CN218096854U - 测试分选机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种测试分选机，用于对待分选电子元件进行测试并分选，包括机身，具有多个对待分选电子元件进行操作的工作位；内置冷媒机构，设于机身的内部，且用于向至少一个工作位输送第一冷媒；外置冷媒机构，置于机身的外部，且与内置冷媒机构连通，以向内置冷媒机构输送第二冷媒，第二冷媒用于对内置冷媒机构进行降温。通过将整体的冷媒输送装置分成内置冷媒机构和外置冷媒机构，能够缩短冷媒输送管路的距离，因此，整体上降低了组件成本且提高了散热制冷能力，其次，由于外置冷媒机构能够向内置冷媒机构输送第二冷媒，能够带走内置冷媒机构工作时产生的热量，提高了内置冷媒机构的使用性能与寿命。

Description

测试分选机

技术领域

本申请涉及检测技术领域，特别是涉及一种测试分选机。

背景技术

在半导体制造和封装测试行业中，测试分选机是一种对半导体器件进行测试、并基于测试结果对半导体器件进行分选的装置，测试分选机能够在高温、低温以及常温等规定温度环境下测试半导体器件的性能，适用于工业、汽车、军工等要求较高的半导体器件测试。

测试分选机包括冷媒输送装置以将低温冷媒输送至各需求处，但现有冷媒输送装置存在冷媒输送管路较长、工作时产生大量热量的问题，导致冷媒输送装置成本高及散热制冷能力低，并影响了其使用性能与寿命。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的冷媒输送装置，存在因冷媒输送管路较长、工作时产生大量热量，导致冷媒输送装置成本高及散热制冷能力低，并影响了其使用性能与寿命的问题，提供一种能够缩短冷媒输送管路且减少工作时产生大量热量，以降低冷媒输送装置成本、提高散热制冷能力及改善其使用性能和寿命的测试分选机。

本申请的一方面，提供一种测试分选机，用于对待分选电子元件进行测试并分选，测试分选机包括：

机身，具有多个对待分选电子元件进行操作的工作位；

内置冷媒机构，设于机身的内部，且用于向至少一个工作位输送第一冷媒；以及

外置冷媒机构，置于机身的外部，且与内置冷媒机构连通，以向内置冷媒机构输送第二冷媒，第二冷媒用于对内置冷媒机构进行降温。

在其中一个实施例中，内置冷媒机构具有彼此独立设置的冷媒通道和降温通道，冷媒通道用于输送第一冷媒；

外置冷媒机构与降温通道连通，以向降温通道输送第二冷媒。

在其中一个实施例中，所述冷媒通道的至少部分形成有第一流道，所述降温通道的至少部分形成有第二流道，所述内置冷媒机构内置有换热器，所述第一流道与所述第二流道相互独立的设置于所述换热器内。

在其中一个实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行预温的预温工作位，机身包括设于预温工作位的预温装置，预温装置具有预温通道，内置冷媒机构用于向预温通道输送第一冷媒。

在其中一个实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行转送的转送工作位，机身包括设于转送工作位的料梭装置，料梭装置具有保温通道，内置冷媒机构用于向保温通道输送第一冷媒。

在其中一个实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行测试的测试工作位，机身包括设于测试工作位的吹气装置，吹气装置具有彼此独立设置的吹气通道和第一冷却通道，内置冷媒机构用于向第一冷却通道输送第一冷媒，以冷却吹气通道内的气体。

在其中一个实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行测试的测试工作位，机身包括设于测试工作位的第一搬运装置，第一搬运装置具有第二冷却通道，内置冷媒机构用于向第二冷却通道输送第一冷媒。

在其中一个实施例中，机身具有密封腔，至少部分工作位设于密封腔内；测试分选机还包括干燥装置，干燥装置与密封腔连通，用于向密封腔提供干燥气体。

在其中一个实施例中，内置冷媒机构包括内置制冷压缩机，机身包括操作台，操作台的一侧具有至少部分工作位，操作台相对的另一侧设有内置制冷压缩机置。

在其中一个实施例中，内置冷媒机构为内置冷媒循环输送装置；和/或

外置冷媒机构为外置冷媒循环输送装置。

上述测试分选机，通过将整体的冷媒输送装置分成内置冷媒机构和外置冷媒机构，并通过将内置冷媒机构设于机身内，以向工作位输送第一冷媒，能够缩短冷媒输送管路的距离，因此，整体上降低了组件成本且提高了散热制冷能力，其次，由于外置冷媒机构能够向内置冷媒机构输送第二冷媒，能够带走内置冷媒机构工作时产生的热量，以对内置冷媒机构进行降温，故提高了内置冷媒机构的使用性能与寿命。

附图说明

图1为本申请一实施例中的测试分选机的正视结构示意图；

图2为图1所示的测试分选机的俯视结构示意图；

图3为图1所示的测试分选机的机身的立体结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

此外，附图并不是1：1的比例绘制，并且各元件的相对尺寸在附图中仅以示例地绘制，而不一定按照真实比例绘制。

现有能够在高温、低温以及常温等规定温度环境下测试半导体器件性能的测试分选机，通常称作三温分选机，其主要可以分为重力式分选机与平移式分选机，其中重力分选机主要是通过液氮进行制冷降温，平移式分选机既有液氮进行制冷降温，也有冷媒制冷降温。

液氮制冷降温主要是通过制冷媒进行腔室环境控温，但在使用时液氮消耗量大，成本较高，需要停机进行液氮更换，影响生产，而且运输、储存比较困难。

冷媒制冷降温主要采用制冷压缩机，冷却液循环利用使目标元器件达到所需生产温度，在使用过程中制冷液可循环利用，厂务简单，仅需要电，不用更换耗材，节省成本和时间。

但目前市场上冷媒输送装置主要有两种：一种是冷媒输送装置独立于机身外置，这在一定程度上占据厂务空间，移机作业不便，同时冷媒输送管路较长，增加了组件成本及降低了散热制冷能力；另一种是冷媒输送装置内置在机身下部，这种冷媒输送装置虽然克服了外置式冷媒输送装置的缺点，但由于内置在机身中，工作时产生大量热量，影响冷媒输送装置使用性能与寿命。

因此，需要提供一种能够缩短冷媒输送管路且减少工作时产生大量热量，以降低冷媒输送装置成本、提高散热制冷能力及改善其使用性能和寿命的测试分选机。

图1示出本申请一实施例中的测试分选机的正视结构示意图；图2示出了图1所示的测试分选机的俯视结构示意图。为便于描述，附图仅示出了与本申请实施例相关的结构。

参阅附图1及附图2，本申请一实施例提供一种测试分选机1000，包括机身100、内置冷媒机构200以及外置冷媒机构300。

机身100具有多个工作位，需要指出的，工作位是指对待分选电子元件进行分选所需的各项操作的工作位。

内置冷媒机构200设于机身100的内部，且用于向至少一个工作位输送第一冷媒；外置冷媒机构300设于机身100的外部，且与所述内置冷媒机构200连通，以向内置冷媒机构200输送第二冷媒，第二冷媒用于对内置冷媒机构进行降温。

本申请的测试分选机1000，通过将整体的冷媒输送装置分成内置冷媒机构200和外置冷媒机构300，并通过将内置冷媒机构200设于机身100内，以向工作位输送第一冷媒，能够缩短冷媒输送管路的距离，因此，整体上降低了组件成本且提高了散热制冷能力，其次，由于外置冷媒机构300能够向内置冷媒机构200输送第二冷媒，能够带走内置冷媒机构200工作时产生的热量，以对内置冷媒机构200进行降温，如此可保证内置冷媒机构200内各部件所处的温度环境处于较为平衡的温度范围内，避免因温差变化而影响内置冷媒机构200的使用性能及其使用寿命。

具体到本申请的实施例中，内置冷媒机构200具有彼此独立设置的冷媒通道和降温通道，冷媒通道用于输送第一冷媒；外置冷媒机构300与降温通道连通，以向降温通道输送第二冷媒。通过在内置冷媒机构200上设置降温通道，能够通过向降温通道输送第二冷媒的方式对内置冷媒机构200进行降温，该降温方式简单，更有利于提高了散热制冷能力。

具体的，内置冷媒机构200内置有换热器，该换热器内部形成有供第一冷媒流动的第一流道与供第二冷媒流动的第二流道，第一流道构成冷媒通道的一部分，第二流道构成降温通道的一部分，第一流道与第二流道之间相互独立设置，如此设置，流经第一流道的第一冷媒与流经第二流道的第二冷媒可进行换热，如此可快速降低第一冷媒的温度，提高内置冷媒机构200的散热制冷能力。优选地，该换热器包括但不局限于板式换热器、管式换热器等等。

在一些实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行预温的预温工作位10，机身100包括设于预温工作位10的预温装置20，预温装置20具有预温通道，内置冷媒机构200用于向预温通道输送第一冷媒。

如此，通过内置冷媒机构200向预温通道输送第一冷媒，能够对预温装置20进行降温，从而使得待分选电子元件达到所需温度。

具体地，预温装置20能够在对待分选电子元件进行测试前，使待分选电子元件达到需求的测试温度。

具体到一实施方式中，预温装置20包括至少一个预温盘21，预温通道包括至少一个子预温通道，每一预温盘21具有至少一子预温通道，预温盘21能够承载待分选电子元件。具体地，预温装置20包括两个预温盘21，预温通道包括至少两个子预温通道。

在一些实施例中，其中一工作位为待分选电子元件进行转送的转送工作位30，机身100包括设于转送工作位30的料梭装置40，料梭装置40具有保温通道，内置冷媒机构200用于向保温通道输送第一冷媒。

如此，通过内置冷媒机构200向保温通道输送第一冷媒，能够对料梭装置40进行降温，从而使得待分选电子元件达到所需温度。

具体地，料梭装置40沿预设方向位于预温装置20的下游，可包括入料梭41和沿预设方向位于入料梭41下游的出料梭42，入料梭41具有保温通道，入料梭41能够将待分选电子元件从预温工作位转运至测试工作位50，在转送过程中对预温的待分选电子元件进行保温，出料梭42具有回温通道，出料梭42能够将待分选电子元件从测试工作位50转送至收料装置95，在转运过程中对保温的待分选电子元件进行回温。更具体地，入料梭41包括两个，两个入料梭41交替地从预温盘21接收待分选电子元件。

在一些实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行测试的测试工作位50，机身100包括设于测试工作位的吹气装置，吹气装置具有彼此独立设置的吹气通道和第一冷却通道，内置冷媒机构200用于向第一冷却通道输送第一冷媒，以冷却吹气通道内的气体。

如此，通过内置冷媒机构200向第一冷却通道输送第一冷媒，以对吹气通道吹出的风进行降温，从而为待分选电子元件提供测试用的温度场。

具体地，机身100包括设于测试工作位的测试座60，吹气装置设于测试座60内，测试座60能够承载待分选电子元件，从而为待分选电子元件提供测试用的温度场。

在一些实施例中，其中一工作位为对待分选电子元件进行测试的测试工作位50，机身100包括设于测试工作位50的第一搬运装置70，第一搬运装置70具有第二冷却通道，内置冷媒机构200用于向第二冷却通道输送第一冷媒。

如此，通过内置冷媒机构200向第二冷却通道输送第一冷媒，能够对第一搬运装置70进行降温，从而避免第一搬运装置70在搬运待分选电子元件时，使待分选电子元件失温而无法达到测试需求的温度，进而影响测试准确性。

具体地，第一搬运装置70能够将待分选电子元件从入料梭41搬运至测试座60，并且能够将待分选电子元件从测试座60搬运至出料梭42。

具体到本申请的实施方式中，第一搬运装置70包括至少一个第一机械手，第二冷却通道包括至少一个子冷却通道，每一第一机械手具有至少一子冷却通道，第一机械手能够将待分选电子元件从入料梭41搬运至测试座60，并能够将待分选电子元件从测试座60搬运至出料梭42。具体地，第一搬运装置70包括两个第一机械手，每一第一机械手对应一入料梭41和一出料梭42。

在一些实施例中，机身100还包括供料装置75、第二搬运装置80、第三搬运装置85、空盘流转装置90、收料装置95及控制装置105。其中，供料装置75、预温装置20、入料梭41、测试座60、出料梭42、收料装置95沿预设方向依次设置。第二搬运装置80能够将待分选电子元件从供料装置75搬运至预温装置20，并且能够将待分选电子元件从预温装置20搬运至入料梭41。第三搬运装置85能够将待分选电子元件从出料梭42搬运至收料装置95。

具体地，供料装置75包括上料盘751及第一皮带运输装置，上料盘751为运输承载IC的Tray盘，第一皮带运输装置用于运输上料盘751。

第二搬运装置80包括第二机械手，第二机械手能够将待分选电子元件从供料装置75搬运至预温装置20，并能够将待分选电子元件从预温装置20搬运至入料梭41。更具体地，第二机械手设于两个预温盘21之间，第二机械手能够将待分选电子元件从供料装置75交替地搬运至两个预温盘21，并能够将待分选电子元件从两个预温盘21交替地搬运至两个入料梭41。

第三搬运装置85包括第三机械手，第三机械手能够将待分选电子元件从出料梭42搬运至收料装置95。

空盘流转装置90包括空盘流转机械手91及黑盘位92和彩盘位93，工作时，空盘流转机械手91可将供料装置75的空盘搬运至黑盘位92运输出机身100内部，也可将彩盘位93的空盘搬运至收料装置95。

收料装置95包括手工收料盘、自动收料盘及第二皮带运输装置，第二皮带运输装置用于将手工收料盘和自动收料盘中的IC通过皮带传送出机身100的内部。

控制装置105用于控制供料装置75、第二搬运装置80、预温装置20、料梭装置40、测试座60、第一搬运装置70、空盘流转装置90、收料装置95、内置冷媒机构200和外置冷媒机构300工作。

为了深入理解本申请，对测试分选机1000的分选过程进行具体详述：

承载有待分选电子元件的上料盘751由托盘机构做Z向运动，将上料盘751载到第一皮带输送装置上，第一皮带输送装置沿Y向输送上料盘751，以从机身100外部带动上料盘751输送到机身100的内部的第二搬运装置80位置处。然后，第二机械手将IC取出运输到预温盘21进行预温处理(预热或预冷)，预温完成的IC又由第二机械手从预温盘21取出运输到入料梭41，入料梭41做X向运动将IC运输至测试座60。接着，由第一机械手做YZ方向运动从入料梭41取出后，运输至测试座60进行压接测试，测试座60内部包含吹气装置，通过吹入高低温气体为高低温测试提供温度场。最后，第一机械手将压接测试完成的IC搬运至对应的出料梭42，出料梭42做X向运动运输，此时第三机械手做XYZ向运动，按照测试结果分别将IC运输至手工收料盘与自动收料盘，自动收料盘在第二皮带输送装置的带动下沿Y向运输出机身100的外部。

其中，供料装置75的上料盘751在IC全部取走后被空盘流转机械手91做XZ向运动夹取运输到黑盘位92，由第三皮带输送装置输送出机身100内部，在托盘机构作用下沿Z向升起，完成退盘作业。

收料装置95的上料盘751是从彩盘位93输送进机身100内部，再由空盘流转机械手91从机身100内部夹取到收料装置95处，完成空盘换盘作业。

机身100在进行低温测试时，下置在机身100内部的内置冷媒机构200与外置在机身100外部的外置冷媒机构300开始运行。其中，内置冷媒机构200通过管路分别向预温盘21、入料梭41和/或出料梭42、吹气装置及第一机械手提供第一冷媒，驱使这些元器件达到所需生产温度。外置冷媒机构300通过管路向内置冷媒机构200输入第二冷媒，将内置冷媒机构200产生的热量带出机身100，从而对内置冷媒机构200进行降温。

上述X方向为图2所示的左右方向，上述Y方向为图2所示的上下方向，上述Z方向为图2所示的垂直于纸面的方向。

如图3所示，在一些实施例中，机身100具有密封腔110，至少部分工作位设于密封腔110内。如此，可确保机身100的各露点的工作位低于生产温度，防止结霜结露。

具体地，机身100包括操作台120及密封罩130，操作台120的一侧具有至少部分工作位，密封罩130罩设于至少部分工作位上，以与操作台120配合形成密封腔110。更具体地，密封罩130可由钣金拼接形成。

需要指出的是，供料装置75及收料装置95部分设于密封腔110外。

在一些实施方式中，为了方便处理机身100的报警故障，密封罩130还开设有多个窗口，每一窗口设有对应的窗户。

请再次参阅图1，在一些实施例中，控制装置105设于密封罩130的顶部。如此，能够使控制装置105与工作人员不易接触，提高整机安全系数。

在一些实施例中，测试分选机1000还包括干燥装置400，干燥装置400与密封腔110连通，用于向密封腔110提供干燥气体。干燥装置400是在低温工况下向密封腔110内通入干燥气体，使密封腔110内部露点始终低于生产温度，防止机身结霜结露。

具体地，干燥装置400设于机身100的外部。

为了方便搬运内置冷媒机构200，在一些实施例中，内置冷媒机构200包括内置制冷压缩机，机身100包括操作台120，操作台120的一侧具有多个工作位，操作台120相对的另一侧设有内置制冷压缩机。具体地，内置制冷压缩机置于操作台120沿竖直方向的下侧。

进一步地，内置冷媒机构200还包括与内置制冷压缩机连通的内置冷媒输送管道，内置冷媒机构200通过内置冷媒输送管道向至少一工作位输送第一冷媒。

在一些实施例中，外置冷媒机构300包括外置制冷压缩机和与外置制冷压缩机连通的外置冷媒输送管道，外置冷媒机构300通过外置冷媒输送管道向内置冷媒机构200提供第二冷媒。

在一些实施例中，第二冷媒均为冷却水，在此不作限制。

在一些实施例中，内置冷媒机构200为内置冷媒循环输送装置，和/或外置冷媒机构300为外置冷媒循环输送装置。

需要指出的是，内置冷媒循环输送装置是指内置冷媒机构200具有内置冷媒循环流道，具体地，内置制冷压缩机向工作位提供的第一冷媒在经工作位换热后，能够再次回至内置制冷压缩机内，以完成循环操作。同样的，外置冷媒循环输送装置是指外置冷媒机构300具有外置冷媒循环流道，具体地，外置制冷压缩机向内置冷媒机构200提供第二冷媒经内置冷媒机构200换热后，能够再次回至外置制冷压缩机内，以完成循环操作。

本申请实施例提供的测试分选机1000，具有以下有益效果：

通过将整体的冷媒输送装置分成内置冷媒机构200和外置冷媒机构300，并通过将内置冷媒机构200设于机身100内，以向工作位输送第一冷媒，能够缩短冷媒输送管路的距离，因此，整体上降低了组件成本且提高了散热制冷能力，其次，由于外置冷媒机构300能够向内置冷媒机构200输送第二冷媒，能够带走内置冷媒机构200工作时产生的热量，以对内置冷媒机构200进行降温，故提高了内置冷媒机构200的使用性能与寿命。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种测试分选机，用于对待分选电子元件进行测试并分选，其特征在于，所述测试分选机包括：

机身，具有多个对所述待分选电子元件进行操作的工作位；

内置冷媒机构，设于所述机身的内部，且用于向至少一个所述工作位输送第一冷媒；以及

外置冷媒机构，置于所述机身的外部，且与所述内置冷媒机构连通，以向所述内置冷媒机构输送第二冷媒，所述第二冷媒用于对所述内置冷媒机构进行降温。

2.根据权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述内置冷媒机构具有彼此独立设置的冷媒通道和降温通道，所述冷媒通道用于输送所述第一冷媒；

所述外置冷媒机构与所述降温通道连通，以向所述降温通道输送所述第二冷媒。

3.如权利要求2所述的测试分选机，其特征在于，所述冷媒通道的至少部分形成有第一流道，所述降温通道的至少部分形成有第二流道，所述内置冷媒机构内置有换热器，所述第一流道与所述第二流道相互独立设于所述换热器内。

4.根据权利要求1或2所述的测试分选机，其特征在于，其中一所述工作位为对所述待分选电子元件进行预温的预温工作位，所述机身包括设于所述预温工作位的预温装置，所述预温装置具有预温通道，所述内置冷媒机构用于向所述预温通道输送所述第一冷媒。

5.根据权利要求1或2所述的测试分选机，其特征在于，其中一所述工作位为对所述待分选电子元件进行转送的转送工作位，所述机身包括设于所述转送工作位的料梭装置，所述料梭装置具有保温通道，所述内置冷媒机构用于向所述保温通道输送所述第一冷媒。

6.根据权利要求1或2所述的测试分选机，其特征在于，其中一所述工作位为对所述待分选电子元件进行测试的测试工作位，所述机身包括设于所述测试工作位的吹气装置，所述吹气装置具有彼此独立设置的吹气通道和第一冷却通道，所述内置冷媒机构用于向所述第一冷却通道输送所述第一冷媒，以冷却所述吹气通道内的气体。

7.根据权利要求1或2所述的测试分选机，其特征在于，其中一所述工作位为对所述待分选电子元件进行测试的测试工作位，所述机身包括设于所述测试工作位的第一搬运装置，所述第一搬运装置具有第二冷却通道，所述内置冷媒机构用于向所述第二冷却通道输送所述第一冷媒。

8.根据权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述机身具有密封腔，至少部分所述工作位设于所述密封腔内；所述测试分选机还包括干燥装置，所述干燥装置与所述密封腔连通，用于向所述密封腔提供干燥气体。

9.根据权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述内置冷媒机构包括内置制冷压缩机，所述机身包括操作台，所述操作台的一侧具有至少部分所述工作位，所述操作台相对的另一侧设有所述内置制冷压缩机。

10.根据权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述内置冷媒机构为内置冷媒循环输送装置；和/或

所述外置冷媒机构为外置冷媒循环输送装置。

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