CN114752911B - 行星式穹顶安装架和真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本发明的实施例提供了一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机，涉及半导体技术领域。行星式穹顶安装架包括行星轨道、行星支架、传动齿轮组、传动杆、万向节和穹顶插口组件，行星轨道为圆环形状，行星轨道的内壁上设置有内齿；行星支架可滑动地安装在行星轨道的内部；传动齿轮组安装在行星支架上，且与内齿啮合；传动杆安装在行星支架上，传动杆的一端与传动齿轮组连接；万向节安装在传动杆上；穹顶插口组件连接在万向节上。行星式穹顶安装架可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶公转和自转的效果，而且可以实现穹顶多角度转动。

Description

行星式穹顶安装架和真空镀膜机

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机。

背景技术

现在普遍的真空镀膜机使用的行星式穹顶(Dome)安装架为导轮结构，存在蒸发角度单一不可调、导轨易磨损、穹顶滚动跳动幅度大等缺点，而这些缺点也不利于生产出更稳定的蒸发淀积薄膜，而且，结构较为复杂，保养、更换备件耗时更长。

发明内容

本发明的目的包括提供一种行星式穹顶安装架和真空镀膜机，其能够增加传动稳定性，且实现多蒸发角度的调节。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种行星式穹顶安装架，行星式穹顶安装架包括：

行星轨道，为圆环形状，行星轨道的内壁上设置有内齿；

行星支架，可滑动地安装在行星轨道的内部；

传动齿轮组，安装在行星支架上，且与内齿啮合；

传动杆，安装在行星支架上，传动杆的一端与传动齿轮组连接；

万向节，安装在传动杆上；

穹顶插口组件，连接在万向节上。

在可选的实施方式中，行星轨道的顶部开设有滑槽，行星支架的端部下侧安装有滚轮，滚轮可滚动地设置在滑槽内。

这样，可以提高行星支架相对于行星轨道转动的稳定性。

在可选的实施方式中，传动齿轮组包括依次啮合的中央主动齿轮、第一传动齿轮、第二传动齿轮和第三传动齿轮，第三传动齿轮连接在传动杆的端部，第三传动齿轮与内齿啮合。

在可选的实施方式中，行星支架包括中心支架和三个分支架，三个分支架呈发散状地连接在中心支架的外侧，每个分支架远离中心支架的一端连接一个传动杆。

在可选的实施方式中，中央主动齿轮安装在中心支架内，每个分支架内安装一组第一传动齿轮、第二传动齿轮和第三传动齿轮。

在可选的实施方式中，行星支架包括第一顶板、第一底板和第一侧板，第一顶板与第一底板间隔相对设置，第一侧板连接在第一顶板与第一底板之间，第一顶板的底部安装有滚轮。

在可选的实施方式中，行星轨道的内壁上、且位于内齿的下方开设有凹槽，第一底板的端部插入凹槽，第一底板的端部安装有滚轮、且可在凹槽内滚动。

这样，可以进一步提高行星支架相对于行星轨道转动的稳定性。

在可选的实施方式中，行星式穹顶安装架还包括导杆壳体和角度调整壳体，导杆壳体连接在行星支架上，导杆壳体包覆传动杆，角度调整壳体连接在导杆壳体上，角度调整壳体包覆万向节和穹顶插口组件。

在可选的实施方式中，穹顶插口组件包括插口接头和插口轴承，插口接头连接在万向节上，插口轴承的内圈套设在插口接头上，插口轴承的外圈支撑在角度调整壳体内。

第二方面，本发明提供一种真空镀膜机，真空镀膜机包括：

前述实施方式任一项的行星式穹顶安装架；

穹顶，安装在行星式穹顶安装架的穹顶插口组件上。

本发明实施例提供的行星式穹顶安装架和真空镀膜机的有益效果包括：

1.在圆环形状的行星轨道的内壁上设置有内齿，行星支架通过传动齿轮组与内齿啮合，可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶公转和自转的效果；

2.穹顶插口组件通过万向节连接到传动杆上，可以实现穹顶多角度转动。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明第一实施例提供的行星式穹顶安装架的第一视角的结构示意图；

图2为本发明第一实施例提供的行星式穹顶安装架的第二视角的结构示意图；

图3为图2中行星式穹顶安装架沿剖切线A-A的剖视图。

图标：100-行星式穹顶安装架；1-行星轨道；11-内齿；12-滑槽；13-凹槽；2-行星支架；21-滚轮；22-中心支架；23-分支架；24-第一顶板；25-第一底板；26-第一侧板；3-传动齿轮组；31-中央主动齿轮；32-第一传动齿轮；33-第二传动齿轮；34-第三传动齿轮；35-齿轮轴承；4-传动杆；5-万向节；6-穹顶插口组件；61-插口接头；62-插口轴承；7-导杆壳体；71-左挡板；72-右挡板；73-前挡板；74-后挡板；8-角度调整壳体；81-前盖板；82-后盖板；83-左盖板；84-右盖板；85-上盖板；86-下盖板；200-穹顶。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

第一实施例

请参考图1至图3，本实施例提供了一种行星式穹顶安装架100，行星式穹顶安装架100包括行星轨道1、行星支架2、传动齿轮组3、传动杆4、万向节5和穹顶插口组件6。

行星轨道1为圆环形状，行星轨道1的内壁上设置有内齿11，内齿11的轨迹也是圆环形。行星支架2可滑动地安装在行星轨道1的内部。传动齿轮组3安装在行星支架2上，且与内齿11啮合。这样，行星支架2即可在行星轨道1的内壁上转动，相当于行星支架2在行星轨道1内自转，从并带动行星支架2上的穹顶200同步转动。

传动杆4安装在行星支架2上，传动杆4的一端与传动齿轮组3连接，这样，传动齿轮组3转动的过程中，也会带动传动杆4自转，从而也带动传动杆4下端的穹顶200自转。

万向节5安装在传动杆4上，穹顶插口组件6连接在万向节5上，穹顶插口组件6用于连接穹顶200。这样，穹顶200就可以随传动杆4自转，还可以随行星支架2相对于行星轨道1公转，还可以在万向节5的作用下，实现穹顶200多角度转动。

优选地，行星轨道1的顶部开设有滑槽12，滑槽12的轨迹也是圆环形，行星支架2的端部下侧安装有滚轮21，滚轮21可滚动地设置在滑槽12内，优选地，滚轮21为圆柱状，可以提高行星支架2相对于行星轨道1转动的稳定性。

行星支架2包括中心支架22和三个分支架23，三个分支架23呈发散状地连接在中心支架22的外侧，每个分支架23远离中心支架22的一端连接一个传动杆4。这样，三个传动杆4上总共连接有三个穹顶200，满足在同一个工作周期内，三个穹顶200可以实现不同的蒸发角作业。

具体的，请参阅图3，传动齿轮组3包括依次啮合的中央主动齿轮31、第一传动齿轮32、第二传动齿轮33和第三传动齿轮34，第三传动齿轮34连接在传动杆4的端部，第三传动齿轮34与内齿11啮合。其中，中央主动齿轮31、第一传动齿轮32、第二传动齿轮33和第三传动齿轮34均通过齿轮轴承35与行星支架2配合。

中央主动齿轮31安装在中心支架22内，每个分支架23内安装一组第一传动齿轮32、第二传动齿轮33和第三传动齿轮34。

本实施例中，还可以设置电机以驱动中央主动齿轮31，并采用控制器控制电机的转动方式，从而实现对穹顶200位置的电动控制。

行星支架2包括第一顶板24、第一底板25和第一侧板26，第一顶板24与第一底板25间隔相对设置，第一侧板26连接在第一顶板24与第一底板25之间，第一顶板24的底部安装有滚轮21。

行星轨道1的内壁上、且位于内齿11的下方开设有凹槽13，第一底板25的端部插入凹槽13，第一底板25的端部安装有滚轮21、且可在凹槽13内滚动。这样，行星支架2的第一顶板24和第一底板25上均安装有滚轮21，而且第一顶板24和第一底板25上的滚轮21分别与行星轨道1上的滑槽12和凹槽13配合，使行星轨道1对行星支架2起到双重支撑，提高行星支架2转动的稳定性。

优选地，每个第一底板25的端部沿凹槽13的延伸方向间隔布置多个滚轮21，每个第一顶板24的端部沿滑槽12的延伸方向间隔布置多个滚轮21，这样，可以进一步提高行星支架2转动的稳定性。

行星式穹顶安装架100还包括导杆壳体7和角度调整壳体8，导杆壳体7连接在行星支架2上，导杆壳体7包覆传动杆4，角度调整壳体8连接在导杆壳体7上，角度调整壳体8包覆万向节5和穹顶插口组件6。

其中，导杆壳体7包括左挡板71、右挡板72、前挡板73和后挡板74，左挡板71、右挡板72、前挡板73和后挡板74围成框体，并整体连接到行星支架2的第一顶板24和第一底板25上。

角度调整壳体8包括前盖板81、后盖板82、左盖板83、右盖板84、上盖板85和下盖板86，前盖板81、后盖板82、左盖板83、右盖板84、上盖板85和下盖板86围成框体，并整体连接到导杆壳体7的左挡板71和右挡板72上。其中，传动杆4贯穿上盖板85连接到角度调整壳体8内的万向节5。

穹顶插口组件6包括插口接头61和插口轴承62，插口接头61连接在万向节5上，插口轴承62的内圈套设在插口接头61上，插口轴承62的外圈支撑在角度调整壳体8内。其中，插口轴承62位于前盖板81上，插口接头61从前盖板81伸出，便于安装穹顶200。

本发明实施例提供的行星式穹顶安装架100的组装过程：

首先，将行星轨道1焊接在蒸发室腔壁上，将中央主动齿轮31、第一传动齿轮32、第二传动齿轮33和第三传动齿轮34通过齿轮轴承35安装在第一顶板24与第一底板25上的固定位置；

接着，将行星支架2通过滚轮21安装在行星轨道1顶部的滑槽12内，安装时第三传动齿轮34与行星轨道1的内壁上的内齿11啮合；

然后，在传动杆4的底部通过万向节5连接穹顶插口组件6。

这样，中央主动齿轮31转动时通过第一传动齿轮32、第二传动齿轮33和第三传动齿轮34带动整个行星支架2稳定地作公转和自传运动。

本发明实施例提供的行星式穹顶安装架100的有益效果包括：

1.在圆环形状的行星轨道1的内壁上设置有内齿11，行星支架2通过传动齿轮组3与内齿11啮合，可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶200公转和自转的效果；

2.穹顶插口组件6通过万向节5连接到传动杆4上，可以实现穹顶200多角度转动；

3.三个传动杆4上总共连接有三个穹顶200，满足在同一个工作周期内，三个穹顶200可以实现不同的蒸发角作业。

第二实施例

本实施例提供一种真空镀膜机，真空镀膜机包括穹顶200和第一实施例提供的行星式穹顶安装架100，穹顶200安装在行星式穹顶安装架100的穹顶插口组件6上，真空镀膜机还可以包括真空腔体，穹顶200和行星式穹顶安装架100均安装在真空腔体内。

本发明实施例提供的真空镀膜机的有益效果包括：

1.在圆环形状的行星轨道1的内壁上设置有内齿11，行星支架2通过传动齿轮组3与内齿11啮合，可以实现更平稳的传动，相对传统行星导轨磨损大幅度降低，而且，可以实现穹顶200公转和自转的效果；

2.穹顶插口组件6通过万向节5连接到传动杆4上，可以实现穹顶200多角度转动；

3.三个传动杆4上总共连接有三个穹顶200，满足在同一个工作周期内，三个穹顶200可以实现不同的蒸发角作业。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星式穹顶安装架包括：

行星轨道（1），为圆环形状，所述行星轨道（1）的内壁上设置有内齿（11）；

行星支架（2），可滑动地安装在所述行星轨道（1）的内部；

传动齿轮组（3），安装在所述行星支架（2）上，且与所述内齿（11）啮合；

传动杆（4），安装在所述行星支架（2）上，所述传动杆（4）的一端与所述传动齿轮组（3）连接；

万向节（5），安装在所述传动杆（4）上；

穹顶插口组件（6），连接在所述万向节（5）上；

所述行星轨道（1）的顶部开设有滑槽（12），所述行星支架（2）的端部下侧安装有滚轮（21），所述滚轮（21）可滚动地设置在所述滑槽（12）内；

所述传动齿轮组（3）包括依次啮合的中央主动齿轮（31）、第一传动齿轮（32）、第二传动齿轮（33）和第三传动齿轮（34），所述第三传动齿轮（34）连接在所述传动杆（4）的端部，所述第三传动齿轮（34）与所述内齿（11）啮合。

2.根据权利要求1所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星支架（2）包括中心支架（22）和三个分支架（23），三个所述分支架（23）呈发散状地连接在所述中心支架（22）的外侧，每个所述分支架（23）远离所述中心支架（22）的一端连接一个所述传动杆（4）。

3.根据权利要求2所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述中央主动齿轮（31）安装在所述中心支架（22）内，每个所述分支架（23）内安装一组所述第一传动齿轮（32）、所述第二传动齿轮（33）和所述第三传动齿轮（34）。

4.根据权利要求1所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星支架（2）包括第一顶板（24）、第一底板（25）和第一侧板（26），所述第一顶板（24）与所述第一底板（25）间隔相对设置，所述第一侧板（26）连接在所述第一顶板（24）与所述第一底板（25）之间，所述第一顶板（24）的底部安装有所述滚轮（21）。

5.根据权利要求4所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星轨道（1）的内壁上、且位于所述内齿（11）的下方开设有凹槽（13），所述第一底板（25）的端部插入所述凹槽（13），所述第一底板（25）的端部安装有所述滚轮（21）、且可在所述凹槽（13）内滚动。

6.根据权利要求4所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述行星式穹顶安装架还包括导杆壳体（7）和角度调整壳体（8），所述导杆壳体（7）连接在所述行星支架（2）上，所述导杆壳体（7）包覆所述传动杆（4），所述角度调整壳体（8）连接在所述导杆壳体（7）上，所述角度调整壳体（8）包覆所述万向节（5）和所述穹顶插口组件（6）。

7.根据权利要求6所述的行星式穹顶安装架，其特征在于，所述穹顶插口组件（6）包括插口接头（61）和插口轴承（62），所述插口接头（61）连接在所述万向节（5）上，所述插口轴承（62）的内圈套设在所述插口接头（61）上，所述插口轴承（62）的外圈支撑在所述角度调整壳体（8）内。

8.一种真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机包括：

权利要求1~7任一项所述的行星式穹顶安装架；

穹顶（200），安装在所述行星式穹顶安装架的所述穹顶插口组件（6）上。