CN114807528A - 一种镀锌立式退火炉 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及退火技术领域，具体为一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体的内部开设有退火仓，所述退火仓的侧面开设有冷却槽，所述退火炉主体的底端固定安装有支架，所述退火炉主体的上端固定安装有气入口，所述冷却槽内固定安装有气出口，且气出口与入气管之间为管道连接，以及能够对气管内的气体加热的预热组件。本发明通过当钢带退火件开始降温的时候，利用密封板打开对进气口的密封，使退火仓里面的热空气通过进气口进入到预热槽里面，然后对入气管内部的空气进行预热，降低外界空气与钢带退火件之间的温差，这样能够防止钢带退火件冷却温度不均匀，使钢带退火件的冷却温度更加均匀，能够提高退火件的成品质量。
Description
技术领域
本发明涉及退火技术领域，具体为一种镀锌立式退火炉。
背景技术
立式退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化。
一般的退火炉在对镀锌钢带退火件降温的时候，需要利用外界的风力进行风冷，但是外界的风力与钢带退火件的温差很大，这便容易使钢带退火件冷却温度不均匀，这便会导致钢带退火件轻微变形，严重时会影响钢带退火件的后续加工和使用质量，降低该退火炉的退火质量。
为此，提出一种镀锌立式退火炉。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镀锌立式退火炉，通过利用密封板开关使退火仓里面的热空气通过进气口进入到预热槽里面，然后对入气管内部的空气进行预热，降低外界空气与钢带退火件之间的温差，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体；
退火炉主体，所述退火炉主体的内部开设有退火仓，所述退火仓的侧面开设有冷却槽，所述退火炉主体的底端固定安装有支架；
入气管，所述入气管固定安装在退火炉主体的内部，所述退火炉主体的上端固定安装有气入口，且气入口与入气管之间为管道连接，所述冷却槽内固定安装有气出口，且气出口与入气管之间为管道连接；
以及能够对气管内的气体加热的预热组件。
优选的，所述预热组件包括开设在退火炉主体内部的预热槽，且入气管位于预热槽内，所述预热槽的顶端与退火仓之间开设有进气口，所述预热槽的底端与退火仓之间开设有出气口，且出气口内固定安装有单向阀。
优选的，所述预热槽的内部均匀固定安装有多个导流板，且两个导流板之间相错安装。
优选的，多个所述导流板上固定安装有多个凸块，且多个凸块之间为均匀安装。
优选的，所述退火炉主体的内部开设有安装槽，所述安装槽内固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有第一转轴，且第一转轴延伸至冷却槽内，所述冷却槽内的第一转轴上固定安装有第一风扇。
优选的，所述退火炉主体内开设有转动槽，所述转动槽内转动安装有第二转轴，且第二转轴延伸至预热槽内，所述预热槽内第二转轴上固定安装有第二风扇，且第二风扇位于预热槽的底端，所述退火炉主体内固定安装有带动第二转轴转动的传动组件。
优选的，所述传动组件包括固定安装在第一转轴上的第一皮带轮，所述第二转轴上固定安装有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮之间安装有皮带。
优选的，所述退火仓靠近预热槽的一侧开设有控制槽，所述控制槽内滑动安装有升降板，且控制槽与升降板之间设置有记忆金属条，所述记忆金属条一端与控制槽内凸起固定，另一端与升降板下端固定，所述升降板靠近进气口的一侧固定安装有密封板，且密封板延伸至进气口内，所述升降板的上端开设有压力槽。
优选的，所述升降板的中间开设有通管，所述通管靠近压力槽的一侧滑动安装有浮板，所述升降板内开设有升降槽，所述升降槽内活动滑动安装有活动板，所述活动板靠近压力槽的一侧固定安装有连接柱，且连接柱与浮板之间为固定连接，所述活动板与升降槽的内壁之间为弹性连接。
优选的，所述退火仓一侧的顶端固定安装有热气口，所述热气口的一侧安装有扩散管，所述扩散管的上端转动安装有第三风扇，所述退火炉主体外侧固定安装有带动第三风扇转动的驱动装置，所述退火仓另一侧的底端开设有热出口，所述扩散管设置为弯曲状态。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
1、当钢带退火件开始降温的时候，利用密封板打开对进气口的密封，使退火仓里面的热空气通过进气口进入到预热槽里面，然后对入气管内部的空气进行预热，降低外界空气与钢带退火件之间的温差，这样能够防止钢带退火件冷却温度不均匀，使钢带退火件的冷却温度更加均匀，能够提高退火件的成品质量。
2、当该退火炉主体进行工作的时候，能够使驱动装置带动第三风扇进行工作，然后利用第三风扇的工作加大扩散管内部的流速，这时退火仓顶端的热空气便会通过热气口进入到扩散管里面，然后利用扩散管将热空气进行扩散，这样能够使退火仓内部的温度更加均匀，并且结构简单。
3、当该退火炉主体进行升温的时候，利用温度产生的压力从而使记忆金属条发生形变推动密封板对进气口进行密封，然后利用浮板的升降使压力槽内部的压力与控制槽内部的压力相互持平，这时浮板便会重新对通管进行密封，当控制槽内部的温度降低时，控制槽内部的压力便会降低，这时压力槽内部的压力便会高于控制槽，然后便会推动升降板下降，从而带动密封板下降，然后便会打开对进气口的密封，这样当退火仓升温的时候，退火仓内部的温度不会流动到预热槽里面，防止增加该退火炉主体的加热面积，当退火仓内部的温度降低的时候，能够及时的对退火仓内部的余热进行利用，提高热利用率。
4、当钢带退火件开始降温的时候，预热槽便会对外界进入到入气管内的空气进行预热，这时利用导流板和凸块能够降低热空气的流速，这样能够更好的进行热交换。
附图说明
图1为本发明的整体立体结构示意图；
图2为本发明的A-A处剖视图；
图3为本发明的部分结构剖视图；
图4为本发明的图2中A的放大；
图5为本发明的图3中B的放大；
图6为本发明的图3中C的放大；
图7为本发明的图2中D的放大。
图中：1、退火炉主体；2、支架；3、安装槽；4、电机；5、第一转轴；6、冷却槽；7、第一风扇；8、气出口；9、气入口；10、入气管；11、第一皮带轮；12、皮带；13、转动槽；14、第二转轴；15、第二皮带轮；16、第二风扇；17、预热槽；18、进气口；19、出气口；20、驱动装置；21、控制槽；211、记忆金属条；22、压力槽；23、密封板；24、升降板；25、通管；26、浮板；27、连接柱；28、升降槽；29、活动板；30、热气口；31、扩散管；32、第三风扇；33、热出口；34、退火仓；35、导流板；36、凸块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"坚直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1至图7，本发明提供一种镀锌立式退火炉，技术方案如下：
一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体1；
退火炉主体1，退火炉主体1的内部开设有退火仓34，退火仓34的侧面开设有冷却槽6，退火炉主体1的底端固定安装有支架2；
入气管10，入气管10固定安装在退火炉主体1的内部，退火炉主体1的上端固定安装有气入口9，且气入口9与入气管10之间为管道连接，冷却槽6内固定安装有气出口8，且气出口8与入气管10之间为管道连接；
以及能够对入气管10内的气体加热的预热组件。
当退火炉主体1内部的钢带退火件进行降温的时候，能够利用外界的冷空气对钢带退火件进行降温，并且利用预热组件对退火炉主体1外侧的空气进行预热，防止钢带退火件直接与外界的冷空气接触，能够更稳定的使钢带退火件降温，提高钢带退火件的成品质量。
作为本发明的一种实施方式，参照图3，预热组件包括开设在退火炉主体1内部的预热槽17，且入气管10位于预热槽17内，预热槽17的顶端与退火仓34之间开设有进气口18，预热槽17的底端与退火仓34之间开设有出气口19，且出气口19内固定安装有单向阀。
当钢带退火件进行降温的时候，退火炉主体1内的热空气通过进气口18进入到预热槽17里面，然后对入气管10内的冷空气进行预热，然后再通过出气口19重新排放到退火炉主体1内部，防止外界的空气与钢带退火件的温度相差巨大，使得钢带退火件冷却温度不均匀，值得注意的是，本申请说明书附图中所绘制的预热槽17以及入气管10等相关结构均为示意图，实际使用中预热槽17以及入气管10的大小长度等可根据需要进行设计以使得外界空气在预热槽17内的入气管10内预热充分，使钢带退火件能够平稳的进行降温。
作为本发明的一种实施方式，参照图3和图5，预热槽17的内部均匀固定安装有多个导流板35，且两个导流板35之间相错安装。
当进行预热的时候，利用导流板35减缓热空气的流动速度，以此来提高入气管10内空气的温度，这样能够增加入气管10的换热效率。
作为本发明的一种实施方式，参照图3和图5，多个导流板35上固定安装有多个凸块36，且多个凸块36之间为均匀安装。
当入气管10内部的空气进行预热的时候，能够利用凸块36来中增加导流板35的表面摩擦力，能够进一步减缓热空气流动的速度，这样能够更好的进行热交换。
作为本发明的一种实施方式，参照图2和图4，退火炉主体1的内部开设有安装槽3，安装槽3内固定安装有电机4，电机4的输出端固定安装有第一转轴5，且第一转轴5延伸至冷却槽6内，冷却槽6内的第一转轴5上固定安装有第一风扇7。
当钢带退火件进行降温的时候，使电机4进行工作，通过电机4的工作能够带动第一转轴5和第一风扇7进行转动，利用第一风扇7的转动提高退火仓34内空气的流速，这样能够更好的对钢带退火件降温的速度进行控制。
作为本发明的一种实施方式，参照图3，退火炉主体1内开设有转动槽13，转动槽13内转动安装有第二转轴14，且第二转轴14延伸至预热槽17内，预热槽17内第二转轴14上固定安装有第二风扇16，且第二风扇16位于预热槽17的底端，退火炉主体1内固定安装有带动第二转轴14转动的传动组件。
当电机4工作的时候，能够带动第二转轴14进行转动，通过第二转轴14的转动带动第二风扇16进行转动，增加预热槽17内底端的空气流通，能够更好的对预热槽17底端的空气进行更换。
作为本发明的一种实施方式，参照图3和图4，传动组件包括固定安装在第一转轴5上的第一皮带轮11，第二转轴14上固定安装有第二皮带轮15，第一皮带轮11与第二皮带轮15之间安装有皮带12。
当电机4转动的时候，能够带动第一转轴5进行转动，利用第一转轴5的转动使第一皮带轮11转动，在通过皮带12带动第二皮带轮15转动，然后带动第二转轴14转动，这样能利用一个电机4带动两个装置进行工作，降低了该装置的制造成本。
作为本发明的一种实施方式，参照图3和图6，退火仓34靠近预热槽17的一侧开设有控制槽21，控制槽21内滑动安装有升降板24，且控制槽21与升降板24之间设置有记忆金属条211，所述记忆金属条211一端与控制槽21内凸起固定，另一端与升降板24下端固定，升降板24靠近进气口18的一侧固定安装有密封板23，且密封板23延伸至进气口18内，升降板24的上端开设有压力槽22。
当退火仓34内的温度升高的时候，控制槽21内部的温度便会上升，会对记忆金属条211加热，使其升温预热呈直线型向上顶升，然后控制槽21内的压力在加热作用下会上升，通过压力配合记忆金属条211共同推动升降板24进行上升，然后便会推动密封板23上移，利用密封板23对进气口18进行密封，防止在升温的时候内部的热空气进入到预热槽17内，增加升温面积，当温度降低的时候，升降板24便会立刻下降，然后带动密封板23下降，从而打开对进气口18的密封，然后底退火仓34内部的热空气进入到预热槽17里面，这样能够防止在升温的时候，热空气进到预热槽17里面，能够防止增加升温的面积，这样能够降低能源的损耗。
作为本发明的一种实施方式，参照图6，升降板24的中间开设有通管25，通管25靠近压力槽22的一侧滑动安装有浮板26，升降板24内开设有升降槽28，升降槽28内活动滑动安装有活动板29，活动板29靠近压力槽22的一侧固定安装有连接柱27，且连接柱27与浮板26之间为固定连接，活动板29与升降槽28的内壁之间为弹性连接。
当控制槽21内的气压上升的时候，便会推动升降板24向上移动，然后推动通管25内的浮板26向上移动，当浮板26完全上移并脱离通管25时，此时通管25与浮板26出现间隙，此时能够使控制槽21内部的热空气通过通管25进入到压力槽22里面，直到控制槽21和压力槽22内的压力差不多的时候，浮板26便会因为活动板29与升降槽28的内壁之间为弹性连接的原因向下移动，然后重新对通管25进行密封，当控制槽21内部的温度下降的时候，控制槽21内部的气压便会下降，这时压力槽22内的压力要高于控制槽21，所以能够推动升降板24向远离进气口18的方向移动，然后带动密封板23移动，这样能够及时的对进气口18进行密封换个打开，结构更加简单能够更好的进行预热。
作为本发明的一种实施方式，参照图2和图7，退火仓34一侧的顶端固定安装有热气口30，热气口30的一侧安装有扩散管31，扩散管31的上端转动安装有第三风扇32，退火炉主体1外侧固定安装有带动第三风扇32转动的驱动装置20，退火仓34另一侧的底端开设有热出口33，扩散管31设置为弯曲状态。
当退火仓34内部的温度上升的时候，根据热空气质量轻冷空气质量重的远离，热空气便会向上移动，这样便会使退火仓34内部的温度不平衡，这时便可以使驱动装置20进行工作，通过驱动装置20的工作能够带动第三风扇32进行转动，然后层架扩散管31内部空气的流通速度，这时退火仓34上端的热空气便会通过热气口30进入到扩散管31里面，然后热空气通过扩散管31扩散到退火仓34内，最后通过热出口33重新回到退火仓34里面，这样能够使退火仓34内部的温度更加平衡，这样能够使钢带退火件冷却温度更加均匀，能够提高钢带退火件的退火质量。
工作原理：当退火炉主体1内部的钢带退火件进行降温的时候，能够利用外界的冷空气对钢带退火件进行降温，并且利用预热组件对退火炉主体1外侧的空气进行预热，防止钢带退火件直接与外界的冷空气接触，因为退火炉主体1外的冷空气与钢带退火件的温度相差太大，直接接触会影响钢带退火件的降温速度，当退火仓34内部的温度上升的时候，根据热空气质量轻冷空气质量重的远离，热空气便会向上移动，这样便会使退火仓34内部的温度不平衡，这时便可以使驱动装置20进行工作，通过驱动装置20的工作能够带动第三风扇32进行转动，然后层架扩散管31内部空气的流通速度，这时退火仓34上端的热空气便会通过热气口30进入到扩散管31里面，然后热空气通过扩散管31扩散到退火仓34内，最后通过热出口33重新回到退火仓34里面，当退火仓34内的温度升高的时候，控制槽21内部的温度便会上升，会对记忆金属条211加热，使其升温预热呈直线型向上顶升，然后控制槽21内的压力在加热作用下会上升，通过压力配合记忆金属条211共同推动升降板24进行上升，通过压力推动升降板24进行上升，然后便会推动密封板23上移，利用密封板23对进气口18进行密封，防止在升温的时候内部的热空气进入到预热槽17内，增加升温面积，当控制槽21内的气压上升的时候，便会推动升降板24向上移动，然后推动通管25内的浮板26向上移动，当浮板26完全上移并脱离通管25时，此时通管25与浮板26出现间隙，此时能够使控制槽21内部的热空气通过通管25进入到压力槽22里面，直到控制槽21和压力槽22内的压力差不多的时候，浮板26便会因为活动板29与升降槽28的内壁之间为弹性连接的原因向下移动，然后重新对通管25进行密封，当温度降低的时候，升降板24便会立刻下降，然后带动密封板23下降，并且在控制槽21内部的温度下降的时候，控制槽21内部的气压便会下降，这时压力槽22内的压力要高于控制槽21，所以能够推动升降板24向远离进气口18的方向移动，从而打开对进气口18的密封，然后底退火仓34内部的热空气进入到预热槽17里面，这样能够防止在升温的时候，热空气进到预热槽17里面，当钢带退火件进行降温的时候，退火炉主体1内的热空气通过进气口18进入到预热槽17里面，然后对入气管10内的冷空气进行预热，然后再通过出气口19重新排放到退火炉主体1内部，当进行预热的时候，利用导流板35减缓热空气的流动速度，以此来提高入气管10内空气的温度，当入气管10内部的空气进行预热的时候，能够利用凸块36来中增加导流板35的表面摩擦力，能够进一步减缓热空气流动的速度，并且，当钢带退火件进行降温的时候，使电机4进行工作，通过电机4的工作能够带动第一转轴5和第一风扇7进行转动，利用第一风扇7的转动提高退火仓34内空气的流速，当电机4转动的时候，能够带动第一转轴5进行转动，利用第一转轴5的转动使第一皮带轮11转动，在通过皮带12带动第二皮带轮15转动，然后带动第二转轴14转动，通过第二转轴14的转动带动第二风扇16进行转动，增加预热槽17内底端的空气流通。
该文中出现的电器元件均通过变压器与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，本发明所提供的产品型号只是为本技术方案依据产品的结构特征进行的使用，其产品会在购买后进行调整与改造，使之更加匹配和符合本发明所属技术方案，其为本技术方案一个最佳应用的技术方案，其产品的型号可以依据其需要的技术参数进行替换和改造，其为本领域所属技术人员所熟知的，因此，本领域所属技术人员可以清楚的通过本发明所提供的技术方案得到对应的使用效果。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种镀锌立式退火炉，包括退火炉主体(1)，其特征在于：
退火炉主体(1)，所述退火炉主体(1)的内部开设有退火仓(34)，所述退火仓(34)的侧面开设有冷却槽(6)，所述退火炉主体(1)的底端固定安装有支架(2)；
入气管(10)，所述入气管(10)固定安装在退火炉主体(1)的内部，所述退火炉主体(1)的上端固定安装有气入口(9)，且气入口(9)与入气管(10)之间为管道连接，所述冷却槽(6)内固定安装有气出口(8)，且气出口(8)与入气管(10)之间为管道连接；
以及能够对气管(10)内的气体加热的预热组件。
2.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述预热组件包括开设在退火炉主体(1)内部的预热槽(17)，且入气管(10)位于预热槽(17)内，所述预热槽(17)的顶端与退火仓(34)之间开设有进气口(18)，所述预热槽(17)的底端与退火仓(34)之间开设有出气口(19)，且出气口(19)内固定安装有单向阀。
3.根据权利要求2所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述预热槽(17)的内部均匀固定安装有多个导流板(35)，且两个导流板(35)之间相错安装。
4.根据权利要求2所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：多个所述导流板(35)上固定安装有多个凸块(36)，且多个凸块(36)之间为均匀安装。
5.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述退火炉主体(1)的内部开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)内固定安装有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定安装有第一转轴(5)，且第一转轴(5)延伸至冷却槽(6)内，所述冷却槽(6)内的第一转轴(5)上固定安装有第一风扇(7)。
6.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述退火炉主体(1)内开设有转动槽(13)，所述转动槽(13)内转动安装有第二转轴(14)，且第二转轴(14)延伸至预热槽(17)内，所述预热槽(17)内第二转轴(14)上固定安装有第二风扇(16)，且第二风扇(16)位于预热槽(17)的底端，所述退火炉主体(1)内固定安装有带动第二转轴(14)转动的传动组件。
7.根据权利要求6所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述传动组件包括固定安装在第一转轴(5)上的第一皮带轮(11)，所述第二转轴(14)上固定安装有第二皮带轮(15)，所述第一皮带轮(11)与第二皮带轮(15)之间安装有皮带(12)。
8.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述退火仓(34)靠近预热槽(17)的一侧开设有控制槽(21)，所述控制槽(21)内滑动安装有升降板(24)，且控制槽(21)与升降板(24)之间设置有记忆金属条(211)，所述记忆金属条(211)一端与控制槽(21)内凸起固定，另一端与升降板(24)下端固定，所述升降板(24)靠近进气口(18)的一侧固定安装有密封板(23)，且密封板(23)延伸至进气口(18)内，所述升降板(24)的上端开设有压力槽(22)。
9.根据权利要求8所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述升降板(24)的中间开设有通管(25)，所述通管(25)靠近压力槽(22)的一侧滑动安装有浮板(26)，所述升降板(24)内开设有升降槽(28)，所述升降槽(28)内活动滑动安装有活动板(29)，所述活动板(29)靠近压力槽(22)的一侧固定安装有连接柱(27)，且连接柱(27)与浮板(26)之间为固定连接，所述活动板(29)与升降槽(28)的内壁之间为弹性连接。
10.根据权利要求1所述的一种镀锌立式退火炉，其特征在于：所述退火仓(34)一侧的顶端固定安装有热气口(30)，所述热气口(30)的一侧安装有扩散管(31)，所述扩散管(31)的上端转动安装有第三风扇(32)，所述退火炉主体(1)外侧固定安装有带动第三风扇(32)转动的驱动装置(20)，所述退火仓(34)另一侧的底端开设有热出口(33)，所述扩散管(31)设置为弯曲状态。
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