CN114871176A - 一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法，具体涉及清洗装置技术领域，包括两个对称设置的支撑板，两个所述的支撑板的顶部设有同一个底板，底板的顶部固定安装有分选机，分选机的顶部开设有清洗槽，清洗槽的底部内壁上开设有多个放置槽，底板的顶部固定安装有两个对称设置的水箱，水箱上固定安装有连接管的一端，连接管的另一端固定安装在清洗槽的内壁上并固定安装有喷头，喷头与放置槽相配合，所述水箱内设有水泵，连接管上设有阀门，所述底板的顶部固定安装有两个对称设置的连接板。本发明通过转动座转动从而能够带动刷毛进行转动，能够对放置槽的侧壁进行进一步的清理，从而便于人们进行使用。

Description

一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法
技术领域
本发明涉及清洗装置技术领域，更具体地说，本发明涉及一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.99％。晶圆片的由来，是先将二氧化矽经过纯化，融解，蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆母片，由于圆形的晶圆片本身没有方向性，不适合电子的传输，因此这些晶圆还必须切出一个边，当做类似三角形的“底”，所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆，而是被切掉一个边，成为有“底”的圆。
现有的晶圆片分选机长时间使用会产生较多的灰尘，可能造成较大的误差，不能进行高效快速的清洗，久而久之会导致寿命减短，并且现有的晶圆片分选机很难将晶圆片吸附分选，难以满足现有的晶圆片分选需求。
发明内容
为了克服现有技术的上述缺陷，本发明提供一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法，解决分选机长时间使用会产生较多的灰尘，可能造成较大的误差，不能进行高效快速的清洗，久而久之会导致寿命减短，并且现有的晶圆片分选机很难将晶圆片吸附分选，难以满足现有的晶圆片分选需求了问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法，包括两个对称设置的支撑板，两个所述的支撑板的顶部设有同一个底板，底板的顶部固定安装有分选机，分选机的顶部开设有清洗槽，清洗槽的底部内壁上开设有多个放置槽，所述底板的顶部固定安装有两个对称设置的水箱，水箱上固定安装有连接管的一端，连接管的另一端固定安装在清洗槽的内壁上并固定安装有喷头，喷头与放置槽相配合，所述水箱内设有水泵，连接管上设有阀门，所述底板的顶部固定安装有两个对称设置的连接板，两个连接板相互靠近的一侧均开设有固定槽，固定槽的顶部内壁和底部内壁上固定安装有同一个固定杆，两个固定杆上滑动安装有同一个升降板，升降板的底部固定安装有第一弹簧的一端，第一弹簧的另一端固定安装在固定槽的底部内壁上，两个连接板的顶部固定安装有同一个顶板，顶板的底部开设有方槽，所述顶板的一侧固定安装有第二伺服电机，第二伺服电机的输出轴延伸至方槽内并固定安装有转杆。
优选的，所述放置槽的数量为八到十六个，且八到十六个放置槽等间距间隔设置。
优选的，所述转杆上螺纹连接有两个对称设置的滑板，滑板的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔的侧壁上设有内螺纹，转杆上设有旋向相反的外螺纹，内螺纹与外螺纹相啮合，所述方槽的顶部开设有限位槽，滑板的顶部延伸至限位槽内。
优选的，所述滑板的底部延伸至方槽的外侧并转动安装有转柱的一端，转柱的另一端转动安装在升降板上，两个转柱相铰接。
优选的，所述升降板的底部固定安装有连接座，连接座的底部开设有圆槽，连接座的一侧固定安装有第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴延伸至圆槽内并固定安装有转动座，转动座上设有多个刷毛，刷毛与放置槽相配合。
优选的，所述支撑板的顶部开设有凹槽，凹槽的底部内壁上固定安装有第二弹簧，第二弹簧的一端固定安装有升降座，升降座的一侧延伸至凹槽的外侧并固定安装在底板的底部。
使用全自动晶圆分选机高效自动清洗装置清洗晶圆的方法，包括以下步骤：
步骤一：首先将晶圆放置在放置槽内。
步骤二：打开水泵，使得从而使得水箱内的水能够通过连接管进入喷头，能够对放置槽内的晶圆进行初步的冲刷。
步骤三：然后启动第二伺服电机，第二伺服电机的输出轴带动转杆转动，转杆转动带动两个滑板在转杆上进行滑动，滑板滑动从而能够带动转柱进行转动，转柱转动从而能够带动升降板进行升降，从而能够带动刷毛进行升降。
步骤四：当刷毛与晶圆接触后，启动第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴带动转动座进行转动，转动座转动从而能够带动刷毛进行转动，能够对放置槽的晶圆进行进一步的清理。
步骤五：清洗完成后取出晶圆。
本发明的技术效果和优点：
1、本发明通过多个放置槽的设置从而能够便于人们将晶圆放置在放置槽内，当需要对其进行清洗时，打开水泵，从而使得水箱内的水能够通过连接管进入喷头，能够对放置槽进行初步的冲刷；
2、本发明通过启动第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴带动转动座进行转动，转动座转动从而能够带动刷毛进行转动，能够对放置槽的侧壁进行进一步的清理，从而便于人们进行使用。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为图1中A部分的放大结构示意图。
图3为图1中B部分的放大结构示意图。
图4为本发明的主视结构示意图。
附图标记为：
1、支撑板；2、底板；3、分选机；4、放置槽；5、水箱；6、水管；7、阀门；8、喷头；9、连接板；10、固定杆；11、第一弹簧；12、固定槽；13、升降板；14、连接座；15、第一伺服电机；16、转动座；17、刷毛；18、顶板；19、方槽；20、滑板；21、第二伺服电机；22、转杆；23、转柱；24、限位槽；25、第二弹簧；26、凹槽；27、升降座。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
如图1-4所示，一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置及方法，包括两个对称设置的支撑板1，两个所述的支撑板1的顶部设有同一个底板2，底板2的顶部固定安装有分选机3，分选机3的顶部开设有清洗槽，清洗槽的底部内壁上开设有多个放置槽4，所述底板2的顶部固定安装有两个对称设置的水箱5，水箱5上固定安装有连接管6的一端，连接管6的另一端固定安装在清洗槽的内壁上并固定安装有喷头8，喷头8与放置槽4相配合，所述水箱5内设有水泵，连接管6上设有阀门7，所述底板2的顶部固定安装有两个对称设置的连接板9，两个连接板9相互靠近的一侧均开设有固定槽12，固定槽12的顶部内壁和底部内壁上固定安装有同一个固定杆10，两个固定杆10上滑动安装有同一个升降板13，升降板13的底部固定安装有第一弹簧11的一端，第一弹簧11的另一端固定安装在固定槽12的底部内壁上，两个连接板9的顶部固定安装有同一个顶板18，顶板18的底部开设有方槽19，所述顶板18的一侧固定安装有第二伺服电机21，第二伺服电机21的输出轴延伸至方槽19内并固定安装有转杆22。
其中，所述放置槽4的数量为八到十六个，且八到十六个放置槽4等间距间隔设置，通过多个放置槽4的设置从而能够便于人们将晶圆放置在放置槽4内，从而便于人们进行清洗。
其中，所述转杆22上螺纹连接有两个对称设置的滑板20，滑板20的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔的侧壁上设有内螺纹，转杆22上设有旋向相反的外螺纹，内螺纹与外螺纹相啮合，所述方槽19的顶部开设有限位槽24，滑板20的顶部延伸至限位槽24内，通过螺纹结构的设置从而能够使得当转杆22转动时能够带动滑板20在转杆22上进行滑动。
其中，所述滑板20的底部延伸至方槽19的外侧并转动安装有转柱23的一端，转柱23的另一端转动安装在升降板13上，两个转柱23相铰接，通过转柱23的设置从而能够使得当滑板20进行滑动时能够带动转柱23进行转动，转柱23转动从而能够带动升降板13进行升降。
其中，所述升降板13的底部固定安装有连接座14，连接座14的底部开设有圆槽，连接座14的一侧固定安装有第一伺服电机15，第一伺服电机15的输出轴延伸至圆槽内并固定安装有转动座16，转动座16上设有多个刷毛17，刷毛17与放置槽4相配合，通过多个刷毛17的设置从而能够对放置槽4内的晶圆进行很好的清洗，从而便于人们进行使用。
其中，所述支撑板1的顶部开设有凹槽26，凹槽26的底部内壁上固定安装有第二弹簧25，第二弹簧25的一端固定安装有升降座27，升降座27的一侧延伸至凹槽26的外侧并固定安装在底板2的底部，通过第二弹簧25和升降座27的设置从而能够对该装置进行很好的缓冲和保护的作用。
工作原理：通过多个放置槽4的设置从而能够便于人们将晶圆放置在放置槽4内，当需要对其进行清洗时，打开水泵，从而使得水箱5内的水能够通过连接管6进入喷头8，能够对放置槽4进行初步的冲刷，然后启动第二伺服电机21，第二伺服电机21的输出轴带动转杆22转动，转杆22转动带动两个滑板20在转杆22上进行滑动，滑板20滑动从而能够带动转柱23进行转动，转柱23转动从而能够带动升降板13进行升降，升降板13升降能够使得刷毛17的一侧能够与放置槽4的内壁相接触，此时启动第一伺服电机15，第一伺服电机15的输出轴带动转动座16进行转动，转动座16转动从而能够带动刷毛17进行转动，能够对放置槽4的晶圆进行进一步的清理，从而便于人们进行使用，通过第二弹簧25和升降座27的设置从而能够对该装置进行很好的缓冲和保护的作用。
实施例二
如图1-4所示，使用全自动晶圆分选机高效自动清洗装置清洗晶圆的方法，包括以下步骤：
步骤一：首先将晶圆放置在放置槽4内。
步骤二：打开水泵，使得从而使得水箱5内的水能够通过连接管6进入喷头8，能够对放置槽4内的晶圆进行初步的冲刷。
步骤三：然后启动第二伺服电机21，第二伺服电机21的输出轴带动转杆22转动，转杆22转动带动两个滑板20在转杆22上进行滑动，滑板20滑动从而能够带动转柱23进行转动，转柱23转动从而能够带动升降板13进行升降，从而能够带动刷毛17进行升降。
步骤四：当刷毛17与晶圆接触后，启动第一伺服电机15，第一伺服电机15的输出轴带动转动座16进行转动，转动座16转动从而能够带动刷毛17进行转动，能够对放置槽4的晶圆进行进一步的清理。
步骤五：清洗完成后取出晶圆。
最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
其次：本发明公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合；
最后：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置，包括两个对称设置的支撑板(1)，其特征在于：两个所述的支撑板(1)的顶部设有同一个底板(2)，底板(2)的顶部固定安装有分选机(3)，分选机(3)的顶部开设有清洗槽，清洗槽的底部内壁上开设有多个放置槽(4)，放置槽(4)内设有晶圆，所述底板(2)的顶部固定安装有两个对称设置的水箱(5)，水箱(5)上固定安装有连接管(6)的一端，连接管(6)的另一端固定安装在清洗槽的内壁上并固定安装有喷头(8)，喷头(8)与放置槽(4)相配合，所述水箱(5)内设有水泵，连接管(6)上设有阀门(7)，所述底板(2)的顶部固定安装有两个对称设置的连接板(9)，两个连接板(9)相互靠近的一侧均开设有固定槽(12)，固定槽(12)的顶部内壁和底部内壁上固定安装有同一个固定杆(10)，两个固定杆(10)上滑动安装有同一个升降板(13)，升降板(13)的底部固定安装有第一弹簧(11)的一端，第一弹簧(11)的另一端固定安装在固定槽(12)的底部内壁上，两个连接板(9)的顶部固定安装有同一个顶板18，顶板(18)的底部开设有方槽(19)，所述顶板(18)的一侧固定安装有第二伺服电机(21)，第二伺服电机(21)的输出轴延伸至方槽(19)内并固定安装有转杆(22)；
所述升降板(13)的底部固定安装有连接座(14)，连接座(14)的底部开设有圆槽，连接座(14)的一侧固定安装有第一伺服电机(15)，第一伺服电机(15)的输出轴延伸至圆槽内并固定安装有转动座(16)，转动座(16)上设有多个刷毛(17)，刷毛(17)与放置槽(4)相配合。
2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置，其特征在于：所述放置槽(4)的数量为八到十六个，且八到十六个放置槽(4)等间距间隔设置。
3.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置，其特征在于：所述转杆(22)上螺纹连接有两个对称设置的滑板(20)，滑板(20)的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔的侧壁上设有内螺纹，转杆(22)上设有旋向相反的外螺纹，内螺纹与外螺纹相啮合，所述方槽(19)的顶部开设有限位槽(24)，滑板(20)的顶部延伸至限位槽(24)内。
4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置，其特征在于：所述滑板(20)的底部延伸至方槽(19)的外侧并转动安装有转柱(23)的一端，转柱(23)的另一端转动安装在升降板(13)上，两个转柱(23)相铰接。
5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机高效自动清洗装置，其特征在于：所述支撑板(1)的顶部开设有凹槽(26)，凹槽(26)的底部内壁上固定安装有第二弹簧(25)，第二弹簧(25)的一端固定安装有升降座(27)，升降座(27)的一侧延伸至凹槽(26)的外侧并固定安装在底板(2)的底部。
6.使用如权利要求1-5任一项所述的全自动晶圆分选机高效自动清洗装置清洗晶圆的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：首先将晶圆放置在放置槽(4)内。
步骤二：打开水泵，使得从而使得水箱(5)内的水能够通过连接管(6)进入喷头(8)，能够对放置槽(4)内的晶圆进行初步的冲刷。
步骤三：然后启动第二伺服电机(21)，第二伺服电机(21)的输出轴带动转杆(22)转动，转杆(22)转动带动两个滑板(20)在转杆(22)上进行滑动，滑板(20)滑动从而能够带动转柱(23)进行转动，转柱(23)转动从而能够带动升降板(13)进行升降，从而能够带动刷毛(17)进行升降。
步骤四：当刷毛(17)与晶圆接触后，启动第一伺服电机(15)，第一伺服电机(15)的输出轴带动转动座(16)进行转动，转动座(16)转动从而能够带动刷毛(17)进行转动，能够对放置槽(4)的晶圆进行进一步的清理。
步骤五：清洗完成后取出晶圆。
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