CN114735625A - 一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室，所述加工室的一侧设置有密封门，所述加工室内设置有若干个可完全拉出的托盘，所述加工室的一侧设置有用于逐个将托盘拉出并翻转的下料装置，所述托盘内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，所述夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条，所述托盘的一侧设置有受力横板，所述齿条的一端均与受力横板的一侧固定，所述托盘的竖直外壁固定连接有卡座。本发明实现了已完成惰性物质植入的非晶碳膜卷的机械化下料，采购和使用成本较低，效率和安全性高，提升了能源利用率，降低了损坏率，结构巧妙合理，满足了人们在生产生活中的使用需求。

Description

一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备
技术领域
本发明涉及非晶碳膜加工设备技术领域，尤其涉及一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备。
背景技术
现有的非晶碳膜在加工的过程中，需要进行惰性物质的植入，从而改变其硬度、致密性、耐磨性等物理性质，在植入的过程中，首先需要将大卷材的非晶碳膜卷切割后重新卷成同等尺寸的尺寸较小的卷材后整齐的排列在托盘上，并送入加工箱内，并在高温高压下完成惰性物质的植入，现有的植入设备，在完成非晶碳膜的惰性物质的植入后，非晶碳膜卷从加工箱上的托盘内的取出过程十分的繁重、缓慢，效率较低，导致加工箱内的温度散失速度较快，能量利用率较低，且现有的下料设备在将诸多工序中需要采用大量的电机和气缸的协作实现多层托盘内的非晶碳膜卷的下料，设备的采购和使用成本较高，且对各个电子器件之间的相互协作的协调性的要求较高，在长期使用的过程中，极易产生协调性上的偏差，造成非晶碳膜的脱位，即使冷却后的非晶碳膜卷依然会造成附近工人的损伤，安全风险较大，满足不了人们在生产生活中的使用需求。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中完成惰性物质的植入后的非晶碳膜卷的下料速度慢、成本高且安全性差的问题，而提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室，所述加工室的一侧设置有密封门，所述加工室内设置有若干个可完全拉出的托盘，所述加工室的一侧设置有用于逐个将托盘拉出并翻转的下料装置，所述托盘内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，所述夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条，所述托盘的一侧设置有受力横板，所述齿条的一端均与受力横板的一侧固定，所述托盘的竖直外壁固定连接有卡座，所述卡座的两端开设有卡槽，所述下料机构通过卡座对托盘进行固定后将其从加工室内抽出后进行翻转，并在翻转完成后推动受力横板平移，从而使得卷材得到释放并下落，所述的下料机构内还设置有角度和长度均可调节的，用于卷材下移的导料伸缩板；
所述托盘的内壁固定连接有隔板，所述隔板上开设有若干个弧形滑孔，所述夹持组件包括外齿环和气内测的若干个滑动安装在弧形滑孔内的夹杆，所述夹杆的顶部固定有圆杆，所述圆杆与外齿环的内壁之间转动安装有联动套。
优选的，所述下料装置包括可移动底座，所述可移动底座的竖直上方设置有顶台，所述顶台与可移动底座之间转动安装有定高轨道筒并固定连接有立轴，所述定高轨道筒和立轴的外侧竖直滑动安装有升降环，所述定高轨道筒的筒体开设有螺旋式的轨道槽并滑动连接有内滑圆芯，所述内滑圆芯的一端与升降环的内壁固定连接，所述定高轨道筒的顶端同轴固定有槽轮，所述顶台上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴连接有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿环，所述从动齿环的底端同轴固定有缺口轮盘，所述缺口轮盘与槽轮相配合。
优选的，所述升降环的一侧固定连接有升降架，所述升降架上水平转动安装有横圆轴，所述从动齿环和缺口轮盘均开设有多边形通孔并滑动穿过有联动多边形滑杆，所述联动多边形滑杆的底端与横圆轴的一端之间传动连接有锥齿轮组，所述升降架底部一侧竖直固定连接有立筒，立筒内竖直滑动穿过有升降杆，所述升降杆的顶部安装有接触滚珠，所述横圆轴的外侧固定套设有在转动中能够控制接触滚珠竖直高度的定高环，所述升降架的底部固定水平吊设有圆外筒，所述圆外筒的顶部筒体开设有顶孔，圆外筒内滑动连接有外伸旋轴，所述外伸旋轴的一端外侧开设有环槽并转动安装有升降杆，所述升降杆的底端与环套之间转动安装有联动臂，所述外伸旋轴的轴体外侧开设有螺旋式的滑槽，所述圆外筒的端部内壁固定连接有固定圆芯，所述固定圆芯的一端滑动连接在滑槽内。
优选的，所述外伸旋轴的一端延伸至圆外筒的外部并固定连接有横中轴，所述横中轴与卡座之间设置有卡接机构，所述卡接机构包括固定安装在横中轴一端的垂直筒，所述垂直筒内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆之间设置有弹簧，所述滑杆的另一端延伸至垂直筒的外侧并固定连接有折线杆，折线杆的一端延伸至卡座的一侧并固定连接有与卡槽相匹配的尖头卡块，所述横中轴的外侧平行固定连接有横轨，横轨的外侧滑动套设有驱近环，所述驱近环的内壁和折线杆斜向杆体向滑动接触，所述驱近环的顶部固定连接有侧板，所述侧板的一侧安装有万向滚珠。
优选的，所述侧板的板体安装有能够弹性复位的横推杆，所述横推杆的一端固定连接有斜推板一，所述斜推板一的一侧滑动连接有斜推板二，所述斜推板二固定安装在升降杆的底部一侧。
优选的，所述立筒的竖直一侧水平转动安装有横转筒，所述横转筒与横圆轴之间传动安装有传动链条，所述横转筒的外侧固定连接有用于在旋转中推动侧板水平移动的转动推环，所述万向滚珠的一侧与转动推环的一侧滚动接触连接。
优选的，所述圆外筒的底部一侧设置有水平转动座，所述导料伸缩板的顶部转动安装在水平转动座内。
与现有技术相比，本发明提供了一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，具备以下有益效果：
1、本发明通过各个零部件之间的相互协作，实现了通过机械逐层的完成了盛放有已完成惰性物质植入的非晶碳膜卷的托盘从加工室内的取出、翻转，以及两个工序前后的对托盘的固定和释放，以及对各个非晶碳膜卷的释放和释放后的导向，下料的效率较高，能够较多的保留加工室内的温度，为后续的非晶碳膜卷的加工提供保底温度，极大的提升了能源利用率；
2、本发明通过单一电机完成了上述工序，极大的降低了生产和使用成本，同时，也避免了多个电气元件使用时协调性较差的问题，保证了下料的顺畅，从而提升了非晶碳膜卷在下料过程中的安全性，且设计巧妙，结构合理；
3、本发明通过导料伸缩板的设置，使得被抽出的托盘进行翻转后，非晶碳膜卷在脱离夹持机构后都能够以相同的相对高度掉落在导料伸缩板上被导出，从而极大的保证了非晶碳膜卷不会在下料的过程中被损伤。
本发明实现了已完成惰性物质植入的非晶碳膜卷的机械化下料，采购和使用成本较低，效率和安全性高，提升了能源利用率，降低了损坏率，结构巧妙合理，满足了人们在生产生活中的使用需求。
附图说明
图1为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的下料装置的主视剖面结构示意图；
图2为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的加工室的主视结构示意图；
图3为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的折线杆处的俯视剖面结构示意图；
图4为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的立筒处的主视剖面结构示意图；
图5为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的托盘处的主视剖面示意图；
图6为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的联动套的主视剖面示意图；
图7为本发明提出的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备的导料伸缩板的主视剖面示意图。
图中：加工室1、密封门2、托盘3、可移动底座4、升降架5、顶台6、定高轨道筒7、立轴8、升降环9、内滑圆芯10、伺服电机11、主动齿轮12、从动齿环13、缺口轮盘14、槽轮15、横圆轴16、联动多边形滑杆17、锥齿轮组18、隔板19、外齿环20、夹杆21、圆杆22、联动套23、齿条24、受力横板25、卡座26、横中轴27、垂直筒28、滑杆29、弹簧30、折线杆31、尖头卡块32、横轨33、驱近环34、侧板35、万向滚珠36、圆外筒37、外伸旋轴38、固定圆芯39、立筒40、升降杆41、接触滚珠42、定高环43、环套44、联动臂45、横转筒46、转动推环47、传动链条48、横推杆49、斜推板一50、斜推板二51、水平转动座52、导料伸缩板53。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例一
参照图1-7，一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室1，加工室1的一侧设置有密封门2，加工室1内设置有若干个可完全拉出的托盘3，加工室1的一侧设置有用于逐个将托盘3拉出并翻转的下料装置，托盘3内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条24，托盘3的一侧设置有受力横板25，齿条24的一端均与受力横板25的一侧固定，托盘3的竖直外壁固定连接有卡座26，卡座26的两端开设有卡槽，下料机构通过卡座26对托盘3进行固定后将其从加工室1内抽出后进行翻转，并在翻转完成后推动受力横板25平移，从而使得卷材得到释放并下落，的下料机构内还设置有角度和长度均可调节的，用于卷材下移的导料伸缩板53；
下料机构通过对卡座26进行夹持固定，从而实现对整个托盘3的固定，完成固定后，下料机构将整个托盘3从加工室1内拉出，随后进行翻转，在翻转完成后，夹持组件将非晶碳膜卷材释放，非晶碳膜卷材下落至导料伸缩板53上，在重力的作用下进行下料；
托盘3的内壁固定连接有隔板19，隔板19上开设有若干个弧形滑孔，夹持组件包括外齿环20和气内测的若干个滑动安装在弧形滑孔内的夹杆21，夹杆21的顶部固定有圆杆22，圆杆22与外齿环20的内壁之间转动安装有联动套23。
本实施例中，在完成托盘3的翻转后，受力横板25受力平移，并带动一侧与之固定连接的各个齿条24水平移动，各个齿条24带动各个外齿环20进行旋转，外齿环20再通过各个联动套23和圆杆22分别带动夹杆21在弧形滑孔内滑动，从而实现对非晶碳膜卷材的释放。
实施例二
如图1-7所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，下料装置包括可移动底座4，可移动底座4的可移动性极大的便捷了人们对设备的组装和使用，可移动底座4的竖直上方设置有顶台6，顶台6与可移动底座4之间转动安装有定高轨道筒7并固定连接有立轴8，定高轨道筒7和立轴8的外侧竖直滑动安装有升降环9，定高轨道筒7的筒体开设有螺旋式的轨道槽并滑动连接有内滑圆芯10，内滑圆芯10的一端与升降环9的内壁固定连接，定高轨道筒7的顶端同轴固定有槽轮15，顶台6上安装有伺服电机11，伺服电机11的输出轴连接有主动齿轮12，主动齿轮12的一侧啮合连接有从动齿环13，从动齿环13的底端同轴固定有缺口轮盘14，缺口轮盘14与槽轮15相配合。
本实施例中，通过伺服电机11的运行，伺服电机11通过主动齿轮12的带动从动齿环13转动，从动齿环13底部同轴固定的缺口轮盘14也随之进行转动，缺口轮盘14间歇性的带动槽轮15进行转动一定的角度，槽轮15底部的定高轨道筒7也随之进行转动一定的角度，定高轨道筒7在转动的过程中，内滑圆芯10不会发生转动，而是在竖直方向上进行移动，竖直方向上移动的距离与相邻的两个托盘3的位置距离相同，从而实现了逐层的下料。
实施例三
如图1-7所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，升降环9的一侧固定连接有升降架5，升降架5跟随升降环9进行间歇性竖直方向上的移动，升降架5上水平转动安装有横圆轴16，从动齿环13和缺口轮盘14均开设有多边形通孔并滑动穿过有联动多边形滑杆17，联动多边形滑杆17的底端与横圆轴16的一端之间传动连接有锥齿轮组18，通过多边形滑杆17和锥齿轮组18的设置，横圆轴16在竖直方向的高度发生改变后，依然始终能够跟随从动齿环13进行持续的转动，升降架5底部一侧竖直固定连接有立筒40，立筒40内竖直滑动穿过有升降杆41，升降杆41的顶部安装有接触滚珠42，横圆轴16的外侧固定套设有在转动中能够控制接触滚珠42竖直高度的定高环43，升降架5的底部固定水平吊设有圆外筒37，圆外筒37的顶部筒体开设有顶孔，圆外筒37内滑动连接有外伸旋轴38，外伸旋轴38的一端外侧开设有环槽并转动安装有升降杆41，升降杆41的底端与环套44之间转动安装有联动臂45，外伸旋轴38的轴体外侧开设有螺旋式的滑槽，圆外筒37的端部内壁固定连接有固定圆芯39，固定圆芯39的一端滑动连接在滑槽内；
定高环43在跟随横圆轴16进行转动时，通过各部分环体的与横圆轴16之间距离的改变，从而相应的改变升降杆41的竖直高度，升降杆41上升时通过环套44和联动臂45带动外伸旋轴38从圆外筒37内伸出；外伸旋轴38在从圆外筒37内进入和伸出的同时，在固定圆芯39和滑槽之间的配合下，外伸旋轴38在整个托盘3从加工室1中移出后进行翻转，因此控制了托盘3的平移、翻转和维持。
实施例四
如图1-7所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，外伸旋轴38的一端延伸至圆外筒37的外部并固定连接有横中轴27，横中轴27与卡座26之间设置有卡接机构，卡接机构包括固定安装在横中轴27一端的垂直筒28，垂直筒28内滑动连接有两个滑杆29，两个滑杆29之间设置有弹簧30，滑杆29的另一端延伸至垂直筒28的外侧并固定连接有折线杆31，折线杆31的一端延伸至卡座26的一侧并固定连接有与卡槽相匹配的尖头卡块32，横中轴27的外侧平行固定连接有横轨33，横轨33的外侧滑动套设有驱近环34，驱近环34的内壁和折线杆31斜向杆体向滑动接触，驱近环34的顶部固定连接有侧板35，侧板35的一侧安装有万向滚珠36，立筒40的竖直一侧水平转动安装有横转筒46，横转筒46与横圆轴16之间传动安装有传动链条48，横转筒46的外侧固定连接有用于在旋转中推动侧板35水平移动的转动推环47，万向滚珠36的一侧与转动推环47的一侧滚动接触连接；
本实施例中，在卡接机构跟随横中轴27移动至托盘3的一侧后，转动的横圆轴16通过传动链条48带动横转筒46持续转动，转动推环47也随之转动，通过转动推环47的各部分环体的靠近托盘3的一侧的厚度不同，从而推动或维持侧板35和万向滚珠36的位置，侧板35在移动时，与之固定的驱近环34在横轨33的外侧进行滑动，并在弹簧30的弹力配合下，带动两个折线杆31进行靠近、远离或维持，从而实现下料装置的夹持组件对托盘3的固定和脱离。
实施例五
如图1-7所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，侧板35的板体安装有能够弹性复位的横推杆49，横推杆49的一端固定连接有斜推板一50，斜推板一50的一侧滑动连接有斜推板二51，斜推板二51固定安装在升降杆41的底部一侧。
本实施例中，在升降杆41持续下移时，托盘3在完成拉出和翻转后，斜推板二51与斜推板一50滑动接触，斜推板一50推动斜推板二51水平移动，并推动受力横板25，从而使得各个夹杆21相互远离，从而完成非晶碳膜的释放，掉落至导料伸缩板53上。
实施例六
如图1-7所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，圆外筒37的底部一侧设置有水平转动座52，导料伸缩板53的顶部转动安装在水平转动座52内。
本实施例中，导料伸缩板53始终跟随在夹持机构的底部，夹持机构在逐个的将各个托盘3拉出后，托盘3与导料伸缩板53的板体顶部距离始终是相对稳定的。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，包括加工室，所述加工室的一侧设置有密封门，所述加工室内设置有若干个可完全拉出的托盘，其特征在于，所述加工室的一侧设置有用于逐个将托盘拉出并翻转的下料装置，所述托盘内设置有多个呈阵列分布的能够对卷材进行合围固定的夹持组件，所述夹持组件的一侧设置有控制其开闭的能够弹性复位的齿条，所述托盘的一侧设置有受力横板，所述齿条的一端均与受力横板的一侧固定，所述托盘的竖直外壁固定连接有卡座，所述卡座的两端开设有卡槽，所述下料机构通过卡座对托盘进行固定后将其从加工室内抽出后进行翻转，并在翻转完成后推动受力横板平移，从而使得卷材得到释放并下落，所述的下料机构内还设置有角度和长度均可调节的，用于卷材下移的导料伸缩板；
所述托盘的内壁固定连接有隔板，所述隔板上开设有若干个弧形滑孔，所述夹持组件包括外齿环和气内测的若干个滑动安装在弧形滑孔内的夹杆，所述夹杆的顶部固定有圆杆，所述圆杆与外齿环的内壁之间转动安装有联动套。
2.根据权利要求1所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述下料装置包括可移动底座，所述可移动底座的竖直上方设置有顶台，所述顶台与可移动底座之间转动安装有定高轨道筒并固定连接有立轴，所述定高轨道筒和立轴的外侧竖直滑动安装有升降环，所述定高轨道筒的筒体开设有螺旋式的轨道槽并滑动连接有内滑圆芯，所述内滑圆芯的一端与升降环的内壁固定连接，所述定高轨道筒的顶端同轴固定有槽轮，所述顶台上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴连接有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿环，所述从动齿环的底端同轴固定有缺口轮盘，所述缺口轮盘与槽轮相配合。
3.根据权利要求2所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述升降环的一侧固定连接有升降架，所述升降架上水平转动安装有横圆轴，所述从动齿环和缺口轮盘均开设有多边形通孔并滑动穿过有联动多边形滑杆，所述联动多边形滑杆的底端与横圆轴的一端之间传动连接有锥齿轮组，所述升降架底部一侧竖直固定连接有立筒，立筒内竖直滑动穿过有升降杆，所述升降杆的顶部安装有接触滚珠，所述横圆轴的外侧固定套设有在转动中能够控制接触滚珠竖直高度的定高环，所述升降架的底部固定水平吊设有圆外筒，所述圆外筒的顶部筒体开设有顶孔，圆外筒内滑动连接有外伸旋轴，所述外伸旋轴的一端外侧开设有环槽并转动安装有升降杆，所述升降杆的底端与环套之间转动安装有联动臂，所述外伸旋轴的轴体外侧开设有螺旋式的滑槽，所述圆外筒的端部内壁固定连接有固定圆芯，所述固定圆芯的一端滑动连接在滑槽内。
4.根据权利要求3所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述外伸旋轴的一端延伸至圆外筒的外部并固定连接有横中轴，所述横中轴与卡座之间设置有卡接机构，所述卡接机构包括固定安装在横中轴一端的垂直筒，所述垂直筒内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆之间设置有弹簧，所述滑杆的另一端延伸至垂直筒的外侧并固定连接有折线杆，折线杆的一端延伸至卡座的一侧并固定连接有与卡槽相匹配的尖头卡块，所述横中轴的外侧平行固定连接有横轨，横轨的外侧滑动套设有驱近环，所述驱近环的内壁和折线杆斜向杆体向滑动接触，所述驱近环的顶部固定连接有侧板，所述侧板的一侧安装有万向滚珠。
5.根据权利要求4所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述侧板的板体安装有能够弹性复位的横推杆，所述横推杆的一端固定连接有斜推板一，所述斜推板一的一侧滑动连接有斜推板二，所述斜推板二固定安装在升降杆的底部一侧。
6.根据权利要求5所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述立筒的竖直一侧水平转动安装有横转筒，所述横转筒与横圆轴之间传动安装有传动链条，所述横转筒的外侧固定连接有用于在旋转中推动侧板水平移动的转动推环，所述万向滚珠的一侧与转动推环的一侧滚动接触连接。
7.根据权利要求6所述的一种非晶碳膜加工用惰性物质植入设备，其特征在于，所述圆外筒的底部一侧设置有水平转动座，所述导料伸缩板的顶部转动安装在水平转动座内。
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Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0358443A2 (en) * 1988-09-06 1990-03-14 Canon Kabushiki Kaisha Mask cassette loading device
US5390785A (en) * 1992-08-04 1995-02-21 International Business Machines Corporation Pressurized sealable transportable containers for storing a semiconductor wafer in a protective gaseous environment
US5829939A (en) * 1993-04-13 1998-11-03 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Treatment apparatus
US5884392A (en) * 1994-12-23 1999-03-23 International Business Machines Corporation Automatic assembler/disassembler apparatus adapted to pressurized sealable transportable containers
WO2000069761A1 (en) * 1999-05-18 2000-11-23 Asyst Technologies, Inc. Cassette buffering within a minienvironment
JP2000323548A (ja) * 1999-05-13 2000-11-24 Tokyo Electron Ltd 真空処理システム
US6239863B1 (en) * 1999-10-08 2001-05-29 Silicon Valley Group, Inc. Removable cover for protecting a reticle, system including and method of using the same
CN1473129A (zh) * 2001-08-10 2004-02-04 Asml 光刻标线片的保护和转移
CN201962349U (zh) * 2010-12-22 2011-09-07 郑锦华 高界面强度类金刚石薄膜材料的常温沉积设备
US20150194317A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-09 Applied Materials, Inc. Development of high etch selective hardmask material by ion implantation into amorphous carbon films
CN106758525A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 江苏建丰装饰纸有限公司 负离子型家用浸渍纸生产工艺
CN111587474A (zh) * 2017-12-01 2020-08-25 应用材料公司 高蚀刻选择性的非晶碳膜
CN111710526A (zh) * 2020-06-16 2020-09-25 湖南奇力新电子科技有限公司 一种绕线电感均质浸胶设备
CN211643854U (zh) * 2019-12-30 2020-10-09 天长市联嘉磁电科技有限公司 一种铁氧体软磁芯生产用取料装置
CN113954098A (zh) * 2021-11-25 2022-01-21 北华大学 智能化机器人

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0358443A2 (en) * 1988-09-06 1990-03-14 Canon Kabushiki Kaisha Mask cassette loading device
US5390785A (en) * 1992-08-04 1995-02-21 International Business Machines Corporation Pressurized sealable transportable containers for storing a semiconductor wafer in a protective gaseous environment
US5829939A (en) * 1993-04-13 1998-11-03 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Treatment apparatus
US5884392A (en) * 1994-12-23 1999-03-23 International Business Machines Corporation Automatic assembler/disassembler apparatus adapted to pressurized sealable transportable containers
JP2000323548A (ja) * 1999-05-13 2000-11-24 Tokyo Electron Ltd 真空処理システム
WO2000069761A1 (en) * 1999-05-18 2000-11-23 Asyst Technologies, Inc. Cassette buffering within a minienvironment
US6239863B1 (en) * 1999-10-08 2001-05-29 Silicon Valley Group, Inc. Removable cover for protecting a reticle, system including and method of using the same
CN1473129A (zh) * 2001-08-10 2004-02-04 Asml 光刻标线片的保护和转移
CN201962349U (zh) * 2010-12-22 2011-09-07 郑锦华 高界面强度类金刚石薄膜材料的常温沉积设备
US20150194317A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-09 Applied Materials, Inc. Development of high etch selective hardmask material by ion implantation into amorphous carbon films
WO2015105651A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-16 Applied Materials, Inc. Development of high etch selective hardmask material by ion implantation into amorphous carbon films
CN106758525A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 江苏建丰装饰纸有限公司 负离子型家用浸渍纸生产工艺
CN111587474A (zh) * 2017-12-01 2020-08-25 应用材料公司 高蚀刻选择性的非晶碳膜
CN211643854U (zh) * 2019-12-30 2020-10-09 天长市联嘉磁电科技有限公司 一种铁氧体软磁芯生产用取料装置
CN111710526A (zh) * 2020-06-16 2020-09-25 湖南奇力新电子科技有限公司 一种绕线电感均质浸胶设备
CN113954098A (zh) * 2021-11-25 2022-01-21 北华大学 智能化机器人

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