CN114823439A - 一种基板料盒的挡扣开关装置 - Google Patents
一种基板料盒的挡扣开关装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114823439A CN114823439A CN202210394398.6A CN202210394398A CN114823439A CN 114823439 A CN114823439 A CN 114823439A CN 202210394398 A CN202210394398 A CN 202210394398A CN 114823439 A CN114823439 A CN 114823439A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed
- bottom plate
- rack
- buckle
- switch device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 168
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 13
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基板料盒的挡扣开关装置,涉及芯片生产设备技术领域。所述基板料盒的挡扣开关装置,包括:机架;分料装置,所述分料装置上下活动设置在机架上,其用于放置料盒并可将多个料盒进行间隔等距分开;挡扣开关装置,所述挡扣开关装置滑移在机架上并位于分料装置上方,其可用于自动打开料盒上的挡扣;举升驱动装置,所述举升驱动装置固定在机架上,其可驱动分料装置进行上下移动,便于将料盒上的挡扣移送至挡扣开关装置的工作位。本发明,可实现料盒挡扣的自动打开或关闭,提升了芯片生产过程整体自动化水平;可控制挡扣打开或关闭的角度和速度,防止挡扣在开关过程中撞击到基板或者料盒外壁,避免基板在开关扣过程受损,提高良品率。
Description
技术领域
本发明涉及芯片生产设备技术领域,具体涉及一种基板料盒的挡扣开关装置。
背景技术
基板是芯片生产的基本材料。在芯片的生产过程中,需要对含有芯片的基板进行不同的工艺处理,在不同的生产环节中,一般需要通过图1所示的料盒对基板进行存放和转移。
图1所示的料盒600包括盒体610和位于盒体610前后两端的挡扣620,设置挡扣620防止料盒600在转移过程中,基板从料盒600中脱落和滑出。挡扣620包括档杆621,与档杆621连接并将档杆621转接在料盒600上的挡扣座622,以及连接档杆621和盒体610的弹簧630。
如上所述,因芯片生产工艺复杂,存放基板的料盒需要在不同的生产工艺中来回转移,基板从料盒中放入、取出是必不可少的流程,在放入、取出的过程中一般需要人工进行挡扣的打开或关闭操作,上述操作方式存在如下技术问题:
1.人工进行挡扣的打开或关闭操作,影响了芯片生产的自动化水平,降低了生产效率;
2.每个工人打开或关闭挡扣的方式和力度不同,尤其是在挡扣关闭时,操作不当,容易导致挡扣在弹簧回弹力的作用下,迅速回弹撞击到基板上,导致基板损伤。
因此,如何解决上述技术问题,是目前芯片生产设备技术领域需要解决的技术问题。
发明内容
针对上述技术问题,本发明实施例提供了一种基板料盒的挡扣开关装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
本发明提供了以下技术方案一种基板料盒的挡扣开关装置,包括:
机架;
分料装置,所述分料装置上下活动设置在机架上,其用于放置料盒并可将多个料盒进行间隔等距分开;
挡扣开关装置,所述挡扣开关装置滑移在机架上并位于分料装置上方,其可用于自动打开料盒上的挡扣;
举升驱动装置,所述举升驱动装置固定在机架上,其可驱动分料装置进行上下移动,便于将料盒上的挡扣移送至挡扣开关装置的工作位。
优选的,所述分料装置包括:
分料底板,其上沿分料底板长度方向设有分料导轨;
固定放置块,所述固定放置块固定在分料底板一侧;
多个可调放置块,多个所述可调放置块滑移在分料导轨上;
分料驱动件,所述分料驱动件设置在分料底板上并与多个可调放置块连接,其用于将多个所述可调放置块间隔等距分开。
优选的,所述分料驱动件包括分别固定在分料底板上的分料剪叉机构和分料气缸;多个所述可调放置块间隔均匀固定在分料剪叉机构上,所述分料气缸驱动最外侧可调放置块,可实现多个可调放置块间隔等距分开。
优选的,所述分料剪叉机构由多个连接杆通过铰接轴铰接构成,位于分料剪叉机构端部的连接杆一端通过转轴转动连接在分料底板上,余下的连接杆上分别设有等距固定的安装座,所述可调放置块固定在安装座上。
优选的,所述分料底板下方设置有定位销。
优选的,所述挡扣开关装置包括:
底板,所述底板滑移在机架上;
安装板,所述安装板滑移在底板上;
拨动电机,所述拨动电机固定在安装板上,所述拨动电机输出端设有拨动齿轮;
拨动板,所述拨动板滑移在安装板上;
拨动齿条,所述拨动齿条固定在拨动板上,且与拨动齿轮啮合;
开关扣齿条,所述开关扣齿条固定在拨动齿条侧壁;
挡扣开关组件,所述挡扣开关组件包括开关齿轮、固定块、轮盘、拨销和转杆;
所述固定块固定在安装板上,并靠近开关扣齿条设置;
所述转杆竖直转动连接在固定块上;
所述开关齿轮固定在转杆顶部并与开关扣齿条啮合;
所述轮盘固定在转杆底部;
所述拨销固定在轮盘下方,其用于拨动料盒的挡扣。
优选的,所述底板上方固定有移动导轨,所述安装板底部设有与移动导轨配合的移动滑块,所述安装板通过移动滑块滑移在底板的移动导轨上。
优选的,还包括固定在底板上的推动气缸,所述推动气缸驱动端与安装板一侧连接。
优选的,所述举升驱动装置包括:
举升气缸,所述举升气缸固定在机架上并位于分料底板下方,其驱动端与分料装置的分料底板固定连接;
导向板,所述导向板固定在机架上,且位于分料底板下方;
导向杆,所述导向杆贯穿设置在导向板上,其顶端与分料底板固定连接。
优选的,还包括横移气缸,所述横移气缸固定在机架上,其驱动端与挡扣开关装置的分料底板连接,用于驱动挡扣开关装置在机架进行前后移动。
本发明实施例提供的一种基板料盒的挡扣开关装置,具有以下有益效果:
1.本发明,可实现料盒挡扣的自动打开或关闭,提升了芯片生产过程整体自动化水平;
2.可同时对多个料盒进行开关扣操作,提高生产效率;
3.可控制挡扣打开或关闭的角度和速度,防止挡扣在开关过程中撞击到基板或者料盒外壁,避免基板在开关扣过程受损,提高良品率。
附图说明
图1为料盒的结构示意图;
图2为图1中挡扣结构的局部放大图;
图3为本发明角度一的结构示意图;
图4为本发明角度二的结构示意图;
图5为本发明角度三的结构示意图;
图6为本发明中分料装置角度一的结构示意图;
图7为本发明中分料装置角度二的结构示意图;
图8为本发明中分料装置去掉固定放置块和可调放置块的结构示意图;
图9为本发明中分料装置局部剖面结构示意图;
图10为本发明中分料剪叉机构结构示意图;
图11为本发明中分料装置放置料盒的使用效果图;
图12为本发明中挡扣开关装置的角度一结构示意图;
图13为本发明中挡扣开关装置角度二结构示意图;
图14为本发明图12中部分结构的放大图;
图15为本发明中挡扣开关组件结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下,所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
针对上述背景技术提到的问题,本发明实施例提供了一种基板料盒的挡扣开关装置,以解决上述技术问题,其技术方案如下:
实施例一,参阅图1-图5。
一种基板料盒的挡扣开关装置,包括:
机架100;
分料装置200,所述分料装置200上下活动设置在机架100上,其用于放置料盒600并可将多个料盒600进行间隔等距分开;本实施例中,料盒600数量设置有4个。
挡扣开关装置300,所述挡扣开关装置300滑移在机架100上并位于分料装置200上方,其可用于自动打开料盒600上的挡扣620。
举升驱动装置,所述举升驱动装置固定在机架100上,其可驱动分料装置200进行上下移动,便于将料盒600上的挡扣620移送至挡扣开关装置300的工作位。
实施例二,参阅图6-图11。
所述分料装置200包括:
分料底板210,其上沿分料底板210长度方向设有分料导轨240;所述分料导轨240可控制可调放置块222按照预设轨迹进行移动。
固定放置块221,所述固定放置块221固定在分料底板210一侧;本实施例中,所述固定放置块221为板型结构,其用于放置料盒600。
多个可调放置块222,多个所述可调放置块222滑移在分料导轨240上;本实施例中,所述可调放置块222设有3个,所述可调放置块222与固定放置块221结构相同。
需要说明的是,本实施例中,所述可调放置块222通过可调滑块222a滑动连接在分料导轨240上。
分料驱动件,所述分料驱动件设置在分料底板210上并与多个可调放置块222连接,其用于将多个所述可调放置块222间隔等距分开。
本实施例中,所述分料驱动件包括分别固定在分料底板210上的分料剪叉机构280和分料气缸260;多个所述可调放置块222间隔均匀固定在分料剪叉机构280上,所述分料气缸260驱动端与最外侧的可调放置块222连接,分料气缸260启动,可推动最外侧的可调放置块222移动,从而带动分料剪叉机构280移动,进而将多个所述可调放置块222和固定放置块221间隔等距分开。
需要说明的是,本发明所述的最外侧是相对固定放置块221来说的,与固定放置块221距离最远的一个可调放置块222为最外侧的可调放置块222。
本实施例中,所述分料剪叉机构280由多个连接杆281通过铰接轴282铰接构成,位于分料剪叉机构端部的连接杆281一端通过转轴284转动连接在分料底板210上,余下的连接杆281上分别设有等距固定的安装座283;所述可调放置块222固定在安装座283上。
本实施例中,所述分料底板210在固定放置块221的对侧上固定设置挡块270;通过设置挡块270用于限制最外侧的可调放置块222移动距离。
本实施例中,所述固定放置块221和可调放置块222的上端面均固定有限位块230。
本实施例中,料盒600的顶部或底部均开设有与限位块230配适的卡槽640,将料盒600放置在可调放置块222和固定放置块221上时,需要同时将料盒600上的卡槽640卡接在限位块230上,便于对料盒600进行定位,避免分料剪叉机构280在移动的过程中,料盒600发生移位。
本实施例中,还包括控制器,所述分料气缸260与控制器电连接;所述控制器为PLC控制模块,可实现本发明的自动控制。
本实施例分料装置的使用原理如下:
1.机械手或其它上料机构上料,将料盒600分别放置在可调放置块222和固定放置块221上,并使料盒600上的卡槽640卡接在限位块230上,对料盒600进行定位;
2.分料气缸260启动,推动最外侧的可调放置块222沿着分料导轨240长度方向进行移动,从而使分料剪叉机构280上前后连接的连接杆281展开伸长,并带动多个可调放置块222间隔等距分开,从而实现可调放置块222和固定放置块221间隔等距分开,使放置在可调放置块222和固定放置块221上的料盒600之间保持合适间距,避免相邻的料盒600之间间距太小,影响基板的上料作业。
实施例三,参阅图12-图15。
所述挡扣开关装置300包括:
底板310,所述底板310滑移在机架100上;具体的,所述机架100上设置有横移导轨510,所述底板310底部设有与横移导轨510相配合滑动的横移滑块520。
安装板320,所述安装板320滑移在底板310上。
拨动电机350,所述拨动电机350固定在安装板320上,所述拨动电机350输出端设有拨动齿轮351;拨动电机350工作可带动拨动齿轮351旋转。
拨动板330,所述拨动板330滑移在安装板320上。
拨动齿条341,所述拨动齿条341固定在拨动板330上,且与拨动齿轮351啮合;拨动齿轮351旋转可带动拨动齿条341进行左右移动。
开关扣齿条342,所述开关扣齿条342固定在拨动齿条341侧壁;所述开关扣齿条342可与拨动齿条341同步移动。
挡扣开关组件370,所述挡扣开关组件370包括开关齿轮371、固定块372、轮盘374、拨销375和转杆373;
所述固定块372固定在安装板320上,并靠近开关扣齿条342设置;
所述转杆373竖直转动连接在固定块372上;
所述开关齿轮371固定在转杆373顶部并与开关扣齿条342啮合;
所述轮盘374固定在转杆373底部;
所述拨销375固定在轮盘374下方,其用于拨动料盒600的挡扣622;本实施例中,所述拨销375设有两个,两个拨销375可将料盒600的挡扣座622夹在2个拨销375中间。
需要说明的是,本实施例中所提到的挡扣开关装置300的工作位,具体指的是挡扣开关组件370中拨销375拨动挡扣座622的位置。
拨动电机350正转或反转时,可带动拨动齿轮351旋转,通过齿轮齿条啮合,可带动开关扣齿条342和拨动齿条341同步移动,从而使开关齿轮371进行正转或反转,实现挡扣开关组件370的正转或反转;拨销375插在料盒600的挡扣座622边,可自动实现料盒的挡扣打开或关闭,提高了作业效率。
本实施例中,所述底板310上方固定有移动导轨321,所述安装板320底部设有与移动导轨321配合的移动滑块,所述安装板320通过移动滑块滑移在底板310的移动导轨321上。
本实施例中,还包括固定在底板310上的推动气缸360,所述推动气缸360驱动端与安装板320一侧连接。
将安装板320滑动连接在底板310上,并通过推动气缸360控制安装板320在底板310上的移动位置,可调节挡扣开关组件370在机架100上的设置位置,以保证挡扣开关组件370作业时能位于最适工作位置。
本实施例中,所述安装板320上固定有滑移导轨322,所述拨动板330底部设有与滑移导轨322配合的滑移滑块,所述拨动板330通过滑移滑块滑移在安装板320的滑移导轨322上。
本实施例中,还包括控制器,所述拨动电机350和推动气缸360均与控制器电连接;所述控制器为PLC模块,可实现本发明的自动控制。
本实施例挡扣开关装置300的使用原理如下:
1.将料盒600分别放置在分料装置200的可调放置块222和固定放置块221上,使料盒600上的卡槽640卡接在限位块230上,对料盒600进行定位,并使料盒600上的挡扣座622位于拨销375的工作位(简单理解的话,就是使挡扣座622位于拨销375的边上,方便拨销375转动带动挡扣座622进行旋转);
2.拨动电机350正转或反转,可带动拨动齿轮351旋转,通过齿轮齿条啮合,可使开关扣齿条342和拨动齿条341同步进行左右移动,从而使开关齿轮371进行正转或反转,实现挡扣开关组件370的正转或反转;拨销375插在料盒600的挡扣座622边,拨销375的左右转动可推动挡扣座622左右旋转,从而实现料盒挡扣的自动打开或关闭,进而方便基板从料盒中进行放入和取出作业。
需要说明的是,拨动电机350可控制转动速度和转动角度,防止挡扣在开关过程中撞击基板或者料盒外壁上,避免基板在开关扣过程受损,提高产品良品率。
实施例四,参阅图3-图4。
所述举升驱动装置包括:
举升气缸400,所述举升气缸400固定在机架100上并位于分料底板210下方,其驱动端与分料装置200的分料底板210固定连接;
导向板420,所述导向板420固定在机架100上,且位于分料底板210下方;
导向杆410,所述导向杆410贯穿设置在导向板420上,其顶端与分料底板210固定连接。
本实施例中,所述分料底板210下方设置有定位销380;所述料盒600上下两端均设置有定位孔650,用于与定位销380配合固定;盒体610左右侧壁还开设有对称的卡槽611,用于插入基板。
本实施例挡举升驱动装置的使用原理如下:需要打开或关闭挡扣时,举升气缸400举升,将分料装置200和料盒600举升顶起,使盒体610的定位孔650对应插到定位销380上,对料盒600位置进行固定,然后挡扣开关装置300进行挡扣打开或关闭。
需要说明的是,设置举升驱动装置可上下举升分料装置200和料盒600,并使盒体610的定位孔650对应插到定位销380上,对料盒600位置进行固定,避免挡扣开关装置300在挡扣打开或关闭操作过程中,料盒600发生移动;同时,如果不设置举升驱动装置,直接将料盒600固定在分料底板210下方,料盒600后期在不同的生产工艺中不方便来回转移,影响作业效率。
实施例五,参阅图3-图5。
还包括横移气缸500,所述横移气缸500固定在机架100上,其驱动端与挡扣开关装置300的分料底板210固定连接,用于驱动挡扣开关装置300在机架100进行前后移动。
通过设置横移气缸500,用于控制挡扣开关装置300在机架100上的位置,方便将挡扣开关装置300从分料装置200上移开,暴露出分料装置200的料盒600安装位,便于机械手或其它上料机构将料盒600放置到分料装置200上或将料盒600转移走,以及方便在料盒600上进行基板的上料和取料作业。
本实施例一种基板料盒的挡扣开关装置的使用原理如下:
1.横移气缸500工作,将挡扣开关装置300从分料装置200上方移开,暴露出分料装置200的料盒600安装位;
2.机械手或其它上料机构上料,将多个料盒600分别放置在可调放置块222和固定放置块221上,并使料盒600上的卡槽640卡接在限位块230上,对料盒600进行初步定位;
3.分料气缸260启动,推动最外侧的可调放置块222沿着分料导轨240长度方向进行移动,从而使分料剪叉机构280上前后连接的连接杆281展开伸长,并带动多个可调放置块222间隔等距分开,从而实现可调放置块222和固定放置块221间隔等距分开,避免料盒600之间间距太小,影响基板的上料作业;
4.横移气缸500工作,将挡扣开关装置300移动到料盒600正上方,使分料底板210下方的定位销380与料盒600上端的定位孔650同轴对应;
5.举升气缸400举升,将分料装置200和料盒600举升顶起,使盒体610的定位孔650对应插到定位销380上,对料盒600位置进行固定;此时,料盒600上的挡扣座622插接在2个拨销375之间;
6.拨动电机350按照预设速度进行正转或反转,带动拨动齿轮351旋转,通过齿轮齿条啮合,可使开关扣齿条342和拨动齿条341同步进行左右移动,从而使开关齿轮371进行正转或反转,实现挡扣开关组件370的正转或反转;挡扣座622插接在2个拨销375之间,拨销375的转动可自动实现料盒的挡扣打开或关闭,从而方便基板从料盒中进行放入和取出作业
7.举升气缸400下降,带动分料装置200和料盒600复位;横移气缸500工作,将挡扣开关装置300从分料装置200正上方上移开,暴露出分料装置200的料盒600,机械手或其它上料机构将料盒600抓取移走,转运到下一段生产工艺,实现料盒600的自动转运。
需要说明的是,对于上述步骤3和步骤4的操作顺序,可根据具体情况进行改变,也可以为先进行步骤4再进行步骤3,步骤3和步骤4的操作顺序不影响本工艺的正常作业。
本发明实施例提供的一种基板料盒的挡扣开关装置,具有以下有益效果:本发明,可实现料盒挡扣的自动打开或关闭,提升了芯片生产过程整体自动化水平;可同时对多个料盒进行开关扣操作,提高生产效率;可控制挡扣打开或关闭的角度和速度,防止挡扣在开关过程中撞击到基板或者料盒外壁,避免基板在开关扣过程受损,提高良品率。
以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,既可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
可以理解的是,对本领域普通技术人员来说,可以根据本发明的技术方案及本发明构思加以等同替换或改变,而所有这些改变或替换都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,包括:
机架;
分料装置,所述分料装置上下活动设置在机架上,其用于放置料盒并可将多个料盒进行间隔等距分开;
挡扣开关装置,所述挡扣开关装置滑移在机架上并位于分料装置上方,其可用于自动打开料盒上的挡扣;
举升驱动装置,所述举升驱动装置固定在机架上,其可驱动分料装置进行上下移动,便于将料盒上的挡扣移送至挡扣开关装置的工作位。
2.根据权利要求1所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述分料装置包括:
分料底板,其上沿分料底板长度方向设有分料导轨;
固定放置块,所述固定放置块固定在分料底板一侧;
多个可调放置块,多个所述可调放置块滑移在分料导轨上;
分料驱动件,所述分料驱动件设置在分料底板上并与多个可调放置块连接,其用于将多个所述可调放置块间隔等距分开。
3.根据权利要求2所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述分料驱动件包括分别固定在分料底板上的分料剪叉机构和分料气缸;多个所述可调放置块间隔均匀固定在分料剪叉机构上,所述分料气缸驱动最外侧可调放置块,可实现多个可调放置块间隔等距分开。
4.根据权利要求3所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述分料剪叉机构由多个连接杆通过铰接轴铰接构成,位于分料剪叉机构端部的连接杆一端通过转轴转动连接在分料底板上,余下的连接杆上分别设有等距固定的安装座,所述可调放置块固定在安装座上。
5.根据权利要求2所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述分料底板下方设置有定位销。
6.根据权利要求1所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述挡扣开关装置包括:
底板,所述底板滑移在机架上;
安装板,所述安装板滑移在底板上;
拨动电机,所述拨动电机固定在安装板上,所述拨动电机输出端设有拨动齿轮;
拨动板,所述拨动板滑移在安装板上;
拨动齿条,所述拨动齿条固定在拨动板上,且与拨动齿轮啮合;
开关扣齿条,所述开关扣齿条固定在拨动齿条侧壁;
挡扣开关组件,所述挡扣开关组件包括开关齿轮、固定块、轮盘、拨销和转杆;
所述固定块固定在安装板上,并靠近开关扣齿条设置;
所述转杆竖直转动连接在固定块上;
所述开关齿轮固定在转杆顶部并与开关扣齿条啮合;
所述轮盘固定在转杆底部;
所述拨销固定在轮盘下方,其用于拨动料盒的挡扣。
7.根据权利要求6所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述底板上方固定有移动导轨,所述安装板底部设有与移动导轨配合的移动滑块,所述安装板通过移动滑块滑移在底板的移动导轨上。
8.根据权利要求6所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,还包括固定在底板上的推动气缸,所述推动气缸驱动端与安装板一侧连接。
9.根据权利要求1所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,所述举升驱动装置包括:
举升气缸,所述举升气缸固定在机架上并位于分料底板下方,其驱动端与分料装置的分料底板固定连接;
导向板,所述导向板固定在机架上,且位于分料底板下方;
导向杆,所述导向杆贯穿设置在导向板上,其顶端与分料底板固定连接。
10.根据权利要求1所述的一种基板料盒的挡扣开关装置,其特征在于,还包括横移气缸,所述横移气缸固定在机架上,其驱动端与挡扣开关装置的分料底板连接,用于驱动挡扣开关装置在机架进行前后移动。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210394398.6A CN114823439B (zh) | 2022-04-15 | 2022-04-15 | 一种基板料盒的挡扣开关装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210394398.6A CN114823439B (zh) | 2022-04-15 | 2022-04-15 | 一种基板料盒的挡扣开关装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114823439A true CN114823439A (zh) | 2022-07-29 |
CN114823439B CN114823439B (zh) | 2024-03-29 |
Family
ID=82535902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210394398.6A Active CN114823439B (zh) | 2022-04-15 | 2022-04-15 | 一种基板料盒的挡扣开关装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114823439B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101368826B1 (ko) * | 2012-11-26 | 2014-03-03 | 와이즈에이테크 주식회사 | 카세트 엘리베이터장치 |
CN206824836U (zh) * | 2017-04-25 | 2018-01-02 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种上下料装置 |
CN110246792A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-17 | 江苏七维测试技术有限公司 | 一种晶圆盒 |
CN110491812A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-22 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种高洁净度半导体晶圆自动装载设备 |
CN209667459U (zh) * | 2018-12-30 | 2019-11-22 | 惠州市华阳多媒体电子有限公司 | 一种自动装盒设备 |
CN211003485U (zh) * | 2019-09-27 | 2020-07-14 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 一种框架物料盒和框架物料盒搬运设备 |
WO2021080343A1 (ko) * | 2019-10-25 | 2021-04-29 | 주식회사 선반도체 | 반도체용 포토마스크 취급 장치 |
-
2022
- 2022-04-15 CN CN202210394398.6A patent/CN114823439B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101368826B1 (ko) * | 2012-11-26 | 2014-03-03 | 와이즈에이테크 주식회사 | 카세트 엘리베이터장치 |
CN206824836U (zh) * | 2017-04-25 | 2018-01-02 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种上下料装置 |
CN209667459U (zh) * | 2018-12-30 | 2019-11-22 | 惠州市华阳多媒体电子有限公司 | 一种自动装盒设备 |
CN110246792A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-17 | 江苏七维测试技术有限公司 | 一种晶圆盒 |
CN110491812A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-11-22 | 沈阳芯达半导体设备有限公司 | 一种高洁净度半导体晶圆自动装载设备 |
CN211003485U (zh) * | 2019-09-27 | 2020-07-14 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 一种框架物料盒和框架物料盒搬运设备 |
WO2021080343A1 (ko) * | 2019-10-25 | 2021-04-29 | 주식회사 선반도체 | 반도체용 포토마스크 취급 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114823439B (zh) | 2024-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4731653B2 (ja) | 工作機械 | |
US6183190B1 (en) | Method of stacking packs of printed circuit boards and relative pack loading and unloading device for a machine tool | |
KR101232007B1 (ko) | 자동공구 수납기구 | |
JPH05269643A (ja) | プリント回路基板の機械加工のための工作機用積み下ろし装置とその方法 | |
JPH0717602A (ja) | チップ供給装置 | |
CN114823439A (zh) | 一种基板料盒的挡扣开关装置 | |
CN110127336B (zh) | 一种自动化生产用机器人 | |
CN115676215A (zh) | 一种自动化料仓装置 | |
JPH11163592A (ja) | 電子部品供給装置 | |
CN110853955A (zh) | 一种全自动倒铆式银触点铆接机构 | |
JPH08197361A (ja) | 工作機械 | |
CN217035603U (zh) | 一种基板用料盒挡扣的自动开关装置 | |
JP4039104B2 (ja) | ウェハの供給装置 | |
CN113714579B (zh) | 一种芯片焊接设备及方法 | |
JP7214004B2 (ja) | パレット入れ替え装置 | |
JP6947775B2 (ja) | ハンド装置 | |
CN218595196U (zh) | 一种自动化料仓装置 | |
JPH09214178A (ja) | 部品打抜装置 | |
CN218704202U (zh) | 全自动批咀包装机 | |
CN213366555U (zh) | 用于石墨舟的上料机构 | |
JPH06126546A (ja) | 部品供給装置 | |
JPH082013A (ja) | バーコードマーカ | |
HRP960527A2 (en) | Machine tool | |
JP3064796B2 (ja) | 電子部品供給装置 | |
CN112340197A (zh) | 一种石墨舟料盒 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |