CN215539356U - 一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及超纯气体处理设备的技术领域，特别是涉及一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，包括净化桶，所述净化桶内竖向设置有滤筒，所述滤筒内竖向安装有第一导气管，所述第一导气管底部穿过所述滤筒底部和所述净化桶底部并伸出，所述滤筒与所述第一导气管固定连接，所述第一导气管的外壁上均匀连通设置有多个扁平状散气通道，所述扁平状散气通道的外端穿过所述滤筒并伸入至所述净化桶内；通过对空气进行离心分离过滤处理，可实现空气中杂质的自动分离的目的，避免杂质对设备造成堵塞，保证设备长时间稳定运行，提高实用性。

Description

一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置

技术领域

本实用新型涉及超纯气体处理设备的技术领域，特别是涉及一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置。

背景技术

众所周知，超纯气体通常是指单一超纯气体或多种单一气体混合而成的混合超纯气体，其在光学分析或灯制品气体填充等方面得到广泛应用，传统的超纯气体生产过程中，空气经过纯化装置中吸附筒的吸附纯化处理后，需要再经过过滤装置对空气进行过滤处理，从而使空气中的颗粒物等杂质与空气分离，现有过滤装置的工作方式通常是通过其内的过滤网进行直接过滤拦截处理，然而此种方式容易造成过滤网的堵塞，导致空气无法正常穿过过滤网，影响超纯气体的生产效率。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，包括净化桶，所述净化桶内竖向设置有滤筒，所述滤筒内竖向安装有第一导气管，所述第一导气管底部穿过所述滤筒底部和所述净化桶底部并伸出，所述滤筒与所述第一导气管固定连接，所述第一导气管的外壁上均匀连通设置有多个扁平状散气通道，所述扁平状散气通道的外端穿过所述滤筒并伸入至所述净化桶内；

所述第一导气管的内部滑动安装有第二导气管，所述第二导气管的底部伸出至所述滤筒的外侧，所述第二导气管的外壁上安装有第一安装板，所述第一安装板的外端固定在所述净化桶的底部；

所述滤筒的顶部连通设置有第三导气管，所述第三导气管顶部穿过所述净化桶顶部并伸出，所述第三导气管与所述净化桶滑动连接，所述第三导气管内滑动设置有第四导气管，所述第四导气管的顶部伸出至所述第三导气管的外侧，并且所述第四导气管的外壁上安装有第二安装板，所述第二安装板的外端固定在所述净化桶的顶部；

其中，所述第三导气管上安装有振动机构，所述第一导气管上安装有动力机构。

进一步地，所述振动机构包括套设在所述第三导气管外侧的固定环，所述固定环固定在所述净化桶的顶部，所述第三导气管的外壁上套装固定有转动环，所述转动环底部和所述固定环顶部均匀设置有斜齿，所述转动环上的齿与所述固定环上的齿啮合连接；

所述转动环的圆周外壁上转动套装有支撑环，所述支撑环的外壁上均匀安装有多张板簧。

进一步地，所述支撑环的外壁上均匀安装有多个导向套，所述导向套上竖向滑动安装有导向杆。

进一步地，所述净化桶的圆周内壁上设置有螺旋板，所述螺旋板的截面倾斜。

进一步地，所述滤筒的外壁上滑动套装有同步套，所述同步套转动安装在所述净化桶内壁底部，所述滤筒外壁上均匀开设有多个竖向滑槽，所述同步套内壁上均匀设置有多个竖向滑棱，并且滑棱滑动位于滑槽内；

所述同步套的外壁均匀安装有多张弧形刮板。

进一步地，所述净化桶的外壁上安装有收集仓，所述收集仓与所述净化桶内部连通，所述收集仓的内侧壁上倾斜安装有两张逆向阻挡板，并且两张逆向阻挡板的倾斜方向相反，两张逆向阻挡板位置交错；

所述收集仓底部开设有通口，并且通口上盖装有盖板。

进一步地，所述动力机构包括安装在所述第一导气管外壁上的齿轮，所述齿轮位于所述净化桶下方，所述齿轮上啮合设置有齿柱，所述齿柱的顶部转动安装在所述净化桶的底部，所述齿柱的底部安装有电机，所述电机的侧壁上安装有第三安装板，所述第三安装板的外端固定在所述净化桶底部。

进一步地，还包括挡罩，所述挡罩位于动力机构的外侧，所述挡罩安装在所述净化桶底部，所述第二导气管的底部穿过所述挡罩。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：动力机构带动第一导气管转动，第一导气管带动扁平状散气通道、滤筒和第三导气管同步转动，振动机构推动第三导气管进行上下振动，第三导气管带动滤筒、第一导气管和扁平状散气通道同步振动运动，外界经过吸附筒吸附处理的空气通过第二导气管排入至第一导气管内，第一导气管内的空气通过多个扁平状散气通道排入至净化桶内，由于扁平状散气通道处于振动转动状态，扁平状散气通道可将其内的空气旋转喷入至净化桶内，从而使净化桶内的空气进行旋转运动，空气中的颗粒物旋转离心至净化桶内侧壁附近，净化桶内的空气穿过滤筒外壁进入滤筒内，滤筒外壁对净化桶内的空气进行过滤拦截处理，同时转动状态的扁平状散气通道侧壁可推动跟随空气流动的颗粒杂质进行离心运动，从而减少杂质跟随空气流动至滤筒外壁附近，将滤筒过滤压力，由于滤筒处于转动振动状态，可方便使其上拦截的杂质脱离滤筒外壁，提高滤筒透气性，保证设备稳定运行，滤筒内经过过滤处理的空气通过第三导气管和第四导气管排出，当第一导气管与第三导气管运动时，第二导气管和第四导气管保持固定状态，通过对空气进行离心分离过滤处理，可实现空气中杂质的自动分离的目的，避免杂质对设备造成堵塞，保证设备长时间稳定运行，提高实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中净化桶中部结构示意图；

图3是图1中净化桶俯视剖视结构示意图；

图4是图2中A处局部放大结构示意图；

图5是图2中B处局部放大结构示意图；

附图中标记：1、净化桶；2、滤筒；3、第一导气管；4、扁平状散气通道；5、第二导气管；6、第一安装板；7、第三导气管；8、第四导气管；9、第二安装板；10、固定环；11、转动环；12、支撑环；13、板簧；14、导向套；15、导向杆；16、螺旋板；17、同步套；18、弧形刮板；19、收集仓；20、逆向阻挡板；21、盖板；22、齿轮；23、齿柱；24、电机；25、第三安装板；26、挡罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本实施例采用递进的方式撰写。

如图1至图5所示，本实用新型的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，包括净化桶1，所述净化桶1内竖向设置有滤筒2，所述滤筒2内竖向安装有第一导气管3，所述第一导气管3底部穿过所述滤筒2底部和所述净化桶1底部并伸出，所述滤筒2与所述第一导气管3固定连接，所述第一导气管3的外壁上均匀连通设置有多个扁平状散气通道4，所述扁平状散气通道4的外端穿过所述滤筒2并伸入至所述净化桶1内；

所述第一导气管3的内部滑动安装有第二导气管5，所述第二导气管5的底部伸出至所述滤筒2的外侧，所述第二导气管5的外壁上安装有第一安装板6，所述第一安装板6的外端固定在所述净化桶1的底部；

所述滤筒2的顶部连通设置有第三导气管7，所述第三导气管7顶部穿过所述净化桶1顶部并伸出，所述第三导气管7与所述净化桶1滑动连接，所述第三导气管7内滑动设置有第四导气管8，所述第四导气管8的顶部伸出至所述第三导气管7的外侧，并且所述第四导气管8的外壁上安装有第二安装板9，所述第二安装板9的外端固定在所述净化桶1的顶部；

其中，所述第三导气管7上安装有振动机构，所述第一导气管3上安装有动力机构。

本实施例中，动力机构带动第一导气管3转动，第一导气管3带动扁平状散气通道4、滤筒2和第三导气管7同步转动，振动机构推动第三导气管7进行上下振动，第三导气管7带动滤筒2、第一导气管3和扁平状散气通道4同步振动运动，外界经过吸附筒吸附处理的空气通过第二导气管5排入至第一导气管3内，第一导气管3内的空气通过多个扁平状散气通道4排入至净化桶1内，由于扁平状散气通道4处于振动转动状态，扁平状散气通道4可将其内的空气旋转喷入至净化桶1内，从而使净化桶1内的空气进行旋转运动，空气中的颗粒物旋转离心至净化桶1内侧壁附近，净化桶1内的空气穿过滤筒2外壁进入滤筒2内，滤筒2外壁对净化桶1内的空气进行过滤拦截处理，同时转动状态的扁平状散气通道4侧壁可推动跟随空气流动的颗粒杂质进行离心运动，从而减少杂质跟随空气流动至滤筒2外壁附近，将滤筒2过滤压力，由于滤筒2处于转动振动状态，可方便使其上拦截的杂质脱离滤筒2外壁，提高滤筒2透气性，保证设备稳定运行，滤筒2内经过过滤处理的空气通过第三导气管7和第四导气管8排出，当第一导气管3与第三导气管7运动时，第二导气管5和第四导气管8保持固定状态，通过对空气进行离心分离过滤处理，可实现空气中杂质的自动分离的目的，避免杂质对设备造成堵塞，保证设备长时间稳定运行，提高实用性。

作为上述实施例的优选，所述振动机构包括套设在所述第三导气管7外侧的固定环10，所述固定环10固定在所述净化桶1的顶部，所述第三导气管7的外壁上套装固定有转动环11，所述转动环11底部和所述固定环10顶部均匀设置有斜齿，所述转动环11上的齿与所述固定环10上的齿啮合连接；

所述转动环11的圆周外壁上转动套装有支撑环12，所述支撑环12的外壁上均匀安装有多张板簧13。

本实施例中，当第三导气管7转动时，第三导气管7带动转动环11同步转动，转动环11与支撑环12产生相对转动，板簧13通过支撑环12对转动环11产生向下弹性推力，由于转动环11与固定环10通过斜齿啮合连接，转动环11转动时，斜齿和板簧13带动转动环11进行往复上下移动，转动环11带动第三导气管7进行上下往复移动，从而带动滤筒2、第一导气管3和扁平状散气通道4进行上下震动。

作为上述实施例的优选，所述支撑环12的外壁上均匀安装有多个导向套14，所述导向套14上竖向滑动安装有导向杆15。

本实施例中，通过设置导向套14和导向杆15，可方便对支撑环12进行导向支撑，提高支撑环12振动时的平稳性，避免支撑环12带动板簧13发生扭曲变形并导致支撑环12转动。

作为上述实施例的优选，所述净化桶1的圆周内壁上设置有螺旋板16，所述螺旋板16的截面倾斜。

本实施例中，当净化桶1内空气和杂质进行离心运动时，杂质移动至净化桶1内壁附近并落至螺旋板16与净化桶1内壁之间，杂质沿螺旋板16内壁旋转向下滚落，从而方便对杂质进行聚拢，避免杂质撞击在净化桶1内壁上并反弹至滤筒2外壁附近，由于螺旋板16截面倾斜，可降低净化桶1内流动状态的空气对螺旋板16内杂质的冲击力，避免气流吹动杂质随意移动。

作为上述实施例的优选，所述滤筒2的外壁上滑动套装有同步套17，所述同步套17转动安装在所述净化桶1内壁底部，所述滤筒2外壁上均匀开设有多个竖向滑槽，所述同步套17内壁上均匀设置有多个竖向滑棱，并且滑棱滑动位于滑槽内；

所述同步套17的外壁均匀安装有多张弧形刮板18。

本实施例中，滤筒2转动时，滤筒2带动同步套17和弧形刮板18同步转动，滤筒2振动时，滤筒2上的滑槽与同步套17上的滑棱产生相对滑动，转动状态的弧形刮板18可对净化桶1内壁底部沉积的杂质进行刮除推动处理，从而方便使杂质向净化桶1内壁附近聚集，方便杂质的收集工作。

作为上述实施例的优选，所述净化桶1的外壁上安装有收集仓19，所述收集仓19与所述净化桶1内部连通，所述收集仓19的内侧壁上倾斜安装有两张逆向阻挡板20，并且两张逆向阻挡板20的倾斜方向相反，两张逆向阻挡板20位置交错；

所述收集仓19底部开设有通口，并且通口上盖装有盖板21。

本实施例中，净化桶1内弧形刮板18刮除推动的杂质向外侧移动并落入收集仓19内，收集仓19内的杂质沿两张逆向阻挡板20的表面向下移动至收集仓19底部的通口附近，两张逆向阻挡板20可对收集仓19内部杂质进行阻挡，避免净化桶1内的气流进入收集仓19内并吹动杂质反向进入净化桶1内，方便杂质的收集工作，打开盖板21，可方便使收集仓19内收集的杂质通过通口排出。

作为上述实施例的优选，所述动力机构包括安装在所述第一导气管3外壁上的齿轮22，所述齿轮22位于所述净化桶1下方，所述齿轮22上啮合设置有齿柱23，所述齿柱23的顶部转动安装在所述净化桶1的底部，所述齿柱23的底部安装有电机24，所述电机24的侧壁上安装有第三安装板25，所述第三安装板25的外端固定在所述净化桶1底部。

本实施例中，电机24通过齿柱23带动齿轮22转动，齿轮22带动第一导气管3转动，从而带动设备运行，同时当第一导气管3振动时，第一导气管3带动齿轮22在齿柱23上滑动，齿轮22与齿柱23始终保持啮合状态。

作为上述实施例的优选，还包括挡罩26，所述挡罩26位于动力机构的外侧，所述挡罩26安装在所述净化桶1底部，所述第二导气管5的底部穿过所述挡罩26。

本实施例中，通过设置挡罩26，可方便对动力机构进行保护。

本实用新型的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，包括净化桶（1），所述净化桶（1）内竖向设置有滤筒（2），所述滤筒（2）内竖向安装有第一导气管（3），所述第一导气管（3）底部穿过所述滤筒（2）底部和所述净化桶（1）底部并伸出，所述滤筒（2）与所述第一导气管（3）固定连接，所述第一导气管（3）的外壁上均匀连通设置有多个扁平状散气通道（4），所述扁平状散气通道（4）的外端穿过所述滤筒（2）并伸入至所述净化桶（1）内；

所述第一导气管（3）的内部滑动安装有第二导气管（5），所述第二导气管（5）的底部伸出至所述滤筒（2）的外侧，所述第二导气管（5）的外壁上安装有第一安装板（6），所述第一安装板（6）的外端固定在所述净化桶（1）的底部；

所述滤筒（2）的顶部连通设置有第三导气管（7），所述第三导气管（7）顶部穿过所述净化桶（1）顶部并伸出，所述第三导气管（7）与所述净化桶（1）滑动连接，所述第三导气管（7）内滑动设置有第四导气管（8），所述第四导气管（8）的顶部伸出至所述第三导气管（7）的外侧，并且所述第四导气管（8）的外壁上安装有第二安装板（9），所述第二安装板（9）的外端固定在所述净化桶（1）的顶部；

其中，所述第三导气管（7）上安装有振动机构，所述第一导气管（3）上安装有动力机构。

2.如权利要求1所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述振动机构包括套设在所述第三导气管（7）外侧的固定环（10），所述固定环（10）固定在所述净化桶（1）的顶部，所述第三导气管（7）的外壁上套装固定有转动环（11），所述转动环（11）底部和所述固定环（10）顶部均匀设置有斜齿，所述转动环（11）上的齿与所述固定环（10）上的齿啮合连接；

所述转动环（11）的圆周外壁上转动套装有支撑环（12），所述支撑环（12）的外壁上均匀安装有多张板簧（13）。

3.如权利要求2所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述支撑环（12）的外壁上均匀安装有多个导向套（14），所述导向套（14）上竖向滑动安装有导向杆（15）。

4.如权利要求3所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述净化桶（1）的圆周内壁上设置有螺旋板（16），所述螺旋板（16）的截面倾斜。

5.如权利要求4所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述滤筒（2）的外壁上滑动套装有同步套（17），所述同步套（17）转动安装在所述净化桶（1）内壁底部，所述滤筒（2）外壁上均匀开设有多个竖向滑槽，所述同步套（17）内壁上均匀设置有多个竖向滑棱，并且滑棱滑动位于滑槽内；

所述同步套（17）的外壁均匀安装有多张弧形刮板（18）。

6.如权利要求5所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述净化桶（1）的外壁上安装有收集仓（19），所述收集仓（19）与所述净化桶（1）内部连通，所述收集仓（19）的内侧壁上倾斜安装有两张逆向阻挡板（20），并且两张逆向阻挡板（20）的倾斜方向相反，两张逆向阻挡板（20）位置交错；

所述收集仓（19）底部开设有通口，并且通口上盖装有盖板（21）。

7.如权利要求6所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述动力机构包括安装在所述第一导气管（3）外壁上的齿轮（22），所述齿轮（22）位于所述净化桶（1）下方，所述齿轮（22）上啮合设置有齿柱（23），所述齿柱（23）的顶部转动安装在所述净化桶（1）的底部，所述齿柱（23）的底部安装有电机（24），所述电机（24）的侧壁上安装有第三安装板（25），所述第三安装板（25）的外端固定在所述净化桶（1）底部。

8.如权利要求7所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，还包括挡罩（26），所述挡罩（26）位于动力机构的外侧，所述挡罩（26）安装在所述净化桶（1）底部，所述第二导气管（5）的底部穿过所述挡罩（26）。

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