CN114832957A - 一种显影喷嘴 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了提供一种显影喷嘴，包括：喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，其顶部设有小孔，使显影液充满所述导流管后，从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出，降低了显影液喷淋的冲击力，有利于使从所述喷嘴主体开口处各个位置流出的显影液对基片的冲击力均匀，进而使得基片显影的反应程度均匀。
Description
技术领域
本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种显影喷嘴。
背景技术
显影是用显影液将印版上经过曝光形成的潜影显出来的过程，显影工艺过程包括喷淋显影液、冲洗、烘干等过程。在显影过程中，经过显影液均匀、连续的喷洒，将印版的感光层迅速溶解。
公告号为CN101697065B中国专利公开了一种显影装置，其喷嘴开口为狭缝状的喷出口，喷嘴喷淋时靠近显影液注入口位置的冲击力大，远离注入口位置的冲击力小，难以保证长度方向上喷洒的冲击力的一致性，进而导致基片显影的反应程度不均匀。
因此，有必要开发一种新型喷嘴结构，以避免现有技术中存在的上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种显影喷嘴，能够均衡显影液喷淋在基片上各个位置的冲击力，使得基片显影的反应程度均匀。
为实现上述目的，本发明提供的显影喷嘴包括：喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液； 引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，所述导流管顶部设有小孔，当显影液充满所述导流管后，所述显影液从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出。
本发明提供的显影喷嘴的有益效果在于：显影液从所述导流管的小孔中溢出后沿所述导流管的外壁流下，降低了显影液喷淋的冲击力，有利于使从所述喷嘴主体开口处各个位置流出的显影液对基片的冲击力均匀，进而使得基片显影的反应程度均匀。
可选的，所述导流管的截面形状为圆形或椭圆形。其有益效果在于：有利于显影液沿导流管外壁流下。
可选的，所述导流管的材料为亲水性矿物材料。其有益效果在于：亲水性矿物对水有较大的亲和能力，可以吸引水分子，有利于在显影液流动的过程中降低流速。
可选的，所述亲水性矿物材料为石英、方解石、云母中的任意一种。
可选的，所述显影喷嘴还包括供液管，所述供液管与所述导流管相互连通，用于向所述导流管注入显影液。
可选的，所述供液管相对设置于所述导流管的两端。其有益效果在于：有利于平衡导流管两端的压力。
可选的，所述显影喷嘴还包括固定连接所述导流管、所述喷嘴主体和所述供液管的固定块，所述固定块为内外轮廓均为阶梯形的空心构件，以固定所述导流管、所述喷嘴主体和所述供液管三者的相对位置。其有益效果在于：提高连接的稳定性。
可选的，所述显影喷嘴还包括设置于所述供液管的流量调节阀。其有益效果在于：调节显影液喷淋的流量。
可选的，所述供液管与所述导流管之间设有密封圈。其有益效果在于：有利于防止显影液从导流管两端溢出。
可选的，所述喷嘴主体材料为亲水材质。其有益效果在于：亲水性材料对水有较大的亲和能力，可以吸引水分子，有利于减小喷淋压力。
可选的，所述喷嘴主体的材料经亲水处理。其有益效果在于：材料经亲水处理后可以吸引水分子，当停止喷淋时，有利于减小喷淋压力。
可选的，所述显影喷嘴还包括滑动设置于所述喷嘴主体的阻挡片，以改变所述底部开口大小。其有益效果在于：有利于对不同尺寸的基片进行显影液喷淋。
可选的，所述底部开口宽度为2.5mm至3.5mm。
可选的，所述底部开口至所述导流管底部距离为15mm至25mm。
可选的，所述小孔形状为圆形、椭圆形、矩形、菱形中的一种或多种。
附图说明
图1为本发明显影喷嘴实施例的结构示意图；
图2为图1所示的导流管的结构示意图；
图3为图1所示的显影喷嘴的工作示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
本发明实施例提供了一种显影喷嘴。
图1为本发明显影喷嘴实施例的结构示意图；图2为图1所示的导流管的结构示意图；图3为图1所示的显影喷嘴的工作示意图。
本发明一些实施例中，参照图1、图2和图3，所述显影喷嘴包括：喷嘴主体1，所述喷嘴主体1底设有底部开口，用于喷淋显影液；引导显影液流动的导流管2，所述导流2管固定设置于所述喷嘴主体1内，其顶部设有小孔201，使显影液充满所述导流管2后，从所述小孔201中溢出，经所述导流管2外壁从所述底部开口流出。
具体的，参照图1，所述喷嘴主体1为具有两侧开口和底部开口的空腔结构，底部开口形状为狭长的长方形，用以流出显影液。
具体的，参照图1和图2，所述导流管2两端开口，其顶部开设有一排小孔201。
本发明一些具体实施例中，所述小孔201直径为0.5mm。
具体的，参照图1，所述导流管2固定设置于所述喷嘴主体1的空腔结构内，所述导流管2以小孔201朝向竖直向上的方式布置，所述喷嘴主体1底部开口朝向竖直向下的方式布置。
具体的，参照图1、图2和图3，显影液充满所述导流管2后，从所述小孔201中溢出后，在重力作用下沿所述导流管2的外壁向下流动并从所述底部开口流出，这一过程实际上降低了流速，减小了喷淋时对基片的冲击力。
本发明一些实施例中，所述导流管2的截面形状为圆形或椭圆形。
具体的，参照图2，所述导流管2的截面形状为圆形。
本发明一些实施例中，所述导流管2的材料为亲水性矿物材料。
本发明一些实施例中，所述亲水性矿物材料为石英、方解石、云母中的任意一种。
具体的，所述导流管2的材料为石英。
本发明一些实施例中，所述显影喷嘴还包括供液管3，所述供液管3与所述导流管2相互连通，用于向所述导流管2注入显影液。
具体的，参照图1，所述供液管3穿过所述喷嘴主体1的侧面开口，与所述导流管2的一端相连接。
本发明一些实施例中，所述供液管3设置于所述导流管2的两端。
具体的，参照图1，两根供液管3穿过所述喷嘴主体1的两侧开口，与所述导流管2的两端相连接，从两端同时向所述导流管2注入显影液。
本发明一些实施例中，参照图1，还包括固定连接所述导流管2、所述喷嘴主体1和所述供液管3的固定块4，所述固定块4为内外轮廓均为阶梯形的空心构件，以固定所述导流管2、所述喷嘴主体1和所述供液管3三者的相对位置。
具体的，参照图1，所述固定块4为阶梯形的空心构件，外轮廓中尺寸较大的面固定于所述喷嘴主体1的内壁；内轮廓中尺寸较大的面固定于所述导流管2的外壁，实现所述喷嘴主体1与所述导流管2之间确定的相对位置；所述供液管3固定于内轮廓中尺寸较小的面，并与所述导流管2相连通。
本发明一些实施例中，所述显影喷嘴还包括设置于所述供液管3的流量调节阀，以控制喷淋的启闭和改变喷淋的流量。
本发明一些实施例中，所述供液管3与所述导流管2之间设有防止显影液从所述导流管2两端泄露的密封圈。
本发明一些实施例中，所述喷嘴主体1材料为亲水材质。
具体的，所述喷嘴主体1的材料为石英。
本发明一些实施例中，所述喷嘴主体1的材料经亲水处理。
本发明一些实施例中，所述显影喷嘴还包括滑动设置于所述喷嘴主体1的阻挡片，以改变所述底部开口大小。
本发明一些实施例中，所述底部开口宽度为2.5mm至3.5mm，长度依据目标基片的尺寸通过所述阻挡片调整。
本发明一些具体实施例中，所述底部开口宽度为2.5mm、3mm或3.5mm。
本发明一些实施例中，所述底部开口至所述导流管底部距离为15mm至25mm。
本发明一些具体实施例中，所述底部开口至所述导流管底部距离为15mm、20mm或25mm。
本发明一些实施例中，所述小孔201形状为圆形、椭圆形、矩形、菱形中的一种或多种。
虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。
Claims (15)
1.一种显影喷嘴，其特征在于，包括： 喷嘴主体，所述喷嘴主体设有底部开口，用于喷淋显影液； 引导显影液流动的导流管，所述导流管固定设置于所述喷嘴主体内，所述导流管顶部设有小孔，当显影液充满所述导流管后，所述显影液从所述小孔中溢出，经所述导流管外壁从所述底部开口流出。
2.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于，所述导流管的截面形状为圆形或椭圆形。
3.根据权利要求2所述的显影喷嘴，其特征在于，所述导流管的材料为亲水性矿物材料。
4.根据权利要求3所述的显影喷嘴，其特征在于，所述亲水性矿物材料为石英、方解石、云母中的任意一种。
5.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于，还包括供液管，所述供液管与所述导流管相互连通，用于向所述导流管注入显影液。
6.根据权利要求5所述的显影喷嘴，其特征在于，所述供液管设置于所述导流管的两端。
7.根据权利要求6所述的显影喷嘴，其特征在于，还包括固定连接所述导流管、所述喷嘴主体和所述供液管的固定块，所述固定块为内外轮廓均为阶梯形的空心构件，以固定所述导流管、所述喷嘴主体和所述供液管三者的相对位置。
8.根据权利要求7所述的显影喷嘴，其特征在于，还包括设置于所述供液管的流量调节阀。
9.根据权利要求8所述的显影喷嘴，其特征在于，所述供液管与所述导流管之间设有密封圈。
10.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于，所述喷嘴主体材料为亲水材质。
11.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于，所述喷嘴主体的材料经亲水处理。
12.根据权利要求10或11所述的显影喷嘴，其特征在于，还包括滑动设置于所述喷嘴主体的阻挡片，以改变所述底部开口大小。
13.根据权利要求12所述的显影喷嘴，其特征在于，所述底部开口宽度为2.5mm至3.5mm。
14.根据权利要求13所述的显影喷嘴，其特征在于，所述底部开口至所述导流管底部距离为15mm至25mm。
15.根据权利要求1所述的显影喷嘴，其特征在于，所述小孔形状为圆形、椭圆形、矩形、菱形中的一种或多种。
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