CN114754657A - 一种半导体芯片平整度检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种半导体芯片平整度检测装置,涉及平整度检测装置技术领域,包括底板,还包括:固定设置于底板两侧的围板,所述围板顶部固定连接顶板;设置于围板一侧的送料机构,包括转动柱,转动柱一侧与围板转动连接,所述转动柱一侧固定连接载料盘,载料盘一侧开设活塞槽,压缩板与活动梁之间铰接传动杆,所述连通管之间设置阀门组件,阀门组件与活动梁连接,在进行检测时,传动壳带动活动梁一侧的滚轮与芯片接触移动,当芯片出现不平整情况时,活动梁横向移动,在传动杆和压缩板的作用下,传动壳内产生负压,触发安装筒内的活塞组件移动,进而带动吸附组件移动,检测的同时实现对芯片的筛选。

Description

一种半导体芯片平整度检测装置
技术领域
本发明涉及平整度检测技术领域,具体是一种半导体芯片平整度检测装置。
背景技术
市场上生活中我们也接触很多的电子智能产品,但是大多数智能电子产品离不开的都是芯片,而且芯片本体比较小,制作过程比较复杂所以检测也需要全面,通过检测芯片表面的平整度,可以大致了解芯片的加工质量。
传统的检测装置一般是人工使用测量尺检测,或者通过激光检测,然后通过计算机处理数据,得出检测结果,人工检测方式检测效率不高,计算机检测虽然能够提高检测效率,但是只能单方面得出检测数据,不能及时的将不合格的芯片剔除,仍然需要人工挑选,实用性不高。
发明内容
本发明提供一种半导体芯片平整度检测装置,解决了上述背景技术中的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种半导体芯片平整度检测装置,包括底板,还包括:
固定设置于底板两侧的围板,所述围板顶部固定连接顶板;
设置于围板一侧的送料机构,包括转动柱,转动柱一侧与围板转动连接,所述转动柱一侧固定连接载料盘,载料盘一侧开设活塞槽,活塞槽内设置吸附组件,所述活塞槽一侧设置止动组件,在止动组件的作用下,吸附组件实现对芯片的吸附固定;
设置于围板之间的检测机构,包括安装筒,安装筒与底板固定连接,所述安装筒一侧设置活塞组件,安装筒顶部两侧固定连接支杆,支杆上滑动套设安装块,安装块之间固定连接传动壳,传动壳上滑动贯穿设置活动梁,活动梁一端转动连接滚轮,所述活动梁两侧的传动壳内滑动连接压缩板,压缩板与活动梁之间铰接传动杆,所述传动壳两端固定连接连通管,连通管与安装筒之间固定连接伸缩管,所述连通管之间设置阀门组件,阀门组件与活动梁连接,在进行检测时,传动壳带动活动梁一侧的滚轮与芯片接触移动,当芯片出现不平整情况时,活动梁横向移动,在传动杆和压缩板的作用下,传动壳内产生负压,并通过阀门组件传递至安装筒内,触发安装筒内的活塞组件移动,进而带动吸附组件移动,检测的同时实现对芯片的筛选;
设置于顶板上的驱动机构,用于驱动检测机构和送料机构。
作为本发明的一种优选技术方案,所述吸附组件包括滑动设置于活塞槽内的活塞板,活塞板一侧的载料盘端部固定连接吸附板,吸附板上开设有通气口,所述活塞板一侧固定连接活塞柱,活塞柱延伸至载料盘外部一侧,且端部固定连接安装臂,所述活塞柱与载料盘滑动贯穿连接,实际使用时,通过拉动活塞柱带动活塞板移动,可以在活塞槽内产生负压,可以实现吸附芯片的功能。
作为本发明的一种优选技术方案,所述止动组件包括定位块,定位块与载料盘侧壁固定连接,所述定位块上滑动贯穿设置止动柱,止动柱一端固定连接止动杆,所述止动柱上套接复位件,复位件两端分别与定位块和止动杆固定连接,所述活塞柱一侧固定连接止动凸起,所述止动杆能够在止动凸起的作用下,实现定位。
作为本发明的一种优选技术方案,所述活塞组件包括滑动贯穿设置于安装筒侧壁的活动柱,活动柱一侧固定连接驱动杆,所述安装筒内的活动柱一端固定连接密封块,密封块一侧的活动柱上套接伸缩件,伸缩件两侧分别与密封块和安装筒侧壁固定连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述阀门组件包括承载块,承载块固定设置于传动壳底部,所述承载块上滑动贯穿设置阀门杆,阀门杆两端开设通口,所述阀门杆两端穿过连通管,且与连通管滑动贯穿连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述阀门杆一端固定连接联动杆,联动杆一侧与活动梁固定连接,所述联动杆与传动壳之间的活动梁上套接弹性件。
作为本发明的一种优选技术方案,所述驱动机构包括固定设置于顶板顶部的驱动电机,驱动电机一侧的顶板底部固定连接限位块,限位块上转动贯穿设置传动柱,传动柱与驱动电机的输出轴之间通过皮带传动连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述传动柱一端固定连接传动轮,传动轮一侧固定连接固定轴,固定轴一端铰接传动臂,传动臂与传动壳顶端铰接连接,在传动柱的作用下,传动轮转动,通过传动臂带动传动壳上下往复移动。
作为本发明的一种优选技术方案,所述传动柱一端固定套接联动轮,联动轮下方的围板侧壁转动连接不完全齿轮,不完全齿轮的转轴与联动轮之间通过皮带传动连接,所述不完全齿轮一侧的转动柱上固定套接传动齿轮,传动齿轮与不完全齿轮啮合传动连接,所述支杆顶部固定连接料箱。
本发明具有以下有益之处:在进行使用时,将芯片放置在吸附板一侧,然后人工拉动活塞柱在活塞板的作用下,活塞槽内产生负压,将芯片进行固定,然后启动驱动电机带动传动柱转动,传动柱带动传动轮转动,在传动臂的作用下,带动传动壳上下往复移动,同时活动梁一端的滚轮与芯片接触,当芯片出现不平整情况时,活动梁横向移动,在传动杆和压缩板的作用下,传动壳内产生负压,并通过阀门组件传递至安装筒内,触发安装筒内的活塞组件移动,进而带动吸附组件移动,检测的同时实现对芯片的筛选,然后在不完全齿轮的作用下,通过传动齿轮带动载料盘间歇转动,实现连续检测,总体来说该装置操作使用便捷,在检测芯片的同时,能够主动筛选出不合格的芯片,降低了人工劳动量,同时提高了检测的工作效率,实用性更高。
附图说明
图1为一种半导体芯片平整度检测装置主体的结构示意图。
图2为图1中A的放大结构示意图。
图3为一种半导体芯片平整度检测装置中载料盘的结构示意图。
图4为一种半导体芯片平整度检测装置中传动壳内部的结构示意图。
图中:1、底板;2、围板;3、顶板;4、支杆;5、通口;6、连通管;7、联动杆;8、弹性件;9、传动壳;10、传动杆;11、吸附组件;12、传动臂;13、料箱;14、固定轴;15、传动轮;16、传动柱;17、限位块;18、驱动电机;19、联动轮;20、载料盘;21、活塞板;22、活塞槽;23、活塞柱;24、不完全齿轮;25、传动齿轮;26、转动柱;27、吸附板;28、安装臂;29、驱动杆;30、活动柱;31、收纳箱;32、伸缩件;33、密封块;34、滚轮;35、伸缩管;36、活动梁;37、安装块;38、压缩板;39、承载块;40、阀门杆;41、安装筒;42、定位块;43、止动柱;44、复位件;45、止动杆;46、止动凸起;47、止动组件;48、送料机构;49、检测机构;50、阀门组件;51、活塞组件;52、驱动机构。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例1
请参阅图1-4,一种半导体芯片平整度检测装置,包括底板1,还包括:
固定设置于底板1两侧的围板2,所述围板2顶部固定连接顶板3;
设置于围板2一侧的送料机构48,包括转动柱26,转动柱26一侧与围板2转动连接,所述转动柱26一侧固定连接载料盘20,载料盘20一侧开设活塞槽22,活塞槽22内设置吸附组件11,所述活塞槽22一侧设置止动组件47,在止动组件47的作用下,吸附组件11实现对芯片的吸附固定;
设置于围板2之间的检测机构49,包括安装筒41,安装筒41与底板1固定连接,所述安装筒41一侧设置活塞组件51,安装筒41顶部两侧固定连接支杆4,支杆4上滑动套设安装块37,安装块37之间固定连接传动壳9,传动壳9上滑动贯穿设置活动梁36,活动梁36一端转动连接滚轮34,所述活动梁36两侧的传动壳9内滑动连接压缩板38,压缩板38与活动梁36之间铰接传动杆10,所述传动壳9两端固定连接连通管6,连通管6与安装筒41之间固定连接伸缩管35,所述连通管6之间设置阀门组件50,阀门组件50与活动梁36连接,在进行检测时,传动壳9带动活动梁36一侧的滚轮34与芯片接触移动,当芯片出现不平整情况时,活动梁36横向移动,在传动杆10和压缩板38的作用下,传动壳9内产生负压,并通过阀门组件50传递至安装筒41内,触发安装筒41内的活塞组件51移动,进而带动吸附组件11移动,检测的同时实现对芯片的筛选;
设置于顶板3上的驱动机构52,用于驱动检测机构49和送料机构48。
实施例2
请参阅图1-4,本实施例的其它内容与实施例1相同,不同之处在于:所述吸附组件11包括滑动设置于活塞槽22内的活塞板21,活塞板21一侧的载料盘20端部固定连接吸附板27,吸附板27上开设有通气口,所述活塞板21一侧固定连接活塞柱23,活塞柱23延伸至载料盘20外部一侧,且端部固定连接安装臂28,所述活塞柱23与载料盘20滑动贯穿连接,实际使用时,通过拉动活塞柱23带动活塞板21移动,可以在活塞槽22内产生负压,可以实现吸附芯片的功能。
所述止动组件47包括定位块42,定位块42与载料盘20侧壁固定连接,所述定位块42上滑动贯穿设置止动柱43,止动柱43一端固定连接止动杆45,所述止动柱43上套接复位件44,复位件44两端分别与定位块42和止动杆45固定连接,所述活塞柱23一侧固定连接止动凸起46,所述止动杆45能够在止动凸起46的作用下,实现定位。
所述活塞组件51包括滑动贯穿设置于安装筒41侧壁的活动柱30,活动柱30一侧固定连接驱动杆29,所述安装筒41内的活动柱30一端固定连接密封块33,密封块33一侧的活动柱30上套接伸缩件32,伸缩件32两侧分别与密封块33和安装筒41侧壁固定连接。
所述阀门组件50包括承载块39,承载块39固定设置于传动壳9底部,所述承载块39上滑动贯穿设置阀门杆40,阀门杆40两端开设通口5,所述阀门杆40两端穿过连通管6,且与连通管6滑动贯穿连接。
所述阀门杆40一端固定连接联动杆7,联动杆7一侧与活动梁36固定连接,所述联动杆7与传动壳9之间的活动梁36上套接弹性件8,实际进行使用时,活动梁36上下移动带动一侧的滚轮34与芯片表面接触,当芯片表面出现不平整的情况时,活动梁36左右移动,在联动杆7的作用下,能够带动阀门杆40左右移动,实现对连通管6的闭合与连通操作,其中弹性件8可以使用具有伸缩性质的弹簧或者弹性金属片等。
所述驱动机构52包括固定设置于顶板3顶部的驱动电机18,驱动电机18一侧的顶板3底部固定连接限位块17,限位块17上转动贯穿设置传动柱16,传动柱16与驱动电机18的输出轴之间通过皮带传动连接。
所述传动柱16一端固定连接传动轮15,传动轮15一侧固定连接固定轴14,固定轴14一端铰接传动臂12,传动臂12与传动壳9顶端铰接连接,在传动柱16的作用下,传动轮15转动,通过传动臂12带动传动壳9上下往复移动。
所述传动柱16一端固定套接联动轮19,联动轮19下方的围板2侧壁转动连接不完全齿轮24,不完全齿轮24的转轴与联动轮19之间通过皮带传动连接,所述不完全齿轮24一侧的转动柱26上固定套接传动齿轮25,传动齿轮25与不完全齿轮24啮合传动连接,所述支杆4顶部固定连接料箱13,所述载料盘20下方一侧的底板1上固定连接收纳箱31。
启动驱动电机18带动传动柱16转动,传动柱16带动传动轮15转动,在传动臂12的作用下,带动传动壳9上下往复移动,同时活动梁36一端的滚轮34与芯片接触,当芯片出现不平整情况时,活动梁36横向移动,在传动杆10和压缩板38的作用下,传动壳9内产生负压,并通过阀门组件50传递至安装筒41内,则密封块33一侧的安装筒41内产生负压,进而密封块33两侧的安装筒41内产生压强差,在压强差的作用下,密封块33向一侧移动,通过活动柱30带动驱动杆29移动,驱动杆29带动安装臂28移动,安装臂28通过活塞柱23带动活塞板21移动,则活塞槽22内恢复正常压强,芯片脱落,检测的同时实现对芯片的筛选,然后在不完全齿轮24的作用下,通过传动齿轮25带动载料盘20间歇转动,实现连续检测。
总体来说该装置操作使用便捷,在检测芯片的同时,能够主动筛选出不合格的芯片,降低了人工劳动量,同时提高了检测的工作效率,实用性更高。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种半导体芯片平整度检测装置,包括底板,其特征在于,还包括:
设置于底板两侧的围板,所述围板顶部固定连接顶板;
设置于围板一侧的送料机构,包括转动柱,转动柱一侧固定连接载料盘,载料盘一侧开设活塞槽,活塞槽内设置吸附组件,所述活塞槽一侧设置止动组件,在止动组件的作用下,吸附组件实现对芯片的吸附固定;
设置于围板之间的检测机构,包括安装筒,安装筒一侧设置活塞组件,安装筒顶部两侧固定连接支杆,支杆上滑动套设安装块,安装块之间固定连接传动壳,传动壳上滑动贯穿设置活动梁,活动梁一端转动连接滚轮,所述活动梁两侧的传动壳内滑动连接压缩板,压缩板与活动梁之间铰接传动杆,所述传动壳两端固定连接连通管,连通管与安装筒之间固定连接伸缩管,所述连通管之间设置阀门组件,阀门组件与活动梁连接,在进行检测时,传动壳带动活动梁一侧的滚轮与芯片接触移动,当芯片出现不平整情况时,活动梁横向移动,在传动杆和压缩板的作用下,传动壳内产生负压,并通过阀门组件传递至安装筒内,触发安装筒内的活塞组件移动,进而带动吸附组件移动,检测的同时实现对芯片的筛选;
设置于顶板上的驱动机构,用于驱动检测机构和送料机构。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述吸附组件包括滑动设置于活塞槽内的活塞板,活塞板一侧的载料盘端部固定连接吸附板,所述活塞板一侧固定连接活塞柱,活塞柱延伸至载料盘外部一侧,且端部固定连接安装臂。
3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述止动组件包括定位块,定位块与载料盘侧壁固定连接,所述定位块上滑动贯穿设置止动柱,止动柱一端固定连接止动杆,所述止动柱上套接复位件,所述活塞柱一侧固定连接止动凸起。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述活塞组件包括滑动贯穿设置于安装筒侧壁的活动柱,活动柱一侧固定连接驱动杆,所述安装筒内的活动柱一端固定连接密封块,密封块一侧的活动柱上套接伸缩件。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述阀门组件包括承载块,承载块上滑动贯穿设置阀门杆,阀门杆两端开设通口,所述阀门杆两端穿过连通管,且与连通管滑动贯穿连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述阀门杆一端固定连接联动杆,联动杆一侧与活动梁固定连接,所述联动杆与传动壳之间的活动梁上套接弹性件。
7.根据权利要求1所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述驱动机构包括固定设置于顶板顶部的驱动电机,驱动电机一侧的顶板底部固定连接限位块,限位块上转动贯穿设置传动柱,传动柱与驱动电机的输出轴之间传动连接。
8.根据权利要求7所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述传动柱一端固定连接传动轮,传动轮一侧固定连接固定轴,固定轴一端铰接传动臂,传动臂与传动壳顶端铰接连接。
9.根据权利要求8所述的一种半导体芯片平整度检测装置,其特征在于,所述传动柱一端固定套接联动轮,联动轮下方的围板侧壁转动连接不完全齿轮,不完全齿轮一侧的转动柱上固定套接传动齿轮,传动齿轮与不完全齿轮啮合传动连接。
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