CN208767263U - 一种晶圆片刷洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮。该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率。

Description

一种晶圆片刷洗机

技术领域

本实用新型涉及晶圆片加工设备技术领域，具体为一种晶圆片刷洗机。

背景技术

晶圆片是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。

在晶圆片的刷洗工序中，目前大部分采用的是人工刷洗，也有部分采用刷洗设备清洗，现有的刷洗设备，存在刷洗不彻底、工序繁杂的缺陷，因此降低了刷洗效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆片刷洗机，解决了现有晶圆片刷洗设备刷洗效率低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片刷洗机，包括机体，所述机体顶部的左侧开设有清洗槽，所述清洗槽的顶部焊接有环形水管，所述环形水管顶部的左侧固定安装有接水管，所述接水管的一端贯穿机体并延伸至其外，所述环形水管的底部均匀安装有出水头，所述清洗槽的中部活动安装有清洗板，所述清洗板的一端套接有断齿齿轮，所述清洗槽的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端转动连接有转动齿轮，所述转动齿轮的顶部与断齿齿轮的底部相啮合，所述机体的顶部焊接有基台，所述基台的顶部固定安装有第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸的自由端焊接有顶座，所述顶座的底部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端转动连接有刷毛板，所述刷毛板位于清洗槽的上方，所述机体顶部的右侧开设有烘干槽，所述清洗槽与烘干槽之间开设有斜槽，所述机体的内腔安装有第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的自由端安装有闭合板，所述闭合板位于斜槽内，所述烘干槽的底部固定安装有烘板，所述烘板上均匀安装有烘干管，所述机体的底部对称焊接有减震底座。

优选的，所述机体的内腔开设有排泄槽，所述排泄槽的底部贯穿机体的底部，所述机体的底部焊接有滑座，所述滑座上滑动安装有盛接盒。

优选的，所述清洗槽的右侧焊接有定位凸台，且定位凸台位于斜槽的底部。

优选的，所述清洗板上开设有漏孔。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种晶圆片刷洗机。具备以下有益效果：

该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率，首先将晶圆片放置在清洗板的顶部，通过接水管接通水源，然后开启第一伸缩气缸，带动刷毛板下降，直至其沉入至与晶圆片接触的位置，然后同步开启第二电机以及出水头，由第二电机带动刷毛板转动，继而对晶圆片进行刷洗，同时水通过出水头喷出，结合刷毛板的转动对晶圆片进行往复式刷洗，实现刷洗彻底、干净的目的，清洗后的废水通过清洗板上的漏孔漏下，清洗干净后，开启第一电机，带动转动齿轮转动，继而带动断齿齿轮转动，断齿齿轮上的啮齿为六分之一圆周，因此当断齿齿轮转动六十度后，自动停止转动，此时清洗板正好转动至与斜槽相平齐的位置，此时清洗好的晶圆片由于重力作用滑落进斜槽内，开启第二伸缩气缸，带动闭合板上移，将斜槽的通道打开，使晶圆片自动落入烘干槽底部的烘板上，然后通过烘干管对晶圆片进行烘干，整个过程流畅而便捷，从而完成了刷洗以及烘干，对于清洗槽内的废水，则流入排泄槽内，继而排入至盛接盒内存储，并定期清理。

附图说明

图1为本实用新型结构剖面示意图；

图2为本实用新型机体结构俯视图。

图中：1、机体；2、清洗槽；3、环形水管；4、接水管；5、出水头；6、清洗板；7、断齿齿轮；8、第一电机；9、转动齿轮；10、基台；11、第一伸缩气缸；12、顶座；13、第二电机；14、刷毛板；15、斜槽；16、第二伸缩气缸；17、闭合板；18、烘干槽；19、烘板；20、烘干管；21、减震底座；22、排泄槽；23、滑座；24、盛接盒；25、定位凸台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率，包括机体1，机体1顶部的左侧开设有清洗槽2，清洗槽2的顶部焊接有环形水管3，环形水管3顶部的左侧固定安装有接水管4，接水管4的一端贯穿机体1并延伸至其外，环形水管3的底部均匀安装有出水头5，清洗槽2的中部活动安装有清洗板6，清洗板6上开设有漏孔，清洗板6的一端套接有断齿齿轮7，清洗槽2的底部固定安装有第一电机8，第一电机8的输出端转动连接有转动齿轮9，转动齿轮9的顶部与断齿齿轮7的底部相啮合，机体1的顶部焊接有基台10，基台10的顶部固定安装有第一伸缩气缸11，第一伸缩气缸11的自由端焊接有顶座12，顶座12的底部固定安装有第二电机13，第二电机13的输出端转动连接有刷毛板14，刷毛板14位于清洗槽2的上方，首先将晶圆片放置在清洗板6的顶部，通过接水管4接通水源，然后开启第一伸缩气缸11，带动刷毛板14下降，直至其沉入至与晶圆片接触的位置，然后同步开启第二电机13以及出水头5，由第二电机13带动刷毛板14转动，继而对晶圆片进行刷洗，同时水通过出水头5喷出，结合刷毛板14的转动对晶圆片进行往复式刷洗，实现刷洗彻底、干净的目的，机体1的内腔开设有排泄槽22，排泄槽22的底部贯穿机体1的底部，机体1的底部焊接有滑座23，滑座23上滑动安装有盛接盒24，对于清洗槽2内的废水，则流入排泄槽22内，继而排入至盛接盒24内存储，并定期清理，机体1顶部的右侧开设有烘干槽18，清洗槽2与烘干槽18之间开设有斜槽15，清洗后的废水通过清洗板6上的漏孔漏下，清洗干净后，开启第一电机8，带动转动齿轮9转动，继而带动断齿齿轮7转动，断齿齿轮7上的啮齿为六分之一圆周，因此当断齿齿轮7转动六十度后，自动停止转动，此时清洗板6正好转动至与斜槽15相平齐的位置，此时清洗好的晶圆片由于重力作用滑落进斜槽15内，清洗槽2的右侧焊接有定位凸台25，且定位凸台25位于斜槽15的底部，设置定位凸台25，起到对清洗板6定位的作用，确保清洗板6与斜槽15对齐，机体1的内腔安装有第二伸缩气缸16，第二伸缩气缸16的自由端安装有闭合板17，闭合板17位于斜槽15内，烘干槽18的底部固定安装有烘板19，烘板19上均匀安装有烘干管20，开启第二伸缩气缸16，带动闭合板17上移，将斜槽15的通道打开，使晶圆片自动落入烘干槽18底部的烘板19上，然后通过烘干管20对晶圆片进行烘干，整个过程流畅而便捷，从而完成了刷洗以及烘干，机体1的底部对称焊接有减震底座21。

使用时，首先将晶圆片放置在清洗板6的顶部，通过接水管4接通水源，然后开启第一伸缩气缸11，带动刷毛板14下降，直至其沉入至与晶圆片接触的位置，然后同步开启第二电机13以及出水头5，由第二电机13带动刷毛板14转动，继而对晶圆片进行刷洗，同时水通过出水头5喷出，结合刷毛板14的转动对晶圆片进行往复式刷洗，实现刷洗彻底、干净的目的，清洗后的废水通过清洗板6上的漏孔漏下，清洗干净后，开启第一电机8，带动转动齿轮9转动，继而带动断齿齿轮7转动，断齿齿轮7上的啮齿为六分之一圆周，因此当断齿齿轮7转动六十度后，自动停止转动，此时清洗板6正好转动至与斜槽15相平齐的位置，此时清洗好的晶圆片由于重力作用滑落进斜槽15内，开启第二伸缩气缸16，带动闭合板17上移，将斜槽15的通道打开，使晶圆片自动落入烘干槽18底部的烘板19上，然后通过烘干管20对晶圆片进行烘干，整个过程流畅而便捷，从而完成了刷洗以及烘干，对于清洗槽2内的废水，则流入排泄槽22内，继而排入至盛接盒24内存储，并定期清理。

综上所述，该晶圆片刷洗机，通过设置集刷洗与烘干于一体的机构，能够在刷洗完成后，自动进入烘干程序，无需转运等复杂操作，大大简化了加工流程，同时该刷洗机构采用多角度无死角式清洗，起到了刷洗彻底的目的，大大提高了刷洗效率。

需要说明的是，该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，其控制原理、内部结构以及控制开关方式等均为现有技术的常规手段，此处直接引用，不做赘述，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种晶圆片刷洗机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)顶部的左侧开设有清洗槽(2)，所述清洗槽(2)的顶部焊接有环形水管(3)，所述环形水管(3)顶部的左侧固定安装有接水管(4)，所述接水管(4)的一端贯穿机体(1)并延伸至其外，所述环形水管(3)的底部均匀安装有出水头(5)，所述清洗槽(2)的中部活动安装有清洗板(6)，所述清洗板(6)的一端套接有断齿齿轮(7)，所述清洗槽(2)的底部固定安装有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端转动连接有转动齿轮(9)，所述转动齿轮(9)的顶部与断齿齿轮(7)的底部相啮合，所述机体(1)的顶部焊接有基台(10)，所述基台(10)的顶部固定安装有第一伸缩气缸(11)，所述第一伸缩气缸(11)的自由端焊接有顶座(12)，所述顶座(12)的底部固定安装有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端转动连接有刷毛板(14)，所述刷毛板(14)位于清洗槽(2)的上方，所述机体(1)顶部的右侧开设有烘干槽(18)，所述清洗槽(2)与烘干槽(18)之间开设有斜槽(15)，所述机体(1)的内腔安装有第二伸缩气缸(16)，所述第二伸缩气缸(16)的自由端安装有闭合板(17)，所述闭合板(17)位于斜槽(15)内，所述烘干槽(18)的底部固定安装有烘板(19)，所述烘板(19)上均匀安装有烘干管(20)，所述机体(1)的底部对称焊接有减震底座(21)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片刷洗机，其特征在于：所述机体(1)的内腔开设有排泄槽(22)，所述排泄槽(22)的底部贯穿机体(1)的底部，所述机体(1)的底部焊接有滑座(23)，所述滑座(23)上滑动安装有盛接盒(24)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片刷洗机，其特征在于：所述清洗槽(2)的右侧焊接有定位凸台(25)，且定位凸台(25)位于斜槽(15)的底部。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片刷洗机，其特征在于：所述清洗板(6)上开设有漏孔。