CN114735275A - 一种全自动bg贴膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种全自动BG贴膜机，贴膜机本体，所述贴膜机本体的内部工作空间分为贴膜部和上料部；所述贴膜部的内部上侧设置有基板，所述基板上安装有送膜机构和切割机构；所述贴膜部的内部下侧对应切割机构的正下方设置有工作台，所述工作台的邻侧设置有用于拉张膜的张膜机构和用于将拉张后膜压贴在晶圆上的压膜机构；所述上料部的内部设置有用于晶圆转运的转运机械手和用于校准晶圆在转运机械手上夹持位置的校准器；本发明中，整机内部设置有上下料机构、送膜机构、张膜机构、压膜机构和切割机构，可以完成晶圆的全自动化放入、贴膜和取出流程，增加了晶圆的贴膜效率，并减少了工人劳动力，推广应用具有良好的经济效益和社会效益。
Description
技术领域
本发明属于晶圆贴膜技术领域，特别涉及一种全自动BG贴膜机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆等产品的生产过程中，需要对产品进行贴膜处理。
现有晶圆贴膜方式主要是通过人工进行贴膜，工人将薄膜粘贴面贴敷在晶圆上，然而人工贴膜时，工人需逐个对晶圆进行贴膜处理，操作方式较为繁琐，贴膜速度较慢，工作效率较低，部分机器已经能够实现半自动化，增加了晶圆的贴膜效率，但其工作效率还有待提高。
如何提供一种全自动BG贴膜机，如何在晶圆减薄研磨前稳定精准的完成全自动贴膜，成为急需解决的问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种全自动BG贴膜机，用于解决现有技术中晶圆减薄研磨前贴膜效率低的问题。
为实现上述目的，本发明提供一种全自动BG贴膜机，包括贴膜机本体，所述贴膜机本体的内部工作空间分为贴膜部和上料部；
所述贴膜部的内部上侧设置有基板，所述基板上安装有送膜机构和切割机构；
所述贴膜部的内部下侧对应切割机构的正下方设置有工作台，所述工作台的邻侧设置有用于拉张膜的张膜机构和用于将拉张后膜压贴在晶圆上的压膜机构；
所述工作台的下方设置有升降气缸，所述升降气缸伸出端连接有升降吸盘，所述升降吸盘向上穿出工作台的顶面；
所述工作台的顶端面设置有真空细槽和割刀槽；
所述上料部的内部设置有用于晶圆转运的转运机械手和用于校准晶圆在转运机械手上夹持位置的校准器。
通过采用这种技术方案：贴膜部是晶圆贴膜的工作空间，晶圆上料至贴膜部内部放在工作台上后，工作台上的升降吸盘和真空细槽配合能够完成晶圆的固定，晶圆固定后，由上部的送膜机构供送新膜，新膜可以在张膜机构的作用下进行拉张，拉张后的新膜可以在压膜机构的作用下压附在工作台上晶圆的表面，然后切割机构启动，切割机构可以将晶圆周边多余的废膜切除，到此完成晶圆的自动贴膜流程；升降吸盘带有升降功能，能够在晶圆上下料之前支撑起晶圆，使得晶圆距工作台表面有一定的距离来配合转运夹持机构，一方面可以方便转运夹持机构伸入晶圆底部完成对晶圆的夹持，另一方面可以保证晶圆放在工作台上的位置精准度；上料部是辅助工作空间，主要安装用于自动上下料的转运机械手；上料部内部设置的校准器可以在转运机械手携持晶圆上料至工作台之前调整晶圆在转运机械手上的夹持位置，确保调整转运机械手的行程能够精准控制晶圆放在工作台上的位置，增加晶圆放在工作台上的位置精准度，避免因晶圆放置位置不精准导致贴膜工作无法完成的现象出现，增加整机运行可靠性。
于本发明的一实施例中，所述送膜机构包括安装在基板上的第一卷辊、夹膜组件、放膜辊、第二卷辊和张膜铝管；所述第一卷辊用于卷绕废膜；所述夹膜组件用于夹置固定膜带，所述夹膜组件包括夹膜铝管、夹膜压块和夹膜气缸，所述夹膜压块与夹膜铝管的外壁相对并连接在夹膜气缸的伸出端；所述放膜辊用于穿设新膜卷；所述第二卷辊用于卷绕由新膜带上分离出的离型纸；所述张膜铝管用于分离新膜带和离型纸。
通过采用这种技术方案：送膜机构送膜时，由放膜辊转动放出新膜带，新膜带在张膜铝管的作用下分为新膜和离型纸两部分，新膜被切割机构切割后剩余的废膜部分会绕过夹膜组件绕在第一卷辊上进行收集，离型纸会直接绕在第二卷辊上进行收集；夹膜机构主要是用于夹持废膜带完成膜带的固定，保证拉膜和压膜过程中废膜带的张紧状态，避免影响拉膜、压膜和贴膜无法正常完成。
于本发明的一实施例中，所述切割机构与基板之间设置有升降机构并通过所述升降机构带动切割机构在基板上升降移动。
通过采用这种技术方案：升降机构增加切割机构的升降功能，确保切割机构对膜进行切割时切割机构上的切割刀能够下降至与膜接触，并能够在切割完成后上升完成与膜的分离，避免切割机构影响膜的移动。
于本发明的一实施例中，所述切割机构包括与升降机构连接的基座，所述基座上安装有电机，所述电机的输出轴与电子滑环的内圈传动连接，所述电子滑环内圈的下端与旋转轴连接，所述旋转轴上滑动设置有调节轴，所述调节轴的一端连接有割刀底座，所述割刀底座上安装有伸缩导轨，所述伸缩导轨上滑动设置有角度调节座，所述角度调节座的下端转动连接有伸缩导轨，所述加热套套接在割刀本体上，所述割刀本体的后侧设置有滚轮，所述滚轮对应安装在割刀底座上。
通过采用这种技术方案：电机提供转动动力，电机启动后，可以带动电子滑环的内圈转动，电子滑环的内圈转动会带动旋转轴转动，旋转轴转动会带动调节轴以旋转轴的轴心为圆心转动，调节轴转动会带动割刀底座转动，割刀底座转动后，其上连接的割刀本体会转动一周完成晶圆上已贴膜的环形切割，从而完成晶圆贴膜后的割除废膜流程；调节轴滑动设置在旋转轴上，通过改变调节轴在旋转轴上的位置可以改变割刀本体的圆割直径大小以适应不同大小的晶圆上的废膜切除；割刀底座与割刀本体之间设置的伸缩导轨可以提供割刀本体的缓冲导向；割刀底座与割刀本体之间设置的角度调节座可以调整割刀本体的角度；加热套可以增加割刀本体的温度，可以通过增加割刀本体的温度来降低切割刀切入膜的难度，使切割流程更加顺利的完成；滚轮可以紧跟割刀本体后面，边割变压，防止割膜边缘有轻微褶皱、气泡或翘起。
于本发明的一实施例中，所述张膜机构包括设置在工作台两侧的移动模组，所述移动模组上设置有第二立板，两侧所述第二立板之间转动设置有张膜尼龙轴和挡膜杆；
所述张膜尼龙轴的主体为圆柱体，所述圆柱体的两端均圆弧过渡连接圆锥体。
通过采用这种技术方案：第二立板可以在移动模组上移动，从而带动张膜尼龙轴移动，张膜尼龙轴移动可以撑紧新膜，为后续拉张膜作业提供便利；张膜尼龙轴为圆柱体组接圆锥体的形式，可以使膜平铺在张膜尼龙轴表面，后续膜进行拉张时不易出现褶皱的现象。
于本发明的一实施例中，两侧所述第二立板上均安装有伸缩气缸，两侧所述伸缩气缸的伸出端分别与底板的两端固定，所述底板上安装有防撞检测的光电传感器以及对称设置的张合气缸，所述张合气缸的伸出端连接有拉膜压块，所述拉膜压块与拉膜橡胶圈相对，所述拉膜橡胶圈套设在滑杆上，所述滑杆固定连接在两侧第二立板之间，且滑杆与张膜尼龙轴和挡膜杆相互平行。
通过采用这种技术方案：伸缩气缸启动后，可以带动底板向拉膜橡胶圈一侧移动，底板移动时会携带张合气缸和张合气缸伸出端连接的拉膜压块向拉膜橡胶圈移动并夹持住新膜，然后启动张合气缸可以带动夹持住的膜向两侧进行移动，从而完成膜的张拉。
于本发明的一实施例中，所述压膜机构包括第一立板，所述第一立板设置在移动模组上，两侧所述第一立板之间转动连接有贴膜轮。
通过采用这种技术方案：第一立板可以在移动模组上移动，第一立板移动时，其上连接的贴膜轮可以将拉张后的膜附压在晶圆上，从而完成相应的贴膜流程。
于本发明的一实施例中，所述贴膜机本体上对应上料部的外侧设置有第一料台和第二料台；所述贴膜机本体上对应贴膜部的位置设置有方便调节贴膜部内部结构的调节窗和开关门，所述开关门上设置有操作面板。
通过采用这种技术方案：第一料台和第二料台可以方便上下料，并提供上下料的放置位置；调节窗和开关门可以方便贴膜部内部机构的维护和调节；操作面板提供整体的操控位置。
于本发明的一实施例中，所述贴膜机本体上设置有风机过滤机组；所述贴膜机本体上开设有与风机过滤机组对应的进出风口以及与风机过滤机组上调节旋钮对应的旋钮调节口。
通过采用这种技术方案：增设风机过滤机组，实现装置内外换气的同时，保证气体的洁净度，避免杂质影响晶圆贴膜的良率。
于本发明的一实施例中，所述贴膜机本体上设置有急停按钮。
通过采用这种技术方案：急停按钮可以控制整机急停，以应对突发情况，避免造成不可挽回的事故。
如上所述，本发明的一种全自动BG贴膜机，具有以下有益效果：整机内部设置有上下料机构、送膜机构、张膜机构、压膜机构和切割机构，可以完成晶圆的全自动化放入、贴膜和取出流程，增加了晶圆的贴膜效率，并减少了工人劳动力；工作台上设置有升降吸盘，可以在晶圆上下料前后将晶圆撑起以配合上下料机构完成晶圆的精准取放，并且转运机械手在携持晶圆上料前会经校准器校准晶圆的夹持位置，能够保证晶圆上料位置的精准度和稳定性；通过设置张膜尼龙轴来配合膜的张拉，除了能够保证拉张膜流程正常完成之外，还能够避免膜出现褶皱，保证膜的平整度以增加后续晶圆的贴膜良率；切割机构中的割刀本体能够完成圆割半径调节、温度调节和倾斜度调节，可以适应不同大小晶圆上废膜的切除，实用性较高；推广应用具有良好的经济效益和社会效益。
附图说明
图1是本发明的立体图。
图2是本发明的俯视图。
图3是本发明的贴膜部内组件示意图。
图4是本发明的张膜机构示意图。
图5是本发明的工作台立体图。
图6是本发明的切割机构立体图。
图中：1.贴膜机本体；2.操作面板；3.调节窗；4.第一料台；5.开关门；6.ffu进出风口；7.ffu旋钮调节口；8.急停按钮；10.第二料台；11.贴膜部；12.上料部；13.转运机械手；14.校准器；15.基座；101.基板；102.第一卷辊；103.夹膜铝管；104.夹膜压块；105.夹膜气缸；107.切割机构；108.升降机构；109.放膜辊；111.第二卷辊；112.张膜铝管；113.张膜尼龙轴；114.光电传感器；115.贴膜轮；116.拉膜橡胶圈；117.拉膜压块；118.第一立板；119.挡膜杆；120.第二立板；121.工作台；122.移动模组；123.升降吸盘；124.真空细槽；125.割刀槽；126.底板；127.张合气缸；128.伸缩气缸；151.电机；152.电子滑环；153.旋转轴；154.调节轴；155.割刀底座；156.伸缩导轨；157.角度调节座；158.加热套；159.割刀本体；160.滚轮。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
请参阅图1-6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
请参阅图2，一种全自动BG贴膜机，包括贴膜机本体1，贴膜机本体1的内部工作空间分为贴膜部11和上料部12。通过采用这种技术方案：贴膜部11为贴膜工作空间，上料部12为上料工作空间，相互配合且又不相互影响，为全自动化贴膜流程提供前提作业空间。
进一步的，请参阅图3，贴膜部11的内部上侧设置有基板101，基板101上安装有送膜机构和切割机构107；
进一步的，送膜机构包括安装在基板101上的第一卷辊102、夹膜组件、放膜辊109、第二卷辊111和张膜铝管112；第一卷辊102用于卷绕废膜；夹膜组件用于夹置固定膜带，夹膜组件包括夹膜铝管103、夹膜压块104和夹膜气缸105，夹膜压块104与夹膜铝管103的外壁相对并连接在夹膜气缸105的伸出端；放膜辊109用于穿设新膜卷；第二卷辊111用于卷绕由新膜带上分离出的离型纸；张膜铝管112用于分离新膜带和离型纸；通过采用这种技术方案：送膜机构送膜时，由放膜辊109转动放出新膜带，新膜带在张膜铝管112的作用下分为新膜和离型纸两部分，新膜被切割机构107切割后剩余的废膜部分会绕过夹膜组件绕在第一卷辊102上进行收集，离型纸会直接绕在第二卷辊111上进行收集；夹膜机构主要是用于夹持废膜带完成膜带的固定，保证拉膜和压膜过程中废膜带的张紧状态，避免影响拉膜、压膜和贴膜无法正常完成。
进一步的，切割机构107与基板101之间设置有升降机构108并通过升降机构108带动切割机构107在基板101上升降移动；通过采用这种技术方案：升降机构108增加切割机构107的升降功能，确保切割机构107对膜进行切割时切割机构107上的切割刀能够下降至与膜接触，并能够在切割完成后上升完成与膜的分离，避免切割机构107影响膜的移动。
进一步的，请参阅图3和6，切割机构107包括与升降机构108连接的基座15，基座15上安装有电机151，电机151的输出轴与电子滑环152的内圈传动连接，电子滑环152内圈的下端与旋转轴153连接，旋转轴153上滑动设置有调节轴154，调节轴154的一端连接有割刀底座155，割刀底座155上安装有伸缩导轨156，伸缩导轨156上滑动设置有角度调节座157，角度调节座157的下端转动连接有伸缩导轨156，加热套158套接在割刀本体159上，割刀本体159的后侧设置有滚轮160，滚轮160对应安装在割刀底座155上。通过采用这种技术方案：电机151提供转动动力，电机151启动后，可以带动电子滑环152的内圈转动，电子滑环152的内圈转动会带动旋转轴153转动，旋转轴153转动会带动调节轴154以旋转轴153的轴心为圆心转动，调节轴154转动会带动割刀底座155转动，割刀底座155转动后，其上连接的割刀本体159会转动一周完成晶圆上已贴膜的环形切割，从而完成晶圆贴膜后的割除废膜流程；调节轴154滑动设置在旋转轴153上，通过改变调节轴154在旋转轴153上的位置可以改变割刀本体159的圆割直径大小以适应不同大小的晶圆上的废膜切除；割刀底座155与割刀本体159之间设置的伸缩导轨156可以提供割刀本体159的缓冲导向；割刀底座155与割刀本体159之间设置的角度调节座157可以调整割刀本体159的角度；加热套158可以增加割刀本体159的温度，可以通过增加割刀本体159的温度来降低切割刀切入膜的难度，使切割流程更加顺利的完成；滚轮160可以紧跟割刀本体159后面，边割变压，防止割膜边缘有轻微褶皱、气泡或翘起。
进一步的，请参阅图3和5，贴膜部11的内部下侧对应切割机构107的正下方设置有工作台121，工作台121的下方设置有升降气缸，升降气缸伸出端连接有升降吸盘123，升降吸盘123向上穿出工作台121的顶面；工作台121的顶端面设置有真空细槽124和割刀槽125。通过采用这种技术方案：晶圆上料至贴膜部11内部放在工作台121上后，工作台121上的升降吸盘123和真空细槽124配合能够完成晶圆的固定，晶圆固定后，由上部的送膜机构供送新膜，新膜可以在张膜机构的作用下进行拉张，拉张后的新膜可以在压膜机构的作用下压附在工作台121上晶圆的表面，然后切割机构107启动，切割机构107可以将晶圆周边多余的废膜切除，到此完成晶圆的自动贴膜流程；割刀槽125提供切割让位，避免割刀对工作台121造成破坏；升降吸盘123带有升降功能，能够在晶圆上下料之前支撑起晶圆，使得晶圆距工作台121表面有一定的距离来配合转运夹持机构，一方面可以方便转运夹持机构伸入晶圆底部完成对晶圆的夹持，另一方面可以保证晶圆放在工作台121上的位置精准度。
进一步的，请参阅图3，工作台121的邻侧设置有用于拉张膜的张膜机构和用于将拉张后膜压贴在晶圆上的压膜机构。
进一步的，请参阅图4，张膜机构包括设置在工作台121两侧的移动模组122，移动模组122上设置有第二立板120，两侧第二立板120之间转动设置有张膜尼龙轴113和挡膜杆119；
张膜尼龙轴113的主体为圆柱体，圆柱体的两端均圆弧过渡连接圆锥体；通过采用这种技术方案：第二立板120可以在移动模组122上移动，从而带动张膜尼龙轴113移动，张膜尼龙轴113移动可以撑紧新膜，为后续拉张膜作业提供便利；张膜尼龙轴113为圆柱体组接圆锥体的形式，可以使膜平铺在张膜尼龙轴113表面，后续膜进行拉张时不易出现褶皱的现象。
进一步的，两侧第二立板120上均安装有伸缩气缸128，两侧伸缩气缸128的伸出端分别与底板126的两端固定，底板126上安装有防撞检测的光电传感器114以及对称设置的张合气缸127，张合气缸127的伸出端连接有拉膜压块117，拉膜压块117与拉膜橡胶圈116相对，拉膜橡胶圈116套设在滑杆上，滑杆固定连接在两侧第二立板120之间，且滑杆与张膜尼龙轴113和挡膜杆119相互平行。通过采用这种技术方案：伸缩气缸128启动后，可以带动底板126向拉膜橡胶圈116一侧移动，底板126移动时会携带张合气缸127和张合气缸127伸出端连接的拉膜压块117向拉膜橡胶圈116移动并夹持住新膜，然后启动张合气缸127可以带动夹持住的膜向两侧进行移动，从而完成膜的张拉。
进一步的，请参阅图3，压膜机构包括第一立板118，第一立板118设置在移动模组122上，两侧第一立板118之间转动连接有贴膜轮115。通过采用这种技术方案：第一立板118可以在移动模组122上移动，第一立板118移动时，其上连接的贴膜轮115可以将拉张后的膜附压在晶圆上，从而完成相应的贴膜流程。
请参阅图1，贴膜机本体1上对应上料部12的外侧设置有第一料台4和第二料台10；贴膜机本体1上对应贴膜部11的位置设置有方便调节贴膜部11内部结构的调节窗3和开关门5，开关门5上设置有操作面板2；通过采用这种技术方案：第一料台4和第二料台10可以方便上下料，并提供上下料的放置位置；调节窗3和开关门5可以方便贴膜部11内部机构的维护和调节；操作面板2提供整体的操控位置。
进一步的，贴膜机本体1上设置有风机过滤机组；贴膜机本体1上开设有与风机过滤机组对应的进出风口6以及与风机过滤机组上调节旋钮对应的旋钮调节口7；通过采用这种技术方案：增设风机过滤机组，实现装置内外换气的同时，保证气体的洁净度，避免杂质影响晶圆贴膜的良率。
进一步的，贴膜机本体1上设置有急停按钮8。通过采用这种技术方案：急停按钮8可以控制整机急停，以应对突发情况，避免造成不可挽回的事故。
具体实施时，将装晶圆的料盒放置于上料台上；启动机器，转运机械手13先将晶圆搬运至校准器14上进行校准，校准完成后转移至工作台121上；在晶圆搬运至工作台121上之前，送膜机构送出新膜至工作台121的正上方，张膜机构进行膜的张拉，转运机械手13从膜下方将晶圆搬运至工作台121上，晶圆被工作台121上的升降吸盘123和真空细槽124吸附固定之后，压膜机构带动贴膜轮115结构开始向缓慢运动，此过程贴膜轮115处于下压状态，一个来回之后贴膜轮115将膜紧贴在晶圆表面，然后切割机构107结构开始下降完成圆割切膜工作，割完之后，晶圆将与轮廓之外的膜分离，之后张膜机构回至原位，废膜卷绕在第一卷辊102上，此时，工作台121上的升降吸盘123会将晶圆顶起，以便转运机械手13将其搬运至成品空料盒中；然后循环此过程完成下一片晶圆的贴膜。
综上所述，本发明的一种全自动BG贴膜机，具有以下有益效果：整机内部设置有上下料机构、送膜机构、张膜机构、压膜机构和切割机构107，可以完成晶圆的全自动化放入、贴膜和取出流程，增加了晶圆的贴膜效率，并减少了工人劳动力；工作台121上设置有升降吸盘123，可以在晶圆上下料前后将晶圆撑起以配合上下料机构完成晶圆的精准取放，并且转运机械手13在携持晶圆上料前会经校准器14校准晶圆的夹持位置，能够保证晶圆上料位置的精准度和稳定性；通过设置张膜尼龙轴113来配合膜的张拉，除了能够保证拉张膜流程正常完成之外，还能够避免膜出现褶皱，保证膜的平整度以增加后续晶圆的贴膜良率；切割机构中的割刀本体159能够完成圆割半径调节、温度调节和倾斜度调节，可以适应不同大小晶圆上废膜的切除，实用性较高；推广应用具有良好的经济效益和社会效益。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (10)
1.一种全自动BG贴膜机，包括贴膜机本体(1)，其特征在于：所述贴膜机本体(1)的内部工作空间分为贴膜部(11)和上料部(12)；
所述贴膜部(11)的内部上侧设置有基板(101)，所述基板(101)上安装有送膜机构和切割机构(107)；
所述贴膜部(11)的内部下侧对应切割机构(107)的正下方设置有工作台(121)，所述工作台(121)的邻侧设置有用于拉张膜的张膜机构和用于将拉张后膜压贴在晶圆上的压膜机构；
所述工作台(121)的下方设置有升降气缸，所述升降气缸伸出端连接有升降吸盘(123)，所述升降吸盘(123)向上穿出工作台(121)的顶面；
所述工作台(121)的顶端面设置有真空细槽(124)和割刀槽(125)；
所述上料部(12)的内部设置有用于晶圆转运的转运机械手(13)和用于校准晶圆在转运机械手(13)上夹持位置的校准器(14)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述送膜机构包括安装在基板(101)上的第一卷辊(102)、夹膜组件、放膜辊(109)、第二卷辊(111)和张膜铝管(112)；所述第一卷辊(102)用于卷绕废膜；所述夹膜组件用于夹置固定膜带，所述夹膜组件包括夹膜铝管(103)、夹膜压块(104)和夹膜气缸(105)，所述夹膜压块(104)与夹膜铝管(103)的外壁相对并连接在夹膜气缸(105)的伸出端；所述放膜辊(109)用于穿设新膜卷；所述第二卷辊(111)用于卷绕由新膜带上分离出的离型纸；所述张膜铝管(112)用于分离新膜带和离型纸。
3.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述切割机构(107)与基板(101)之间设置有升降机构(108)并通过所述升降机构(108)带动切割机构(107)在基板(101)上升降移动。
4.根据权利要求3所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述切割机构(107)包括与升降机构(108)连接的基座(15)，所述基座(15)上安装有电机(151)，所述电机(151)的输出轴与电子滑环(152)的内圈传动连接，所述电子滑环(152)内圈的下端与旋转轴(153)连接，所述旋转轴(153)上滑动设置有调节轴(154)，所述调节轴(154)的一端连接有割刀底座(155)，所述割刀底座(155)上安装有伸缩导轨(156)，所述伸缩导轨(156)上滑动设置有角度调节座(157)，所述角度调节座(157)的下端转动连接有伸缩导轨(156)，所述加热套(158)套接在割刀本体(159)上，所述割刀本体(159)的后侧设置有滚轮(160)，所述滚轮(160)对应安装在割刀底座(155)上。
5.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述张膜机构包括设置在工作台(121)两侧的移动模组(122)，所述移动模组(122)上设置有第二立板(120)，两侧所述第二立板(120)之间转动设置有张膜尼龙轴(113)和挡膜杆(119)；
所述张膜尼龙轴(113)的主体为圆柱体，所述圆柱体的两端均圆弧过渡连接圆锥体。
6.根据权利要求5所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：两侧所述第二立板(120)上均安装有伸缩气缸(128)，两侧所述伸缩气缸(128)的伸出端分别与底板(126)的两端固定，所述底板(126)上安装有防撞检测的光电传感器(114)以及对称设置的张合气缸(127)，所述张合气缸(127)的伸出端连接有拉膜压块(117)，所述拉膜压块(117)与拉膜橡胶圈(116)相对，所述拉膜橡胶圈(116)套设在滑杆上，所述滑杆固定连接在两侧第二立板(120)之间，且滑杆与张膜尼龙轴(113)和挡膜杆(119)相互平行。
7.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述压膜机构包括第一立板(118)，所述第一立板(118)设置在移动模组(122)上，两侧所述第一立板(118)之间转动连接有贴膜轮(115)。
8.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述贴膜机本体(1)上对应上料部(12)的外侧设置有第一料台(4)和第二料台(10)；所述贴膜机本体(1)上对应贴膜部(11)的位置设置有方便调节贴膜部(11)内部结构的调节窗(3)和开关门(5)，所述开关门(5)上设置有操作面板(2)。
9.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述贴膜机本体(1)上设置有风机过滤机组；所述贴膜机本体(1)上开设有与风机过滤机组对应的进出风口(6)以及与风机过滤机组上调节旋钮对应的旋钮调节口(7)。
10.根据权利要求1所述的一种全自动BG贴膜机，其特征在于：所述贴膜机本体(1)上设置有急停按钮(8)。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115285420A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-11-04 | 华天科技（西安）有限公司 | 一种自动贴膜机 |
| CN115384883A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-11-25 | 佛山市川东磁电股份有限公司 | 一种热电堆传感器芯片加工用覆膜封装设备 |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011091121A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Csun Mfg Ltd | ウエハラミネータドライフィルム伝送機構 |
| CN103786917A (zh) * | 2014-02-19 | 2014-05-14 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种电子产品贴膜机 |
| CN208344614U (zh) * | 2017-12-19 | 2019-01-08 | 海太半导体（无锡）有限公司 | 贴膜设备切膜角度控制系统 |
| CN209667455U (zh) * | 2019-01-23 | 2019-11-22 | 无锡先导智能装备股份有限公司 | 电芯贴膜机 |
| CN210391685U (zh) * | 2019-07-30 | 2020-04-24 | 现代精密贴标技术(深圳)有限公司 | 贴膜机 |
| CN210391684U (zh) * | 2019-07-30 | 2020-04-24 | 现代精密贴标技术(深圳)有限公司 | 贴膜装置及贴膜机 |
| CN111710622A (zh) * | 2019-03-18 | 2020-09-25 | 广东思沃精密机械有限公司 | 贴膜机 |
| CN111739821A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-10-02 | 东莞思沃智能装备有限公司 | 晶圆贴膜机 |
| CN212648193U (zh) * | 2020-08-18 | 2021-03-02 | 无锡电基集成科技有限公司 | 一种晶圆贴膜装置 |
| CN112978357A (zh) * | 2021-02-22 | 2021-06-18 | 苏州世椿新能源技术有限公司 | 一种燃料电池单元的上下料设备 |
| CN113571448A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-10-29 | 韦有乾 | 一种晶圆自动贴膜机 |
| CN216186360U (zh) * | 2021-11-08 | 2022-04-05 | 苏州贝尔龙机电设备有限公司 | 一种新型贴膜机 |
-
2022
- 2022-05-13 CN CN202210520276.7A patent/CN114735275A/zh active Pending
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011091121A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Csun Mfg Ltd | ウエハラミネータドライフィルム伝送機構 |
| CN103786917A (zh) * | 2014-02-19 | 2014-05-14 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种电子产品贴膜机 |
| CN208344614U (zh) * | 2017-12-19 | 2019-01-08 | 海太半导体（无锡）有限公司 | 贴膜设备切膜角度控制系统 |
| CN209667455U (zh) * | 2019-01-23 | 2019-11-22 | 无锡先导智能装备股份有限公司 | 电芯贴膜机 |
| CN111710622A (zh) * | 2019-03-18 | 2020-09-25 | 广东思沃精密机械有限公司 | 贴膜机 |
| CN210391685U (zh) * | 2019-07-30 | 2020-04-24 | 现代精密贴标技术(深圳)有限公司 | 贴膜机 |
| CN210391684U (zh) * | 2019-07-30 | 2020-04-24 | 现代精密贴标技术(深圳)有限公司 | 贴膜装置及贴膜机 |
| CN111739821A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-10-02 | 东莞思沃智能装备有限公司 | 晶圆贴膜机 |
| CN212648193U (zh) * | 2020-08-18 | 2021-03-02 | 无锡电基集成科技有限公司 | 一种晶圆贴膜装置 |
| CN112978357A (zh) * | 2021-02-22 | 2021-06-18 | 苏州世椿新能源技术有限公司 | 一种燃料电池单元的上下料设备 |
| CN113571448A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-10-29 | 韦有乾 | 一种晶圆自动贴膜机 |
| CN216186360U (zh) * | 2021-11-08 | 2022-04-05 | 苏州贝尔龙机电设备有限公司 | 一种新型贴膜机 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115285420A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-11-04 | 华天科技（西安）有限公司 | 一种自动贴膜机 |
| CN115384883A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-11-25 | 佛山市川东磁电股份有限公司 | 一种热电堆传感器芯片加工用覆膜封装设备 |
| CN115384883B (zh) * | 2022-10-27 | 2023-02-03 | 佛山市川东磁电股份有限公司 | 一种热电堆传感器芯片加工用覆膜封装设备 |
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