CN114672772A - 一种蒸发源装置及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸发源装置及其使用方法。该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔，第二挡板上开设有第二蒸镀孔，第一蒸镀孔与第二蒸镀孔能够形成流通通道；其中，转动转轴连接第一挡板和第二挡板；两个蒸发源沿竖直方向分别设于两个第二挡板的下方，其中一个蒸发源内设有第一蒸镀材料，另一个蒸发源内设有第二蒸镀材料。本发明中转动转轴能够驱动第一挡板和第二挡板分别绕转动转轴的轴向旋转，从而调整流通通道的流通面积，且第一蒸镀材料和第二蒸镀材料的掺杂比例能够通过改变流通通道的流通面积的大小以形成连续性梯度变化，进一步地提高了产品的质量和性能。

Description

一种蒸发源装置及其使用方法

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源装置及其使用方法。

背景技术

OLED(Organic Electroluminescence Display，有机电致发光器件)是一种电流型的有机发光器件，通过在OLED基板上制作有机薄膜来实现OLED的发光。目前制备OLED有机薄膜的方式是真空热蒸镀，即在真空腔体内加热OLED有机材料，使有机材料在一定的温度下升华或蒸发，然后通过挡板的蒸镀孔后沉积在基板上，以形成有机薄膜。

蒸镀有机材料时，有些材料进行掺杂之后能够提升相关的性能，例如：发光层是主体材料与掺杂材料同时蒸镀后成膜，并能够提高发光效率；空穴注入材料与空穴传输材料同时蒸镀后更利于电荷的注入以及界面修饰等，而两种材料的掺杂比例设置梯度变化时，会更利于电荷传输的控制。但是，目前生产设备还没有比较合理的蒸发源设计，可以连续性梯度变化地对蒸镀后的两种材料进行掺杂。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸发源装置及其使用方法，以解决现有技术中的生产设备无法连续性梯度变化地对蒸镀后的两种材料进行掺杂的问题。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一方面，本发明提供一种蒸发源装置，该蒸发源装置包括腔体以及设于上述腔体内的：

第一挡板和第二挡板，上述第二挡板沿竖直方向设于上述第一挡板的下方；上述第一挡板上开设有第一蒸镀孔，上述第二挡板上开设有第二蒸镀孔，上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔沿上述竖直方向相对设置，以使上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔形成流通通道；

转动转轴，上述转动转轴沿竖直方向延伸设置，且上述转动转轴连接上述第一挡板和上述第二挡板；上述转动转轴能够驱动上述第一挡板和上述第二挡板分别绕上述转动转轴的轴向旋转，以调整上述流通通道的流通面积；

蒸发源，上述蒸发源设有两个，两个上述蒸发源沿上述竖直方向分别设于两个上述第二挡板的下方；两个上述蒸发源沿水平方向间隔设置，其中一个上述蒸发源内设有第一蒸镀材料，另一个上述蒸发源内设有第二蒸镀材料。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔均设置有多个，多个上述第一蒸镀孔与多个上述第二蒸镀孔一一对应设置。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，多个上述第一蒸镀孔在上述第一挡板上呈阵列排布；多个上述第二蒸镀孔在上述第二挡板上呈阵列排布。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一蒸镀孔的开口面积等于上述第二蒸镀孔的开口面积。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一挡板的下侧面的面积大于或等于上述第二挡板的上侧面的面积。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔为圆形孔或弧形孔或方形孔。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述蒸发源装置还包括第三挡板，上述第三挡板设于上述第二挡板与上述蒸发源之间，用于封闭上述第二挡板的上述第二蒸镀孔；上述第三挡板转动设于上述转动转轴上。

作为上述蒸发源装置的一种可选方案，上述转动转轴分为第一转动转轴和第二转动转轴，上述第一转动转轴与上述第二转动转轴沿上述水平方向间隔设置；上述第一挡板转动设于上述第一转动转轴上，上述第二挡板转动设于上述第二转动转轴上。

另一方面，本发明提供一种蒸发源装置的使用方法，上述蒸发源装置的使用方法利用如上述的蒸发源装置完成，上述蒸发源装置的使用方法包括如下步骤：

S1、通过上述转动转轴转动上述第一挡板和上述第二挡板，使上述第一蒸镀孔与上述第二蒸镀孔沿上述竖直方向相互对准；设定此时上述第一蒸镀材料以及上述第二蒸镀材料在蒸镀后穿过上述流通通道的速率为初始蒸发速率；

S2、通过上述转动转轴转动上述第一挡板和上述第二挡板，使上述第一挡板和上述第二挡板分别向相反的方向缓慢移动；分别记录上述第一挡板和上述第二挡板分别向相反的方向缓慢移动时，上述第一蒸镀材料与上述第二蒸镀材料在蒸镀后穿过上述流通通道的瞬时蒸发速率；

S3、根据上述初始蒸发速度和上述瞬时蒸发速率，计算上述第一蒸镀材料和上述第二蒸镀材料在穿过上述流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化。

作为上述蒸发源装置的使用方法的一种可选方案，上述瞬时蒸发速率小于或等于上述初始蒸发速率。

本发明的有益效果为：

该蒸发源装置包括腔体、第一挡板、第二挡板、转动转轴和蒸发源。第一挡板上开设有第一蒸镀孔，第二挡板上开设有第二蒸镀孔，第一蒸镀孔与第二蒸镀孔沿竖直方向相对设置，以使第一蒸镀孔与第二蒸镀孔形成流通通道，且两个蒸发源沿竖直方向分别设于两个第二挡板的下方，进而第一蒸镀材料和第二蒸镀材料分别在两个蒸发源内蒸镀后，能够穿过流通通道并相互掺杂，并形成复合材料。其中，转动转轴能够驱动第一挡板和第二挡板分别绕转动转轴的轴向旋转，以调整流通通道的流通面积，从而调整第一蒸镀材料和第二蒸镀材料相互掺杂后的掺杂比例。同时，第一蒸镀材料和第二蒸镀材料的掺杂比例能够通过改变流通通道的流通面积的大小以形成连续性梯度变化，进一步地提高了产品的质量和性能。

本发明的蒸发源装置的使用方法利用上述的蒸发源装置完成，该蒸发源装置的使用方法在使用操作上简单方便，能够通过转动转轴驱动第一挡板和第二挡板分别向相反的方向缓慢移动，以改变流通通道的流通面积，进而改变第一蒸镀材料和第二蒸镀材料在蒸镀后穿过流通通道的瞬时蒸发速率，同时根据初始蒸发速率和瞬时蒸发速率能够计算第一蒸镀材料和第二蒸镀材料在穿过流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化，进一步地实现对产品质量和性能的提高。

附图说明

图1为本发明实施例所提供的蒸发源装置的结构示意图；

图2为本发明实施例所提供的另一种蒸发源装置的结构示意图；

图3为本发明实施例所提供的蒸发源装置的使用方法流程示意图。

图中：

1、腔体；2、第一挡板；21、第一蒸镀孔；3、第二挡板；31、第二蒸镀孔；4、转动转轴；41、第一转动转轴；42、第二转动转轴；5、蒸发源；51、第一蒸镀材料；52、第二蒸镀材料；6、第三挡板；7、基板。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

实施例一

本实施例提供一种蒸发源装置，该蒸发源装置能够用于对待蒸镀材料进行蒸镀，以提高OLED产品的相关性能。

如图1所示，该蒸发源装置包括腔体1、第一挡板2、第二挡板3、转动转轴4和蒸发源5，第一挡板2、第二挡板3、转动转轴4和蒸发源5均设于墙体内，以实现蒸发源5对待蒸镀材料的蒸镀，避免外界水汽等物质对腔体1内造成影响。其中，第二挡板3沿竖直方向设于第一挡板2的下方，且第一挡板2上开设有第一蒸镀孔21，第二挡板3上开设有第二蒸镀孔31，第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31沿竖直方向相对设置，以使第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31形成流通通道，进而待蒸镀材料能够从流通通道穿过，并沉积在第一挡板2上方的基板7上，以形成薄膜。可选地，待蒸镀材料为有机材料。当然，待蒸镀材料也可以为其它材料，本实施例不作具体限定。

具体地，蒸发源5设有两个，两个蒸发源5沿竖直方向分别设于两个第二挡板3的下方，且两个蒸发源5沿水平方向间隔设置，其中一个蒸发源5内设有第一蒸镀材料51，另一个蒸发源5内设有第二蒸镀材料52，进而第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52分别在两个蒸发源5内蒸镀后，能够穿过流通通道并相互掺杂，并形成复合材料。可选地，蒸发源5为点蒸发源。当然，蒸发源5也可以为其它蒸发源，本实施例不作具体限定。

其中，转动转轴4沿竖直方向延伸设置，且转动转轴4连接第一挡板2和第二挡板3，以使转动转轴4能够驱动第一挡板2和第二挡板3分别绕转动转轴4的轴向旋转，从而转动转轴4能够调整流通通道的流通面积，以调整第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52相互掺杂后的掺杂比例。同时，第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52的掺杂比例能够通过改变流通通道的流通面积的大小以形成连续性梯度变化，进一步地提高了产品的质量和性能。具体地，转动转轴4分别驱动第一挡板2和第二挡板3进行旋转，以使第一蒸镀孔21和第二真蒸镀孔的重合面积能够根据需求进行变化，进而流通通道的流通面积的大小也能够根据需求进行变化。可选地，当两种待蒸镀材料为空穴注入材料和空穴传输材料时，两种材料掺杂的比例设置梯度变化时，会更利于产品的电荷传输的控制。

进一步地，第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31均设置有多个，多个第一蒸镀孔21与多个第二蒸镀孔31一一对应设置，从而待蒸镀材料能够均匀地穿过多个第一蒸镀孔21和第二蒸镀孔31，以使第一蒸镀材料51与第二蒸镀材料52能够更加容易的相互掺杂，并提高第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52的掺杂效果。可选地，通过更换第一挡板2和第二挡板3，能够控制第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31的孔数，使第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31的孔数根据蒸镀需求进行变更。进一步可选地，多个第一蒸镀孔21在第一挡板2上呈阵列排布，且多个第二蒸镀孔31在第二挡板3上也呈阵列排布，进而待蒸镀材料能够更加均匀地穿过多个第一蒸镀孔21和第二蒸镀孔31，进一步地提高第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52的掺杂效果。其中，第一蒸镀孔21只与与之相对应的第二蒸镀孔31形成流通通道。

进一步地，第一蒸镀孔21的开口面积等于第二蒸镀孔31的开口面积，从而方便工作人员对待蒸镀材料穿过第一蒸镀孔21和第二蒸镀孔31后的量进行调控。具体地，当第一蒸镀孔21的开口面积大于第二蒸镀孔31的开口面积时，其中一个第一蒸镀孔21与多个的第二蒸镀孔31会形成多个流通通道，进而不方便调控待蒸镀材料穿过第一蒸镀孔21和第二蒸镀孔31后的量；当第一蒸镀孔21的开口面积小于第二蒸镀孔31的开口面积时，其中一个第二蒸镀孔31与多个的第一蒸镀孔21会形成多个流通通道，进而不方便调控待蒸镀材料穿过第一蒸镀孔21和第二蒸镀孔31后的量。

其中，第一挡板2的下侧面的面积大于或等于第二挡板3的上侧面的面积，以避免转动转轴4驱动第一挡板2和第二挡板3进行转动后，待蒸镀材料未从流通通道穿过，而直接由第二挡板3的第二蒸镀孔31穿过，进而对两种待蒸镀材料的掺杂比例造成影响。可选地，第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31为圆形孔或弧形孔或方形孔，圆形孔或弧形孔或方形孔能够提高待蒸镀材料穿过流通通道后的均匀度。当然，第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31也可以为其它形状的孔，本实施例不作具体限定。

进一步地，蒸发源装置还包括第三挡板6，第三挡板6设于第二挡板3与蒸发源5之间，用于封闭第二挡板3的第二蒸镀孔31，以避免待蒸镀材料在不进行蒸镀时，通过流通通道漏到基板7或腔体1上。具体地，第三挡板6转动设于转动转轴4上，进而通过转动转轴4能够驱动第三挡板6绕转动转轴4的轴向旋转，实现流通通道的开启或关闭。可选地，第三挡板6为实心板。

本实施例还提供一种蒸发源装置的使用方法，该蒸发源装置的使用方法利用如上述的蒸发源装置完成，如图3所示，该蒸发源装置的使用方法包括如下步骤：

S1、通过转动转轴4转动第一挡板2和第二挡板3，使第一蒸镀孔21与第二蒸镀孔31沿竖直方向相互对准；设定此时第一蒸镀材料51以及第二蒸镀材料52在蒸镀后穿过流通通道的速率为初始蒸发速率；

S2、通过转动转轴4转动第一挡板2和第二挡板3，使第一挡板2和第二挡板3分别向相反的方向缓慢移动；分别记录第一挡板2和第二挡板3分别向相反的方向缓慢移动时，第一蒸镀材料51与第二蒸镀材料52在蒸镀后穿过流通通道的瞬时蒸发速率；

S3、根据初始蒸发速度和瞬时蒸发速率，计算第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52在穿过流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化。

本实施例提供的蒸发源装置的使用方法在使用操作上简单方便，能够通过转动转轴4驱动第一挡板2和第二挡板3分别向相反的方向缓慢移动，以改变流通通道的流通面积，进而改变第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52在蒸镀后穿过流通通道的瞬时蒸发速率，同时根据初始蒸发速率和瞬时蒸发速率能够计算第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52在穿过流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化，进一步地实现对产品质量和性能的提高。其中，瞬时蒸发速率小于或等于初始蒸发速率，进而瞬时蒸发速率的范围为0到初始蒸发速率，以方便工作人员对第一蒸镀材料51和第二蒸镀材料52的掺杂比例范围进行计算。可选地，在步骤S1之前，通过转动转轴4驱动第三挡板6进行转动能够开启或封闭流通通道。

具体地，第一蒸镀材料51的掺杂比例为第一蒸镀材料51的瞬时蒸发速率比上第一蒸镀材料51的瞬时蒸发速率与第二蒸镀材料52的瞬身蒸发速率的总和；第二蒸镀材料52的掺杂比例为第二蒸镀材料52的瞬时蒸发速率比上第一蒸镀材料51的瞬时蒸发速率与第二蒸镀材料52的瞬身蒸发速率的总和。其中，当第二蒸镀材料52的瞬时蒸发速率始终为初始蒸发速率，第一蒸镀材料51的瞬时蒸发速率从初始蒸发速率逐渐降低至0时，第一蒸镀材料51在两种蒸镀材料的掺杂比例实现了连续梯度的变化；当第一蒸镀材料51的瞬时蒸发速率始终为初始蒸发速率，第二蒸镀材料52的瞬时蒸发速率从初始蒸发速率逐渐降低至0时，第二蒸镀材料52在两种蒸镀材料的掺杂比例也能够实现连续梯度的变化。

实施例二

本实施例还提供一种蒸发源装置，该蒸发源装置也能够用于对待蒸镀材料进行蒸镀，以提高OLED产品的相关性能。

本实施例所提供的蒸发源装置与实施例一种的蒸发源装置基本相同，不同之处在于，如图2所示，转动转轴4分为第一转动转轴41和第二转动转轴42，第一转动转轴41与第二转动转轴42沿水平方向间隔设置，且第一挡板2转动设于第一转动转轴41上，第二挡板3转动设于第二转动转轴42上，进而通过两个转动转轴4分别转动第一挡板2和第二挡板3，以进一步地提高第一挡板2和第二挡板3转动的稳定性，提高流通通道的流通面积进行变化的准确度。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括腔体(1)以及设于所述腔体(1)内的：

第一挡板(2)和第二挡板(3)，所述第二挡板(3)沿竖直方向设于所述第一挡板(2)的下方；所述第一挡板(2)上开设有第一蒸镀孔(21)，所述第二挡板(3)上开设有第二蒸镀孔(31)，所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)沿所述竖直方向相对设置，以使所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)形成流通通道；

转动转轴(4)，所述转动转轴(4)沿竖直方向延伸设置，且所述转动转轴(4)连接所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)；所述转动转轴(4)能够驱动所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)分别绕所述转动转轴(4)的轴向旋转，以调整所述流通通道的流通面积；

蒸发源(5)，所述蒸发源(5)设有两个，两个所述蒸发源(5)沿所述竖直方向分别设于两个所述第二挡板(3)的下方；两个所述蒸发源(5)沿水平方向间隔设置，其中一个所述蒸发源(5)内设有第一蒸镀材料(51)，另一个所述蒸发源(5)内设有第二蒸镀材料(52)。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)均设置有多个，多个所述第一蒸镀孔(21)与多个所述第二蒸镀孔(31)一一对应设置。

3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，多个所述第一蒸镀孔(21)在所述第一挡板(2)上呈阵列排布；多个所述第二蒸镀孔(31)在所述第二挡板(3)上呈阵列排布。

4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一蒸镀孔(21)的开口面积等于所述第二蒸镀孔(31)的开口面积。

5.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一挡板(2)的下侧面的面积大于或等于所述第二挡板(3)的上侧面的面积。

6.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)为圆形孔或弧形孔或方形孔。

7.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括第三挡板(6)，所述第三挡板(6)设于所述第二挡板(3)与所述蒸发源(5)之间，用于封闭所述第二挡板(3)的所述第二蒸镀孔(31)；所述第三挡板(6)转动设于所述转动转轴(4)上。

8.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述转动转轴(4)分为第一转动转轴(41)和第二转动转轴(42)，所述第一转动转轴(41)与所述第二转动转轴(42)沿所述水平方向间隔设置；所述第一挡板(2)转动设于所述第一转动转轴(41)上，所述第二挡板(3)转动设于所述第二转动转轴(42)上。

9.一种蒸发源装置的使用方法，其特征在于，所述蒸发源装置的使用方法利用如权利要求1～8任一项所述的蒸发源装置完成，所述蒸发源装置的使用方法包括如下步骤：

S1、通过所述转动转轴(4)转动所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)，使所述第一蒸镀孔(21)与所述第二蒸镀孔(31)沿所述竖直方向相互对准；设定此时所述第一蒸镀材料(51)以及所述第二蒸镀材料(52)在蒸镀后穿过所述流通通道的速率为初始蒸发速率；

S2、通过所述转动转轴(4)转动所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)，使所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)分别向相反的方向缓慢移动；分别记录所述第一挡板(2)和所述第二挡板(3)分别向相反的方向缓慢移动时，所述第一蒸镀材料(51)与所述第二蒸镀材料(52)在蒸镀后穿过所述流通通道的瞬时蒸发速率；

S3、根据所述初始蒸发速度和所述瞬时蒸发速率，计算所述第一蒸镀材料(51)和所述第二蒸镀材料(52)在穿过所述流通通道并相互掺杂后的掺杂比例的变化。

10.根据权利要求9所述的蒸发源装置的使用方法，其特征在于，所述瞬时蒸发速率小于或等于所述初始蒸发速率。

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