CN114692560A - 一种z型走线图形及集群的识别方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种Z型走线图形的识别方法包括:目标图形所在层中，全部或部分区域中每个线形图形中相接的轮廓边相互垂直，识别水平初始边和垂直初始边，分别形成space_h和space_v，相应的扩充成能包含其的面积最小的矩形jogging_connection_h和jogging_connection_v，所述jogging_connection_h和jogging_connection_v为目标图形，用于定位Z型走线图形。过程简洁，识别结果直观准确，有利于生产工艺的改进和效率提高。本发明还提供一种Z型走线集群的识别方法基于本发明的Z型走线图形的识别方法具有相应优势。

Description

一种Z型走线图形及集群的识别方法

技术领域

本发明关于半导体设计和生产领域，具体涉及一种对版图中的Z型走线的图形及其集群进行识别的方法。

背景技术

随着集成电路生产工艺技术节点不断推进，集成电路的设计变得越来越复杂。现今应用于集成电路生产的主流光刻工艺，其光波波长一直维持在193nm。在曝光机台波长不更新的情形下，曝光图形尺寸却不断缩小，进而会产生许多符合设计规则而实际工艺窗口较差的光刻图形，称之为光刻缺陷热点图形，一般是指版图中具有某种几何特征以及特征尺寸在某个范围内的容易引起光刻缺陷的图形或者图形组合。

在光刻缺陷热点图形中存在一类称为Z型走线集群的热点图形，是Z型走线图形组合。当对Z型走线集群进行光刻的过程中，由于光学邻近效应的存在，曝光后的图形相比版图上的图形拐角处会变圆滑，Z型走线图形往往具有两个相邻很近的拐角，曝光形状受到光学邻近效应影响而变形的程度更严重，尤其是当多个Z型走线图形相邻很近时，拐角处图形的变形容易引起连线之间、连线与周围环境的短路或者断路，可参考图1所示。

在实际的制造生产中，因不同制造厂商具体工艺或者处理方式等不同，光刻缺陷热点图形不一定会实际引起光刻缺陷，一般来说，如果缺陷的尺寸小于图形中最小尺寸的40%，其对器件性能的影响可以忽略。也就是对于不同制造厂商来说，实际导致光刻缺陷发生的光刻缺陷热点图形可能是不同的。对于光刻缺陷热点图形的处理方法包括在流片前优化原始的版图设计，以及对检查出的光刻工艺热点进行特殊工艺处理。

因此，如果能提前在大量的版图数据中快速准确地定位出Z型走线图形或者Z型走线集群，对制造厂商进行设计生产等的指导具有重大的实际意义。现有技术中专门针对识别Z型走线图形或者Z型走线集群尚没有特别有效的方法，这对于光刻工艺及设计的进一步完善是不利的。

发明内容

本发明是基于上述现有技术的全部或部分问题而进行的，目的在于提供一种Z型走线图形及其集群识别方法，用于在大量的版图数据中进行搜索和定位Z型走线图形及Z型走线集群。在本申请以下叙述中涉及的名词以及相关技术原理所有解释或定义仅是进行示例性而非限定性说明。

本发明一方面提供的一种Z型走线图形的识别方法，包括：步骤S1.目标图形所在层中，全部或部分区域中每个图形的轮廓边是水平方向的边或垂直方向的边，形成内角为90°的第一拐角和内角为270°的第二拐角，将所述第一拐角和第二拐角的顶点之间的边识别为为初始边，并将水平的初始边记为edge_h，垂直的初始边记为edge_v；步骤S2.每个多边形图形中，两条相对的edge_h两端（连接时，一条edge_h的第一拐角的顶点与另一条edge_h第二拐角的顶点相连）分别相连形成四边形，并记为space_h，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；将每个多边形图形中，两条相对的edge_v两端（连接时，一条edge_v第一拐角的顶点与另一条edge_v第二拐角的顶点相连）分别相连形成四边形，并记为space_v，形成space_v过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；步骤S3.将所述space_v扩充成包含该space_v的最小的矩形，并记为jogging_connection_v；将所述space_h扩充成包含该space_h的最小的矩形，并记为jogging_connection_h；所述jogging_connection_v和jogging_connection_h即为目标图形，用于定位Z型走线图形。

本发明中为了方便描述清楚而采用的一些常用的英文名词或字母只是用于示例性指代而非限定性解释或特定用法，不应以其可能的中文翻译或具体字母的样式来限定本发明的保护范围。

在某些情况下，在进行Z型走线图形识别方法之前，还包括步骤S0：获取版图信息，并确定版图的待识别层，即目标图形所在层。一个版图层由于其自身的特点和在器件中所发挥的作用，各个版图层中的图形会各不相同。在一个具体的实施方案中，所述目标图形所在层优选为金属层。

还提供Z型走线图形，即目标图形jogging_connection_v或jogging_connection_h的信息，包括目标图形的各边长度，以及用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度值。

所述目标图形的各边长度信息包括：jogging_space、line_l1、line_l2、l1、l2、connection_length、connection_width；所述用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度值是jogging_ratio；所述jogging_space是指：存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，则其space_h_in的水平边的长度或者space_v_in的垂直边的长度记为jogging_space；不存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，将该Z型走线图形的jogging_space记为0；所述line_l1、line_l2是指：对于space_v，所述line_l1是指该space_v其中一条垂直边的长度，所述line_l2是指该space_v另外一条垂直边的长度；对于space_h，line_l1是指该space_h其中一条水平边的长度，所述line_l2是指该space_h另外一条水平边的长度；所述l1是指：所述line_l1与所述jogging_space的差；所述l2是指：所述line_l2与所述jogging_space的差；所述connection_length是指：所述jogging_ceonnection_v的垂直边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的水平边的长度；所述connection_width是指：所述jogging_ceonnection_v的水平边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的垂直边的长度；所述jogging_ratio是指：所述jogging_space除以connection_length的值。

其中，所述space_h_in的获取方式为：分别从所述space_h中两条edge_h的第二拐角的顶点各做垂直的直线，若这两条垂直的直线与这两条edge_h能在该space_h内形成矩形，则将该矩形记为space_h_in；所述space_v_in的获取方式为：分别从所述space_v中两条edge_v的第二拐角的顶点各做水平的直线，若这两条水平的直线与这两条edge_v能在该space_v内形成矩形，则将该矩形记为space_v_in。

一个具体情况中，还能根据预设的图形条件对所述Z型走线图形进行筛选。

所述预设的图形条件包括所述jogging_ratio的范围、connection_length的范围、connection_width的范围、l1的范围、l2的范围和jogging_space的范围。

本发明另一方面还提供了一种Z型走线集群识别方法，包括：步骤一：采用上述Z型走线图形识别方法识别出Z型走线目标图形；步骤二：在待识别区域内，以任一Z型走线目标图形的中心点为圆心，根据预设的长度为半径作圆，查找在圆内是否存在其它的Z型走线目标图形；步骤三：若查找到的其它Z型走线目标图形数量达到预设的数量，则标识出能将这些Z型走线目标图形都包含在内的面积最小的矩形作为第一矩形；从而于待识别区域内得到若干第一矩形；步骤四：标识一个能将有重叠区域的若干所述第一矩形包含在内的面积最小的矩形作为第二矩形，所述第二矩形即为Z型走线集群。

本发明具有如下有益效果：(1)根据本发明所涉及的一种Z型走线图形的识别方法，通过识别出所述edge_ori能自动识别具有Z型走线特征的图形；通过提供的所述jogging_ratio能够直观的评价Z型走线的偏移程度，且能根据预设图形条件进行筛选；能够实现方便、有效和快捷地对易引起光刻缺陷的Z型走线图形进行搜索和定位。(2)此外根据本发明的一种Z型走线集群识别方法，能获取第一矩形和第二矩形有利于快速、准确地批量查找版图指定层中的Z型走线集群。(3)本发明提供的一种Z型走线图形及其集群的识别方法，可用于分析统计版图中所有Z型走线特征的目标图形及集群的分布，进而可以为设计测试结构、制定DOE和测试芯片提供指导；有利于不同制造厂根据自身情况，根据本发明的一种Z型走线图形及其集群识别方法，实现在版图中识别出来Z型走线特征的图形及集群信息，定向地去在制造过程中关注是否会发生制造缺陷；有利于生产工艺的改进，效率的提高和节约制造成本。

附图说明

图1是现有技术中Z型走线图形变形的示意图。

图2是本发明的实施例一中Z型走线图形识别方法过程的示意图。

图3是本发明的实施例一中第一拐角、第二拐角及初始边的示意图。

图4(a)和图4(b)是本发明的实施例一中space_h及space_v的示意图。

图5是本发明的实施例二中Z型走线图形识别方法过程的示意图。

图6(a)和图6(b)是本发明的实施例二中space_v_in和space_h_in的示意图。

图7是本发明的实施例二中jogging_ratio不同的几种情况示意图。

图8是本发明的实施例三中Z型走线集群识别方法过程示意图。

图9是本发明的实施例三中第一矩形示意图。

具体实施方式

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解。在下述实施例中采用特定次序描绘了实施例的操作，这些次序的描述是为了更好的理解实施例中的细节以全面了解本发明，但这些次序的描述并不一定与本发明的一种Z型走线图形的识别方法一一对应，也不能以此限定本发明的范围。

需要说明的是，附图中的流程图和框图，图示了按照本发明实施例的方法可能实现的操作过程。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以并不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以穿插的执行，依所涉及的步骤要实现的目的而定。

实施例一

结合参考图3、图4(a)和图4(b)、如图2所示，本发明实施例一的Z型走线图形识别方法包括：步骤S1.目标图形所在层中，全部或部分区域中每个图形的轮廓边是水平方向的边或垂直方向的边，形成内角为90°的第一拐角和内角为270°的第二拐角，将所述第一拐角和第二拐角的顶点之间的边识别为edge_ori定义为初始边，并将水平的初始边记为edge_h，垂直的初始边记为edge_v；步骤S2.每个多边形图形中，两条相对的edge_h两端（连接时，一条edge_h的第一拐角的顶点与另一条edge_h第二拐角的顶点相连），分别相连形成四边形，并记为space_h，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；将每个多边形图形中，两条相对的edge_v两端（连接时，一条edge_v第一拐角的顶点与另一条edge_v第二拐角的顶点相连）分别相连形成四边形，并记为space_v，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；步骤S3.将所述space_v扩充成包含该space_v的最小的矩形，并记为jogging_connection_v；将所述space_h扩充包含该space_h的最小的矩形，并记为jogging_connection_h；所述jogging_connection_v和jogging_connection_h即为目标图形，用于定位Z型走线图形。

如图3所示，所述待识别层中，每个多边形图形中相接的轮廓边相互垂直，形成内角为90°的第一拐角和内角为270°的第二拐角，所述第一拐角和第二拐角组合成拐角组M。两个相邻的拐角组M之间的轮廓边和拐角组内第一拐角和第二拐角顶点的连线围成四边形space_h和space_v。本实施例中在某些情况下，在步骤S1之前，还包括步骤S0：获取版图信息，并确定版图的待识别层，即目标图形所在层。本实施例中，目标图形所在层是金属层。这是本实施例一个做法的举例，并不限制本发明。

在本实施例中，所述初始边记为edge_ori，将水平方向的edge_ori记为edge_h，垂直方向的edge_ori记为edge_v。如图4(a)和图4(b)所示，本实施例中，两条相对的edge_h两端分别相连（连接时，一条edge_h内角为90°的顶点与另一条edge_h内角为270°的顶点相连，即拐角组M内第一拐角与第二拐角顶点相连）形成所述四边形，并记为space_h，且space_h有两条边是第一拐角与第二拐角顶点相连新产生的，而不是原先多边形图形的边。将两条相对的edge_v两端分别相连形成四边形，并记为space_v，同理space_v有两条边也是新产生的。

本实施例中将所述space_v扩充成包含该space_v的面积最小的矩形，并记为jogging_connection_v。将所述space_h扩充包含该space_h的面积最小的矩形，记为jogging_connection_h；所述jogging_connection_v和jogging_connection_h作为目标图形可用于定位Z型走线图形。

实施例二

本发明实施例二与实施例一的区别主要在于在获取所述jogging_connection_v和jogging_connection_h后，还评价Z型走线图形的两个拐角，即所述第一拐角与第二拐角的偏移程度，如图5所示，在步骤S3.之后，进行步骤S4.获取目标图形的各边长度信息，以及用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度值。

所述目标图形的各边长度信息包括：jogging_space、line_l1、line_l2、l1、l2、connection_length、connection_width；所述用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度值是jogging_ratio；所述jogging_space是指：存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，则其space_h_in的水平边的长度或者space_v_in的垂直边的长度记为jogging_space；不存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，将该Z型走线图形的jogging_space记为0；所述line_l1、line_l2是指：对于space_v，所述line_l1是指该space_v其中一条垂直边的长度，所述line_l2是指该space_v另外一条垂直边的长度；对于space_h，line_l1是指该space_h其中一条水平边的长度，所述line_l2是指该space_h另外一条水平边的长度；所述l1是指：所述line_l1与所述jogging_space的差；所述l2是指：所述line_l2与所述jogging_space的差；所述connection_length是指：所述jogging_ceonnection_v的垂直边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的水平边的长度；所述connection_width是指：所述jogging_ceonnection_v的水平边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的垂直边的长度；所述jogging_ratio是指：所述jogging_space除以connection_length的值。

其中，所述space_h_in的获取方式为：分别从所述space_h中两条edge_h的第二拐角的顶点各做垂直的直线，若这两条垂直的直线与这两条edge_h能在该space_h内形成矩形，则将该矩形记为space_h_in；所述space_v_in的获取方式为：分别从所述space_v中两条edge_v的第二拐角的顶点各做水平的直线，若这两条水平的直线与这两条edge_v能在该space_v内形成矩形，则将该矩形记为space_v_in。在其它一些实际情况中，步骤S4.也可以在步骤S3.之前进行或者同时进行，并不限定。

本实施例中space_v_in和space_h_in，如图6(a)和图6(b)所示。jogging_ratio通过所述jogging_space除以connection_length的值即可获取，根据jogging_ratio评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度。jogging_ratio不同的几种情况如图7所示意。

本实施例中较好的一个做法中，根据预设的图形条件对所述Z型走线图形进行筛选，预设的图形条件，包括connection_length范围、connection_width范围、l1范围、l2范围、jogging_space范围和jogging_ratio范围，筛选出符合图形条件的Z型走线图形，即筛选出符合图形条件的jogging_connection_v或jogging_connection_h。对于一些Z型走线图形，当两个拐角之间的距离很长时，每个拐角的周围只有一处曝光变形，所以产生缺陷的风险降低，可参考图7，因此可以通过jogging_ratio或者jogging_space等限制来排除正常转弯的连线。

基于上述任一实施例中的对版图中的Z型走线图形进行识别的方法，本发明的实施例三中Z型走线集群识别方法过程如图8所示，步骤一：采用上述Z型走线图形识别方法识别出Z型走线目标图形，附图以jogging_connection_v为例示意，实际目标图形还有包括jogging_connection_h的情况，应相应理解而不能以附图示例限制本发明。步骤二：在待识别区域内，以任一Z型走线目标图形的中心点为圆心，根据预设的长度为半径作圆，查找在该圆内是否存在其它的Z型走线目标图形；步骤三：若查找到的其它Z型走线目标图形数量达到预设的数量，则标识出能将这些Z型走线目标图形都包含在内的面积最小的矩形作为第一矩形；从而于待识别区域内得到若干第一矩形；步骤四：标识一个能将有重叠区域的若干所述第一矩形包含在内的面积最小的矩形作为第二矩形，所述第二矩形即为Z型走线集群。本实施例中以该预设数量为2作为示例，如图9所示，标识出一个能将这些Z型走线图形都包含在内的面积最小的矩形作为第一矩形。标识一个能将有重叠区域的几个第一矩形都包含在内的面积最小的矩形作为第二矩形，标识出的第二矩形即识别为Z型走线集群。

上述实施方式为本发明的优选案例，并不用来限制本发明的保护范围。应了解到，这些实施中的细节不应用以限制本发明。此外，为简化图式起见，一些结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之，这些仅是示意，并不限定特定实际可能的设计情况。在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本发明，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，包括：

步骤S1.目标图形所在层中，全部或部分区域中每个图形的轮廓边是水平方向的边或垂直方向的边，形成内角为90°的第一拐角和内角为270°的第二拐角，将所述第一拐角和第二拐角的顶点之间的边识别为初始边，并将水平的初始边记为edge_h，垂直的初始边记为edge_v；

步骤S2.将每个多边形图形中，两条相对的edge_h两端分别相连形成四边形，并记为space_h，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；

将每个多边形图形中，两条相对的edge_v两端分别相连形成四边形，并记为space_v，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；

步骤S3.将所述space_v扩充成包含该space_v的最小的矩形，并记为jogging_connection_v；将所述space_h扩充成包含该space_h的最小的矩形，并记为jogging_connection_h；

所述jogging_connection_v和jogging_connection_h即为目标图形，用于定位Z型走线图形。

2.根据权利要求1所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，在步骤S1之前，还包括步骤S0：获取版图信息，并确定版图的待识别层，即目标图形所在层。

3.根据权利要求2所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，所述待识别层是金属层。

4.根据权利要求1所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，还提供Z型走线图形，即目标图形jogging_connection_v或jogging_connection_h的信息，包括目标图形的各边长度信息，以及用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度的值。

5.根据权利要求4所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，所述目标图形的各边长度信息包括：jogging_space、line_l1、line_l2、l1、l2、connection_length、connection_width；所述用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度的值是jogging_ratio；

所述jogging_space是指：存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，则其space_h_in的水平边的长度或者space_v_in的垂直边的长度记为jogging_space；不存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，将该Z型走线图形的jogging_space记为0；

所述line_l1、line_l2是指：对于space_v，所述line_l1是指该space_v其中一条垂直边的长度，所述line_l2是指该space_v另外一条垂直边的长度；对于space_h，line_l1是指该space_h其中一条水平边的长度，所述line_l2是指该space_h另外一条水平边的长度；

所述l1是指：所述line_l1与所述jogging_space的差；

所述l2是指：所述line_l2与所述jogging_space的差；

所述connection_length是指：所述jogging_ceonnection_v的垂直边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的水平边的长度；

所述connection_width是指：所述jogging_ceonnection_v的水平边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的垂直边的长度；

所述jogging_ratio是指：所述jogging_space除以connection_length的值；

其中，所述space_h_in的获取方式为：分别从所述space_h中两条edge_h的第二拐角的顶点各做垂直的直线，若这两条垂直的直线与这两条edge_h能在该space_h内形成矩形，则将该矩形记为space_h_in；

所述space_v_in的获取方式为：分别从所述space_v中两条edge_v的第二拐角的顶点各做水平的直线，若这两条水平的直线与这两条edge_v能在该space_v内形成矩形，则将该矩形记为space_v_in。

6.根据权利要求5所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，还能根据预设的图形条件对所述Z型走线图形进行筛选。

7.根据权利要求6所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，所述预设的图形条件包括jogging_ratio的范围、connection_length的范围、connection_width的范围、l1的范围、l2的范围和jogging_space的范围。

8.一种Z型走线集群的识别方法，其特征在于，包括：

步骤一：采用权利要求1-7任意一项所述的一种Z型走线图形的识别方法识别出Z型走线目标图形；

步骤二：在待识别区域内，以任一Z型走线目标图形的中心点为圆心，根据预设的长度为半径作圆，查找在圆内是否存在其它的Z型走线目标图形；

步骤三：若查找到的其它Z型走线目标图形数量达到预设的数量，则标识出能将这些Z型走线目标图形都包含在内的面积最小的矩形作为第一矩形；从而于待识别区域内得到若干第一矩形；

步骤四：标识一个能将有重叠区域的若干所述第一矩形包含在内的面积最小的矩形作为第二矩形，所述第二矩形即为Z型走线集群。

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