CN114618796A - 一种mems压力传感器自动标定线装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种MEMS压力传感器自动标定线装置。该装置包括：上料部件、温控试验箱、标定线皮带传输、测试压合部件、温度测试区、下料部件(包含NG标识和不良品剔除机构)、测试标定系统及电气控制系统，自动完成MEMS压力传感器的上料、低温测试、常温测试、高温测试、参数写入、复测、不良品标记、下料，进而完成MEMS压力传感器的标定。本标定线装置缩短了温度等待时间、减小温度误差、提高测试精度；其次不需要人工更换温度、操作软件系统等，并且降低了人工成本，实现MEMS压力传感器的多阶校准。
Description
技术领域
本发明涉及自动化生产标定系统(Automated production calibration system)技术领域，更具体地，涉及一种MEMS压力传感器自动标定线装置。
背景技术
MEMS压力传感器标定系统是一种将传感器芯片标定到指定参数范围内的一种生产标定系统。其中主要包含温控试验箱，用于调节芯片所处环境温度；压力控制器，调节芯片所受压力大小；加压测试部件，芯片对数据进行采集，计算，写入。写入完成后，复测系统进行复测，数据满足产品要求时，产品标定完成。上述MEMS压力传感器标定过程存在明显缺陷。首先为使芯片适应各个温区工作，要在不同温度点采集数据传统方法温度等待时间较长；其次需要人工更换温度，操作软件系统等，人工成本较大；而且温度控制精度不高导致测试精确度不高。
发明内容
为解决上述问题，提高测试精度和生产效率，实现多阶校准，本发明提出一种MEMS压力传感器自动标定线装置，包括：上料部件、多个温控试验箱、标定线皮带、测试压合部件、下料部件(包含NG标识和不良品剔除机构)、温度测试区、测试标定系统及电气控制系统，所述标定系统和所述压合部件均设置在所述温度测试区，所述温度测试区包括低温测试区、常温测试区、高温测试区、复测区和过渡区，多个所述温控试验箱分别设置于所述低温测试区、所述常温测试区、所述高温测试区、所述复测区和所述过渡区，所述MEMS压力传感器自动标定装置自动完成传感器上料，所述标定线皮带将MEMS压力传感器传输至所述低温测试区、所述常温测试区或所述高温测试区进行标定测试，然后将所述MEMS压力传感器传输至所述复测区，进行参数写入和复测，将不良品筛选、标识以及下料；所述电器控制系统控制所述上料部件、所述温控试验箱、所述标定线皮带、所述测试压合部件、所述下料部件以及所述测试标定系统运转。
可选地，所述上料部件与所述下料部件结构相同，运行动作相反。
可选地，所述上料部件包括机架部件、升降结构、篮具传输机构、第一传输结构和防护罩部件；
所述上料部件包括机架部件、升降结构、篮具传输机构、第一传输结构；
升降结构包括伺服电机和用于驱动升降的气缸，所述伺服电机包括至少一套滚珠丝杠升降件，所述滚珠丝杠升降件用于提升篮具以便所述标定线皮带传输件取或放物料，所述气缸驱动所述升降件，所述升降件作为篮具的缓存工位；
所述篮具传输机构包括一套行程1000毫米(mm)的直线模组和一套具有2个工位的叉手，所述直线模组由所述伺服电机驱动，所述直线模组用于篮具的上或下料，以及篮具在各个工位之间的传递，所述叉手用于承载篮具；
所述第一传输结构包括一套无杆气缸(行程300mm)和一套由调速电机驱动的第二传输机构，所述无杆气缸包括叉臂，所述叉臂用于从所述升降结构驱动篮具中取或放物料，所述第二传输机构用于制冷器中含配置冷量调节压力传感器将物料传进或传出所述温控试验箱。
可选地，还包括器件工装，所述器件工装设有定位槽，MEMS压力传感器放入所述器件工装的所述定位槽内；
所述器件工装以篮具的形式上料，所述篮具由人工取放，所述器件工装由所述标定线皮带传输到所述测试压合部件处；
所述器件工装材质为双面玻纤，满足所述双面玻纤的温度膨胀系数与传感器的芯片匹配；
可选地，所述低温测试区、所述常温测试区、所述高温测试区分别包括预温、试验、缓冲三个温区。每个温区设立一个温控试验箱；所述复测区、所述过渡区具有独立的温控试验箱，每个温控试验箱设计有开关门、观察窗、照明灯以及气动插板门，且所述过渡区温控试验箱不设置气动插板门；
所述温控试验箱材质采用1.2mm的SUS304镜面不锈钢板，所述温控试验箱的外箱材质外壳采用1.5mm冷轧钢板，双面白色静电喷塑，所述温控试验箱的保温材质采用PU(聚氨酯)发泡板和超细玻璃卷棉复合保温层，厚度不小于100mm；
所述温控试验箱的门上设有耐高温和耐低温硅橡胶密封条密封，所述温控试验箱的门框及开关门的四周设有自控温加热丝，用于防止低温试验时冷凝或结霜，所述调控系统根据工作室温度自动开启加热除霜；
所述温控试验箱的开关门安装多层钢化防雾观察窗,视窗内外均镀有透明加热膜，用于防止结露结霜，以保证试验时视窗的可观察性；
所述温控试验箱采用低温、常温、高温顺序，这样温度跨度平均，升降温时间跨度短，可以最大提升工作效率；
所述温控试验箱内采用热风循环系统，使低温、常温和高温区温度误差在±1℃以内；
每个所述温控试验箱的门上安装1只照明灯，所述照明灯为超亮灯管，所述照明灯的开关位于所述温控试验箱的触摸屏上；
所述气动插板门的开启或关闭被气缸控制；
所述温控试验箱内置空调箱、加热器和蒸发器，所述空调箱在所述304温控试验箱体内部侧方，在所述空调箱的顶部设有不锈钢的离心风机，所述空调箱的顶部送风，底部回风的强制鼓风循环；
所述空调箱内部从上到下依次包括：不锈钢多翼离心风机、加热器、蒸发器；
所述加热器使用翅片式加热管，所述加热器的材质采用304不锈钢、改性氧化镤粉、电热合金丝以及不锈钢散热片，所述加热管的加热的控制采用PID自动调整，经固态继电器(SSR)输出至加热器；
所述蒸发器包括降温蒸发器和除湿蒸发器；所述温控试验箱内设有制冷器，所述制冷器包括涡旋压缩机、节流系统和冷凝器，所述涡旋压缩机用于提供降温所需要的制冷量，所述冷凝器风冷冷却所述节流系统包括电子膨胀阀、热力膨胀阀和毛细管；
所述制冷器还包括压力传感器和冷媒压力调节罐，所述压力传感器用于实时监控所述温控试验箱运转压力，所述压力传感器设有多个电磁阀，所述多个电磁阀用于调节所述温控试验箱的压力工况并对冷量的大小进行调节，所述冷媒压力调节罐用于将高温段和恒温段的部分冷媒回收至所述冷媒压力调节罐，减少冷量输出，减少功率消耗；
所述制冷器还包括制冷器管道和涡旋压缩机，所述制冷器管道材质为无氧铜管，所述制冷管道上设有圆弧弯，在所述圆弧弯上设有尼龙固定夹装，所述涡旋压缩机下部设有接水盘，所述接水盘用于收集废水并集中排放；
所述涡旋压缩机底部安装减振弹簧或胶垫，所述减振弹簧或胶垫用于减少压缩机振动通过底座向机组架传递；所述涡旋压缩机的吸或排气管道为金属避震软管，所述软管用于减小吸或排气管道将振动传递所述软管；
所述温控试验箱内设有干空气吹扫系统，主要作用是将箱内空气用干空气(低湿度空气)进行置换，达到降低箱内空气干燥度，解决箱内凝霜凝水现象产生。
可选地，所述标定线皮带传输包括低温区皮带传输、常温区皮带传输、高温区皮带传输、过渡区皮带传输和复测区皮带传输。
可选地，低温区皮带传输包括预温皮带传输、测试皮带传输和缓存皮带传输；
所述预温皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构；
所述测试皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构；
所述缓存皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构；
所述常温区皮带传输结构与所述低温区皮带传输结构相同；
所述高温区皮带传输结构与低温区皮带传输结构相同；
所述过度区皮带传输与复测区皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构。
可选地，所述测试压合部件包括涡轮丝杆升降机构、探针板组件、器件工装、气缸，所述涡轮丝杆升降机构、所述探针板组件、所述器件工装、所述气缸均位于所述温控试验箱中的低温测试区、常温测试区、高温测试区和复测区。
可选地，所述下料部件包括篮具下料机构、器件工装取放结构、下料传输机构和NG标识机构；
其中，所述篮具下料机构用于完成满篮具的下料及空篮具的上料，在Y轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Z轴方向配置伺服电机、导轨、所述滚珠丝杠和气缸；
所述MEMS压力传感器的器件工装取放机构是将已标定的压力传感器器件工装放置在所述篮具中取出，其配置所述伺服电机、所述直线运动单元和所述气缸；
所述下料传输机构是将复测完的器件工装传输到所述NG标识机构，其配置异步电机、变频器、减速机和皮带；
所述NG标识机构是给复测完的不良品做标记，在X轴方向配置伺服电机和所述直线运动单元；在Y轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Z轴方向配置所述气缸。
可选地，所述测试标定系统包括压力控制器、标定软件、数据采集设备、增压泵、真空泵、高压管路、电磁阀及转接头；
所述数据采集设备包括5套多路采集卡，所述多路采集卡分多个温度区，且每个所述温度区多次采集压力点。
可选地，所述电气控制系统包括自动或手动模式操控整条标定线的PC触摸屏或PLC触摸屏。
本发明通过上料部件、温控试验箱、标定线皮带传输、测试压合部件、下料部件(包含NG标识和不良品剔除机构)、测试标定系统及电气控制系统实现自动完成传感器上料，低常高温测试，参数写入，复测，不良品筛选，下料，从而缩短了温度等待时间；其次不需要人工更换温度、操作软件系统等，并且降低了人工成本。
附图说明
图1是生产线示意图。
图中1-上料部件、2-电气控制操作台、3-低温测试区、4-过渡区、5-常温测试区、6-过渡区、7-高温测试区、8-复测区、9-下料部件。
图2空调箱。
图3干空气吹扫系统。
图4电气控制系统图
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。但本领域技术人员知晓，本发明并不局限于附图和以下实施例。
本发明提供了一种MEMS压力传感器自动标定线装置，包括：上料部件、多个温控试验箱、标定线皮带、测试压合部件、下料部件(包含NG标识和不良品剔除机构)、温度测试区、测试标定系统及电气控制系统，所述标定系统和所述压合部件均设置在所述温度测试区，所述温度测试区包括低温测试区、常温测试区、高温测试区、复测区和过渡区，多个所述温控试验箱分别设置于所述低温测试区、所述常温测试区、所述高温测试区、所述复测区和所述过渡区，所述MEMS压力传感器自动标定装置自动完成传感器上料，所述标定线皮带将MEMS压力传感器传输至所述低温测试区、所述常温测试区或所述高温测试区进行标定测试，然后将所述MEMS压力传感器传输至所述复测区，进行参数写入和复测，将不良品筛选、标识以及下料；所述电器控制系统控制所述上料部件、所述温控试验箱、所述标定线皮带、所述测试压合部件、所述下料部件以及所述测试标定系统运转。
压力传感器器件工装以篮具的形式上料，篮具由人工取放，压力传感器器件工装由皮带传输到测试段。通过预温皮带、测试皮带传输到低温测试区，压力传感器进行低温数据采集。通过加压部件对器件工装所受压力进行调节控制，然后对传感器进行参数采集(多温度点与多压力点)，参数采集完成后，通过皮带传送到缓存区，等待进入常温数据采集区。常温测试区域高温测试区原理同低温测试区相同。
当三个温度区数据采集完成，传感器器件工装由皮带传输传送到复测区，在复测区进行参数写入、数据复测等。复测结束传感器器件工装传送到下料部件中。将标定不良品在NG工位进行标记，最后篮具下料机构完成满篮具的下料及空篮具的上料。
在采集过程中，首先需要改变传感器的温度，其是改变温控试验箱温度进行调节。试验温控试验箱内设空调箱、制冷器、干空气吹扫系统及减震降噪功能，以便满足采集数据调节温度的功能。其次需要改变传感器所受的压力，是通过压力控制器的调节改变加压部件内压力完成。
MEMS压力传感器自动标定系统是通过电气控制系统操控整条生产线。
如图1所示。人工上料，把芯片安装到芯片器件工装中；把器件工装放入上料部件篮具中。篮具放入生产线上料部件部分中。
进一步，上料部件与下料部件结构相同，运行动作相反。
进一步，上料部件包括机架部件、升降结构、篮具传输机构、第一传输结构；
升降结构包括含伺服电机驱动和用于驱动升降的气缸，伺服电机包括至少一套的滚珠丝杠升降装置件一套，滚珠丝杠升降件用于提升篮具以便标定线皮带传输件传输结构取/或放物料，气缸驱动的升降件装置一套，升降件作为篮具的缓存工位；
升降结构包括伺服电机和用于驱动升降的气缸，伺服电机包括至少一套滚珠丝杠升降件，滚珠丝杠升降件用于提升篮具以便标定线皮带传输件取或放物料，气缸驱动升降件，升降件作为篮具的缓存工位；
篮具传输机构包括一套行程1000毫米(mm)的直线模组和一套具有2个工位的叉手，直线模组由伺服电机驱动，直线模组用于篮具的上或下料，以及篮具在各个工位之间的传递，叉手用于承载篮具；
第一传输结构包括一套无杆气缸(行程300mm)和一套由调速电机驱动的第二传输机构，无杆气缸包括叉臂用于从升降结构驱动篮具中取或放物料，第二传输机构用于制冷器中含配置冷量调节压力传感器将物料传进或传出温控试验箱。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线装置，还包括器件工装，器件工装含有设有定位槽，MEMS压力传感器放入器件工装的定位槽内；
压力传感器器件工装以篮具的形式上料，篮具由人工取放，器件工装由标定线皮带传输到测试压合部件处；
器件工装材质采用为双面玻纤材料，可调整板厚度，满足双面玻纤的高低温度膨胀系数与传感器芯片匹配，在传送和高低温循环过程中无变形，不影响传感器芯片感受压力。
进一步，下料部件包括篮具下料机构、器件工装取放结构、下料传输机构和NG标识机构；
其中，篮具下料机构用于完成满篮具的下料及空篮具的上料，在Y轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Z轴方向配置伺服电机、导轨、滚珠丝杠和气缸；
MEMS压力传感器的器件工装取放机构是将已标定的压力传感器器件工装放置在篮具中取出，其配置伺服电机、直线运动单元和气缸；
下料传输机构是将复测完的器件工装传输到NG标识机构，其配置异步电机、变频器、减速机和皮带；
NG标识机构是给复测完的不良品做标记，在X轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Y轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Z轴方向配置气缸。
进一步，篮具上料机构通过上料传输机构，将未标定的压力传感器器件工装传输到所述低温测试区。
进一步，所述低温测试区分为分别设计预温、试验、缓冲三个温区箱。每个温区箱设有温控试验箱开关门、观察窗、照明灯、机组箱、气动插板门等，过渡区箱不设置气动插板门。
进一步，温控试验箱内置空调箱，空调箱在温控试验箱体内部侧方，在空调箱的顶部设有不锈钢的离心风机，空调箱的顶部送风，底部回风的强制鼓风循环；空调箱内部从上到下依次安装：不锈钢多翼离心风机、加热器、蒸发器。工作室内的空气从空调箱下方吸入，经过加热或制冷后的空气被离心风机吸入，通过风机蜗壳出口导向叶片导流后从箱体顶部送入工作室，实现对工作室的加热或制冷。如图2所示。
进一步，加热器使用翅片式加热管，加热器的材质采用优质304不锈钢、改性氧化镤粉、电热合金丝以及不锈钢散热片，加热管的加热的控制采用PID自动调整，经固态继电器(SSR)输出至加热器。
进一步，试验箱内风循环系统采用侧面风道强制鼓风循环，风从顶部吹出，将风道中调和好的温度散发到测试空间。专用高温低噪音马达，对称布置；不锈钢加长轴芯，多翼式扇叶。
进一步，温控试验箱的门上设有双层耐高低温硅橡胶密封条密封，温控试验箱的门框及开关门的四周设有自控温加热丝，用于防止低温试验时冷凝或结霜，调控系统根据工作室温度自动开启加热除霜，即试验箱内为了避免在做高低温循环试验时低温升高温试验时试品表面凝露凝霜现象发生，加装一套干空气吹扫系统，主要作用是将箱内空气用干空气(低湿度空气)进行置换，达到降低箱内空气干燥度，解决箱内凝霜凝水现象产生。流程如图3所示。
进一步，温控试验箱内制冷器采用美涡旋压缩机，提供降温所需要的制冷量，根据不同制冷量需求可灵活调节压缩机输出。
进一步，制冷器冷却方式采用风冷、冷凝、冷却，冷媒符合国际环保要求的新型制冷剂。
进一步，制冷器采用专用高效正弦波纹铝翅片风冷蒸发器。
进一步，制冷器中节流系统采用电子膨胀阀、热力膨胀阀和毛细管，电子膨胀阀(Sporlan或Danfoss)。
进一步，制冷器中含配置冷量调节压力传感器，实时监控系统运转压力，通过多个电磁阀调节系统的压力工况。冷媒压力调节罐设计，高温段和恒温时将部分冷媒回收至调节罐，减少冷量输出，减少功率消耗；调节罐和压力测试系统配合作用。
进一步，制冷系统制冷管道制冷系统管道采用优质无氧铜管，充氮保护焊接。压缩机下部安装有接水盘，收集后集中排放。
进一步，制冷器还包括制冷器管道，制冷器管道材质为无氧铜管，制冷管道上设有圆弧弯，在圆弧弯上设有尼龙固定夹装，涡旋压缩机下部设有接水盘，接水盘用于收集废水并集中排放。
进一步，皮带传输安装于温控试验箱内，用于传输压力传感器器件工装依次通过低温测试区、过渡区、常温测试区、过渡区、高温测试区、复测区。
进一步，皮带传输由低温测试区皮带传输、常温测试区皮带传输、高温测试区皮带传输、复测区皮带传输、过渡区皮带传输组成。低温\常温\高温测试区皮带传输包含预冷/热皮带传输、低温\常温\高温测试皮带传输、低温\常温\高温缓冲皮带传输。
进一步，皮带传输配置为异步电机、变频器、减速机、带轮、皮带。皮带传输采用变频调速，传输速度可调。
进一步，加压测试部件主要由蜗轮丝杆升降机构、支撑底板、加压器件工装、导向轴、支撑顶板、探针板组件、气缸等组成。
进一步，整条生产线共有4套加压测试部件:低温、常温、高温测试和复测各有一套加压测试部件。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线下料部件主要由篮具下料机构、压力传感器器件工装取放结构、下料传输机构和NG标识机构组成。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线压力传感器器件工装由皮带传输到下料部分，压力传感器器件工装以篮具的形式下料，篮具由人工取放。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线篮具下料机构完成满篮具的下料及空篮具的上料。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线压力传感器器件工装取放机构将已标定的压力传感器器件工装放置在篮具中。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线下料传输机构将复测完的器件工装传输到NG标识工位。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线NG标识机构给复测完的不良品做标记。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线测试标定系统包括压力传感器标定系统和压力控制系统，主要用于：
(1)每个测试温度下压力控制器控制加压压力和精度。
(2)测试标定系统对压力传感器进行测试和标定。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线测试标定系统配置：压力控制器、增压泵、真空泵、真空源、高压管路、电磁阀、转接头及其他配件。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线加压器件工装及探针板组件。集成芯片压力传感器采用整体加压的方式。自身尺寸及形状发生变化，加压器件工装、探针板组件及压力传感器器件工装需要更换。
进一步，MEMS压力传感器自动标定线设置安全保护装置。
进一步，所述MEMS压力传感器自动标定线电气控制操作系统进行操作。如图4所示。
(1)由PC、PLC、触摸屏等实现产线的运动控制、温度控制、产品识别、标定等。
(2)多路采集卡：4套，分别用于低温、常温、高温和复测区测试使用。
(3)压力控制器：4套，分别用于低温、常温、高温和复测区加压控制。
(4)产线运行模式：自动模式、手动模式。
(5)人机界面具有密码功能，权限分层，可以防止误操作导致意外停机或试验中断。
(6)配置三色塔灯，采用声光模式进行设备工作状况和报警情况的指示。
进一步，所述MEMS压力传感器自动标定线标定软件用于标定系统的流程控制、数据处理与管理。
(1)将产品ID与标定系统标定的温度、压力绑定。
(2)将绑定的标定数据与标定系统进行通讯。
(3)自动启停标定系统和压力控制器功能。具有当前PCB板NG管理功能。
进一步，所述MEMS压力传感器自动标定线电气控制系统还包含：控制柜、断电保护、报警记录、报警指示等。
以上，对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明不限定于上述实施方式。凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (11)
1.一种MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，包括：上料部件、多个温控试验箱、标定线皮带、测试压合部件、下料部件、温度测试区、测试标定系统及电气控制系统，所述下料部件包含NG标识和不良品剔除机构；
所述标定系统和所述压合部件均设置在所述温度测试区，温度测试区包括低温测试区、常温测试区、高温测试区、复测区和过渡区，多个所述温控试验箱分别设置于所述低温测试区、所述常温测试区、所述高温测试区、所述复测区和所述过渡区；
所述MEMS压力传感器自动标定装置自动完成传感器上料，所述标定线皮带将MEMS压力传感器传输至所述低温测试区、所述常温测试区或所述高温测试区进行标定测试，以及将所述MEMS压力传感器传输至所述复测区，进行参数写入和复测，将不良品筛选、标识以及下料；
所述电气控制系统控制所述上料部件、所述温控试验箱、所述标定线皮带、所述测试压合部件、所述下料部件以及所述测试标定系统运转。
2.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述上料部件与所述下料部件的结构相同，运行动作相反。
3.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述上料部件包括机架部件、升降结构、篮具传输机构、第一传输结构；
所述升降结构包括伺服电机和用于驱动升降的气缸，所述伺服电机包括至少一套滚珠丝杠升降件，所述滚珠丝杠升降件用于提升篮具以便所述标定线皮带传输件取或放物料，所述气缸驱动所述升降件，所述升降件作为篮具的缓存工位；
所述篮具传输机构包括一套行程1000毫米的直线模组和一套具有2个工位的叉手，所述直线模组由所述伺服电机驱动，所述直线模组用于篮具的上或下料，以及篮具在各个工位之间的传递，所述叉手用于承载篮具；
所述第一传输结构包括一套行程300毫米的无杆气缸和一套由调速电机驱动的第二传输机构，所述无杆气缸包括叉臂，所述叉臂用于从所述升降结构驱动篮具中取或放物料，所述第二传输机构用于制冷器中含配置冷量调节压力传感器将物料传进或传出所述温控试验箱。
4.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，还包括器件工装，所述器件工装设有定位槽，MEMS压力传感器放入所述器件工装的所述定位槽内；
所述器件工装以篮具的形式上料，所述篮具由人工取放，所述器件工装由所述标定线皮带传输到所述测试压合部件处；
所述器件工装材质为双面玻纤，满足所述双面玻纤的温度膨胀系数与传感器芯片匹配。
5.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述低温测试区、所述常温测试区、所述高温测试区分别包括预温、试验、缓冲三个温区箱，每个测试区设立一个温控试验箱；
所述复测区、所述过渡区具有独立的温控试验箱，每个温控试验箱设计有开关门、观察窗、照明灯以及气动插板门，且所述过渡区温控试验箱不设置气动插板门；
所述温控试验箱材质采用1.2毫米的SUS304镜面不锈钢板，所述温控试验箱的外箱材质外壳采用1.5毫米冷轧钢板，双面静电喷塑，所述温控试验箱的保温材质采用聚氨酯PU发泡板和超细玻璃卷棉复合保温层，厚度不小于100毫米；
所述温控试验箱的门上设有耐高温和耐低温的硅橡胶密封条密封，所述温控试验箱的门框及开关门的四周设有自控温加热丝，用于防止低温试验时冷凝或结霜，所述电气控制系统根据工作室温度自动开启加热除霜；
所述温控试验箱的开关门安装多层钢化防雾观察窗，视窗内外均镀有透明加热膜，用于防止结露结霜，以保证试验时视窗的可观察性；
所述温控试验箱采用低温、常温、高温顺序，这样温度跨度平均，升降温时间跨度短，可以最大提升工作效率；
所述温控试验箱内采用热风循环系统，使低温、常温和高温区温度误差在±1℃以内；
每个所述温控试验箱的门上安装1只照明灯，所述照明灯为超亮灯管，所述照明灯的开关位于所述温控试验箱的触摸屏上；
所述气动插板门的开启或关闭被气缸控制；
所述温控试验箱内置空调箱，所述空调箱在所述温控试验箱箱体内部侧方，在所述空调箱的顶部设有不锈钢的离心风机，所述空调箱的顶部送风，底部回风的强制鼓风循环；
所述空调箱内部从上到下依次包括：不锈钢多翼离心风机、加热器、蒸发器；
所述加热器使用翅片式加热管，所述加热器的材质采用304不锈钢、改性氧化镤粉、电热合金丝以及不锈钢散热片，所述加热管的加热的控制采用PID自动调整，经固态继电器SSR输出至加热器；
所述蒸发器包括降温蒸发器和除湿蒸发器；
所述温控试验箱内设有制冷器，所述制冷器包括涡旋压缩机、节流系统和冷凝器，所述涡旋压缩机用于提供降温所需要的制冷量，所述涡旋压缩机下部设有接水盘，所述接水盘用于收集废水并集中排放；所述涡旋压缩机底部安装减振弹簧或胶垫，所述减振弹簧或胶垫用于减少压缩机振动通过底座向机组架传递；所述涡旋压缩机的吸或排气管道为金属避震软管，所述软管用于减小吸或排气管道将振动传递所述软管；所述冷凝器风冷冷却所述节流系统包括电子膨胀阀、热力膨胀阀和毛细管；
所述制冷器还包括压力传感器和冷媒压力调节罐，所述压力传感器用于实时监控所述温控试验箱运转压力，所述压力传感器设有多个电磁阀，所述多个电磁阀用于调节所述温控试验箱的压力工况并对冷量的大小进行调节，所述冷媒压力调节罐用于将高温段和恒温段的部分冷媒回收至所述冷媒压力调节罐；
所述制冷器还包括制冷器管道，所述制冷器管道材质为无氧铜管，所述制冷器管道上设有圆弧弯，在所述圆弧弯上设有尼龙固定夹装；
所述温控试验箱内设有干空气吹扫系统，用于将箱内空气用干空气或者低湿度空气进行置换。
6.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述标定线皮带传输包括低温区皮带传输、常温区皮带传输、高温区皮带传输、过渡区皮带传输和复测区皮带传输。
7.如权利要求6所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，
低温区皮带传输包括预温皮带传输、测试皮带传输和缓存皮带传输；
所述预温皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构；
所述测试皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构；
所述缓存皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构；
所述常温区皮带传输结构与所述低温区皮带传输结构相同；
所述高温区皮带传输结构与低温区皮带传输结构相同；
所述过渡区皮带传输与所述复测区皮带传输包括皮带、皮带轮、电机、张紧机构及钢结构。
8.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述测试压合部件包括涡轮丝杆升降机构、探针板组件、器件工装、气缸，所述涡轮丝杆升降机构、所述探针板组件、所述器件工装、所述气缸均位于所述温控试验箱中的低温测试区、常温测试区、高温测试区和复测区。
9.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述下料部件包括篮具下料机构、器件工装取放结构、下料传输机构和NG标识机构；
其中，所述篮具下料机构用于完成满篮具的下料及空篮具的上料，在Y轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Z轴方向配置伺服电机、导轨、滚珠丝杠和气缸；
所述MEMS压力传感器的器件工装取放机构是将已标定的压力传感器器件工装放置在所述篮具中取出，其配置所述伺服电机、所述直线运动单元和所述气缸；
所述下料传输机构是将复测完的器件工装传输到所述NG标识机构，其配置异步电机、变频器、减速机和皮带；
所述NG标识机构是给复测完的不良品做标记，在X轴方向配置伺服电机和所述直线运动单元；在Y轴方向配置伺服电机和直线运动单元；在Z轴方向配置所述气缸。
10.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述测试标定系统包括压力控制器、标定软件、数据采集设备、增压泵、真空泵、高压管路、电磁阀及转接头；
所述数据采集设备包括4套多路采集卡，所述多路采集卡分多个温度区，且每个所述温度区多次采集压力点，上位机对所有传感器数据进行多阶校准。
11.如权利要求1所述MEMS压力传感器自动标定线装置，其特征在于，所述电气控制系统包括自动或手动模式操控整条标定线的PC触摸屏或PLC触摸屏。
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