CN114643370B - 层叠造型装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种层叠造型装置,其通过利用朝向窗放出速度不同的两层气流的供给喷嘴,即便在窗的尺寸大型化的情况下也可维持洁净度,从而削减了惰性气体的消耗流量。本发明的层叠造型装置包括:供给口,向腔室供给惰性气体;供给喷嘴,安装于供给口,朝向窗放出速度不同的两层气流;以及排出口,从腔室排出惰性气体,供给喷嘴包括:第一喷嘴构件,入口面连接于供给口;网状构件,具有以覆盖第一喷嘴构件的出口面的下方的一部分的方式安装的多个通孔;以及第二喷嘴构件,安装于第一喷嘴构件的出口面的上方。

Description

层叠造型装置
技术领域
本发明涉及一种层叠造型装置,特别涉及一种具有将烟雾去除至腔室外的功能的金属粉末层叠造型装置。
背景技术
金属粉末层叠造型装置一般而言作为金属三维(three dimension,3D)打印机广为人知。在利用激光的金属粉末烧结层叠造型法中,在造型平台上均匀地散布金属材料粉体来形成材料粉体层,对材料粉体层的规定的照射区域照射激光来形成烧结层,层叠烧结层并使其一体化,由此生成所期望的三维造型物。
在利用激光烧结金属材料粉体的情况下,为了保护材料粉体不变质,要求使规定的照射区域周围的环境尽可能为不存在氧的环境。因此,金属粉末积层造型装置在密闭的腔室内设置激光的规定照射区域,向腔室供给氮气那样的惰性气体,以使得可在氧浓度足够低的环境下照射激光。
另外,当对材料层照射激光或电子束,使材料层烧结或熔融来形成固化层时,产生被称为烟雾(fume)的金属蒸气。若在腔室内存在烟雾,则存在烟雾遮蔽激光或电子束、或烟雾附着于腔室的上表面上所设置的窗等光学零件等,引起造型质量的下降的可能性。
因此,在现有的层叠造型装置中,向腔室供给惰性气体,并且将腔室内的含有烟雾的惰性气体排出,而将腔室内维持成洁净的惰性气体环境。另外,为了再次利用已排出的惰性气体,将已从腔室排出的惰性气体输送至烟雾收集器,在去除了烟雾后返送至腔室。
专利文献1中公开了一种在腔室设置有第一供给口、第二供给口的层叠造型装置。在本发明中,通过从设置于腔室的壁面的第一供给口向腔室供给惰性气体,而回收照射区域周围的烟雾并且充分降低氧浓度,来保护材料粉体不变质。进而,通过从设置于腔室的上表面的第二供给口经由以覆盖窗的方式设置的污染防止装置供给惰性气体,防止窗被烟雾污染,并且将要横穿激光的照射路径的烟雾从照射路径排除。
专利文献2中公开了一种气体喷出装置,其从腔室的外部朝向加工区域的内部喷出保护气体,以使加工区域内的气体不移动至光学装置保存区域。通过形成从气体喷出装置穿过加工区域、负压泵的吸入口的保护气体的流动,防止气体等向光学装置保存区域的逆流,抑制溅射或烟雾对光学系统零件的污染。
专利文献3中公开了以下情况:在用于利用电磁辐射的定向射束进行原料处理的处理槽中,包括:连接窗;第一注入口,设置于所述连接窗的其中一侧,制定为第一气体在所述连接窗的窗面上实质上沿切线方向流入;以及第二注入口,制定设置为第二气体在与所述第一气体的流动实质上相同的方向上从所述窗面隔开距离地流入。所述发明的具有处理槽的装置中,由于第二气体在远离连接窗的方向上流动,因此能够将吸入了从处理面产生的污染的气体从连接窗分离,连接窗的光学面可更有效地维持清洁。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利第6611151号公报
[专利文献2]日本专利特开2018-176213号公报
[专利文献3]日本专利特表2008-542550号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
在现有的层叠造型装置中,向腔室供给惰性气体来回收腔室内的烟雾,然后排出含有烟雾的惰性气体,由此使惰性气体在腔室内循环来回收造型区域中存在的烟雾。
另外,在烧结或熔融材料层来形成固化层时,若烟雾附着于作为光学零件的窗,则附着物的温度因激光或电子束而上升,窗变形,从而有本来调整至造型面上的激光焦点位置偏移而产生造型不良的可能性。因此,从窗的外周猛烈地放出惰性气体,防止因惰性气体的风压而烟雾附着于窗。
如此,以往,惰性气体用作腔室内的烟雾回收用途及防止向烟雾窗的附着用途,采用如专利文献1及专利文献3的发明那样通过设置第一供给口及第二供给口来实现的结构、或如专利文献2那样通过一个供给口来实现的结构。
然而,例如当由于在层叠造型装置搭载多台检流计扫描器(Galvano scanner)等而窗的尺寸大型化时,为了防止因惰性气体的风压而烟雾附着于窗,需要放出大量的惰性气体。其结果,惰性气体的消耗量增加,从而产生了用于驱动层叠造型装置的运行成本高涨的问题。另外,根据窗的尺寸不同,产生了即便放出大量的惰性气体也难以维持窗的洁净度的问题。
鉴于所述问题,本申请发明人等人进一步努力研究,结果发现:(1)通过在设置于供给口的喷嘴的形状等上下功夫,能够从一个供给口生成速度不同的两层气流、及(2)通过使用所述两层气流,能够一次有效率地进行光学零件的窗等的污染的防止及造型区域的烟雾的去除。
因此,本发明的主要目的在于提供一种层叠造型装置,其可防止烟雾附着于窗等光学零件,并从腔室高效地去除烟雾。可由本发明获得的某些优点将在本发明的实施方式的说明中详细描述。
[解决问题的技术手段]
本发明的层叠造型装置包括:腔室,覆盖造型区域;照射装置,设置于腔室的上方,对形成于造型区域的材料层照射激光或电子束来形成固化层;窗,设置于腔室的上部及照射装置的下方,使激光或所述电子束透过;供给口,向腔室供给惰性气体;供给喷嘴,安装于供给口,朝向窗放出速度不同的两层气流;以及排出口,设置于与供给口相对的腔室的壁面,且将惰性气体排出,供给喷嘴包括入口面与供给口连接的第一喷嘴构件、网状构件、第二喷嘴构件、以及设置于第二喷嘴构件的多个划分构件,网状构件是以覆盖第一喷嘴构件的出口面的下方的一部分的方式以从第一喷嘴构件的出口面的底面直立的状态安装,且具有多个通孔,第二喷嘴构件是以网状构件的上端与第二喷嘴构件的入口侧的底面抵接而安装于第一喷嘴构件的出口面的上方,且第二喷嘴构件的出口侧的底面在窗的下方与窗的玻璃面平行的方式设置,第一喷嘴构件的底面与第二喷嘴构件的入口侧的底面是以成为平行的方式设置,在从供给口导入的惰性气体中,上方的气流穿过第二喷嘴构件的内部而利用多个划分构件来作为第一气流,并以平面状放出至窗的玻璃面的下方整个区域,下方的气流通过网状构件的多个通孔而作为速度比第一气流小的第二气流向所述腔室内放出。
此处,所谓“供给口”,在本实施方式中,是指第一供给口。
通过使用本发明的供给喷嘴供给惰性气体,可在接近窗的区域中产生与窗的玻璃面平行的高速(高速层)气流,在高速气流下产生与高速气流平行的低速(低速层)气流。高速层的气流由于气压的变化而产生远离窗的方向的新气流,因此能够维持窗的洁净状态,而且可阻止烟雾向窗侧的侵入。另外,在高速层的气流下产生的低速层的气流可捕捉造型区域的烟雾,并将烟雾排出至腔室外。
本发明的层叠造型装置的特征在于,第二喷嘴构件具有用于使内部所流动的所述惰性气体为平面状的多个划分构件,且第二喷嘴构件的出口侧的上方开放。
根据本发明,由于惰性气体被划分构件划分而放出,因此将惰性气体高速化,并且惰性气体的流动呈平面状,从而可在窗的玻璃面的下方整个区域产生高速的气流。
本发明的层叠造型装置的特征在于,腔室的外壁从所述窗的安装位置至所述排出口的安装位置呈从水平方向倾斜的形状。
另外,本发明的层叠造型装置的特征在于,排出口形成为剖面梯形形状。
根据本发明,腔室的外壁呈从窗的安装位置至排出口的安装位置从水平方向倾斜的形状,另外,排出口形成为剖面梯形形状,因此,从供给喷嘴供给的惰性气体通过窗的下方,并沿着腔室的外壁顺畅地从排出口排出。因此,能够有效率地排出烟雾。
本发明的层叠造型装置的特征在于,所述照射装置具有多个检流计扫描器。
根据本发明,通过从供给喷嘴产生两层气流并通过窗的下方来防止窗的污染,因此即便在窗的尺寸大型化的情况下,也不需要放出大量的惰性气体,从而能够削减用于驱动层叠造型装置的运行成本。
[发明的效果]
本发明能够提供一种层叠造型装置,其通过利用朝向窗放出速度不同的两层气流的供给喷嘴,即便在窗的尺寸大型化的情况下也可维持洁净度,从而削减了惰性气体的消耗流量。
附图说明
图1是表示本实施方式的层叠造型装置100的概略结构图。
图2是表示所述实施方式的照射装置4的概略结构图。
图3是表示所述实施方式的照射装置4的其他例子的概略结构图。
图4是将表示所述实施方式的供给喷嘴6的图1的A放大的概略立体图。
图5是将表示所述实施方式的供给喷嘴6的图1的A放大的概略立体图2。
图6是表示所述实施方式的窗12周边的气流的流动的示意图。
图7是表示在所述实施方式的腔室11内流动的气流的流动的示意图。
[附图标记说明]
3:材料层形成装置
4:照射装置
5:惰性气体供给/排出机构
6:供给喷嘴
6a:第一气流出口
6b:第二气流出口
11:腔室
12:窗
12a:玻璃面
13:第一供给口
14:第二供给口
15:排出口
21:基底板
22:材料层
23:固化层
31:基底台
32:涂覆机头
33:造型平台驱动装置
34:造型平台
41:光源
41a:第一光源
41b:第二光源
43:准直器
45:焦点控制单元
45a:第一聚焦控制单元
45b:第二聚焦控制单元
47:X轴检流计反射镜
47a:第一X轴检流计反射镜
47b:第二X轴检流计反射镜
49:Y轴检流计反射镜
49a:第一Y轴检流计反射镜
49b:第二Y轴检流计反射镜
51:惰性气体供给装置
52:烟雾收集器
53、54:管道箱
61:第一喷嘴构件
61a、63a:入口面
61b:出口面
61c、63c:外壁面
61d、63d、63e:底面
62:网状构件
63:第二喷嘴构件
64:划分构件
100:层叠造型装置
F1:第一气流
F2:第二气流
F3、F4:气流
L、L1、L2:激光
R:造型区域
具体实施方式
以下,使用附图对本发明的实施方式进行说明。以下所示的实施方式中所示的各种特征事项能够相互组合。
图1是表示本实施方式的层叠造型装置100的概略结构图。如图1所示,本实施方式的层叠造型装置包括:腔室11、设置于腔室11内的材料层形成装置3、照射装置4、惰性气体供给/排出机构5、以及供给喷嘴6。
腔室11是以除惰性气体的供给/排出路径以外实质上被密闭的方式构成的框体,且覆盖作为形成所期望的三维造型物的区域的造型区域R。
腔室11具有:设置于上部且使激光L透过的窗12;惰性气体的第一供给口13、第二供给口14;以及设置于与第一供给口13、第二供给口14相对的壁面上的惰性气体的排出口15。腔室11的外壁形状被设计为从第一供给口放出的惰性气体通过窗12的下方,然后沿着腔室11的壁面顺畅地流动至排出口15。具体而言,与设置有第一供给口13的面相对的壁面呈从窗12的安装位置至排出口15的安装位置从水平方向倾斜的形状。
第一供给口13、第二供给口14是向腔室11供给规定浓度的惰性气体的供给口,且与惰性气体供给装置51及烟雾收集器52连接。经由第一供给口13、第二供给口14,将由惰性气体供给装置51生成的惰性气体及由烟雾收集器52去除了烟雾的惰性气体返送至腔室11。
第一供给口13设置于腔室11的壁面上方的接近窗12的位置,第二供给口14设置于腔室11的壁面下方。
排出口15是将腔室11内的含有烟雾的惰性气体向外部排出的排出口,且为了容易抽吸腔室11内的惰性气体而形成为剖面梯形形状。排出口15理想的是在与第一供给口13相对的腔室11的壁面上,设置于第一供给口13的剖面大致对角线上,具体而言,理想的是设置于腔室11的壁面下方。
材料层形成装置3包括:基底台31,具有造型区域R;以及涂覆机头32,配置于基底台31上,且构成为能够在水平单轴方向上移动。在涂覆机头32的两侧面分别设置叶片。涂覆机头32由未图示的材料供给装置供给材料粉体,一面将已收容于内部的材料粉体从底面排出,一面在水平单轴方向上往返移动。此时,叶片将已被排出的材料粉体平坦化来形成材料层22。在造型区域R,设置通过造型平台驱动装置33而可在垂直方向上移动的造型平台34。在使用层叠造型装置时,在造型平台34上配置基底板21,在基底板21上形成材料层22。
从第一供给口13供给的惰性气体的气流通过窗12的下方,然后沿着腔室11的壁面流动,最后从排出口15排出。由于来自第一供给口13的惰性气体的气流的效果,能够实现造型区域R的上方的烟雾的去除及窗12的污染的防止。
另外,从第二供给口14供给的惰性气体的气流通过造型平台34的上方,然后从排出口15排出。由于来自第二供给口14的惰性气体的气流的效果,可使造型平台34的上表面上产生的烧结时的烟雾流向排出口15。
在本实施方式中,在腔室11设置有两个供给口及一个排出口,但也可省略第二供给口14。另外,与惰性气体供给/排出机构5连接的供给口和与烟雾收集器52连接的供给口也可个别地设置。
进而,在想要使烟雾附着于窗12的情况为最小限度的情况下,也可在第一供给口13仅连接惰性气体供给装置51,不向第一供给口13进行再利用的惰性气体的供给。
图2是表示所述实施方式的照射装置4的概略结构图。
照射装置4设置于腔室11的上方。本实施方式的照射装置4对形成于造型区域R上的材料层22的规定部位照射激光L,而使照射位置的材料粉体烧结或熔融来形成固化层23。如图2所示,照射装置4包括:光源41、准直器43、焦点控制单元45、以及检流计扫描器。检流计扫描器具有:X轴检流计反射镜(Galvano mirror)47及Y轴检流计反射镜49、以及使X轴检流计反射镜47及Y轴检流计反射镜49旋转的致动器。
光源41生成激光L。此处,激光L只要是可使材料层22固化者,则其种类并无限定,例如为CO2激光、光纤激光或钇铝石榴石(Yttrium Aluminum Garnet,YAG)激光。准直器43将已从光源41输出的激光L转换成平行光。焦点控制单元45将已从光源41输出的激光L聚集并调整成所期望的光点直径。双轴的检流计扫描器使已从光源41输出的激光L进行二维扫描。具体而言,X轴检流计反射镜47及Y轴检流计反射镜49根据从未图示的控制装置输入的旋转角度控制信号的大小来控制旋转角度,使激光L分别在X轴方向及Y轴方向上进行扫描。
穿过了X轴检流计反射镜47及Y轴检流计反射镜49的激光L透过设置于腔室11的上表面的窗12,照射至已形成于造型区域R的材料层22。窗12由可使激光L透过的材料形成。例如,在激光L为光纤激光或YAG激光的情况下,窗12可包含石英玻璃。
再者,照射装置4例如也可照射电子束而使材料层22固化来形成固化层23。例如,照射装置4也能够以包括放出电子的阴极电极、使电子会聚并加速的阳极电极、形成磁场并使电子束的方向会聚成一方向的螺线管、以及与作为被照射体的材料层22电连接并在与阴极电极之间施加电压的集电极的方式构成。
图3是表示所述实施方式的照射装置4的其他例子的概略结构图。
照射装置4也可为将多个检流计扫描器并排配置的结构。具体而言,照射装置4包括:第一光源41a及第二光源41b;第一聚焦控制单元45a及第二聚焦控制单元45b;第一X轴检流计反射镜47a及第二X轴检流计反射镜47b;以及第一Y轴检流计反射镜49a及第二Y轴检流计反射镜49b。利用未图示的控制装置驱动第一X轴检流计反射镜47a、第二X轴检流计反射镜47b、第一Y轴检流计反射镜49a及第二Y轴检流计反射镜49b来扫描激光L1、激光L2。激光L1、激光L2透过设置于腔室11的上表面的窗12并照射至形成于造型区域R的材料层22。在搭载有多台检流计扫描器的层叠造型装置100中使用的窗12的尺寸变得大型。
通过以上说明的材料层形成装置3及照射装置4,对所期望的三维造型物进行造型。首先,在载置有基底板21的状态下将造型平台34的高度调整至适当的位置。接着,使涂覆机头32从造型区域R的图1中的左侧向右侧移动,在基底板21上形成第一层的材料层22。接着,对第一层的材料层22的规定位置照射激光L,形成第一层的固化层23。同样地,将造型平台34的高度下降相当于一层材料层22,并使涂覆机头32从造型区域R的图1中的右侧向左侧移动,由此在第一层的固化层23上形成第二层的材料层22。接着,对第二层的材料层22的规定位置照射激光L来形成第二层的固化层23。第一层的固化层23与第二层的固化层23相互固着。通过重复以上的步骤,依次形成第三层以后的固化层23。如此,重复进行材料层22及固化层23的形成,而对所期望的三维造型物进行造型。
惰性气体供给/排出机构5是在腔室11内充满规定浓度的惰性气体,并且从腔室11排出含有烟雾的惰性气体,从所排出的惰性气体中去除烟雾之后将其返送至腔室11内的装置。
惰性气体供给/排出机构5包括:惰性气体供给装置51、烟雾收集器52、以及管道箱53、管道箱54。
惰性气体供给装置51是向腔室11供给规定浓度的惰性气体的装置,具体而言,是从周围的空气生成惰性气体的惰性气体产生装置、或储留有惰性气体的储气罐。再者,所谓惰性气体,是指与由金属材料形成的材料层22、金属材料固化而成的固化层23、及含有氧的其他气体实质上不进行反应的气体,例如为氮气。
烟雾收集器52是在从自腔室11排出的惰性气体中去除烟雾之后,将其返送至腔室11的构件,且使用过滤式的构件。烟雾收集器52经由管道箱53、管道箱54连接于腔室11。
图4是将表示所述实施方式的供给喷嘴6的图1的A放大的概略立体图,图5是将表示所述实施方式的供给喷嘴6的图1的A放大的概略立体图2。
供给喷嘴6是由从第一供给口13供给的惰性气体生成速度不同的两层气流的构件,且是以入口设置于第一供给口13、出口接近窗12的方式设置。供给喷嘴6包括:第一喷嘴构件61、网状构件62、第二喷嘴构件63、以及多个划分构件64。
第一喷嘴构件61是内部为空洞的矩形形状的构件,且入口面61a连接于第一供给口13,在出口面61b设置有网状构件62及第二喷嘴构件63。在图5中,为了说明内部结构,为方便起见,省略了第一喷嘴构件61的外壁面61c。
网状构件62是具有多个通孔的平板状的构件,且是以在第一喷嘴构件61的出口面61b的下方且覆盖一部分的方式以从第一喷嘴构件61的底面61d直立的状态设置。在本实施方式中,在第一喷嘴构件61的出口面61b的下侧一半的区域设置有网状构件62。通过网状构件62形成有第二气流出口6b。
第二喷嘴构件63是形成为く字状的左右具有外壁面63c的盘状的构件,且出口侧的上方开放,在内部设置有多个划分构件64。第二喷嘴构件63在第一喷嘴构件61的出口面61b的上方设置有第二喷嘴构件63的入口面63a。在本实施方式中,在第一喷嘴构件61的出口面61b的上侧一半的区域设置有第二喷嘴构件63的入口面63a,入口侧的底面63d与网状构件62的上端相接。
另外,第二喷嘴构件63的入口侧的底面63d是以与第一喷嘴构件61的底面61d平行的方式设置。
进而,第二喷嘴构件63的出口侧的底面63e是以在窗12的下方且与窗12的玻璃面12a平行的方式设置。此处,将第二喷嘴构件63的出口记为第一气流出口6a。
划分构件64为形成为く字状的平板状的构件,且在第二喷嘴构件63的内部与外壁面63c平行地立设,并空开一定的间隔设置有多个。
图6是表示所述实施方式的窗12周边的气流的流动的示意图,图7是表示在所述实施方式的腔室11内流动的气流的流动的示意图。
从第一供给口13导入的惰性气体从第一喷嘴构件61的入口面61a穿过第一喷嘴构件61的内部,并流向第一喷嘴构件61的出口面61b。然后,惰性气体下方的气流通过网状构件62的多个通孔,并作为第二气流F2从第二气流出口6b向腔室11内放出。另一方面,惰性气体上方的气流穿过第二喷嘴构件63的内部,利用划分构件64呈平面状扩展,并作为第一气流F1从第一气流出口6a向腔室11内放出。第一气流F1成为与窗12的玻璃面12a平行的气流,并以横穿窗12的玻璃面12a整个面的下方的方式流动。
第二气流F2通过网状构件62的多个通孔,由此速度小于第一气流F1。第二气流F2由于气压的不同而被第一气流F1吸引,速度不同的第一气流F1与第二气流F2此两层气流与窗12的玻璃面12a平行地在窗12的下方流动。
如图6所示,在接近窗12的区域中形成高速的第一气流F1(高速层),在稍远离窗12的区域中形成低速的第二气流F2(低速层)。因此,在接近窗12的区域中,通过由于风速的不同引起的气压变化而产生被高速层(第一气流F1)吸引的低速的气流F3。气流F3始终成为远离窗12的方向的气流,因此可防止烟雾向窗12侧的进入,从而维持窗12的洁净状态。
另外,如图7所示,作为高速层的第一气流F1沿着腔室11的壁面从排出口15排出。此时,从造型区域R涌出的烟雾被高速层(第一气流F1)吸引而成为新的气流F4,进而作为低速层的第二气流F2捕捉造型区域R的烟雾,含有烟雾的第二气流F2及气流F4与高速层(第一气流F1)一起从排出口15排出。
如此,由于在接近窗12的区域中始终形成远离窗12的方向的气流F3,因此即便在窗12的尺寸大型化的情况下,也可通过气流F3适当地防止烟雾向窗12的附着。另外,高速的第一气流F1自身发挥阻挡烟雾从造型区域R向窗12侧进入的作用,进而吸引从造型区域R涌出的含有烟雾的第二气流F2及气流F4并从排出口15排出,因此能够一次实现腔室11内的烟雾的回收及防止烟雾向窗12的附着此两个目的。
第二喷嘴构件63的宽度也可形成为与窗12的玻璃面12a的宽度大致相同的宽度,以使第一气流F1在窗12的玻璃面12a的下方整个区域内流动。若如此,则可适当地保护窗12的整个面。
如以上那样对本发明的实施方式进行了说明,但这些实施方式是作为例子来提示,并不意图限定发明的范围。这些新颖的实施方式能够以其它各种方式来实施,可在不脱离发明的主旨的范围内进行各种省略、替换、变更。实施方式中所示的各技术性特征能够在技术上不产生矛盾的范围内相互组合。这些实施方式及变形例包含在发明的范围或主旨中,并且包含在权利要求中记载的发明及其均等的范围内。

Claims (5)

1.一种层叠造型装置,其特征在于,包括:
腔室,覆盖造型区域;
照射装置,设置于所述腔室的上方,对形成于所述造型区域的材料层照射激光或电子束来形成固化层;
窗,设置于所述腔室的上部及所述照射装置的下方,使所述激光或所述电子束透过;
供给口,向所述腔室供给惰性气体;
供给喷嘴,安装于所述供给口,朝向所述窗放出速度不同的两层气流;以及
排出口,设置于与所述供给口相对的所述腔室的壁面,且将所述惰性气体排出,
所述供给喷嘴包括入口面与所述供给口连接的第一喷嘴构件、网状构件、第二喷嘴构件、以及设置于所述第二喷嘴构件的多个划分构件,
所述网状构件是以覆盖所述第一喷嘴构件的出口面的下方的一部分的方式以从所述第一喷嘴构件的出口面的底面直立的状态安装,且具有多个通孔,
所述第二喷嘴构件是以所述网状构件的上端与所述第二喷嘴构件的入口侧的底面抵接而安装于所述第一喷嘴构件的出口面的上方,且所述第二喷嘴构件的出口侧的底面在所述窗的下方与所述窗的玻璃面平行的方式设置,
所述第一喷嘴构件的底面与所述第二喷嘴构件的入口侧的底面是以成为平行的方式设置,
在从所述供给口导入的所述惰性气体中,上方的气流穿过所述第二喷嘴构件的内部而利用所述多个划分构件来作为第一气流,并以平面状放出至所述窗的玻璃面的下方整个区域,
下方的气流通过所述网状构件的多个通孔而作为速度比所述第一气流小的第二气流向所述腔室内放出。
2.根据权利要求1所述的层叠造型装置,其特征在于,所述第二喷嘴构件的出口侧的上方开放。
3.根据权利要求1所述的层叠造型装置,其特征在于,所述腔室的外壁从所述窗的安装位置至所述排出口的安装位置呈从水平方向倾斜的形状。
4.根据权利要求1所述的层叠造型装置,其特征在于,所述排出口形成为剖面梯形形状。
5.根据权利要求1所述的层叠造型装置,其特征在于,所述照射装置具有多个检流计扫描器。
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