CN114908317A - 一种tft-lcd金属边框处理工艺 - Google Patents

一种tft-lcd金属边框处理工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN114908317A
CN114908317A CN202210758068.0A CN202210758068A CN114908317A CN 114908317 A CN114908317 A CN 114908317A CN 202210758068 A CN202210758068 A CN 202210758068A CN 114908317 A CN114908317 A CN 114908317A
Authority
CN
China
Prior art keywords
tft
lcd
mask plate
substrate
processing process
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210758068.0A
Other languages
English (en)
Inventor
聂平
郑建军
陶方查
岳伟
马建彪
苗聪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhu Token Sciences Co Ltd
Original Assignee
Wuhu Token Sciences Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhu Token Sciences Co Ltd filed Critical Wuhu Token Sciences Co Ltd
Priority to CN202210758068.0A priority Critical patent/CN114908317A/zh
Publication of CN114908317A publication Critical patent/CN114908317A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Abstract

本发明公开了一种TFT‑LCD金属边框处理工艺,包括以下步骤:S1.镀膜前对TFT‑LCD玻璃基板进行清洗处理;S2.清洗好的基板与掩膜板进行贴合定位在一起,掩膜板上对应基板的边缘设有缝隙;S3.将定位在一起的基板和掩膜板放入PVD机台进行镀膜处理,基板上通过缝隙镀制一圈金属线条。该TFT‑LCD金属边框处理工艺设计合理,通过掩膜板覆盖定位在TFT‑LCD基板上,通过掩膜板上的缝隙实现金属边框金属丝处理,工艺简单,成本低,制备的产能大,膜的稳定性能佳,并且对产品的触控效果有明显提升。

Description

一种TFT-LCD金属边框处理工艺
技术领域
本发明涉及液晶显示屏技术领域,尤其是涉及一种TFT-LCD金属边框处理工艺。
背景技术
随着电子产的发展,网络的普及,消费者对电子产品的信号强度要求越来越高,目前主要是通过在屏幕的背面镀制一圈金属线条来实现信号增强功能;而对于TFT-LCDLCD产品不能直接镀制,工艺繁琐,成本高;以及TFT-LCDLCD产品镀膜ITO防静电膜厚,触控时静电消散需要时间恢复正常,等待的时间就对产品品质有影响。
发明内容
针对现有技术不足,本发明所要解决的技术问题是提供一种TFT-LCD金属边框处理工艺,以达到工艺简单,成本低的目的。
为了解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案为:
该TFT-LCD金属边框处理工艺,包括以下步骤:
S1.镀膜前对TFT-LCD玻璃基板进行清洗处理;
S2.清洗好的基板与掩膜板进行贴合定位在一起,掩膜板上对应基板的边缘设有缝隙;
S3.将定位在一起的基板和掩膜板放入PVD机台进行镀膜处理,基板上通过缝隙镀制一圈金属线条。
其中,
所述S1步骤前,对TFT-LCD玻璃基板研磨减薄处理。
所述S1步骤中,清洗的温度控制在50℃±20℃,清洗速度控制在6-12m/min。
所述S2步骤中,掩膜板的缝隙宽度控制在1.4-2mm。
所述S2步骤中,掩膜板表面进行喷涂处理。
所述S2步骤中,基板与掩膜板通过框体工装对应边缘将两者固定在一起。
所述S3步骤中,镀膜的功率控制在8-13KW。
所述S3步骤中,镀膜的温度控制在40-80℃。
所述S3步骤中,镀膜氩气控制在100-300sccm。
本发明与现有技术相比,具有以下优点:
该TFT-LCD金属边框处理工艺设计合理,通过掩膜板覆盖定位在TFT-LCD基板上,通过掩膜板上的缝隙实现金属边框金属丝处理,工艺简单,成本低,制备的产能大,膜的稳定性能佳,并且对产品的触控效果有明显提升。
附图说明
下面对本说明书各幅附图所表达的内容及图中的标记作简要说明:
图1为本发明掩膜板结构示意图。
图中:
1.掩膜板、101.缝隙。
具体实施方式
下面对照附图,通过对实施例的描述,对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
如图1所示,该TFT-LCD金属边框处理工艺,包括以下步骤:
对TFT-LCD玻璃基板研磨减薄处理,基板减薄后厚度为0.3mm-0.5mm,镀膜前对TFT-LCD玻璃基板进行清洗处理;进一步的,清洗的温度控制在50℃±20℃,清洗速度控制在6-12m/min。
清洗好的基板与掩膜板进行贴合定位在一起,掩膜板1上对应基板的边缘设有缝隙101;进一步的,对掩膜板表面进行喷涂特氟龙材料处理,防止板子对玻璃产生了划伤。
掩膜板的缝隙宽度控制在1.4-2mm,基板与掩膜板通过框体工装对应边缘将两者固定在一起;优选的,框体工装为带上下内翻边的定位板,定位基板与掩膜板边缘将其固定在一起。
将定位在一起的基板和掩膜板放入PVD机台进行镀膜处理,基板上通过缝隙镀制一圈金属线条,金属线条为NiV合金金属靶材;进一步的,PVD机台进行镀膜,对位是一共9个位置靶标,靶标的位置跟玻璃的靶标一一对比,玻璃在十字靶标对位后,十字靶标需要在掩膜板靶标内的±0.1mm以内。
进一步的,镀膜的功率控制在8-13KW;镀膜的温度控制在40-80℃;镀膜氩气控制在100-300sccm;镀膜工艺需要控制好功率和AR气含量保证镀膜电阻和膜层厚度;镀膜完成后对其检测,产品性能要保证在阻值7-100ohm、线条宽度精度±0.7mm、膜厚
Figure BDA0003720197700000031
以及附着力5B。通过PVD机台磁控溅射技术加工更简单、成本更低,制备的产能大,膜的稳定性能佳,对产品的触控效果有明显提升。
本发明TFT-LCD金属边框处理工艺设计合理,通过掩膜板覆盖定位在TFT-LCD基板上,通过掩膜板上的缝隙实现金属边框金属丝处理,工艺简单,成本低,制备的产能大,膜的稳定性能佳。
上面结合附图对本发明进行了示例性描述,显然本发明具体实现并不受上述方式的限制,只要采用了本发明的构思和技术方案进行的各种非实质性的改进,或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述处理工艺包括以下步骤:
S1.镀膜前对TFT-LCD玻璃基板进行清洗处理;
S2.清洗好的基板与掩膜板进行贴合定位在一起,掩膜板上对应基板的边缘设有缝隙;
S3.将定位在一起的基板和掩膜板放入PVD机台进行镀膜处理,基板上通过缝隙镀制一圈金属线条。
2.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S1步骤前,对TFT-LCD玻璃基板研磨减薄处理。
3.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S1步骤中,清洗的温度控制在50℃±20℃,清洗速度控制在6-12m/min。
4.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S2步骤中,掩膜板的缝隙宽度控制在1.4-2mm。
5.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S2步骤中,掩膜板表面进行喷涂处理。
6.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S2步骤中,基板与掩膜板通过框体工装对应边缘将两者固定在一起。
7.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S3步骤中,镀膜的功率控制在8-13KW。
8.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S3步骤中,镀膜的温度控制在40-80℃。
9.如权利要求1所述TFT-LCD金属边框处理工艺,其特征在于:所述S3步骤中,镀膜氩气控制在100-300sccm。
CN202210758068.0A 2022-06-29 2022-06-29 一种tft-lcd金属边框处理工艺 Pending CN114908317A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210758068.0A CN114908317A (zh) 2022-06-29 2022-06-29 一种tft-lcd金属边框处理工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210758068.0A CN114908317A (zh) 2022-06-29 2022-06-29 一种tft-lcd金属边框处理工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114908317A true CN114908317A (zh) 2022-08-16

Family

ID=82772789

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210758068.0A Pending CN114908317A (zh) 2022-06-29 2022-06-29 一种tft-lcd金属边框处理工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114908317A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050003588A1 (en) * 2003-07-01 2005-01-06 Au Optronics Corp. Method for patching up thin-film transistor circuits on a display panel by local thin-film deposition
CN101819362A (zh) * 2009-02-27 2010-09-01 北京京东方光电科技有限公司 Tft-lcd阵列基板及其制造方法
CN203128642U (zh) * 2013-03-11 2013-08-14 钱超 用于oled镀膜的蒸镀罩
CN107227439A (zh) * 2017-08-03 2017-10-03 重庆永信科技有限公司 Tft液晶基板金属边框局部镀膜工艺
CN107337355A (zh) * 2017-08-03 2017-11-10 重庆永信科技有限公司 Tft基板镀膜方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050003588A1 (en) * 2003-07-01 2005-01-06 Au Optronics Corp. Method for patching up thin-film transistor circuits on a display panel by local thin-film deposition
CN101819362A (zh) * 2009-02-27 2010-09-01 北京京东方光电科技有限公司 Tft-lcd阵列基板及其制造方法
CN203128642U (zh) * 2013-03-11 2013-08-14 钱超 用于oled镀膜的蒸镀罩
CN107227439A (zh) * 2017-08-03 2017-10-03 重庆永信科技有限公司 Tft液晶基板金属边框局部镀膜工艺
CN107337355A (zh) * 2017-08-03 2017-11-10 重庆永信科技有限公司 Tft基板镀膜方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6585871B1 (en) Method of film deposition on substrate surface and substrate produced by the method
US20030170449A1 (en) Indium-tin oxide (ito) layer and method for producing the same
JP2003151358A (ja) 透明導電性フィルムおよびタッチパネル
CN108570651A (zh) 一种多腔室卧式磁控溅射镀膜生产线及其镀膜方法
US20030203219A1 (en) Plastic article with a film sputter deposited thereon
CN107622990A (zh) 一种触控基板及其制作方法、显示装置
US20130143065A1 (en) Method for electromagnetic shielding and product made by same
JP2007243122A (ja) スパッタリング法によるシールド膜の成膜方法及び成膜されたシールド膜
ES8700977A1 (es) Un aparato para depositar una pelicula transmisora de luz y electricamente conductora en un sustrato
CN109526193A (zh) 电磁波屏蔽膜及其制备方法
CN114908317A (zh) 一种tft-lcd金属边框处理工艺
CN109825806B (zh) 一种pet非导电膜及其制备方法
JP5447240B2 (ja) マグネトロンスパッタリング装置および透明導電膜の製造方法
JP2002103504A (ja) 透明導電性フィルム
CN107731352A (zh) 柔性电子玻璃透明导电氧化物薄膜电路制备方法
CN107357454A (zh) 一种带有ito消影膜的触控屏的生产工艺
CN107227439A (zh) Tft液晶基板金属边框局部镀膜工艺
CN205486019U (zh) 一种触控屏线路板
CN109913827A (zh) 一种溅镀过程保护装置及其使用方法
CN112209626A (zh) 一种高阻膜及其制备方法与应用
JP6843445B2 (ja) 基板側面部の配線形成方法
JP3489844B2 (ja) 透明導電性フィルムおよびその製造方法
CN101864557A (zh) 一种透明导电薄膜制备方法
CN2592655Y (zh) 蒸镀装置
JPH02236277A (ja) スパッタリング方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination