CN114950085A - 一种有害气体净化装置 - Google Patents

一种有害气体净化装置 Download PDF

Info

Publication number
CN114950085A
CN114950085A CN202110213228.9A CN202110213228A CN114950085A CN 114950085 A CN114950085 A CN 114950085A CN 202110213228 A CN202110213228 A CN 202110213228A CN 114950085 A CN114950085 A CN 114950085A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
harmful gas
controller
exhaust passage
harmful
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110213228.9A
Other languages
English (en)
Inventor
金大镇
具德滋
姜东勋
李相龙
郑宇现
周娜
李琳
李俊杰
王佳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Microelectronics of CAS
Zhenxin Beijing Semiconductor Co Ltd
Original Assignee
Institute of Microelectronics of CAS
Zhenxin Beijing Semiconductor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Microelectronics of CAS, Zhenxin Beijing Semiconductor Co Ltd filed Critical Institute of Microelectronics of CAS
Priority to CN202110213228.9A priority Critical patent/CN114950085A/zh
Publication of CN114950085A publication Critical patent/CN114950085A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/30—Controlling by gas-analysis apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

本发明公开一种有害气体净化装置，涉及半导体器件技术领域，以提供一种可以在气体发生器泄露有害气体时，对该有害气体进行处理的装置。包括：气体检测设备、排气通道、设置在所述排气通道内的吸气设备和气体净化设备，以及与所述气体检测设备和所述吸气设备相连接的控制器。所述气体检测设备用于检测所述有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器。所述控制器用于在所述检测信号表征所述有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制所述吸气设备通过所述排气通道的进气口将所述有害气体吸入排气通道中。所述气体净化设备用于对所述排气通道中的所述有害气体进行净化。

Description

一种有害气体净化装置
技术领域
本发明涉及半导体器件技术领域，特别是涉及一种有害气体净化装置。
背景技术
在半导体制造过程中，当需要采用工艺气体进行半导体处理时，半导体设备包括提供工艺气体的气体发生器。当该工艺气体为有害气体时，该气体发生器为可以产生该有害气体的气体发生器。
该有害气体泄漏后，会对人体和环境产生危害，因此，需要预先设置可以将该有害气体排放至预设空间的排气管。该排气管一般设置在气体发生器的上部、下部等多个位置处，因此，会增加气体发生器的体积，也会降低气体发生器的可用性和功能性。再者，当气体发生器发生气体泄漏时，会在气体发生器的任何可能的地方发生泄露，当泄露的地方不存在排气管时，会导致有害气体排入外界环境中，对人体和环境产生危害。
发明内容
基于此，本发明的目的在于提供一种有害气体净化装置，以提供一种可以在气体发生器泄露有害气体时，对该有害气体进行处理的装置。
本发明提供了一种有害气体净化装置，应用于半导体设备中，半导体设备中具有害气体产生源，气体净化装置包括：气体检测设备、排气通道、设置在排气通道内的吸气设备和气体净化设备，以及与气体检测设备和吸气设备相连接的控制器。气体检测设备用于检测有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器。控制器用于在检测信号表征有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制吸气设备通过排气通道的进气口将有害气体吸入排气通道中。气体净化设备用于对排气通道中的有害气体进行净化。
与现有技术相比，本发明提供的有害气体净化装置，包括气体检测设备、排气通道、设置在排气通道内的吸气设备和气体净化设备，以及与气体检测设备和吸气设备相连接的控制器。气体检测设备用于检测有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器。控制器用于在检测信号表征有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制吸气设备通过排气通道的进气口将有害气体吸入排气通道中。气体净化设备用于对排气通道中的有害气体进行净化。可以看出，本发明利用气体检测设备检测有害气体产生源是否泄露有害气体，可以更加有效快速的检测到有害气体产生源是否泄露。在有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制器用于控制吸气设备将有害气体吸入排气通道中，并在排气通道中利用净化设备对该有害气体进行净化。因此，相对于现有技术中在气体发生器的上部、下部等多个位置处设置排气管，以将有害气体排放至预设空间，本发明对有害气体进行了净化，更加有效的避免有害气体排放到外界环境中，以避免对人体和环境产生危害。最后，本发明并未对气体发生器产生任何改造，不会降低气体发生器的功能性和可用性。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了本发明实施例提供一种有害气体净化装置的结构示意图；
图2示出了本发明实施例提供的一种文丘里管路的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在附图中示出本发明实施例的各种示意图，这些图并非按比例绘制。其中，为了清楚明白的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。
以下，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
此外，本发明中，“上”、“下”等方位术语是相对于附图中的部件示意置放的方位来定义，应当能理解到，这些方向性术语是相对概念，它们用于相对的描述和澄清，其可以根据附图中部件所放置的方位变化而相应地发生变化。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接相连。
目前，在半导体制造过程中，当需要采用工艺气体进行半导体处理时，半导体设备包括提供工艺气体的气体发生器。当该工艺气体为有害气体时，该气体发生器为可以产生该有害气体的气体发生器。
该有害气体泄漏后，会对人体和环境产生危害，因此，需要预先设置可以将该有害气体排放至预设空间的排气管。该排气管一般设置在气体发生器的上部、下部等多个位置处，因此，会增加气体发生器的体积，也会降低气体发生器的可用性和功能性。再者，当气体发生器发生气体泄漏时，会在气体发生器的任何可能的地方发生泄露，当泄露的地方不存在排气管时，会导致有害气体排入外界环境中，对人体和环境产生危害。
基于此，本发明实施例提供了一种有害气体净化装置，应用于半导体设备中，半导体设备中具有害气体产生源。可以理解，该半导体设备用于制造半导体器件，该有害气体产生源可以为气体发生器，该气体发生体可以为任何可以产生有害气体的气体发生器。在半导体制造过程中，往往需要使用工艺气体对晶圆进行处理，此时，该气体发生器用于产生需要的工艺气体。
参照图1，本发明实施例提供的气体净化装置包括：气体检测设备10、排气通道20、设置在排气通道20内的吸气设备30和气体净化设备40，以及与气体检测设备10和吸气设备30相连接的控制器。
上述气体检测设备用于检测有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器。控制器用于在检测信号表征有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制吸气设备通过排气通道的进气口将有害气体吸入排气通道中。
在实际中，参照图1，上述气体检测设备10可以部分设置于有害气体产生源60所在的目标腔体70内，用于不间断的检测该有害气体产生源是否泄漏有害气体，并向控制器不间断的发送检测信号。在该检测信号表征有害气体产生源未泄漏有害气体的情况下，控制器不进行动作。只有在检测信号表征有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制器才控制吸气设备通过排气通道的进气口将有害气体吸入排气通道中。在排气通道中，气体净化设备用于对该有害气体进行净化，以去除该有害气体中的有害物质。即经过该气体净化设备的有害气体将不在具有毒性，净化后的有害气体通过排气通道的排气口排出至外界环境。
具体的，参照图1，该气体检测设备10可以包括吸入式感应器102和与控制器通信的气体检测器101。吸入式感应器102用于将有害气体产生源所在的目标腔体内的气体吸入所述气体检测器101内。气体检测器101用于对目标腔体内的气体进行检测，并将检测信号发送给控制器。在有害气体发生源未泄漏有害气体的情况下，气体检测器101发送给控制器的检测信号，与有害气体发生源泄漏了有害气体的情况下，气体检测器101发送给控制器的检测信号不同。在实际中，可以表现为两种检测信号所具有的电压不同，也可以表现为两种检测信号所具有的频率不同，本发明实施例对此做限定。
在具体的位置关系上，上述吸入式感应器可以设置在目标腔体内，以将目标腔体内的气体吸入气体检测器中。再者，为了能够实现将目标腔体内的气体送入气体检测器中，上述吸入式感应器需要与气体检测器的气体入口相连通。
根据上述描述可知，控制器用于在检测信号表征所述有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制吸气设备通过排气通道的进气口将有害气体吸入排气通道中，以在该排气通道中利用气体净化设备对有害气体进行净化，避免有害气体排放到外界环境中。
示例性的，参照图1，上述吸气设备30包括文丘里管路302和空气管路301，文丘里管路302靠近排气通道20的进气口设置，空气管路301的一端与所述文丘里管路302相连通，另一端置于外界环境中。
参照图2，文丘里管路由以下各部分组成：入口段1：一个短的圆柱段，其直径为D；收缩段2：形状为一锥形管，锥角约为21°±2°；喉道3：一个短的直管段，直径约为1/3D～1/4D，长度等于管径；扩散段4：锥角为8°～15°的锥管。距入口段末端0.25D～0.75D处有一个测压环，上面至少有4个测压孔，和压环通向压力计。此外，在喉道中央处也有一个多孔道的测压环通向压力计。通过压力计的刻度或自动记录仪可测出入口截面同最小截面(即喉道截面)处的压力差。
在本发明实施例中，上述文丘里管路包括依次相连通的第一进气管、第二进气管和排气管。第一进气管为上述入口段1和收缩段2，第二进气管为上述喉道3，排气管为上述扩散段4。
具体的，空气管路与文丘里管路中的第二进气管相连通。该空气管路内还设置有电磁开关，该电磁开关与控制器通信连接。当控制器确定有害气体产生源泄露了有害气体时，控制器用于控制电磁开关打开。外界空气通过空气管路进入文丘里管路中，此时，文丘里管路存在压力差，有害气体通过第一进气管进入文丘里管路中，然后通过排气管排出后，进入气体净化设备中，完成对有害气体的净化过程。
上述电磁开关可以为电磁阀，在实际中，控制器可以与电磁阀的电源相连接，当有害气体产生源泄露了有害气体时，控制器用于控制电磁阀通电，此时电磁阀的电磁线圈产生电磁力把关闭件从阀座上提起，阀门打开。当有害气体产生源泄露的有害气体排放完全时，控制器用于控制电磁阀断电，此时，的电磁线圈的电磁力消失，弹簧把关闭件压在阀座上，阀门关闭。
在实际中，参照图1，上述气体净化设备40可以为粉末型气体净化设备。其中，粉末型气体净化设备中存在有用于净化有害气体的粉末物质。具体的，该粉末物质为可以与有害气体反应，以去除有害气体中的有害物质的粉末。可以理解，可以根据有害气体的类型，设置粉末型气体净化设备中的粉末物质的类型。对于粉末物质的具体类型，本发明实施例不作具体限定。
参照图1，本发明实施例提供的有害气体净化装置还包括与控制器通信的净化检测设备50。该净化检测设备50设置在所述排气通道20的排气口处，用于检测排气通道排出的净化气体，并将净化检测结果发送给控制器。
在实际中，随着粉末型气体净化设备的长期使用，粉末型气体净化设备对有害气体的过滤作用逐渐减弱。本发明实施例提供的净化检测设备用于对排气通道排出的净化气体进行检测，并将净化检测结果发送给控制器。
本发明实施例提供的有害气体净化装置还包括与所述控制器通信的客户端。控制器用于当净化检测设备发送的净化检测结果表征净化气体中包含有害气体时，向客户端发送更换耗材信号，其中，耗材为气体净化设备的耗材。
具体的，当净化检测结果表征净化后气体中含有有害气体时，控制器用于向客户端发送更换耗材信号，该客户端可以安装在工作人员手持的移动设备中，当工作人员接收到跟换耗材信号时，工作人员对气体净化设备的耗材进行更换，以防止气体净化设备的长期使用，气体净化设备的耗材失去原有的净化作用，以使通过排气通道排出的净化气体中具有有害气体，对人体和环境产生危害。
基于以上描述，本发明实施例提供的有害气体净化装置，包括气体检测设备、排气通道、设置在排气通道内的吸气设备和气体净化设备，以及与气体检测设备和吸气设备相连接的控制器。气体检测设备用于检测有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器。控制器用于在检测信号表征有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制吸气设备通过排气通道的进气口将有害气体吸入排气通道中。气体净化设备用于对排气通道中的有害气体进行净化。可以看出，本发明实施例利用气体检测设备检测有害气体产生源是否泄露有害气体，可以更加有效快速的检测到有害气体产生源是否泄露。在有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制器用于控制吸气设备将有害气体吸入排气通道中，并在排气通道中利用净化设备对该有害气体进行净化。因此，相对于现有技术中在气体发生器的上部、下部等多个位置处设置排气管，以将有害气体排放至预设空间，本发明对有害气体进行了净化，更加有效的避免有害气体排放到外界环境中，以避免对人体和环境产生危害。最后，本发明并未对气体发生器产生任何改造，不会降低气体发生器的功能性和可用性。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于设备实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种有害气体净化装置，应用于半导体设备中，所述半导体设备中具有害气体产生源，其特征在于，所述气体净化装置包括：气体检测设备、排气通道、设置在所述排气通道内的吸气设备和气体净化设备，以及与所述气体检测设备和所述吸气设备通信连接的控制器；
所述气体检测设备用于检测所述有害气体产生源是否泄露有害气体，并将检测信号发送给控制器；
所述控制器用于在所述检测信号表征所述有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制所述吸气设备通过所述排气通道的进气口将所述有害气体吸入排气通道中；
所述气体净化设备用于对所述排气通道中的所述有害气体进行净化。
2.根据权利要求1所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述吸气设备包括文丘里管路和空气管路，所述文丘里管路靠近所述排气通道的进气口设置，所述空气管路一端与所述文丘里管路相连通，另一端置于外界环境中。
3.根据权利要求2所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述文丘里管路包括依次相连通的第一进气管、第二进气管和排气管；
所述第二进气管的管径小于所述第一进气管和所述排气管的管径；
所述空气管路的一端与所述第二进气管相连通。
4.根据权利要求3所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述吸气设备还包括设置在所述空气管路内的电磁开关；
所述电磁开关与所述控制器通信连接，所述控制器用于在所述检测信号表征所述有害气体产生源泄露有害气体的情况下，控制所述电磁开关打开，以使外界空气从所述空气管路进入所述第二进气管中。
5.根据权利要求1-4任一项所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述气体检测设备包括吸入式感应器和与所述控制器通信的气体检测器；
所述有害气体产生源置于目标腔体内，所述吸入式感应器用于将所述目标腔体内的气体吸入所述气体检测器内；
所述气体检测器用于对所述目标腔体内的气体进行检测，并将所述检测信号发送给控制器。
6.根据权利要求5所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述吸入式感应器设置在所述目标腔体内，且与所述气体检测器的气体入口相连通。
7.根据权利要求5所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述排气通道通过所述排气通道的进气口与所述目标腔体相连通。
8.根据权利要求1-4任一项所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述气体净化设备为粉末型气体净化设备。
9.根据权利要求1-4任一项所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述有害气体净化装置还包括与控制器通信的净化检测设备，所述净化检测设备设置在所述排气通道的排气口处，用于检测所述排气通道排出的净化气体，并将净化检测结果发送给控制器。
10.根据权利要求9所述的有害气体净化装置，其特征在于，所述有害气体净化装置还包括与所述控制器通信的客户端；
所述控制器用于当所述净化检测设备发送的净化检测结果表征所述净化气体中包含有害气体时，向所述客户端发送更换耗材信号，其中，所述耗材为气体净化设备的耗材。
CN202110213228.9A 2021-02-24 2021-02-24 一种有害气体净化装置 Pending CN114950085A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110213228.9A CN114950085A (zh) 2021-02-24 2021-02-24 一种有害气体净化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110213228.9A CN114950085A (zh) 2021-02-24 2021-02-24 一种有害气体净化装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114950085A true CN114950085A (zh) 2022-08-30

Family

ID=82974122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110213228.9A Pending CN114950085A (zh) 2021-02-24 2021-02-24 一种有害气体净化装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114950085A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102791359A (zh) * 2010-01-14 2012-11-21 高级技术材料公司 通风气体管理系统和方法
CN109530381A (zh) * 2018-11-21 2019-03-29 德淮半导体有限公司 有毒气体柜及包括其的有毒气体处理系统
CN209286970U (zh) * 2018-11-19 2019-08-23 常熟市方塔涂料化工有限公司 一种生产车间有害气体处理排放系统
CN111351904A (zh) * 2020-04-28 2020-06-30 西藏净源科技有限公司 一种集废气检测和净化一体的废气检测装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102791359A (zh) * 2010-01-14 2012-11-21 高级技术材料公司 通风气体管理系统和方法
CN209286970U (zh) * 2018-11-19 2019-08-23 常熟市方塔涂料化工有限公司 一种生产车间有害气体处理排放系统
CN109530381A (zh) * 2018-11-21 2019-03-29 德淮半导体有限公司 有毒气体柜及包括其的有毒气体处理系统
CN111351904A (zh) * 2020-04-28 2020-06-30 西藏净源科技有限公司 一种集废气检测和净化一体的废气检测装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
环境保护部科技标准司等: "粉尘与有毒有害气体防治技术", 中国环境科学出版社, pages: 253 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5942065B1 (ja) センサユニット及び気密性検査装置
KR101619586B1 (ko) 연료전지 정비용 잔존수소 제거 장치
JP5520234B2 (ja) 基準測定法に基づく吸込み式漏れ検出器
JP2014059322A (ja) 気密性を検査するための方法及び装置
CN115738775A (zh) 一种混气装置、方法及半导体工艺系统
CN104697775A (zh) 一种气举阀自动化精密调试系统
CN114950085A (zh) 一种有害气体净化装置
KR102101122B1 (ko) 저압질소를 이용한 수도배관의 세척장치 및 방법
CA2729318C (en) System and method for detecting pluggage in a conduit for delivery of solids and carrier gases to a flowing gas stream
KR101611518B1 (ko) 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트
KR101664192B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR101638454B1 (ko) 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트
JP2015017846A (ja) 漏洩検知装置
JP2012110454A (ja) 酸素濃縮装置
JP3633589B2 (ja) 洩れ検査方法および洩れ検査装置
CN215174186U (zh) 晶片持取装置的供气装置
CN220488902U (zh) 一种气瓶接口用防泄漏装置
CN106969887A (zh) 高压气密性测试装置
CN219915272U (zh) 一种气体渗透测试系统
EP1862711A3 (en) Processing apparatus and processing method
JP6994960B2 (ja) 液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、および、めっき処理装置
CN214502808U (zh) 一种新型的内压式超滤膜在线检漏系统
JP3668344B2 (ja) 送気装置
CN216483896U (zh) 一种便携式氧气面罩供氧性能检测仪
JP2003000534A (ja) 流体供給装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20220830