CN114842627A - 一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于碳化硅生产技术领域，具体的说是一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法，包括反应炉，所述反应炉内部贯通连接有提拉杆，所述反应炉内部固定有多个预警环，所述预警环内部固定有多个导温块，所述预警环内部且位于导温块的外部开设有储气仓，所述储气仓两侧均滑动连接有挤压塞，所述挤压塞外部固定有检测环，所述检测环外部滑动连接有变阻器，所述变阻器与预警环固定连接；通过设置预警环，当反应炉内的温度出现变化时预警环内的温度也会同时出现变化，当反应炉内的温度出现变化不均时储气仓内的压强出现差异从而使得变阻器的阻值发生改变，进而进行报警，避免继续冷却对碳化硅造成损坏。

Description

一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法

技术领域

本发明属于碳化硅生产技术领域，具体的说是一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法。

背景技术

碳化硅是一种无机物，其用途广泛，其中高纯度的单晶硅是制造半导体的主要材料，而随着第三代半导体产业化的成熟，碳化硅的重要性越来越高，故而越来越多的企业开始制造起碳化硅，而在制备单晶硅的过程中往往需要利用合成炉制成单晶硅棒。

在合成炉内对碳化硅晶体的生产结束后，需要将碳化硅晶体进行取出，然后进行切割处理，在此之前需要对其进行降温，但是在降温时一旦出现合成炉内温度分布不均的情况时，碳化硅晶体会出现弯曲，进而影响最终的晶体质量，而现有的技术并无针对此项的测温预警装置；为此，本发明提供一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种碳化硅生产用预警装置，包括反应炉，所述反应炉内部贯通连接有提拉杆，所述反应炉内部固定有多个预警环，所述预警环内部固定有多个导温块，所述预警环内部且位于导温块的外部开设有储气仓，所述储气仓两侧均滑动连接有挤压塞，所述挤压塞外部固定有检测环，所述检测环外部滑动连接有变阻器，所述变阻器与预警环固定连接；工作时，在制备碳化硅的过程中，碳化硅晶棒会生长在提拉杆的底端，当碳化硅晶棒制备完成后需要对其进行冷却时，此时通过外部的空气泵向反应炉的内部充入气体，从而对碳化硅晶棒进行降温，在此过程中，预警环外部的导温块也会同步被降温，从而预警环的温度下降会使得储气仓内部的温度下降，此时储气仓内部的压强出现变化，从而带动挤压塞进行滑动，挤压塞滑动从而带动检测环运动，检测环运动会改变变阻器在电路中的阻值变化，通过监控多个变阻器在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化，一旦出现某个变阻器的温度不在合适的范围内时说明此时碳化硅晶棒的冷却出现异常，需要员工及时对其进行查看并调整冷却温度，如此便达到了在出现温度偏差时及时报警的效果。

优选的，所述反应炉顶部的两侧均贯通连接有导气管，所述导气管远离反应炉的一端与空气泵的输出端相连接，所述导气管靠近提拉杆的一侧设置有排气环，所述排气环与反应炉固定连接，所述排气环下方贯通连接有冷却喷嘴，所述冷却喷嘴与反应炉贯通连接；工作时，在向反应炉内充入气体进行冷却时，空气泵向导气管内泵入气体，这个气体随后会注入到排气环内，并最终通过冷却喷嘴喷出，而冷却喷嘴设置在反应炉内部成形空腔的上方，从而冷却的气流会自晶棒的顶端向下吹出对晶棒进行冷却，从而形成环形的气流，实现对晶棒的均匀冷却，避免了传统的横向进气装置容易导致的晶棒受风面与背风面冷却速度存在差异的问题，提高了晶棒的质量。

优选的，所述导气管与排气环之间滑动连接有升降架，所述升降架与提拉杆贯通连接，所述升降架与反应炉的内壁滑动连接，所述升降架与反应炉之间固定有复位弹簧，所述提拉杆外部且位于排气环的顶面固定有挤压块；工作时，在提拉杆运动的过程中，其会同时带动挤压块运动，当挤压块运动至与升降架相接触之后，此时挤压块会推动升降架在反应炉内滑动，进而对复位弹簧进行挤压，当晶棒被完全提起后，此时的复位弹簧恰好处于完全压缩的状态，同时升降架不再对导气管与排气环进行遮挡，这时导气管内部的冷却空气便可顺利注入到排气环内，这样可以有效的防止在晶棒生长的过程中导气管内残留的气体或员工误启动造成冷却气流注入到反应炉内部，对晶棒的生长造成影响。

优选的，所述排气环内部固定有螺旋板，所述螺旋板外部固定有多个支撑杆，所述支撑杆远离螺旋板的一端转动连接有匀化风叶；工作时，冷却空气在进入到排气环内部后，其会沿着螺旋板进行螺旋运动，从而形成一个横向的加速度，便于后续的环状式喷出从而对晶棒进行均匀的冷却，而在气流流经螺旋板的过程中，其会同时带动匀化风叶转动，匀化风叶转动可以对气流进行搅动，防止通过空气泵泵入的空气温度之间存在差异，导致晶棒的冷却受到影响。

优选的，所述冷却喷嘴内部设置有一对闭合板，一对所述闭合板可以将冷却喷嘴完全封闭，一对所述闭合板靠近冷却喷嘴内壁的一端均安装有开合组件，所述开合组件用以在排气环内部的气体压强达到一定程度后带动两个闭合板分离；工作时，当冷却空气经过排气环排出到冷却喷嘴内部后，闭合板会对冷却的空气进行遮挡，随后开合组件会检测排气环内部的空气压强，当空气压强达到设定值后开合组件会带动两个闭合板转动，从而分离，使得气流得以顺利通过，这样可以有效的防止在进气的初期阶段，导气管与排气环内残留的空气被压入到反应炉内，从而对晶棒的冷却成型受到影响。

优选的，所述开合组件包括转动环，所述转动环通过扭簧与排气环固定连接，所述转动环与反应炉转动连接，所述转动环内壁固定有转向块，所述转向块远离转动环的一侧滑动连接有滑动块，所述滑动块外部滑动连接有限位杆，所述限位杆与反应炉固定连接，所述限位杆与滑动块之间固定有收缩弹簧；工作时，排气环在内冷却空气增多压强增大的过程中，闭合板所受到的压力也会增大，增大的压力会通过闭合板施加给转动环一个转动趋势，从而推动转动环带动转向块进行转动，而转向块在转动的过程中会对滑动块进行挤压，当转动环所受到的力足够大时其最终会带动转向块推动滑动块压缩收缩弹簧后运动，直至转向块与收缩弹簧分离，随后两个闭合板便会分离使得冷却空气得以顺利排出，需要说明的是闭合板为弹性件，其初始状态下处于压缩状态，在转向块与收缩弹簧分离之前，此时的闭合板也会出现一定程度的转动但并不会分离。

优选的，所述限位杆外部且远离滑动块的一侧固定有阻挡块；工作时，阻挡块的设置可以对转动后的转动环进行阻挡，通过阻挡块的位置可以对转动环的转动角度进行限制，进而对闭合板的开合度进行限制，从而便于对排出的冷却空气气流进行限制。

优选的，一对所述闭合板靠近排气环的一侧固定有弹性滤网；工作时，气流在经过闭合板排出的过程中其会同时流经弹性滤网，通过弹性滤网可以对空气中可能存在的颗粒垃圾进行过滤，提高碳化硅晶棒的生产质量。

优选的，所述挤压塞远离储气仓的一侧固定有导动杆，所述导动杆远离挤压塞的一端滑动连接有转动杆，所述转动杆中间通过定位销与预警环转动连接，所述转动杆远离预警环的一端转动连接有转动风叶；工作时，在反应炉内部的温度恒定时，此时多个储气仓内部的压力大小一致，从而使得导动杆处于一个动态平衡的状态，在反应炉内部的温度出现局部差异时，此时储气仓内部的温度也会随之变化，而温度较低一侧的储气仓内的压强较小，从而其所对应的挤压塞便会更靠近储气仓中心的位置，这时温度较高一侧的储气仓所对应的挤压塞便会推动导动杆进行运动，导动杆运动从而推动转动杆使其转动，转动杆转动后会带动转动风叶运动，转动风叶在运动的过程中便会对反应炉内部的气体进行搅动，从而匀化反应炉内部的空气温度，进而使得碳化硅晶棒得以均匀冷却。

一种碳化硅生产用预警装置使用方法，该使用方法适用于上述任意一项一种碳化硅生产用预警装置，该方法包括以下步骤：

S1、通过外部的空气泵向反应炉的内部充入气体，对碳化硅晶棒进行降温；

S2、反应炉内部的温度下降，从而使得储气仓内部的温度下降；

S3、储气仓内的温度下降导致其内部的压强出现变化，从而带动挤压塞滑动，进而带动检测环在变阻器内滑动；

S4、通过监控多个变阻器在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化是否合格。

本发明的有益效果如下：

1.本发明所述的一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法，通过设置预警环，当反应炉内的温度出现变化时预警环内的温度也会同时出现变化，当反应炉内的温度出现变化不均时储气仓内的压强出现差异从而使得变阻器的阻值发生改变，进而进行报警，避免继续冷却对碳化硅造成损坏。

2.本发明所述的一种碳化硅生产用预警装置及其使用方法，通过将冷却喷嘴设置在反应炉内部成形空腔的上方，从而冷却的气流会自晶棒的顶端向下吹出对晶棒进行冷却，从而形成环形的气流，实现对晶棒的均匀冷却，避免了传统的横向进气装置容易导致的晶棒受风面与背风面冷却速度存在差异的问题，提高了晶棒的质量

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明。

图1是本发明的立体图；

图2是本发明中反应炉结构局部剖视图；

图3是本发明中预警环结构剖视图；

图4是本发明图3中A处局部放大图；

图5是本发明图2中B处局部放大图；

图6是本发明中转动环结构示意图；

图7是本发明中预警环结构第二种实施例结构示意图；

图8是本发明图7中C处局部放大图；

图9是本发明方法流程图。

图中：1、反应炉；2、提拉杆；3、预警环；4、导温块；5、储气仓；6、挤压塞；7、检测环；8、变阻器；9、导气管；10、排气环；11、冷却喷嘴；12、挤压块；13、升降架；14、复位弹簧；15、螺旋板；16、支撑杆；17、匀化风叶；18、闭合板；19、转动环；20、转向块；21、滑动块；22、限位杆；23、收缩弹簧；24、阻挡块；25、弹性滤网；26、导动杆；27、转动杆；28、转动风叶。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一

如图1至图4所示，本发明实施例所述的一种碳化硅生产用预警装置，包括反应炉1，所述反应炉1内部贯通连接有提拉杆2，所述反应炉1内部固定有多个预警环3，所述预警环3内部固定有多个导温块4，所述预警环3内部且位于导温块4的外部开设有储气仓5，所述储气仓5两侧均滑动连接有挤压塞6，所述挤压塞6外部固定有检测环7，所述检测环7外部滑动连接有变阻器8，所述变阻器8与预警环3固定连接；工作时，在制备碳化硅的过程中，碳化硅晶棒会生长在提拉杆2的底端，当碳化硅晶棒制备完成后需要对其进行冷却时，此时通过外部的空气泵向反应炉1的内部充入气体，从而对碳化硅晶棒进行降温，在此过程中，预警环3外部的导温块4也会同步被降温，从而预警环3的温度下降会使得储气仓5内部的温度下降，需要说明的是储气仓5的内部应该填充有足够的气体以使得在温度变化的过程中会产生足够的压强变化带动挤压塞6进行运动，此时储气仓5内部的压强出现变化，从而带动挤压塞6进行滑动，挤压塞6滑动从而带动检测环7运动，检测环7运动会改变变阻器8在电路中的阻值变化，通过监控多个变阻器8在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化，一旦出现某个变阻器8的温度不在合适的范围内时说明此时碳化硅晶棒的冷却出现异常，需要员工及时对其进行查看并调整冷却温度，如此便达到了在出现温度偏差时及时报警的效果。

如图2与图5所示，所述反应炉1顶部的两侧均贯通连接有导气管9，所述导气管9远离反应炉1的一端与空气泵的输出端相连接，所述导气管9靠近提拉杆2的一侧设置有排气环10，所述排气环10与反应炉1固定连接，所述排气环10下方贯通连接有冷却喷嘴11，所述冷却喷嘴11与反应炉1贯通连接；工作时，在向反应炉1内充入气体进行冷却时，空气泵向导气管9内泵入气体，这个气体随后会注入到排气环10内，并最终通过冷却喷嘴11喷出，而冷却喷嘴11设置在反应炉1内部成形空腔的上方，从而冷却的气流会自晶棒的顶端向下吹出对晶棒进行冷却，从而形成环形的气流，实现对晶棒的均匀冷却，避免了传统的横向进气装置容易导致的晶棒受风面与背风面冷却速度存在差异的问题，提高了晶棒的质量。

如图2与图5所示，所述导气管9与排气环10之间滑动连接有升降架13，所述升降架13与提拉杆2贯通连接，所述升降架13与反应炉1的内壁滑动连接，所述升降架13与反应炉1之间固定有复位弹簧14，所述提拉杆2外部且位于排气环10的顶面固定有挤压块12；工作时，需要说明的是提拉杆2远离反应炉1的一端与提升组件的输出端连接，提升组件包括提升电机、螺杆等，通过提升电机带动螺杆的转动进而带动提拉杆2运动，提升组件为现有技术本方案中不再过多赘述，在提拉杆2运动的过程中，其会同时带动挤压块12运动，当挤压块12运动至与升降架13相接触之后，此时挤压块12会推动升降架13在反应炉1内滑动，进而对复位弹簧14进行挤压，当晶棒被完全提起后，此时的复位弹簧14恰好处于完全压缩的状态，同时升降架13不再对导气管9与排气环10进行遮挡，这时导气管9内部的冷却空气便可顺利注入到排气环10内，这样可以有效的防止在晶棒生长的过程中导气管9内残留的气体或员工误启动造成冷却气流注入到反应炉1内部，对晶棒的生长造成影响。

如图5所示，所述排气环10内部固定有螺旋板15，所述螺旋板15外部固定有多个支撑杆16，所述支撑杆16远离螺旋板15的一端转动连接有匀化风叶17；工作时，冷却空气在进入到排气环10内部后，其会沿着螺旋板15进行螺旋运动，从而形成一个横向的加速度，便于后续的环状式喷出从而对晶棒进行均匀的冷却，而在气流流经螺旋板15的过程中，其会同时带动匀化风叶17转动，匀化风叶17转动可以对气流进行搅动，防止通过空气泵泵入的空气温度之间存在差异，导致晶棒的冷却受到影响。

如图5所示，所述冷却喷嘴11内部设置有一对闭合板18，一对所述闭合板18可以将冷却喷嘴11完全封闭，一对所述闭合板18靠近冷却喷嘴11内壁的一端均安装有开合组件，所述开合组件用以在排气环10内部的气体压强达到一定程度后带动两个闭合板18分离；工作时，当冷却空气经过排气环10排出到冷却喷嘴11内部后，闭合板18会对冷却的空气进行遮挡，随后开合组件会检测排气环10内部的空气压强，当空气压强达到设定值后开合组件会带动两个闭合板18转动，从而分离，使得气流得以顺利通过，这样可以有效的防止在进气的初期阶段，导气管9与排气环10内残留的空气被压入到反应炉1内，从而对晶棒的冷却成型受到影响。

如图6所示，所述开合组件包括转动环19，所述转动环19通过扭簧与排气环10固定连接，所述转动环19与反应炉1转动连接，所述转动环19内壁固定有转向块20，所述转向块20远离转动环19的一侧滑动连接有滑动块21，所述滑动块21外部滑动连接有限位杆22，所述限位杆22与反应炉1固定连接，所述限位杆22与滑动块21之间固定有收缩弹簧23；工作时，排气环在10内冷却空气增多压强增大的过程中，闭合板18所受到的压力也会增大，增大的压力会通过闭合板18施加给转动环19一个转动趋势，从而推动转动环19带动转向块20进行转动，而转向块20在转动的过程中会对滑动块21进行挤压，当转动环19所受到的力足够大时其最终会带动转向块20推动滑动块21压缩收缩弹簧23后运动，直至转向块20与收缩弹簧23分离，随后两个闭合板18便会分离使得冷却空气得以顺利排出，需要说明的是闭合板18为弹性件，其初始状态下处于压缩状态，在转向块20与收缩弹簧23分离之前，此时的闭合板18也会出现一定程度的转动但并不会分离。

如图6所示，所述限位杆22外部且远离滑动块21的一侧固定有阻挡块24；工作时，阻挡块24的设置可以对转动后的转动环19进行阻挡，通过阻挡块24的位置可以对转动环19的转动角度进行限制，需要说明的是，限位杆22内部安装有通电磁铁，而滑动块21内部安装有与通电磁铁相适配的磁铁，这样在转动环19需要冷却完成后对设备进行复位时，人工启动通电磁铁的电源使其运行产生磁性带动滑动块21内的磁铁运动，从而带动滑动块21压缩收缩弹簧23后运动，这样转动环19便可正常的进行复位，进而对闭合板18的开合度进行限制，从而便于对排出的冷却空气气流进行限制。

如图5所示，一对所述闭合板18靠近排气环10的一侧固定有弹性滤网25；工作时，气流在经过闭合板18排出的过程中其会同时流经弹性滤网25，通过弹性滤网25可以对空气中可能存在的颗粒垃圾进行过滤，提高碳化硅晶棒的生产质量。

实施例二

如图7至图8所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述挤压塞6远离储气仓5的一侧固定有导动杆26，所述导动杆26远离挤压塞6的一端滑动连接有转动杆27，所述转动杆27中间通过定位销与预警环3转动连接，所述转动杆27远离预警环3的一端转动连接有转动风叶28；工作时，在反应炉1内部的温度恒定时，此时多个储气仓5内部的压力大小一致，从而使得导动杆26处于一个动态平衡的状态，在反应炉1内部的温度出现局部差异时，此时储气仓5内部的温度也会随之变化，而温度较低一侧的储气仓5内的压强较小，从而其所对应的挤压塞6便会更靠近储气仓5中心的位置，这时温度较高一侧的储气仓5所对应的挤压塞6便会推动导动杆26进行运动，导动杆26运动从而推动转动杆27使其转动，转动杆27转动后会带动转动风叶28运动，转动风叶28在运动的过程中便会对反应炉1内部的气体进行搅动，从而匀化反应炉1内部的空气温度，进而使得碳化硅晶棒得以均匀冷却，需要说明的是，此时通过变阻器8在电路中的阻值变化同样可以检测到异常。

如图9所示，一种碳化硅生产用预警装置使用方法，该使用方法适用于上述任意一项一种碳化硅生产用预警装置，该方法包括以下步骤：

S1、通过外部的空气泵向反应炉1的内部充入气体，对碳化硅晶棒进行降温；

S2、反应炉1内部的温度下降，从而使得储气仓5内部的温度下降；

S3、储气仓5内的温度下降导致其内部的压强出现变化，从而带动挤压塞6滑动，进而带动检测环7在变阻器8内滑动；

S4、通过监控多个变阻器8在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化是否合格。

工作原理：在制备碳化硅的过程中，碳化硅晶棒会生长在提拉杆2的底端，当碳化硅晶棒制备完成后需要对其进行冷却时，此时通过外部的空气泵向反应炉1的内部充入气体，从而对碳化硅晶棒进行降温，在此过程中，预警环3外部的导温块4也会同步被降温，从而预警环3的温度下降会使得储气仓5内部的温度下降，需要说明的是储气仓5的内部应该填充有足够的气体以使得在温度变化的过程中会产生足够的压强变化带动挤压塞6进行运动，此时储气仓5内部的压强出现变化，从而带动挤压塞6进行滑动，挤压塞6滑动从而带动检测环7运动，检测环7运动会改变变阻器8在电路中的阻值变化，通过监控多个变阻器8在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化，一旦出现某个变阻器8的温度不在合适的范围内时说明此时碳化硅晶棒的冷却出现异常，需要员工及时对其进行查看并调整冷却温度，如此便达到了在出现温度偏差时及时报警的效果；

在向反应炉1内充入气体进行冷却时，空气泵向导气管9内泵入气体，这个气体随后会注入到排气环10内，并最终通过冷却喷嘴11喷出，而冷却喷嘴11设置在反应炉1内部成形空腔的上方，从而冷却的气流会自晶棒的顶端向下吹出对晶棒进行冷却，从而形成环形的气流，实现对晶棒的均匀冷却，避免了传统的横向进气装置容易导致的晶棒受风面与背风面冷却速度存在差异的问题，提高了晶棒的质量；

需要说明的是提拉杆2远离反应炉1的一端与提升组件的输出端连接，提升组件包括提升电机、螺杆等，通过提升电机带动螺杆的转动进而带动提拉杆2运动，提升组件为现有技术本方案中不再过多赘述，在提拉杆2运动的过程中，其会同时带动挤压块12运动，当挤压块12运动至与升降架13相接触之后，此时挤压块12会推动升降架13在反应炉1内滑动，进而对复位弹簧14进行挤压，当晶棒被完全提起后，此时的复位弹簧14恰好处于完全压缩的状态，同时升降架13不再对导气管9与排气环10进行遮挡，这时导气管9内部的冷却空气便可顺利注入到排气环10内，这样可以有效的防止在晶棒生长的过程中导气管9内残留的气体或员工误启动造成冷却气流注入到反应炉1内部，对晶棒的生长造成影响；冷却空气在进入到排气环10内部后，其会沿着螺旋板15进行螺旋运动，从而形成一个横向的加速度，便于后续的环状式喷出从而对晶棒进行均匀的冷却，而在气流流经螺旋板15的过程中，其会同时带动匀化风叶17转动，匀化风叶17转动可以对气流进行搅动，防止通过空气泵泵入的空气温度之间存在差异，导致晶棒的冷却受到影响；

当冷却空气经过排气环10排出到冷却喷嘴11内部后，闭合板18会对冷却的空气进行遮挡，随后开合组件会检测排气环10内部的空气压强，当空气压强达到设定值后开合组件会带动两个闭合板18转动，从而分离，使得气流得以顺利通过，这样可以有效的防止在进气的初期阶段，导气管9与排气环10内残留的空气被压入到反应炉1内，从而对晶棒的冷却成型受到影响；排气环在10内冷却空气增多压强增大的过程中，闭合板18所受到的压力也会增大，增大的压力会通过闭合板18施加给转动环19一个转动趋势，从而推动转动环19带动转向块20进行转动，而转向块20在转动的过程中会对滑动块21进行挤压，当转动环19所受到的力足够大时其最终会带动转向块20推动滑动块21压缩收缩弹簧23后运动，直至转向块20与收缩弹簧23分离，随后两个闭合板18便会分离使得冷却空气得以顺利排出，需要说明的是闭合板18为弹性件，其初始状态下处于压缩状态，在转向块20与收缩弹簧23分离之前，此时的闭合板18也会出现一定程度的转动但并不会分离；而阻挡块24的设置可以对转动后的转动环19进行阻挡，通过阻挡块24的位置可以对转动环19的转动角度进行限制，进而对闭合板18的开合度进行限制，从而便于对排出的冷却空气气流进行限制；而气流在经过闭合板18排出的过程中其会同时流经弹性滤网25，通过弹性滤网25可以对空气中可能存在的颗粒垃圾进行过滤，提高碳化硅晶棒的生产质量；

在反应炉1内部的温度恒定时，此时多个储气仓5内部的压力大小一致，从而使得导动杆26处于一个动态平衡的状态，在反应炉1内部的温度出现局部差异时，此时储气仓5内部的温度也会随之变化，而温度较低一侧的储气仓5内的压强较小，从而其所对应的挤压塞6便会更靠近储气仓5中心的位置，这时温度较高一侧的储气仓5所对应的挤压塞6便会推动导动杆26进行运动，导动杆26运动从而推动转动杆27使其转动，转动杆27转动后会带动转动风叶28运动，转动风叶28在运动的过程中便会对反应炉1内部的气体进行搅动，从而匀化反应炉1内部的空气温度，进而使得碳化硅晶棒得以均匀冷却。

上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：包括反应炉(1)，所述反应炉(1)内部贯通连接有提拉杆(2)，所述反应炉(1)内部固定有多个预警环(3)，所述预警环(3)内部固定有多个导温块(4)，所述预警环(3)内部且位于导温块(4)的外部开设有储气仓(5)，所述储气仓(5)两侧均滑动连接有挤压塞(6)，所述挤压塞(6)外部固定有检测环(7)，所述检测环(7)外部滑动连接有变阻器(8)，所述变阻器(8)与预警环(3)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述反应炉(1)顶部的两侧均贯通连接有导气管(9)，所述导气管(9)远离反应炉(1)的一端与空气泵的输出端相连接，所述导气管(9)靠近提拉杆(2)的一侧设置有排气环(10)，所述排气环(10)与反应炉(1)固定连接，所述排气环(10)下方贯通连接有冷却喷嘴(11)，所述冷却喷嘴(11)与反应炉(1)贯通连接。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述导气管(9)与排气环(10)之间滑动连接有升降架(13)，所述升降架(13)与提拉杆(2)贯通连接，所述升降架(13)与反应炉(1)的内壁滑动连接，所述升降架(13)与反应炉(1)之间固定有复位弹簧(14)，所述提拉杆(2)外部且位于排气环(10)的顶面固定有挤压块(12)。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述排气环(10)内部固定有螺旋板(15)，所述螺旋板(15)外部固定有多个支撑杆(16)，所述支撑杆(16)远离螺旋板(15)的一端转动连接有匀化风叶(17)。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述冷却喷嘴(11)内部设置有一对闭合板(18)，一对所述闭合板(18)可以将冷却喷嘴(11)完全封闭，一对所述闭合板(18)靠近冷却喷嘴(11)内壁的一端均安装有开合组件，所述开合组件用以在排气环(10)内部的气体压强达到一定程度后带动两个闭合板(18)分离。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述开合组件包括转动环(19)，所述转动环(19)通过扭簧与排气环(10)固定连接，所述转动环(19)与反应炉(1)转动连接，所述转动环(19)内壁固定有转向块(20)，所述转向块(20)远离转动环(19)的一侧滑动连接有滑动块(21)，所述滑动块(21)外部滑动连接有限位杆(22)，所述限位杆(22)与反应炉(1)固定连接，所述限位杆(22)与滑动块(21)之间固定有收缩弹簧(23)。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述限位杆(22)外部且远离滑动块(21)的一侧固定有阻挡块(24)。

8.根据权利要求5所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：一对所述闭合板(18)靠近排气环(10)的一侧固定有弹性滤网(25)。

9.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用预警装置，其特征在于：所述挤压塞(6)远离储气仓(5)的一侧固定有导动杆(26)，所述导动杆(26)远离挤压塞(6)的一端滑动连接有转动杆(27)，所述转动杆(27)中间通过定位销与预警环(3)转动连接，所述转动杆(27)远离预警环(3)的一端转动连接有转动风叶(28)。

10.一种碳化硅生产用预警装置使用方法，其特征在于：该使用方法适用于权利要求1-9中任意一项所述一种碳化硅生产用预警装置，该方法包括以下步骤：

S1、通过外部的空气泵向反应炉(1)的内部充入气体，对碳化硅晶棒进行降温；

S2、反应炉(1)内部的温度下降，从而使得储气仓(5)内部的温度下降；

S3、储气仓(5)内的温度下降导致其内部的压强出现变化，从而带动挤压塞(6)滑动，进而带动检测环(7)在变阻器(8)内滑动；

S4、通过监控多个变阻器(8)在电路中的阻值变化便可得知晶棒各个区域的冷却温度变化是否合格。

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