CN114717656A - 激光晶化设备 - Google Patents

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三宫晓史
柳济吉
朴喆镐
李惠淑
全镇弘
蔡永洙
韩圭完
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Abstract

根据实施例的激光晶化设备包括：光源单元，照射激光束；以及光学单元，激光束入射到光学单元，其中，光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且基于与激光束的入射方向平行的方向，第一部分的第一宽度和第二部分的第二宽度在结合表面上彼此相同。

Description

激光晶化设备
相关申请的交叉引用
本申请要求于2021年1月5日提交的第10-2021-0000899号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请出于所有目的通过引用包含于此，如同在此充分阐述一样。
技术领域
发明的实施例总体上涉及一种激光晶化设备。
背景技术
作为平板显示装置的类型的液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)显示器可以被制造成薄且轻，因此它们通常用作用于移动电子装置的显示装置，并且它们的应用范围正在扩展到大型显示装置。特别地，随着对需要高速操作特性的显示装置的需求的出现，对这种显示装置的研究正在积极进行。
为了满足显示装置的高速操作特性，薄膜晶体管(TFT)的沟道区通过使用多晶硅代替非晶硅来形成。
作为形成多晶硅的方法，已经公开了使用激光的退火方法。
同时，随着用于形成显示装置的玻璃基底变得越来越大，重要的是在宽区域(widearea)上照射激光束。
在本背景技术部分中公开的上述信息仅用于理解发明构思的背景，因此，其可以包含不构成现有技术的信息。
发明内容
实施例旨在提供一种能够将激光束照射到大区域(或宽区域)而不增加制造成本的激光晶化设备。
发明构思的附加特征将在下面的描述中阐述，并且部分地，通过该描述将是明显的，或者可以通过实践发明构思而获知。
根据实施例的激光晶化设备包括：光源单元，照射激光束；以及光学单元，所述激光束在入射方向上入射到所述光学单元。所述光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且基于与所述激光束的所述入射方向平行的方向，所述第一部分的第一宽度和所述第二部分的第二宽度在所述结合表面上彼此相同。
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的方向，所述第一部分的第一长度和所述第二部分的第二长度可以彼此不同。
所述第一部分和所述第二部分可以通过光学接触结合或焊接而结合。
所述结合表面可以与所述激光束的所述入射方向平行。
所述结合表面可以倾斜以与所述激光束的所述入射方向形成预定角度。
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的方向，所述结合表面的宽度可以是所述光学单元的长度的约0.3％至约0.6％。
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的所述方向，所述光学单元的所述长度可以是约2000mm至约2500mm。
根据另一实施例的激光晶化设备包括：光源单元，照射激光束；以及光学单元，所述激光束在入射方向上入射到所述光学单元，并且所述光学单元包括多个子光学单元，其中，所述多个子光学单元中的每个子光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且基于与所述激光束的所述入射方向平行的方向，所述多个子光学单元顺序地布置。
所述多个子光学单元可以包括第一子光学单元和第二子光学单元，并且基于与所述激光束的所述入射方向垂直的方向，所述第一子光学单元的所述第一部分的长度可以不同于所述第二子光学单元的所述第一部分的长度。
所述第一子光学单元的所述结合表面和所述第二子光学单元的所述结合表面可以设置成在与所述激光束的所述入射方向垂直的所述方向上彼此偏移。
基于与所述激光束的所述入射方向平行的所述方向，所述第一部分的第一宽度和所述第二部分的第二宽度在所述结合表面上可以彼此相同。
所述第一子光学单元的所述结合表面和所述第二子光学单元的所述结合表面可以平行于所述激光束的所述入射方向。
所述第一子光学单元的所述结合表面和所述第二子光学单元的所述结合表面可以倾斜以与所述激光束的所述入射方向形成预定角度。
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的所述方向，所述第一子光学单元的所述结合表面的宽度可以是所述第一子光学单元的长度的约0.3％至约0.6％。
所述第一子光学单元的所述长度可以是约2000mm至约2500mm。
所述多个子光学单元可以设置成沿所述激光束的所述入射方向结合。
所述多个子光学单元可以设置成沿所述激光束的所述入射方向彼此分开。
根据实施例的激光晶化设备包括：光源单元，照射激光束；以及光学单元，所述激光束在入射方向上入射到所述光学单元，所述光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且所述结合表面倾斜以与所述激光束的所述入射方向形成预定角度。
根据实施例的激光晶化设备，激光束可以照射到大尺寸的区域(或宽区域)而不增加制造成本。
实施例的效果不限于上面所描述的效果，并且明显的是，可以在不脱离实施例的精神和范围的范围内进行各种扩展。
将理解的是，前面的一般性描述和下面的详细描述都是示例性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的发明的进一步解释。
附图说明
附图示出了发明的示例性实施例，并且与描述一起用于解释发明构思，附图被包括以提供对发明的进一步理解，并且被并入本说明书中并构成本说明书的一部分。
图1是示出根据实施例的激光晶化设备的示意性透视图。
图2是示出图1的激光晶化设备的一部分的视图。
图3是示出根据实施例的激光晶化设备的布局图。
图4是概念性地示出图3的激光晶化设备的光学单元的透视图。
图5是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
图6是图5的光学单元的分解透视图。
图7是概念性地示出根据实施例的穿过激光晶化设备的光学单元的激光束的强度变化的曲线图。
图8是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
图9是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
图10是图9的光学单元的分解透视图。
图11是概念性地示出根据另一实施例的穿过激光晶化设备的光学单元的激光束的强度变化的曲线图。
图12是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
具体实施方式
在以下描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节，以提供对发明的各种示例性实施例或实施方式的彻底的理解。如在此使用的，“实施例”和“实施方式”是作为采用在此公开的一个或多个发明构思的装置或方法的非限制性示例的可互换的词。然而，明显的是，可以在没有这些具体细节或具有一个或多个等效布置的情况下实践各种示例性实施例。在其他情况下，为了避免不必要地模糊各种示例性实施例，以框图形式示出了公知的结构和装置。此外，各种示例性实施例可以是不同的，但不必是排斥的。例如，在不脱离发明构思的情况下，可以在另一示例性实施例中使用或实现示例性实施例的特定形状、配置和特性。
除非另有说明，否则所示的示例性实施例将被理解为提供可以在实践中实现发明构思的一些方式的不同细节的示例性特征。因此，除非另有说明，否则在不脱离发明构思的情况下，各种实施例的特征、组件、模块、层、膜、面板、区域和/或方面等(下文中，单独地或统一地称为“元件”)可以另外进行组合、分离、互换和/或重排。
通常在附图中提供使用交叉影线和/或阴影来阐明相邻元件之间的边界。如此，除非指明，否则交叉影线或阴影的存在或不存在均不表达或表示对特殊材料、材料性质、尺寸、比例、所示元件之间的共性和/或元件的任何其他特性、属性、性质等的任何偏好或要求。此外，在附图中，为了清楚和/或描述的目的，可以夸大元件的尺寸和相对尺寸。当可以不同地实现示例性实施例时，可以不同于所描述的顺序来执行具体的工艺顺序。例如，可以基本上同时执行或者以与所描述的顺序相反的顺序执行两个连续描述的工艺。另外，同样的附图标记表示同样的元件。
当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“结合到”另一元件或层时，它可以直接在所述另一元件或层上、直接连接到或直接结合到所述另一元件或层，或者可以存在居间元件或层。然而，当元件或层被称为“直接在”另一元件或层“上”、“直接连接到”或“直接结合到”另一元件或层时，不存在居间元件或层。因此，术语“连接”可以指具有或不具有居间元件的物理连接、电气连接和/或流体连接。此外，第一方向dx、第二方向dy和第三方向dz不限于直角坐标系的三个轴(诸如x轴、y轴和z轴)，并且可以以更广泛的意义进行解释。例如，第一方向dx、第二方向dy和第三方向dz可以彼此垂直，或者可以表示彼此不垂直的不同方向。如在此使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项的任何组合和所有组合。
尽管在此可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种类型的元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在不脱离本公开的教导的情况下，下面讨论的第一元件可以被称为第二元件。
出于描述的目的，可以在此使用诸如“在……之下”、“在……下方”、“在……下面”、“下”、“在……上方”、“上”、“在……之上”、“较高的”和“侧”(例如，如在“侧壁”中)等的空间相对术语，从而来描述如附图中示出的一个元件与另外的元件的关系。空间相对术语旨在除了附图中描绘的方位之外还包括设备在使用、操作和/或制造中的不同方位。例如，如果附图中的设备被翻转，则被描述为“在”其他元件或特征“下方”或“之下”的元件随后将被定位为“在”所述其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可以包括在……上方和在……下方两种方位。此外，设备可以被另外地定位(例如，旋转90度或处于其他方位处)，如此，相应地解释在此使用的空间相对术语。
在此使用的术语出于描述具体实施例的目的，而不意图成为限制。如在此使用的，除非上下文另外明确地指出，否则单数形式“一”、“一种(者/个)”和“该(所述)”也旨在包括复数形式。此外，当在本说明书中使用术语“包括”、“包含”、“含有”和/或“具有”时，说明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。还要注意的是，如在此使用的，术语“基本(上)”、“大约(约)”和其它类似的术语被用作近似术语而不用作程度术语，并且如此，被用于解释由本领域普通技术人员将认可的测量值、计算值和/或提供值的固有偏差。
在此参照作为理想化的示例性实施例和/或中间结构的示意图的剖视图和/或分解图来描述各种示例性实施例。如此，将预期出现例如由制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化。因此，在此公开的示例性实施例不应被解释为限于具体示出的区域的形状，而是包括由例如制造导致的形状的偏差。以这种方式，附图中示出的区本质上可以是示意性的，并且这些区的形状可以不反映装置的区的实际形状，并且如此，不必意图成为限制。
除非另外定义，否则在此使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开是其一部分的领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。术语(诸如在通用字典中定义的术语)应被解释为具有与它们在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想的或过于正式的含义进行解释，除非在此明确这样定义。
图1是示出根据实施例的激光晶化设备的示意性透视图，并且图2是示出图1的激光晶化设备的一部分的视图。
首先，参考图1，根据本实施例的激光晶化设备包括光源单元LS、第一光学单元OP1、第二光学单元M、第三光学单元OP2、第四光学单元W1、第五光学单元W2和传送台18。
根据第三方向dz，包括非晶硅(a-Si)薄膜16的基底14设置在传送台18上，并且从根据本实施例的激光晶化设备产生的线型的激光束20在平行于第三方向dz的方向上从上到下照射到非晶硅薄膜16，以沿着扫描方向进行扫描。
此时，激光束20的位置是固定的，并且传送台18可以在传送方向a2上移动。也就是说，通过传送台18的移动，激光束20在与传送方向a2相反的方向的扫描方向上扫描待照射的非晶硅薄膜16，并且扫描区域16a的非晶硅可以在熔化之后通过固化工艺转化为多晶硅(Poly-Si)。
激光束20可以具有在第一方向dx上延伸的线形，并且当在第一方向dx和第二方向dy上照射均匀强度的激光束时，可以均匀地完成改变为多晶硅的晶化操作。
第一光学单元OP1可以是长轴透镜(long-axis lens)，第二光学单元M可以是反射镜，第三光学单元OP2可以是短轴透镜(short-axis lens)，并且第四光学单元W1和第五光学单元W2可以是窗。短轴透镜可以是聚光透镜或成像透镜，但是实施例不限于此。第一光学单元OP1、第二光学单元M、第三光学单元OP2、第四光学单元W1和第五光学单元W2不限于此，并且可以是不同的光学设备。
从光源单元LS供应的激光束B穿过第一光学单元OP1并在长轴方向上会聚，并且在其路径在第二光学单元M中转换之后穿过第三光学单元OP2并在短轴方向上发散，穿过第四光学单元W1和第五光学单元W2，以作为线形的激光束20供应。如图2中所示，激光束B可以包括多个共线光束。
根据所示实施例的激光晶化设备，激光晶化设备被描述为包括第一光学单元OP1、第二光学单元M、第三光学单元OP2、第四光学单元W1和第五光学单元W2，然而实施例不限于此。可以进一步包括多个不同的光学系统，并且可以省略第一光学单元OP1、第二光学单元M、第三光学单元OP2、第四光学单元W1和第五光学单元W2中的一些。
接下来，参考图3和图4更详细地描述根据实施例的激光晶化设备的光学单元。图3是示出根据实施例的激光晶化设备的布局图，并且图4是概念性地示出图3的激光晶化设备的光学单元的透视图。
参考图3，根据实施例的激光晶化设备包括从光源单元LS供应的激光束B穿过的第一光学单元OP1、第二光学单元M、第三光学单元OP2、第四光学单元W1和第五光学单元W2。
第一光学单元OP1包括第一部分OP1a和第二部分OP1b。第一光学单元OP1的第一部分OP1a和第一光学单元OP1的第二部分OP1b彼此结合。第一光学单元OP1的第一部分OP1a和第一光学单元OP1的第二部分OP1b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合。
第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La和第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb可以彼此不同，但是实施例不限于此。第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La和第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb可以彼此相同。这里，第一长度La和第二长度Lb是基于与激光束B入射至第一光学单元OP1的方向垂直的方向测量的长度。下文中，可以使用“激光束B的入射方向”表示激光束B入射至对应光学单元(例如，第一光学单元OP1、第二光学单元M、第三光学单元OP2、第四光学单元W1或第五光学单元W2；或者，子光学单元O1、O2、O3、O4或O5等)的方向。
第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La与第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb的总和La+Lb可以是约2000mm至2500mm。
第一光学单元OP1的第一部分OP1a和第一光学单元OP1的第二部分OP1b的结合部分可以与激光束B的入射方向平行，并且在第一光学单元OP1的第一部分OP1a和第一光学单元OP1的第二部分OP1b的结合部分处，第一光学单元OP1的第一部分OP1a的在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度和第一光学单元OP1的第二部分OP1b的在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度可以相同。此外，第一部分OP1a和第二部分OP1b的宽度可以随着第一光学单元OP1的表面从其中心向下弯曲到其外边缘而变化。
类似地，第二光学单元M包括彼此结合的第一部分Ma和第二部分Mb，并且第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La和第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb可以不同，但是实施例不限于此。第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La和第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb可以彼此相同。第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La与第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb的总和La+Lb可以是约2000mm至2500mm。这里，第一长度La和第二长度Lb是基于与激光束B入射至第二光学单元M的方向垂直的方向测量的长度。
此外，第二光学单元M的第一部分Ma和第二光学单元M的第二部分Mb的结合部分可以与激光束B的入射方向平行。在第二光学单元M的第一部分Ma和第二光学单元M的第二部分Mb的结合部分处，第二光学单元M的第一部分Ma在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度和第二光学单元M的第二部分Mb在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度可以相同。
类似地，第三光学单元OP2包括彼此结合的第一部分OP2a和第二部分OP2b，并且第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La和第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb可以不同，但是实施例不限于此。第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La和第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb可以彼此相同。第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La和第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb的总和La+Lb可以约为2000mm至2500mm。这里，第一长度La和第二长度Lb是基于与激光束B入射至第三光学单元OP2的方向垂直的方向测量的长度。
另外，第三光学单元OP2的第一部分OP2a和第三光学单元OP2的第二部分OP2b的结合部分可以与激光束B的入射方向平行，并且在第三光学单元OP2的第一部分OP2a和第三光学单元OP2的第二部分OP2b的结合部分处，第三光学单元OP2的第一部分OP2a在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度和第三光学单元OP2的第二部分OP2b在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度可以彼此相同。
另外，第四光学单元W1包括彼此结合的第一部分W1a和第二部分W1b，并且第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La和第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb可以不同，但是实施例不限于此。第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La和第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb可以彼此相同。第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La和第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb的总和La+Lb可以是约2000mm至2500mm。这里，第一长度La和第二长度Lb是基于与激光束B入射至第四光学单元W1的方向垂直的方向测量的长度。
另外，第四光学单元W1的第一部分W1a和第四光学单元W1的第二部分W1b的结合部分可以与激光束B的入射方向平行，并且在第四光学单元W1的第一部分W1a和第四光学单元W1的第二部分W1b的结合部分处，第四光学单元W1的第一部分W1a在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度和第四光学单元W1的第二部分W1b在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度可以彼此相同。
类似地，第五光学单元W2包括彼此结合的第一部分W2a和第二部分W2b，并且第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La和第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb可以不同，但是实施例不限于此。第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La和第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb可以彼此相同。第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La和第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb的总和La+Lb可以是约2000mm至2500mm。这里，第一长度La和第二长度Lb是基于与激光束B入射至第五光学单元W2的方向垂直的方向测量的长度。
此外，第五光学单元W2的第一部分W2a和第五光学单元W2的第二部分W2b的结合部分可以与激光束B的入射方向平行，并且在第五光学单元W2的第一部分W2a和第五光学单元W2的第二部分W2b的结合部分处，第五光学单元W2的第一部分W2a在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度和第五光学单元W2的第二部分W2b在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的宽度可以彼此相同。
第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La可以与第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La不同，或者第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La可以与第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La相同。另外，第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb可以与第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb不同，或者第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb可以与第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb相同。
第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La可以与第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La不同，或者第二光学单元M的第一部分Ma的第一长度La可以与第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La相同。另外，第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb可以与第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb不同，或者第二光学单元M的第二部分Mb的第二长度Lb可以与第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb相同。
第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La可以与第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La不同，或者第三光学单元OP2的第一部分OP2a的第一长度La可以与第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La相同。另外，第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb可以与第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb不同，或者第三光学单元OP2的第二部分OP2b的第二长度Lb可以与第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb相同。
第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La可以与第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La不同，或者第四光学单元W1的第一部分W1a的第一长度La可以与第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La相同。
另外，第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb可以与第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb不同，或者第四光学单元W1的第二部分W1b的第二长度Lb可以与第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb相同。
第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La可以与第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La不同，或者第五光学单元W2的第一部分W2a的第一长度La可以与第一光学单元OP1的第一部分OP1a的第一长度La相同。另外，第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb可以与第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb不同，或者第五光学单元W2的第二部分W2b的第二长度Lb可以与第一光学单元OP1的第二部分OP1b的第二长度Lb相同。
根据图3的实施例，描述了激光晶化设备的光学单元OP1、M、OP2、W1和W2中的每一者包括彼此结合的第一部分和第二部分，然而其不限于此，并且激光晶化设备的光学单元OP1、M、OP2、W1和W2中的至少一个可以包括彼此结合的第一部分和第二部分。
现在，参考图4更详细地描述根据图3的实施例的激光晶化设备的光学单元OP1、M、OP2、W1和W2的结构。
根据图3的实施例的激光晶化设备的光学单元OP1、M、OP2、W1和W2之中的至少一个可以与图4中所示的光学单元OP具有相同的结构。
参考图4，根据实施例的激光晶化设备的光学单元OP包括彼此结合的第一部分Pa和第二部分Pb。光学单元OP的第一部分Pa和第二部分Pb可以包括玻璃。
光学单元OP的第一部分Pa和第二部分Pb可以通过诸如光学接触结合或焊接的结合元件而在第一部分Pa与第二部分Pb之间的边界处彼此结合。光学单元OP的第一部分Pa和第二部分Pb的结合表面Sab可以与激光束B的入射方向平行。
第一部分Pa与第二部分Pb之间的边界处的结合表面Sab包括材料层组合体，该材料层组合体包括第一部分Pa的与边界相邻的部分、结合元件和第二部分Pb的与边界相邻的部分。结合表面Sab可以具有如在此所描述的厚度。
在光学单元OP的第一部分Pa和第二部分Pb的结合表面Sab中，第一部分Pa的在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的第一宽度Wa和第二部分Pb的在与激光束B的入射方向平行的方向上测量的第二宽度Wb可以相同。
随着用于形成显示装置的玻璃基底变得更大，激光晶化设备可以遍及宽区域照射激光束，并且出于该目的，可能增加激光晶化设备的光学单元的尺寸。当用一块玻璃形成具有大尺寸的光学单元时，制造成本增加。
根据实施例的激光晶化设备包括光学单元，该光学单元包括彼此结合的第一部分和第二部分，并且第一部分和第二部分的结合部分可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合。因此，使用包括多个部分的结合表面而不是较大的整体部分，可以更容易地使光学单元的形状和尺寸多样化，并且形成包括具有大尺寸的光学单元的激光晶化设备，而不增加激光晶化设备的制造成本。
接下来，参考图5描述根据另一实施例的激光晶化设备。图5是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
如前述参照图3所描述的，根据本实施例的激光晶化设备包括多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2，并且激光晶化设备的多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2之中的至少一个可以具有图5中所示的光学单元OP的结构。
参考图5，根据本实施例的激光晶化设备的光学单元OP可以包括多个子光学单元O1、O2、O3、O4和O5。
光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5可以彼此连接。
光学单元OP的第一子光学单元O1可以包括彼此结合的第一部分O1a和第二部分O1b，光学单元OP的第二子光学单元O2可以包括彼此结合的第三部分O2a和第四部分O2b，光学单元OP的第三子光学单元O3可以包括彼此结合的第五部分O3a和第六部分O3b，光学单元OP的第四子光学单元O4可以包括彼此结合的第七部分O4a和第八部分O4b，光学单元OP的第五子光学单元O5可以包括彼此结合的第九部分O5a和第十部分O5b。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a和第二部分O1b在第一结合表面Sab1上彼此结合，光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a和第四部分O2b在第二结合表面Sab2上彼此结合，光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a和第六部分O3b在第三结合表面Sab3上彼此结合，光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a和第八部分O4b在第四结合表面Sab4上彼此结合，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a和第十部分O5b在第五结合表面Sab5上彼此结合。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5可以与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行。此外，基于与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是可以设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移。
现在，参考图6以及图5更详细地描述图5的光学单元的子光学单元。图6是图5的光学单元的分解透视图。
参考图6和图5，根据本实施例的激光晶化设备的光学单元OP包括多个子光学单元O1、O2、O3、O4和O5。
光学单元OP的第一子光学单元O1包括在第一结合表面Sab1上彼此结合的第一部分O1a和第二部分O1b，并且光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一长度L01和光学单元OP的第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二长度L11可以彼此不同或者可以相同。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1可以是与激光束B的入射方向平行的表面，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一宽度Wa和第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二宽度Wb在第一结合表面Sab1上可以彼此相同。
光学单元OP的第二子光学单元O2包括在第二结合表面Sab2上彼此结合的第三部分O2a和第四部分O2b，并且光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a的第三长度L02和光学单元OP的第二子光学单元O2的第四部分O2b的第四长度L12可以彼此不同或相同。
光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2可以平行于几乎与激光束B的入射方向平行的表面，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第二子光学单元O2的第三部分O2a的第一宽度Wa和第二子光学单元O2的第四部分O2b的第二宽度Wb在第二结合表面Sab2上可以彼此相同。
光学单元OP的第三子光学单元O3可以包括在第三结合表面Sab3上彼此结合的第五部分O3a和第六部分O3b，并且光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a的第五长度L03和光学单元OP的第三子光学单元O3的第六部分O3b的第六长度L13可以彼此不同或相同。
光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3可以是几乎与激光束B的入射方向平行的表面，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第三子光学单元O3的第五部分O3a的第一宽度Wa和第三子光学单元O3的第六部分O3b的第二宽度Wb在第三结合表面Sab3上可以彼此相同。
光学单元OP的第四子光学单元O4包括在第四结合表面Sab4上彼此结合的第七部分O4a和第八部分O4b，并且光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a的第七长度L04和光学单元OP的第四子光学单元O4的第八部分O4b的第八长度L14可以彼此不同或相同。
光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4可以是几乎与激光束B的入射方向平行的表面，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第四子光学单元O4的第七部分O4a的第一宽度Wa和第四子光学单元O4的第八部分O4b的第二宽度Wb在第四结合表面Sab4上可以彼此相同。
光学单元OP的第五子光学单元O5可以包括在第五结合表面Sab5上彼此结合的第九部分O5a和第十部分O5b，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a的第九长度L05和光学单元OP的第五子光学单元O5的第十部分O5b的第十长度L15可以彼此不同或相同。
光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5可以是几乎与激光束B的入射方向平行的表面，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第五子光学单元O5的第九部分O5a的第一宽度Wa和第五子光学单元O5的第十部分O5b的第二宽度Wb在第五结合表面Sab5上可以彼此相同。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一长度L01、光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a的第三长度L02、光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a的第五长度L03、光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a的第七长度L04和光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a的第九长度L05可以彼此不同。这里，第一长度L01、第三长度L02、第五长度L03、第七长度L04和第九长度L05可以是在与激光束B的入射方向垂直的方向上测量的长度。
类似地，光学单元OP的第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二长度L11、光学单元OP的第二子光学单元O2的第四部分O2b的第四长度L12、光学单元OP的第三子光学单元O3的第六部分O3b的第六长度L13、光学单元OP的第四子光学单元O4的第八部分O4b的第八长度L14和光学单元OP的第五子光学单元O5的第十部分O5b的第十长度L15可以彼此不同。这里，第二长度L11、第四长度L12、第六长度L13、第八长度L14和第十长度L15可以是在与激光束B的入射方向垂直的方向上测量的长度。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a和第二部分O1b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a和第四部分O2b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a和第六部分O3b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a和第八部分O4b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a和第十部分O5b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合。
此外，光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5可以沿着激光束B的入射方向顺序地设置，并且光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合。
基于与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是可以设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移。
根据上述图5和图6中所示的实施例，描述了根据该实施例的激光晶化设备的光学单元OP包括五个子光学单元(即：第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5)，但是不限于此，并且可以改变多个子光学单元的数量。
参考图7以及图5和图6描述根据实施例的穿过激光晶化设备的光学单元的激光束的强度变化。图7是概念性地示出根据实施例的穿过激光晶化设备的光学单元的激光束的强度变化的曲线图。
参考图7以及图5和图6，当激光束B穿过光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5时，激光束B的强度BL可以在光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5处减小。
如在此参考图5和图6所描述的，基于与入射到根据实施例的激光晶化设备的光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，由于光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移，所以其中激光束B的强度BL改变的第一结合表面Sab1、第二结合表面Sab2、第三结合表面Sab3、第四结合表面Sab4和第五结合表面Sab5彼此不重叠。
因此，穿过光学单元OP的激光束B的强度BL的变化不会集中在一特定位置处，因此通过使结合表面关于激光束B的宽度均匀地分开，可以根据结合表面的位置将均匀的激光束B均匀地供应到基底14(见图1)。
接下来，参考图8描述根据另一实施例的激光晶化设备。图8是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
如前述参照图3所描述的，根据本实施例的激光晶化设备包括多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2，激光晶化设备的多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2之中的至少一个可以具有图8中所示的光学单元OP的结构。
参考图8，根据本实施例的激光晶化设备的光学单元OP可以包括彼此分开的多个子光学单元O1、O2、O3、O4和O5。
光学单元OP的第一子光学单元O1可以包括彼此结合的第一部分O1a和第二部分O1b，光学单元OP的第二子光学单元O2可以包括彼此结合的第三部分O2a和第四部分O2b，光学单元OP的第三子光学单元O3可以包括彼此结合的第五部分O3a和第六部分O3b，光学单元OP的第四子光学单元O4可以包括彼此结合的第七部分O4a和第八部分O4b，并且光学单元OP的第五子光学单元O5可以包括彼此结合的第九部分O5a和第十部分O5b。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a和第二部分O1b在第一结合表面Sab1上彼此结合，光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a和第四部分O2b在第二结合表面Sab2上彼此结合，光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a和第六部分O3b在第三结合表面Sab3上彼此结合，光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a和第八部分O4b在第四结合表面Sab4上彼此结合，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a和第十部分O5b在第五结合表面Sab5上彼此结合。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5可以分别与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行。此外，基于与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是可以设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移。
根据图8中所示的实施例，描述了根据实施例的激光晶化设备的光学单元OP包括五个子光学单元(即：第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5)，然而不限于此，并且可以改变多个子光学单元的数量。
根据以上参考图1至图7描述的实施例的激光晶化设备的光学单元的许多特性可以应用于根据本实施例的激光晶化设备的光学单元。
接下来，参考图9描述根据另一实施例的激光晶化设备。图9是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
如前述参照图3所描述的，根据在此所描述的实施例的激光晶化设备包括多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2，并且激光晶化设备的多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2之中的至少一个可以具有图9中所示的光学单元OP的结构。
参考图9，根据本实施例的激光晶化设备的光学单元OP可以包括多个子光学单元O1、O2、O3、O4和O5。
第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5可以根据与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向顺序地设置。
光学单元OP的第一子光学单元O1可以包括彼此结合的第一部分O1a和第二部分O1b，光学单元OP的第二子光学单元O2可以包括彼此结合的第三部分O2a和第四部分O2b，光学单元OP的第三子光学单元O3可以包括彼此结合的第五部分O3a和第六部分O3b，光学单元OP的第四子光学单元O4可以包括彼此结合的第七部分O4a和第八部分O4b，并且光学单元OP的第五子光学单元O5可以包括彼此结合的第九部分O5a和第十部分O5b。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a和第二部分O1b在第一结合表面Sab1上彼此结合，光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a和第四部分O2b在第二结合表面Sab2上彼此结合，光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a和第六部分O3b在第三结合表面Sab3上彼此结合，光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a和第八部分O4b在第四结合表面Sab4上彼此结合，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a和第十部分O5b在第五结合表面Sab5上彼此结合。
在相应部分之间的边界处的结合表面Sab1、Sab2、Sab3、Sab4和Sab5包括垂直于激光束B的方向延伸的材料层组合体，该材料层组合体包括第一部分的与边界相邻的部分、结合元件和第二部分的与边界相邻的部分。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1可以与激光束B的入射方向形成第一角度θ1，光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2可以与激光束B的入射方向形成第二角度θ2，光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3可以与激光束B的入射方向形成第三角度θ3，光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4可以与激光束B的入射方向形成第四角度θ4，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5可以与激光束B的入射方向形成第五角度θ5。
第一角度θ1、第二角度θ2、第三角度θ3、第四角度θ4和第五角度θ5可以小于约45度，并且可以彼此相等或不同。
此外，基于与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是可以设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移。
接下来，参考图10以及图9详细描述图9的光学单元的子光学单元。图10是图9的光学单元的分解透视图。
参考图10和图9，根据本实施例的激光晶化设备的光学单元OP包括多个子光学单元O1、O2、O3、O4和O5。
光学单元OP的第一子光学单元O1包括在第一结合表面Sab1上彼此结合的第一部分O1a和第二部分O1b，并且第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一表面的第一长度L01和第二部分O1b的第一表面的第二长度L11可以分别不同于第一子光学单元O1的第一部分O1a的面对第一表面的第二表面的第一长度L01-L和第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二表面的第二长度L11+L。
详细地，第一子光学单元O1的第一部分O1a的第二表面的第一长度L01-L可以比第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一表面的第一长度L01短长度差(L)。第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二表面的第二长度L11+L可以比第一子光学单元O1的第二部分O1b的第一表面的第二长度L11长长度差(L)。也就是说，基于与激光束B的入射方向垂直的方向，第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1的宽度可以与长度差(L)相同。
长度差(L)和第一结合表面Sab1的宽度可以是第一子光学单元O1的整体长度的约0.3％至约0.6％。例如，第一子光学单元O1的整体长度约为2200mm，并且长度差(L)和第一结合表面Sab1的宽度可以约为10mm。
第一结合表面Sab1的宽度是指在第一部分O1a和第二部分O1b的边界处且包括第一部分O1a的与边界相邻的部分、第二部分O1b的与边界相邻的部分以及结合元件的材料层组合体的宽度。该材料层组合体代表在此讨论的其他结合表面。
如在此所描述的，上述长度是在与激光束B的入射方向垂直的方向上测量的长度。
此外，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1可以与激光束B的入射方向形成第一角度θ1，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一宽度Wa和第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二宽度Wb在第一结合表面Sab1上可以彼此相同。
类似地，光学单元OP的第二子光学单元O2包括在第二结合表面Sab2上彼此结合的第三部分O2a和第四部分O2b，并且第二子光学单元O2的第三部分O2a的第一表面的第三长度L02和第二子光学单元O2的第四部分O2b的第一表面的第四长度L12可以分别与第二子光学单元O2的第三部分O2a的第二表面的第三长度L02-L和第二子光学单元O2的第四部分O2b的第二表面的第四长度L12+L具有长度差(L)的差异。也就是说，基于垂直于激光束B的入射方向的方向，在第二子光学单元O2上，第二结合表面Sab2的宽度可以与长度差(L)相同。
长度差(L)和第二结合表面Sab2的宽度可以是第二子光学单元O2的整体长度的约0.3％至约0.6％。例如，当第二子光学单元O2的整体长度约为2200mm时，长度差(L)和第二结合表面Sab2的宽度可以约为10mm。
上述长度是在与激光束B的入射方向垂直的方向上测量的长度。
此外，光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2可以与激光束B的入射方向形成第二角度θ2，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第二子光学单元O2的第三部分O2a的第一宽度Wa和第二子光学单元O2的第四部分O2b的第二宽度Wb在第二结合表面Sab2上可以彼此相同。
光学单元OP的第三子光学单元O3包括在第三结合表面Sab3上彼此结合的第五部分O3a和第六部分O3b，并且第三子光学单元O3的第五部分O3a的第一表面的第五长度L03和第三子光学单元O3的第六部分O3b的第一表面的第六长度L13可以分别与第三子光学单元O3的第五部分O3a的第二表面的第五长度L03-L和第三子光学单元O3的第六部分O3b的第二表面的第六长度L13+L具有长度差(L)的差异。也就是说，基于与激光束B的入射方向垂直的方向，在第三子光学单元O3上，第三结合表面Sab3的宽度可以与长度差(L)相同。
长度差(L)和第三结合表面Sab3的宽度可以是第三子光学单元O3的整体长度的约0.3％至约0.6％。例如，当第三子光学单元O3的整体长度约为2200mm时，长度差(L)与第三结合表面Sab3的宽度可以约为10mm。
上述所有长度都是在与激光束B入射的方向垂直的方向上测量的长度。
此外，光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3可以与激光束B的入射方向形成第三角度θ3，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第三子光学单元O3的第五部分O3a的第一宽度Wa和第三子光学单元O3的第六部分O3b的第二宽度Wb在第三结合表面Sab3上可以彼此相同。
光学单元OP的第四子光学单元O4包括在第四结合表面Sab4上彼此结合的第七部分O4a和第八部分O4b，并且第四子光学单元O4的第七部分O4a的第一表面的第七长度L04和第四子光学单元O4的第八部分O4b的第一表面的第八长度L14可以分别与第四子光学单元O4的第七部分O4a的第二表面的第七长度L04-L和第四子光学单元O4的第八部分O4b的第二表面的第八长度L14+L具有长度差(L)的差异。也就是说，基于与激光束B的入射方向垂直的方向，第四结合表面Sab4的宽度可以与第四子光学单元O4上的长度差(L)相同。
长度差(L)和第四结合表面Sab4的宽度可以是第四子光学单元O4的整体长度的约0.3％至约0.6％。例如，当第四子光学单元O4的整体长度约为2200mm时，长度差(L)与第四结合表面Sab4的宽度可以约为10mm。
上述所有长度都是在与激光束B入射的方向垂直的方向上测量的长度。
此外，光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4可以与激光束B的入射方向形成第四角度θ4，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第四子光学单元O4的第七部分O4a的第一宽度Wa和第四子光学单元O4的第八部分O4b的第二宽度Wb在第四结合表面Sab4上可以彼此相同。
类似地，光学单元OP的第五子光学单元O5包括在第五结合表面Sab5上彼此结合的第九部分O5a和第十部分O5b，并且第五子光学单元O5的第九部分O5a的第一表面的第九长度L05和第五子光学单元O5的第十部分O5b的第一表面的第十长度L15可以分别与第五子光学单元O5的第九部分O5a的第二表面的第九长度L05-L和第五子光学单元O5的第十部分O5b的第二表面的第十长度L15+L具有长度差(L)的差异。也就是说，基于与激光束B入射的方向垂直的方向，第五结合表面Sab5的宽度可以等于第五子光学单元O5上的长度差(L)。
长度差(L)和第五结合表面Sab5的宽度可以是第五子光学单元O5的整体长度的约0.3％至约0.6％。例如，当第五子光学单元O5的整体长度约为2200mm时，长度差(L)与第五结合表面Sab5的宽度可以约为10mm。
上述所有长度都是在与激光束B入射的方向垂直的方向上测量的长度。
光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5可以与激光束B的入射方向形成第五角度θ5，并且基于与激光束B的入射方向平行的方向，第五子光学单元O5的第九部分O5a的第一宽度Wa和第五子光学单元O5的第十部分O5b的第二宽度Wb在第五结合表面Sab5上可以彼此相同。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a的第一长度L01、光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a的第三长度L02、光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a的第五长度L03、光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a的第七长度L04和光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a的第九长度L05可以彼此不同。这里，第一长度L01、第三长度L02、第五长度L03、第七长度L04、第九长度L05可以是在与激光束B的入射方向垂直的方向上测量的长度。
类似地，光学单元OP的第一子光学单元O1的第二部分O1b的第二长度L11、光学单元OP的第二子光学单元O2的第四部分O2b的第四长度L12、光学单元OP的第三子光学单元O3的第六部分O3b的第六长度L13、光学单元OP的第四子光学单元O4的第八部分O4b的第八长度L14和光学单元OP的第五子光学单元O5的第十部分O5b的第十长度L15可以彼此不同。这里，第二长度L11、第四长度L12、第六长度L13、第八长度L14和第十长度L15可以是在与激光束B的入射方向垂直的方向上测量的长度。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a和第二部分O1b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a和第四部分O2b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a和第六部分O3b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a和第八部分O4b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a和第十部分O5b可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合。
此外，光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5可以沿着与激光束B的入射方向平行的方向顺序地设置，并且光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5可以通过光学接触结合或焊接而彼此结合。
基于与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是可以设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移。
根据图9和图10中所示的实施例，描述了根据实施例的激光晶化设备的光学单元OP包括五个子光学单元(即：第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5)，然而不限于此，并且可以改变多个子光学单元的数量。
现在，参考图11以及图9和图10描述根据实施例的穿过激光晶化设备的光学单元的激光束的强度的变化。图11是概念性地示出根据另一实施例的穿过激光晶化设备的光学单元的激光束的强度变化的曲线图。
参考图11以及图9和图10，当激光束B穿过光学单元OP的第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5时，激光束B的强度BL可以在光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5处减小。
如参考图9和图10所描述的，基于与入射到根据实施例的激光晶化设备的光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，由于光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成一条直线，而是设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移，所以其中激光束B的强度BL改变的第一结合表面Sab1、第二结合表面Sab2、第三结合表面Sab3、第四结合表面Sab4和第五结合表面Sab5彼此不重叠。
因此，穿过光学单元OP的激光束B的强度BL的变化不集中在一特定位置处，因此可以根据结合表面的位置将均匀的激光束B基本均匀地供应到基底14(见图1)。
接下来，参考图12描述根据另一实施例的激光晶化设备。图12是示出根据另一实施例的激光晶化设备的光学单元的示例的视图。
如前述参照图3所描述的，根据本实施例的激光晶化设备包括多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2，并且激光晶化设备的多个光学单元OP1、M、OP2、W1和W2之中的至少一个可以具有图12中所示的光学单元OP的结构。
参考图12，根据本实施例的激光晶化设备的光学单元OP可以包括彼此分开的多个子光学单元O1、O2、O3、O4和O5。
光学单元OP的第一子光学单元O1可以包括彼此结合的第一部分O1a和第二部分O1b，光学单元OP的第二子光学单元O2可以包括彼此结合的第三部分O2a和第四部分O2b，光学单元OP的第三子光学单元O3可以包括彼此结合的第五部分O3a和第六部分O3b，光学单元OP的第四子光学单元O4可以包括彼此结合的第七部分O4a和第八部分O4b，并且光学单元OP的第五子光学单元O5可以包括彼此结合的第九部分O5a和第十部分O5b。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一部分O1a和第二部分O1b在第一结合表面Sab1上彼此结合，光学单元OP的第二子光学单元O2的第三部分O2a和第四部分O2b在第二结合表面Sab2上彼此结合，光学单元OP的第三子光学单元O3的第五部分O3a和第六部分O3b在第三结合表面Sab3上彼此结合，光学单元OP的第四子光学单元O4的第七部分O4a和第八部分O4b在第四结合表面Sab4上彼此结合，并且光学单元OP的第五子光学单元O5的第九部分O5a和第十部分O5b在第五结合表面Sab5上彼此结合。
光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5可以与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向分别形成第一角度θ1、第二角度θ2、第三角度θ3、第四角度θ4和第五角度θ5。另外，第一角度θ1、第二角度θ2、第三角度θ3、第四角度θ4和第五角度θ5可以彼此相同或不同。
此外，基于与入射到光学单元OP的激光束B的入射方向平行的方向，光学单元OP的第一子光学单元O1的第一结合表面Sab1、光学单元OP的第二子光学单元O2的第二结合表面Sab2、光学单元OP的第三子光学单元O3的第三结合表面Sab3、光学单元OP的第四子光学单元O4的第四结合表面Sab4和光学单元OP的第五子光学单元O5的第五结合表面Sab5不设置成彼此成直线，而是可以设置成在与激光束B的入射方向垂直的方向上彼此偏移。
根据图12中所示的实施例，描述了根据实施例的激光晶化设备的光学单元包括五个子光学单元(即：第一子光学单元O1、第二子光学单元O2、第三子光学单元O3、第四子光学单元O4和第五子光学单元O5)，然而不限于此，并且多个子光学单元的数量可以改变。
根据在此所描述的实施例的激光晶化设备的光学单元的许多特性适用于根据本实施例的激光晶化设备的所有光学单元。
如在此所描述的，根据实施例的激光晶化设备包括多个光学单元，并且多个光学单元之中的至少一个包括彼此结合的第一部分和第二部分，多个光学单元之中的至少一个可以包括多个子光学单元，所述多个子光学单元包括彼此结合的第一部分和第二部分，并且多个子光学单元可以彼此结合或彼此分开。另外，多个子光学单元的结合表面可以设置成彼此偏离或偏移，而不是沿着与激光束的入射方向平行的方向设置成一条直线。因此，可以形成包括具有大尺寸的光学单元的激光晶化设备，而不增加激光晶化设备的制造成本，并且可以减小激光束的均匀性降低。
尽管在此已经描述了某些实施例和实施方式，但是根据该描述，其他实施例和修改将是明显的。因此，发明构思不限于这样的实施例，而是限于权利范围以及对本领域普通技术人员而言明显的各种明显的修改和等同布置的更宽范围。

Claims (10)

1.一种激光晶化设备，其中，所述激光晶化设备包括：
光源单元，照射激光束；以及
光学单元，所述激光束在入射方向上入射到所述光学单元，
其中，所述光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且
其中，基于与所述激光束的所述入射方向平行的方向，所述第一部分的第一宽度和所述第二部分的第二宽度在所述结合表面上彼此相同。
2.如权利要求1所述的激光晶化设备，其中，
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的方向，所述第一部分的第一长度和所述第二部分的第二长度彼此不同。
3.如权利要求1所述的激光晶化设备，其中，
所述第一部分和所述第二部分通过光学接触结合或焊接而结合。
4.如权利要求1所述的激光晶化设备，其中，
所述结合表面与所述激光束的所述入射方向平行。
5.如权利要求1所述的激光晶化设备，其中，
所述结合表面倾斜以与所述激光束的所述入射方向形成预定角度。
6.如权利要求5所述的激光晶化设备，其中，
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的方向，所述结合表面的宽度为所述光学单元的长度的0.3％至0.6％。
7.一种激光晶化设备，其中，所述激光晶化设备包括：
光源单元，照射激光束；以及
光学单元，所述激光束在入射方向上入射到所述光学单元，并且所述光学单元包括多个子光学单元，
其中，所述多个子光学单元中的每个子光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且
其中，基于与所述激光束的所述入射方向平行的方向，所述多个子光学单元顺序地布置。
8.如权利要求7所述的激光晶化设备，其中，
所述多个子光学单元包括第一子光学单元和第二子光学单元，并且
基于与所述激光束的所述入射方向垂直的方向，所述第一子光学单元的所述第一部分的长度不同于所述第二子光学单元的所述第一部分的长度。
9.如权利要求8所述的激光晶化设备，其中，
所述第一子光学单元的所述结合表面和所述第二子光学单元的所述结合表面设置成在与所述激光束的所述入射方向垂直的所述方向上彼此偏移。
10.如权利要求7所述的激光晶化设备，其中，
基于与所述激光束的所述入射方向平行的所述方向，所述第一部分的第一宽度和所述第二部分的第二宽度在所述结合表面上彼此相同。
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