

3.根据权利要求1所述的超高纯气体纯化装置，其特征在于，所述出气管（15）的一端贯穿纯化箱（3），所述出气管（15）的外表面固定有阀门（21）。

4.根据权利要求1所述的超高纯气体纯化装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：旋转：净化后的气体进入纯化箱（3）内时，启动伺服电机（1601），伺服电机（1601）驱动蜗杆（1602）转动，从而带动主锥齿轮盘（1603）和次锥齿轮盘（1604）转动，使出气管（15）和分子筛（14）跟随一起转动，通过转动，将沾附在分子筛（14）外表面的杂质旋落；

S2：振动：蜗杆（1602）转动时，会带动蜗轮（1701）和连接盘（1702）转动，使转杆（1703）和凸轮（1807）跟随一起转动，当凸轮（1807）的凸起端接触固定条（1805）时，会带动滑块（1803）在横杆（1802）的外表面向前滑动，对复位弹簧（1804）进行压缩，使撞击块（1806）和凸轮（1807）跟随一起向前滑动，对限位环（13）进行适当程度的撞击，当凸轮（1807）的凸起端远离固定条（1805）时，通过复位弹簧（1804）的弹力，使固定条（1805）向后移动，从而使固定条（1805）和撞击块（1806）在水平方向上做往复运动，进一步将沾附在分子筛（14）外表面的杂质振落；

S3：纯化：气体通过滤孔进入分子筛（14）内，被吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体，纯化后的气体从出气管（15）内流出，进行收集，通过阀门（21），控制出气管（15）的开启和闭合。

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