CN114815512A - 决定基板的转向的方法与曝光机台 - Google Patents

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Abstract

一种决定基板的转向的方法与曝光机台，该方法包含：将基板放置并定位于承载面上，使基板的第二表面面向承载面，基板的第一表面背向承载面且基板的第二表面上的第二标记对应于固定的第二图像捕获设备。通过承载面上方的第一图像捕获设备寻找第一表面上的第一标记并采集第一标记的第一图像，以及通过第二图像捕获设备采集第二标记的第二图像。翻转基板并放置于承载面上，使基板的第一表面面向承载面，且第一标记对应于第二图像捕获设备。基于采集的第一图像，第二图像捕获设备确认第一标记，以及基于采集的第二图像，第一图像捕获设备寻找并确认第二标记。基于确认的第一标记与确认的第二标记，决定翻转后的基板的第二表面在承载面的投影的转向。

Description

决定基板的转向的方法与曝光机台
技术领域
本发明是有关于一种决定基板的转向的方法，且特别是有关于一种应 用此决定基板的转向的方法的曝光机台。
背景技术
传统上的曝光机台可对于一基板的彼此相对的一第一表面与一第二 表面进行曝光制程。当曝光机台对于基板的第一表面进行曝光时，基板的 第二表面面向承载台的承载面。此时，固定于承载台的一背面(其相对于 承载面)的两图像捕获设备分别透过承载台背面的两窗口对于基板的第二 表面上的两标记(其邻近于基板的第二表面的一边缘)采集图像。
当基板的第一表面完成曝光制程并且翻转基板后，基板的第二表面朝 上(即，基板的第二表面背向承载面)且位于承载台上方的另一图像捕获设 备相对于承载台作移动，此另一图像捕获设备基于位于承载台的背面的两 图像捕获设备先前所采集的图像来寻找并确认基板的第二表面上的两标 记。基于此另一图像捕获设备所确认的基板的第二表面上的两标记，翻转 后的基板的第二表面可被定位与定向。因此，被定位与定向的基板的第二 表面才可以进行后续的曝光制程，如此曝光完成后的基板的第一表面与第 二表面上的图案才可精准对位。
然而，已知的曝光机台中，固定于承载台的背面的两图像捕获设备之 间的一距离为定值，所以已知的曝光机台所能定位与定向的基板会有尺寸 上的限制。换言之，基板的第二表面上的两标记的距离必须等于此定值， 所以基板的第二表面上的被两标记所邻近的上述边缘不得小于此定值。
发明内容
本发明的一目的是提供一种决定基板的转向的方法与应用此决定基 板的转向的方法的曝光机台，其中可被加工的基板的尺寸的范围可较大。
本发明提供一种决定一基板的一转向的方法，基板包含彼此相对的一 第一表面与一第二表面以及一第一标记与一第二标记，其中第一标记位于 第一表面上，且第二标记位于第二表面上，并且第一标记与第二标记彼此 并非相对。上述包含以下步骤。首先，提供一承载台、一第一图像捕获设 备与一第二图像捕获设备，其中承载台具有彼此相对的一承载面与一背面， 第一图像捕获设备配置于承载面上方且适于相对于承载台作移动，并且第二图像捕获设备固定于背面上。
接着，将基板放置并定位于承载面上，使得基板的第二表面面向承载 面，基板的第一表面背向承载面，且第二标记对应于第二图像捕获设备。 接着，通过第一图像捕获设备寻找第一标记并采集第一标记的一第一图像， 以及通过第二图像捕获设备采集第二标记的一第二图像。接着，翻转基板 并将基板放置于承载面上，使得基板的第一表面面向承载面，基板的第二 表面背向承载面，且第一标记对应于第二图像捕获设备。
接着，基于所采集的第一图像，第二图像捕获设备确认第一标记，以 及基于所采集的第二图像，第一图像捕获设备寻找并确认第二标记。接着， 基于第二图像捕获设备所确认的第一标记与第一图像捕获设备所确认的 第二标记，决定翻转后的基板的第二表面在承载面的一投影的转向 (rotation)。
在本发明一实施例中，上述基板定位的方法还包含通过一加工装置对 于基板的第一表面进行加工。
在本发明一实施例中，上述基板定位的方法还包含基于翻转的基板的 第二表面在承载面的投影的转向，通过加工装置对于基板的第二表面进行 加工。
在本发明一实施例中，上述加工装置为一曝光装置。
本发明提供一种曝光机台，适于对于一基板的彼此相对的一第一表面 与一第二表面进行曝光，其中基板包含一第一标记与一第二标记，第一标 记位于第一表面上，且第二标记位于第二表面上，并且第一标记与第二标 记彼此并非相对。上述曝光机台包含一承载台、一第一图像捕获设备与一 第二图像捕获设备。承载台具有彼此相对的一承载面与一背面。第一图像 捕获设备配置于承载面上方且适于相对于承载台作移动。第二图像捕获设备固定于背面上。基板适于放置并定位于承载面上，使得基板的第二表面 面向承载面，基板的第一表面背向承载面，且第二标记对应于第二图像捕 获设备。
上述曝光机台适于执行以下步骤。首先，通过第一图像捕获设备寻找 第一标记并采集第一标记的一第一图像，以及通过第二图像捕获设备采集 第二标记的一第二图像。接着，对于基板的第一表面进行曝光。接着，翻 转基板并将基板放置于承载面上，使得基板的第一表面面向承载面，基板 的第二表面背向承载面，且第一标记对应于第二图像捕获设备。
接着，基于所采集的第一图像，第二图像捕获设备确认第一标记，以 及基于所采集的第二图像，第一图像捕获设备寻找并确认第二标记。接着， 基于第二图像捕获设备所确认的第一标记与第一图像捕获设备所确认的 第二标记，决定翻转后的基板的第二表面在承载面的一投影的一转向。最 后，基于翻转后的基板的第二表面在承载面的投影的转向，对于基板的第 二表面进行曝光。
附图说明
图1示出本发明一实施例的一种曝光机台的立体示意图。
图2示出图1的基板的另一立体示意图。
图3示出本发明实施例的曝光机台的另一立体示意图，其中基板已经 翻转。
图4示出本发明另一实施例的决定基板的转向的方法的流程图。
具体实施方式
图1示出本发明一实施例的一种曝光机台的立体示意图。图2示出图 1的基板的另一立体示意图。请参考图1与图2，本发明实施例的曝光机 台200可对于一基板300的彼此相对的一第一表面310与一第二表面320 进行曝光制程。基板300包含一第一标记312与一第二标记322。第一标 记312位于第一表面310上，且第二标记322位于第二表面320上。第一标记312与第二标记322彼此并非相对，即，第一标记312在第二表面320 的一投影不会与第二标记322完全重叠，最佳是不会有所重叠。
曝光机台200包含一承载台210、一第一图像捕获设备220与一第二 图像捕获设备230。承载台210具有彼此相对的一承载面212与一背面214。 第一图像捕获设备220配置于承载面212上方且适于相对于承载台210作 移动，亦即承载台210可静止且第一图像捕获设备220可移动，或者承载 台210可移动且第一图像捕获设备220可静止，或者承载台210与第一图 像捕获设备220皆可移动。第二图像捕获设备230固定于承载台210的背 面214上。
此外，基板300可放置并定位于承载台210的承载面212上，使得基 板300的第二表面320面向承载面212，基板300的第一表面310背向承 载面212(即，基板300的第一表面310朝上)，且第二标记322对应于第 二图像捕获设备230。本实施例中，在所有曝光制程进行前，基板300的 定位方式是通过将基板300的相邻两边缘330与340分别承靠于位于承载 台210的承载面212上的两承靠条216与218而完成。
此时，承载面212上方的第一图像捕获设备220寻找基板300的第一 表面310上的第一标记312并采集第一标记312的一第一图像，且固定于 承载台210的背面214的第二图像捕获设备230透过承载台210的背面214 的一窗口(未示出)对于基板300的第二表面320上的第二标记322采集一 第二图像。接着，曝光机台对于基板300的第一表面310进行曝光。在此 必须说明的是，若上述第一图像捕获设备220与第二图像捕获设备230分 别采集第一图像与第二图像的过程不会与基板300的第一表面310的曝光 制程相互干扰，则第一图像捕获设备220与第二图像捕获设备230分别采 集第一图像与第二图像的过程与基板300的第一表面310的曝光制程可同 时进行。
图3示出的本发明实施例的曝光机台的另一立体示意图。请参考图1、 图2与图3，当基板300的第一表面310完成曝光制程后，翻转基板300 并将基板300放置于承载台210的承载面212上，使得基板300的第一表 面310面向承载面212，基板300的第二表面320背向承载面212(即，基 板300的第二表面320朝上)，且第一标记312对应于第二图像捕获设备230。此时，基板300的相邻两边缘330与350可分别承靠于位于承载台 210的承载面212上的两承靠条216与218。然而，由于基板300的边缘 330、340与350可能无法完全平直或者相交的角度无法完全垂直，所以翻 转后的基板300的第二表面320在承载面212上的一投影有可能微幅转向。
因此，接着，基于所采集的上述第一图像，第二图像捕获设备230确 认基板300的第一表面310上第一标记312(可参见图1)，以及基于所采集 的上述第二图像，第一图像捕获设备220寻找并确认基板300的第二表面 320上的第二标记322。接着，基于第二图像捕获设备230所确认的第一 标记312与第一图像捕获设备220所确认的第二标记322，决定翻转后的 基板300的第二表面320在承载面212的投影的转向。本实施例中，翻转 后的基板300的第二表面320在承载面212的投影的转向可以翻转后的第 二标记322在承载面212的投影的坐标位置相对于翻转后的第一标记312 在承载面212的投影的坐标位置所计算出的一向量作代表。
最后，基于翻转后的基板320的第二表面320在承载面212的投影的 转向，对于基板300的第二表面320进行曝光。如此，曝光完成后的基板 300的第一表面310与第二表面320上的图案才可精准对位。
图4示出本发明另一实施例的决定基板的转向的方法的流程图。此决 定基板的转向的方法包含以下步骤。首先，执行步骤S21，提供一基板。 基板包含彼此相对的一第一表面与一第二表面以及一第一标记与一第二 标记，其中第一标记位于第一表面上，且第二标记位于第二表面上，并且 第一标记与第二标记彼此并非相对。接着，执行步骤S22，提供一承载台、 一第一图像捕获设备与一第二图像捕获设备。承载台具有彼此相对的一承 载面与一背面，第一图像捕获设备配置于承载面上方且适于相对于承载台 作移动，并且第二图像捕获设备固定于背面上。
接着，执行步骤S23，将基板放置并定位于承载面上，使得基板的第 二表面面向承载面，基板的第一表面背向承载面，且第二标记对应于第二 图像捕获设备。接着，执行步骤S24，通过第一图像捕获设备寻找第一标 记并采集第一标记的一第一图像，以及通过第二图像捕获设备采集第二标 记的一第二图像。接着，选择性的执行步骤S25，通过一加工装置(例如曝 光装置)对于基板的第一表面进行加工(例如曝光制程)。在此必须说明的是， 若上述步骤24不会与步骤25相互干扰，则步骤24与步骤25可同时进行， 或者步骤25可先于步骤24。
接着，执行步骤S26，翻转基板并将基板放置于承载面上，使得基板 的第一表面面向承载面，基板的第二表面背向承载面，且第一标记对应于 第二图像捕获设备。接着，执行步骤S27，基于所采集的第一图像，第二 图像捕获设备确认第一标记，以及基于所采集的第二图像，第一图像捕获 设备寻找并确认第二标记。接着，执行步骤S28，基于第二图像捕获设备 所确认的第一标记与第一图像捕获设备所确认的第二标记，决定翻转后的 基板的第二表面在承载面的一投影的一转向。最后，选择性的执行步骤 S29，基于翻转的基板的第二表面在承载面的投影的转向，通过加工装置 (例如曝光装置)对于基板的第二表面进行加工(例如曝光制程)。
基于上述，本发明实施例的决定基板的转向的方法与曝光机台至少具 有以下的优点的其中之一。由于本发明实施例的基板的两相对的表面上各 有一标记，且固定在承载台的背面的图像捕获设备仅需一个，所以与已知 技术相较，本发明实施例的决定基板的转向的方法与曝光机台中，承载台 可承载的基板的尺寸的范围可较大，亦即承载台可承载的基板的尺寸较不 受限。
【符号说明】
200 曝光机台
210 承载台
212 承载面
214 背面
216、218 承靠条
220 第一图像捕获设备
230 第二图像捕获设备
300 基板
310 第一表面
312 第一标记
320 第二表面
322 第二标记
330、340、350 边缘
S21至S29 步骤。

Claims (5)

1.一种决定基板的转向的方法，其中，该基板包含彼此相对的一第一表面与一第二表面以及一第一标记与一第二标记，该第一标记位于该第一表面上，且该第二标记位于该第二表面上，并且该第一标记与该第二标记彼此并非相对，上述方法包含：
提供一承载台、一第一图像捕获设备与一第二图像捕获设备，其中该承载台具有彼此相对的一承载面与一背面，该第一图像捕获设备配置于该承载面上方且适于相对于该承载台作移动，并且该第二图像捕获设备固定于该背面上；
将该基板放置并定位于该承载面上，使得该基板的该第二表面面向该承载面，该基板的该第一表面背向该承载面，且该第二标记对应于该第二图像捕获设备；
通过该第一图像捕获设备寻找该第一标记并采集该第一标记的一第一图像；
通过该第二图像捕获设备采集该第二标记的一第二图像；
翻转该基板并将该基板放置于该承载面上，使得该基板的该第一表面面向该承载面，该基板的该第二表面背向该承载面，且该第一标记对应于该第二图像捕获设备；
基于所采集的该第一图像，该第二图像捕获设备确认该第一标记；
基于所采集的该第二图像，该第一图像捕获设备寻找并确认该第二标记；
基于该第二图像捕获设备所确认的该第一标记与该第一图像捕获设备所确认的该第二标记，决定翻转后的该基板的该第二表面在该承载面的一投影的该转向。
2.根据权利要求1所述的方法，还包含通过一加工装置对于该基板的该第一表面进行加工。
3.根据权利要求2所述的方法，还包含基于翻转后的该基板的该第二表面在该承载面的该投影的该转向，通过该加工装置对于该基板的该第二表面进行加工。
4.根据权利要求2或权利要求3所述的方法，该加工装置为一曝光装置。
5.一种曝光机台，适于对于一基板的彼此相对的一第一表面与一第二表面进行曝光，其中该基板包含一第一标记与一第二标记，该第一标记位于该第一表面上，且该第二标记位于该第二表面上，并且该第一标记与该第二标记彼此并非相对，该曝光机台包含：
一承载台，具有彼此相对的一承载面与一背面；
一第一图像捕获设备，配置于该承载面上方且适于相对于该承载台作移动；以及
一第二图像捕获设备，固定于该背面上；
其中该基板适于放置并定位于该承载面上，使得该基板的该第二表面面向该承载面，该基板的该第一表面背向该承载面，且该第二标记对应于该第二图像捕获设备；
其中，该曝光机台适于执行以下步骤：
通过该第一图像捕获设备寻找该第一标记并采集该第一标记的一第一图像；
通过该第二图像捕获设备采集该第二标记的一第二图像；
对于该基板的该第一表面进行曝光；
翻转该基板并将该基板放置于该承载面上，使得该基板的该第一表面面向该承载面，该基板的该第二表面背向该承载面，且该第一标记对应于该第二图像捕获设备；
基于所采集的该第一图像，该第二图像捕获设备确认该第一标记；
基于所采集的该第二图像，该第一图像捕获设备寻找并确认该第二标记；
基于该第二图像捕获设备所确认的该第一标记与该第一图像捕获设备所确认的该第二标记，决定翻转后的该基板的该第二表面在该承载面的一投影的一转向；以及
基于翻转后的该基板的该第二表面在该承载面的该投影的该转向，对于该基板的该第二表面进行曝光。
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