CN114613919A - 预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置 - Google Patents

预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域，预制基板至少包括第一膜层和第二膜层，第一膜层为刚性膜层，第二膜层为柔性膜层，第二膜层至少部分包裹住第一膜层；第一膜层包括相对设置的第一表面和第二表面；第一部位于第一表面远离第二表面的一侧，第二部和第三部位于第二表面远离第一表面的一侧；第二部通过第一胶层与第二表面贴合，第三部通过第二胶层与第二表面贴合；第二部与第三部之间包括间隙。柔性衬底采用上述预制基板制作。本发明可以改善柔性膜材与刚性层的剥离制程中的翘曲和柔性膜材易脱离的问题，有利于降低制程难度，提高产品良率，且兼备低成本优势。

Description

预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置。
背景技术
平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机电致发光显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。OLED显示器件以其自发光、全固态、高对比度等优点，成为近年来最具潜力的新型显示器件。而OLED显示器件的特点在于可以实现柔性显示，采用柔性衬底制成重量轻、可弯曲、便于携带的柔性显示器件是OLED显示器件的重要发展方向，近年来柔性衬底也逐渐使用于非显示类的柔性产品如柔性调光产品中。
现有技术的柔性产品制程过程中，一般是在形成于刚性层上的柔性层上继续加工制作柔性产品的相关结构后，再将包括柔性层的柔性产品从刚性层上剥离，从而实现柔性产品的柔性化。但是现有技术中由于柔性层与刚性层是单面贴合，且柔性层材料的热膨胀系数与刚性材料的热膨胀系数不同，后续在柔性产品的高温制程中，贴合的柔性层与刚性层容易出现翘曲问题，导致柔性层与柔性产品其他膜层的peeling(剥离或脱离)。而现有技术中为了降低翘曲程度，柔性层与刚性层之间一般采用低翘曲且易分离的胶材，但是该种胶材价格昂贵，成本相当高。由此，现有技术的柔性产品的制程过程不仅工艺难度较大，成本较高，而且容易存在翘曲和柔性膜材易剥离问题，不利于后续产品良率的提高。
因此，提供一种可以实现柔性产品的制作，改善柔性膜材与刚性层的剥离制程中的翘曲和柔性膜材易脱离的问题，有利于降低制程难度，提高产品良率，且兼备低成本优势的预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置，以解决现有技术中柔性产品的制程工艺难度较大，成本较高，且产品良率低的问题。
本发明公开了一种预制基板，至少包括：第一膜层和第二膜层，第一膜层为刚性膜层，第二膜层为柔性膜层，第二膜层至少部分包裹住第一膜层；在第二膜层展平状态下，第二膜层至少包括第一区和位于第一区相对两侧的第二区和第三区；第二膜层至少包括第一部、第二部和第三部，第一部位于第一区，第二部位于第二区，第三部位于第三区；在垂直于第一膜层所在平面的方向上，第一膜层包括相对设置的第一表面和第二表面；第一部位于第一表面远离第二表面的一侧，第二部和第三部位于第二表面远离第一表面的一侧；第二部通过第一胶层与第二表面贴合，第三部通过第二胶层与第二表面贴合；在平行于第一膜层所在平面的方向上，沿第二部指向第三部的方向，第二部靠近第三部一侧的端部与第三部靠近第二部一侧的端部之间包括间隙。
基于同一发明构思，本发明还公开了一种柔性衬底，该柔性衬底采用上述预制基板制作。
基于同一发明构思，本发明还公开了一种柔性衬底的制作方法，该制作方法包括：提供上述预制基板；在间隙处，将第二膜层的第二部和第三部从第一膜层的第二表面剥离，使得第二膜层和第一膜层分离；展开第二膜层，切割第二部和第三部，得到第一部，第一部作为柔性衬底。
基于同一发明构思，本发明还公开了一种柔性衬底的制作方法，该制作方法包括：提供上述预制基板；预制基板中，第一膜层包括相对设置的第一侧面和第二侧面，第一侧面与第一表面相交，第二侧面与第一表面相交；分别在第一侧面和第二侧面位置处，沿平行于第一膜层所在平面的方向切割第二膜层，使得第二部、第三部、第一膜层与第一部分离；得到的第一部作为柔性衬底。
基于同一发明构思，本发明还公开了一种柔性模组的制作方法，该制作方法包括：提供第一预制基板，第一预制基板包括上述预制基板；在第一预制基板上的第一部背离第一膜层的一侧制作第一电极层和第一配向层，使得第一电极层位于第一预制基板的第一部远离第一膜层的一侧，第一配向层位于第一电极层远离第一预制基板的一侧；提供第二预制基板，第二预制基板包括上述预制基板；在第二预制基板上的第一部背离第一膜层的一侧制作第二电极层和第二配向层，使得第二电极层位于第二预制基板的第一部远离第一膜层的一侧，第二配向层位于第二电极层远离第二预制基板的一侧；第一预制基板和第二预制基板中，第一膜层包括相对设置的第一侧面和第二侧面，第一侧面与第一表面相交，第二侧面与第一表面相交；将第一预制基板和第二预制基板成盒固定，使得第一预制基板位于第一配向层远离第二预制基板的一侧，第二预制基板位于第二配向层远离第一预制基板的一侧，第一预制基板和第二预制基板之间包括液晶层；分别在第一预制基板的第一侧面和第二侧面位置处，沿平行于第一膜层所在平面的方向切割第二膜层，使得第一预制基板的第二部、第三部、第一膜层与第一部分离；分别在第二预制基板的第一侧面和第二侧面位置处，沿平行于第一膜层所在平面的方向切割第二膜层，使得第二预制基板的第二部、第三部、第一膜层与第一部分离；得到柔性模组。
基于同一发明构思，本发明还公开了一种柔性模组，该柔性模组采用上述柔性模组的制作方法制作。
基于同一发明构思，本发明还公开了一种显示装置，该显示装置包括显示面板和柔性模组，柔性模组贴合于显示面板的出光面一侧；该柔性模组采用上述柔性模组的制作方法制作。
与现有技术相比，本发明提供的预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置，至少实现了如下的有益效果：
本发明提供的预制基板至少包括第一膜层和第二膜层，第一膜层为刚性膜层，第二膜层为柔性膜层，第二膜层至少部分包裹住第一膜层，使得第一膜层与第二膜层形成了双面贴附的效果，即第一膜层的相对设置的第一表面和第二表面均与第二膜层贴附，即使柔性材料的第二膜层与刚性材料的第一膜层的热膨胀系数差异较大，也能较好地抑制整个预制基板的翘曲，进而可以较好的改善预制基板中柔性的第二膜层与后续制作的柔性模组的其他膜层之间的peeling，有利于提高后续柔性模组的制作良率。本发明中第二膜层的第二部通过第一胶层与第二表面贴合，第二膜层的第三部通过第二胶层与第二表面贴合，从而可以增强预制基板的第一膜层与第二膜层包裹效果的稳定性，进而增强第一膜层与第二膜层之间的键合力，有利于抑制膜层的翘曲。本发明中在平行于第一膜层所在平面的方向上，沿第二部指向第三部的方向，第二部靠近第三部一侧的端部与第三部靠近第二部一侧的端部之间包括间隙，间隙可以为后续在第二膜层的第一部上制作完柔性模组的其他膜层结构后提供剥离第一膜层和第二膜层的切入点，避免第二膜层完全包裹住第一膜层时没有剥离的切入点，进而有利于降低后续剥离制程的难度，提高剥离工艺的效率。本发明提供的预制基板在后续第一膜层与第二膜层的剥离过程中，不需要对预制基板的刚性膜层进行切割，因此刚性的第一膜层可以重复利用，不仅可以降低成本，还可以最大程度的利用大张的第一膜层和第二膜层的面积，使得制得的柔性模组的有效面积可以足够大，避免现有技术中对预制基板的边缘区域切割，而出现牺牲第二膜层的实际使用面积的问题，进而在保证产品良率的同时又可以节约成本。
当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1是相关技术中制作柔性模组的一种预制基板的结构示意图；
图2是图1中的预制基板采用激光剥离后的结构示意图；
图3是图1中的预制基板在柔性模组制作过程中出现翘曲问题的结构示意图；
图4是相关技术中制作柔性模组的另一种预制基板的结构示意图；
图5是图4中的预制基板采用机械剥离后的结构示意图；
图6是图4中的预制基板在柔性模组制作过程中出现翘曲问题的结构示意图；
图7是本发明实施例提供的预制基板的一种结构示意图；
图8是图7中的预制基板制作过程中第二膜层还未包裹第一膜层时的结构示意图；
图9是本实施例提供的两个不同制作材料制作的膜层形成双面贴附效果后的抑制翘曲的原理图；
图10是图7中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的一种结构示意图；
图11是图7中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的另一种结构示意图；
图12是本发明实施例提供的预制基板的另一种结构示意图；
图13是图12中的预制基板制作过程中第二膜层还未包裹第一膜层时的结构示意图；
图14是图12中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的一种结构示意图；
图15是图12中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的另一种结构示意图；
图16是本发明实施例提供的预制基板的另一种结构示意图；
图17是本发明实施例提供的柔性衬底的一种结构示意图；
图18是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种结构示意图；
图19是本发明实施例提供的柔性衬底的一种制作方法的流程框图；
图20是图19中将第二膜层的第二部和第三部从第一膜层的第二表面剥离的结构示意图；
图21是图19中展开第二膜层后切割第二部和第三部的结构示意图；
图22是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种制作方法的流程框图；
图23是图22中将第二膜层的第二部和第三部从第一膜层的第二表面剥离的结构示意图；
图24是图22中展开第二膜层后切割第二部和第三部的结构示意图；
图25是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种制作方法的流程框图；
图26是图25中第二部、第三部、第一膜层均与第一部分离后的结构示意图；
图27是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种制作方法的流程框图；
图28是图27中第二部、第三部、第一膜层均与第三膜层分离后的结构示意图；
图29是本发明实施例提供的柔性模组的制作方法的流程框图；
图30是图29中提供的第一预制基板的结构示意图；
图31是图29中在第一预制基板一侧制作完第一电极层和第一配向层后的结构示意图；
图32是图29中提供的第二预制基板的结构示意图；
图33是图29中在第二预制基板一侧制作完第二电极层和第二配向层后的结构示意图；
图34是图29中第一预制基板和第二预制基板成盒固定后的结构示意图；
图35是图29中分离第一预制基板和第二预制基板的第一部和第一膜层的结构示意图；
图36是图29中得到的柔性模组的结构示意图；
图37是图29中第一预制基板和第二预制基板成盒固定后的另一种结构示意图；
图38是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
相关技术中，如图1-图3所示，图1是相关技术中制作柔性模组的一种预制基板的结构示意图，图2是图1中的预制基板采用激光剥离后的结构示意图，图3是图1中的预制基板在柔性模组制作过程中出现翘曲问题的结构示意图，相关技术中，柔性模组0000’的制程过程中，一般是在形成于刚性层10’上的柔性层20’上继续加工制作柔性模组的其他膜层结构40’(如图2所示)后，如在柔性层20’上制作多个像素结构，形成位于刚性层10’上的柔性显示基板，或者还可以在柔性层20’上制作液晶调光膜，形成位于刚性层10’上的柔性调光基板，再将包括柔性层20’的柔性模组0000’从刚性层10’上剥离，从而实现柔性模组0000’的柔性化。如图1和图2所示，制作柔性模组的预制基板00’包括柔性层20’和刚性层10’，柔性层20’和刚性层10’之间通过激光烧灼层301’预贴合，在柔性层20’上继续加工制作柔性模组的其他膜层结构40’后，可以采用激光照射扫描的方法即激光剥离方法(Laser Lift-off，LLO)对柔性层20’和刚性层10’进行剥离，激光N’在刚性层10’背离柔性层20’的一侧扫描照射，激光N’入射至刚性层10’并透过刚性层10’照射在柔性层20’朝向刚性层10’的表面上，使激光烧灼层301’的分子链断裂，柔性层20’和刚性层10’分离，即柔性模组0000’从刚性层10’上分离完成制备。但是由于柔性层20’和刚性层10’是单面贴合，且柔性层20’材料的热膨胀系数与刚性层10’材料的热膨胀系数不同，后续在柔性模组的高温制程中，单面贴合的柔性层20’和刚性层10’容易出现翘曲问题(如图3所示)，导致柔性层20’与柔性模组的其他膜层结构40’的peeling(剥离或脱离)问题。
如图4-图6所示，图4是相关技术中制作柔性模组的另一种预制基板的结构示意图，图5是图4中的预制基板采用机械剥离后的结构示意图，图6是图4中的预制基板在柔性模组制作过程中出现翘曲问题的结构示意图，制作柔性模组0000’的预制基板00’包括柔性层20’和刚性层10’，柔性层20’与刚性层10’之间设置直接贴合区F1’和间接贴合区F2’，其中，直接贴合区F1’位于边缘位置，间接贴合区F2’的柔性层20’与刚性层10’通过分离层302’固定贴合，在形成于刚性层10’上的柔性层20’上继续加工制作柔性模组的其他膜层结构40’(如图5所示)后，将刚性层10’从柔性显示模组0000’上剥离。剥离时先将柔性层20’与刚性层10’沿图5的虚线M’位置切割，使得直接结合区F1’和间接贴合区F2’分割后，再使用机械方式将柔性层20’与刚性层10’彻底分离，但是图4示意的预制基板00’中的分离层302’一般采用低翘曲且易分离的胶材，该种胶材价格昂贵，成本相当高，柔性层20’仅通过边缘无分离层302’的位置与刚性层10’直接结合，直接结合区F1’的面积小，在后续柔性模组的制程中也很可能出现柔性层20’与柔性模组的其他膜层结构40’的peeling(如图6所示)，并且沿虚线M’切割后得到的柔性层20’的实际使用面积大大减少，造成了浪费。
基于上述问题，本申请提出了一种预制基板、柔性衬底及其制作方法、柔性模组的制作方法、显示装置，可以实现柔性产品的制作，改善柔性膜材与刚性层的剥离制程中的翘曲和柔性膜材易脱离的问题的同时，还有利于降低制程难度，提高产品良率，且兼备低成本优势。关于本申请提出的预制基板、柔性衬底及其制作方法、柔性模组的制作方法、显示装置的具体实施例，详细说明如下。
请结合参考图7和图8，图7是本发明实施例提供的预制基板的一种结构示意图，图8是图7中的预制基板制作过程中第二膜层还未包裹第一膜层时的结构示意图，本实施例提供的预制基板00，至少包括：第一膜层10和第二膜层20，第一膜层10为刚性膜层，第二膜层20为柔性膜层，第二膜层20至少部分包裹住第一膜层10；
在第二膜层20展平状态下，第二膜层20至少包括第一区20A和位于第一区20A相对两侧的第二区20B和第三区20C；第二膜层20至少包括第一部201、第二部202和第三部203，第一部201位于第一区20A，第二部202位于第二区20B，第三部203位于第三区20C；
在垂直于第一膜层10在平面的方向Z上，第一膜层10包括相对设置的第一表面10A和第二表面10B；第一部201位于第一表面10A远离第二表面10B的一侧，第二部202和第三部203位于第二表面10B远离第一表面10A的一侧；
第二部202通过第一胶层301与第二表面10B贴合，第三部203通过第二胶层302与第二表面10B贴合；
在平行于第一膜层10所在平面的方向X上，沿第二部202指向第三部203的方向，第二部202靠近第三部203一侧的端部2020与第三部203靠近第二部202一侧的端部2030之间包括间隙K。
具体而言，本实施例提供的预制基板00至少包括第一膜层10和第二膜层20，第一膜层10为刚性膜层，如第一膜层10可以为玻璃或陶瓷等刚性材料制作的平面结构的膜层，第二膜层20为柔性膜层，如第二膜层20可以为PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PI(聚酰亚胺)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)或者其他柔性的树脂等透明有机聚合物的材料制作的柔性膜层。本实施例的预制基板00可以用于制作柔性显示产品的柔性衬底，与现有技术中的预制基板通过刚性层和柔性层直接贴合形成，在形成于刚性层上的柔性层上制作柔性显示产品的预制基板的结构相比，本实施例提供的预制基板00的第二膜层20至少部分包裹住第一膜层10，在第二膜层20展平状态下，即在柔性的第二膜层20还未部分包裹住刚性的第一膜层10时，若将第二膜层20展平呈水平状态(如图8所示)，第二膜层20至少包括第一区20A和位于第一区20A相对两侧的第二区20B和第三区20C，第二膜层20的第一部201位于第一区20A，第二部202位于第二区20B，第三部203位于第三区20C，可以理解的是，本实施例的图7和图8仅是对第二膜层20的各个部分进行示例划分，并不表示实际划分的面积大小，具体实施时，可根据第一膜层10在平行于第一膜层10所在平面方向X上的宽度和第一膜层10在垂直于第一膜层10所在平面方向Z上的厚度进行第二膜层20的各个部分的划分。本实施例中，如图7所示，在垂直于第一膜层10在平面的方向Z上，第一膜层10包括相对设置的第一表面10A和第二表面10，其中第二膜层20的第一部201位于第一表面10A远离第二表面10B的一侧，第二部202和第三部203位于第二表面10B远离第一表面10A的一侧，即第二膜层20的不同区域的结构分别位于第一膜层10的不同表面的两侧，以此使得柔性的第二膜层20至少部分包裹住刚性的第一膜层10。本实施例的第一膜层10与第二膜层20形成了双面贴附的效果，即第一膜层10的相对设置的第一表面10A和第二表面10B均与第二膜层20贴附，即使柔性材料的第二膜层20与刚性材料的第一膜层10的热膨胀系数差异较大，也能较好地抑制整个预制基板00的翘曲，如图9所示，图9是本实施例提供的两个不同制作材料制作的膜层形成双面贴附效果后的抑制翘曲的原理图，双面贴附时第二膜层20与第一膜层10的第一表面10A之间的上应力、第二膜层20与第一膜层10的第二表面10B之间下应力，上应力和下应力基本可以相互抵消，对比单面贴附(如图3和图6所示)，翘曲抑制的效果更好，如图9所示，预制基板00基本还是保持水平状态，从而可以使得后续采用本实施例的预制基板00制作柔性模组的高温制程中，与第一膜层10双面贴附的第二膜层20结构可以很好的抑制翘曲问题，进而可以较好的改善预制基板00中柔性的第二膜层20与后续制作的柔性模组的其他膜层之间的peeling，有利于提高后续柔性模组的制作良率。
本实施例中第二膜层20的第二部202通过第一胶层301与第二表面10B贴合，第二膜层20的第三部203通过第二胶层302与第二表面10B贴合，即第一膜层10的第二表面10B与第二膜层20的部分区域是通过胶材固定贴合的，从而可以增强预制基板00的第一膜层10与第二膜层20包裹效果的稳定性，进而增强第一膜层10与第二膜层20之间的键合力，有利于抑制膜层的翘曲。可选的，本实施例的第一胶层301和第二胶层302可以为同层同材料设置在第一膜层10和第二膜层20之间的胶体材料，具体实施时，第一胶层301和第二胶层302可以为具有粘性的任意胶材即可，如可以是便于机械剥离胶材，也可以是采用激光剥离的UV解离胶(光敏胶)，或者还可以是其他常用胶材，无需选用低翘曲的成本昂贵的特殊胶材，因此有利于降低预制基板00的制作成本。
本实施例中在平行于第一膜层10所在平面的方向X上，沿第二部202指向第三部203的方向，第二部202靠近第三部203一侧的端部2020与第三部203靠近第二部202一侧的端部2030之间包括间隙K，间隙K可以为后续在第二膜层20的第一部201上制作完柔性模组的其他膜层结构后提供剥离第一膜层10和第二膜层20的切入点，避免第二膜层20完全包裹住第一膜层10时没有剥离的切入点，进而有利于降低后续剥离制程的难度，提高剥离工艺的效率。
可选的，如图7所示，后续采用本实施例提供的预制基板00制作柔性模组的过程中，预制基板00的第一部201远离第一膜层10的一侧会制作柔性模组的其他膜层结构，如金属层、薄膜晶体管器件、电极层、绝缘层、取向层等功能性结构(未附图示意)，而预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧一般不做其他处理。制作预制基板00时，第一胶层301和第二胶层302分区设置在第二膜层的第二部202、第三部203与第一膜层10之间，而第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，可选的第一表面10A与第一部201可以直接接触，第二膜层20的第一部201与第一膜层10的第一表面10A两者之间直接接触时可通过静电吸附作用而贴合。
如图10所示，图10是图7中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的一种结构示意图，后续在预制基板00的第一部201远离第一膜层10的一侧制作完柔性模组的其他膜层结构后(图10中未示意)，可以从预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧的间隙K处直接机械剥离，无需使用激光剥离的工艺(预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧没有功能性器件结构，并且形变不会影响产品良率，因此可以以间隙K处为切入点进行剥离)，有利于降低成本，而第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，更容易实现剥离，进而可以降低后续制得的柔性模组与刚性的第一膜层10的剥离难度，然后分别沿图10的虚线M1处切除带有第一胶层301的第二部202和带有第二胶层302的第三部203即可得到包括柔性的第一部201作为柔性衬底的柔性模组。可以理解的是，由于本实施例提供的预制基板00制作柔性模组时需要使用的第二膜层20的第一部201，因此即使在机械剥离时第一胶层301和第二胶层302残留在第一膜层10的第二表面10B上，也不会影响第二膜层20的第一部201的使用效果。
如图11所示，图11是图7中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的另一种结构示意图，后续在预制基板00的第一部201远离第一膜层10的一侧制作完柔性模组的其他膜层结构后(图11中未示意)，也可以沿平行于第一膜层10所在平面的方向X对第二膜层20进行切割(如沿图11中示意的虚线N1进行切割)，使得第二膜层20的第一部201与其本身的第二部202、第三部203分离，由于第二部202与第一膜层10的第二表面10B通过第一胶层301贴合、第三部203与第一膜层10的第二表面10B通过第二胶层302贴合，因此刚性的第一膜层10也会随着第二部201、第三部203与第一部201的分离而与柔性的第一部201分离，且第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，更容易直接实现机械剥离；并且沿平行于第一膜层10所在平面的方向X沿虚线N1对第二膜层20进行切割也不需要使用特殊切割设备，普通美工刀就可以完成对柔性的第二膜层20的切割，直接得到包括柔性的第一部201的柔性模组，有利于降低制作成本。
本实施例提供的预制基板00不仅可以通过双面贴附的第一膜层10和第二膜层20避免翘曲，有利于改善后续采用该预制基板00制作柔性模组时的peeling问题，而且在后续第一膜层10与第二膜层20的剥离过程中，也不需要对预制基板00的刚性膜层进行切割，因此刚性的第一膜层10可以重复利用，不仅可以降低成本，还可以最大程度的利用大张的第一膜层10和第二膜层20的面积，使得制得的柔性模组的有效面积可以足够大，避免现有技术中对预制基板的边缘区域切割，而出现牺牲第二膜层20的实际使用面积的问题，进而在保证产品良率的同时又可以节约成本。
可以理解的是，本实施例对于可以采用预制基板00制作的柔性模组的产品类型不作具体限定，需要柔性衬底制作的柔性模组均可以采用本实施例提供的预制基板00制作，本实施例在此不作赘述。本实施例的图中为了清楚示意第一膜层10、第二膜层20等结构，对其膜层厚度等进行了扩大，实际实施时，预制基板00中各膜层的厚度较薄，可能仅为微米级别，因此第二膜层20至少部分包裹住第一膜层10时，不会出现图示的棱角，图中仅是示意，并不表示实际包裹的形态。
需要说明的是，本实施例对于第一膜层10、第二膜层20、第一胶层301和第二胶层302的厚度不作具体限定，仅需满足第一胶层301和第二胶层302的厚度仅需满足第二部202、第三部203与第一膜层10的贴合稳固性即可，第一膜层10的厚度可以根据实际柔性模组所需的衬底厚度的需求设置，第一膜层10的厚度仅需满足能够具有足够刚性支撑柔性的第二膜层20即可，本实施例在此不作赘述。
可选的，本实施例中在平行于第一膜层10所在平面的方向X上，沿第二部202指向第三部203的方向，第二部202靠近第三部203一侧的端部2020与第三部203靠近第二部202一侧的端部2030之间包括的间隙K的宽度W可以尽可能的窄，仅需满足在第一膜层10和第二膜层20进行机械剥离时，具有足够宽度W的剥离切入点的同时，还可以保证第二膜层20的第二部202、第三部203与第一膜层10的第二表面10B的贴合面积更大，尽量使得第一膜层10的第一表面10A和第二表面10B受到的柔性的第二膜层20的应力更接近，进而翘曲能更好抑制即可，本实施例对于间隙K的宽度W不作限定。
在一些可选实施例中，请继续结合参考图7和图8，本实施例中，在垂直于第一膜层10所在平面的方向Z上，第一膜层10的厚度D1大于第二膜层20的厚度D2。
本实施例解释说明了预制基板00中刚性的第一膜层10的厚度D1可以比较厚，即在垂直于第一膜层10所在平面的方向Z上，第一膜层10的厚度D1可以设置为大于第二膜层20的厚度D2，以满足具有足够的支撑柔性的第二膜层20的强度，并且由于采用本实施例的预制基板00制作柔性模组时，最终刚性的第一膜层10会从第二膜层20的第一部201上脱离，因此即使第一膜层10的厚度D1较厚，也不会对后续制作的柔性模组的厚度产生影响，因此将刚性的第一膜层10的厚度D1设置比较厚，可以较好的满足支撑柔性的第二膜层20的效果。
需要说明的是，本实施例对于第一膜层10的厚度D1不作具体限定，仅需满足能够支撑起第二膜层20以及后续制作的柔性模组的其他膜层即可，第二膜层20的厚度D2可以根据实际产品的需求设置，本实施例在此不作限定。
在一些可选实施例中，请结合参考图12-图15，图12是本发明实施例提供的预制基板的另一种结构示意图，图13是图12中的预制基板制作过程中第二膜层还未包裹第一膜层时的结构示意图，图14是图12中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的一种结构示意图，图15是图12中的预制基板剥离第一膜层和第二膜层的另一种结构示意图，本实施例中，第一膜层10和第二膜层20的第一部201之间还包括第三膜层40，第三膜层40为柔性膜层；
第三膜层40通过第三胶层303与第二膜层20的第一部201贴合，第三膜层40与第一膜层10的第一表面10A直接接触。
可选的，当第一膜层10和第二膜层20的第一部201之间还包括第三膜层40时，第二膜层20还包括第四区20D和第五区20E，在第二膜层20展平状态下，第四区20D位于第一区20A和第二区20B之间，第五区20E位于第一区20A和第三区20C之间；
第二膜层20还包括第四部204和第五部204，第四部204位于第四区20D，第五部205位于第五区20E；
第一膜层10包括相对设置的第一侧面10C和第二侧面10D，第一侧面10C与第一表面10A相交，第二侧面10D与第一表面10A相交；
第四部204通过第四胶层304与第一膜层10的第一侧面10C贴合，第五部205通过第五胶层305与第一膜层10的第二侧面10D贴合。
进一步可选的，本实施例中的第一胶层301、第二胶层302、第三胶层303、第四胶层304、第五胶层305一体成型，即第一胶层301、第二胶层302、第三胶层303、第四胶层304、第五胶层305可以为同层同工艺制作于第二膜层20上形成整面的胶层结构，有利于简化制程步骤。
本实施例解释说明了刚性的第一膜层10和柔性的第二膜层20之间还可以设置有柔性的第三膜层40，且第三膜层40位于第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间，第三膜层40朝向第二膜层20的第一部201的一侧表面可以通过第三胶层303与第二膜层20的第一部201固定贴合，而第三膜层40朝向第一膜层10一侧的表面可以与第一膜层10的第一表面10A直接接触，即第一膜层10的第一表面10A与第三膜层40两者之间直接接触，通过静电吸附作用而贴合。由于第三膜层40的设置，此时本实施例的第一膜层10与第二膜层20之间的胶层无需分区域设置，即第二膜层20可以通过在其表面整面设置的胶层实现包裹住部分第一膜层10的结构。具体为，第二膜层20包括第四区20D和第五区20E，在第二膜层20展平状态下，即在柔性的第二膜层20还未部分包裹住刚性的第一膜层10时，若将第二膜层20展平呈水平状态(如图13所示)，第二膜层20至少还包括第四区20D和第五区20E，其中第四区20D位于第一区20A和第二区20B之间，第五区20E位于第一区20A和第三区20C之间，第二膜层20的第四部204位于第四区20D，第二膜层20的第五部205位于第五区20E，从而可以将整个第二膜层20至少划分为五个部分，其中在垂直于第一膜层10所在平面的方向Z上，第一部201位于第三膜层40远离第一膜层10的第二表面10B的一侧，第二部202和第三部203位于第一膜层10的第二表面10B远离第一表面10A的一侧。而第一膜层10包括相对设置的第一侧面10C和第二侧面10D，第一侧面10C与第一表面10A相交，第二侧面10D与第一表面10A相交，可选的，如图12所示，第一侧面10C与第一表面10A相互垂直，第二侧面10D与第一表面10A相互垂直，第一侧面10C的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同，第二侧面10D的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同；当柔性的第二膜层20至少部分包裹住刚性的第一膜层10时，第二膜层20的第四部204位于第一侧面10C远离第二侧面10D的一侧，第二膜层20的第五部205位于第二侧面10D远离第一侧面10C的一侧，且第四部204通过第四胶层304与第一膜层10的第一侧面10C固定贴合，第五部205通过第五胶层305与第一膜层10的第二侧面10D固定贴合，即第二膜层20的第一部201、第二部202、第三部203、第四部204、第五部205所在位置均分别通过对应的胶层与第一膜层10、第三膜层40固定贴合，进而在整个第二膜层20朝向第一膜层10的一侧形成了与第二膜层20形状相同的整体包裹性胶层，并通过完整的胶层实现了第一膜层10与第二膜层20的包裹性贴合结构。
如图14所示，本实施例的通过第三胶层303贴合的第二膜层20的第一部201与第三膜层40同为柔性膜层，可共同作为后续柔性模组的柔性衬底使用，后续在预制基板00的第一部201远离第一膜层10的一侧制作完柔性模组的其他膜层结构后(图14中未示意)，可以从预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧的间隙K处直接机械剥离，无需使用激光剥离的工艺(预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧没有功能性器件结构，并且形变不会影响产品良率，因此可以以间隙K处为切入点进行剥离)，有利于降低成本，而第一膜层10的第一表面与第三膜层40之间没有具有粘性的胶层，更容易实现剥离，进而可以降低后续制得的柔性模组与刚性的第一膜层10的剥离难度，然后分别沿图14的虚线M2处切除带有第一胶层301的第二部202、带有第二胶层302的第三部203、带有第四胶层304的第四部204、带有第五胶层305的第五部205，即可得到包括柔性的第一部201和柔性的第三膜层40作为柔性衬底的柔性模组。可以理解的是，由于本实施例提供的预制基板00制作柔性模组时需要使用的第二膜层20的第一部201，因此即使在机械剥离时第一胶层301和第二胶层302残留在第一膜层10的第二表面10B上，也不会影响第二膜层20的第一部201的使用效果。
如图15所示，本实施例的通过第三胶层303贴合的第二膜层20的第一部201与第三膜层40同为柔性膜层，可共同作为后续柔性模组的柔性衬底使用，后续在预制基板00的第一部201远离第一膜层10的一侧制作完柔性模组的其他膜层结构后(图15中未示意)，也可以沿平行于第一膜层10所在平面的方向X分别对第二膜层20的第四部204和第五部205进行切割(如沿图15中示意的虚线N2进行切割)，使得通过第三胶层303固定贴合的第二膜层20的第一部201和第三膜层40，与第二膜层20本身的第二部202、第三部203分离，由于第二部202与第一膜层10的第二表面10B通过第一胶层301贴合、第三部203与第一膜层10的第二表面10B通过第二胶层302贴合，因此刚性的第一膜层10也会随着第二部201、第三部203与第一部201的分离而与柔性的第一部201分离，且第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，更容易直接实现机械剥离；而通过第三胶层303固定贴合的第二膜层20的第一部201和第三膜层40仍然贴合在一起共同作为柔性衬底使用，并且沿平行于第一膜层10所在平面的方向X沿虚线N2对第二膜层20的第四部204和第五部205进行切割也不需要使用特殊切割设备，普通美工刀就可以完成对柔性的第二膜层20的切割，直接得到包括柔性的第一部201和柔性的第三膜层40的柔性模组，有利于降低制作成本。
本实施例通过在刚性的第一膜层10和第二膜层20的第一部201之间设置柔性的第三膜层40，可以使得预制基板00在制作时，在第二膜层20的不同区域均设置有胶层，即与第二部202对应的第一胶层301、与第三部203对应的第二胶层302、与第一部201对应的第三胶层303、与第四部204对应的第四胶层304、与第五部205对应的第五胶层305，进而可以无需在第二膜层20上分区设置起到固定贴合的胶层，直接在第二膜层20一侧涂覆整面的胶层作为相应的第一胶层301、第二胶层302、第三胶层303、第四胶层304、第五胶层305即可，第一胶层301、第二胶层302、第三胶层303、第四胶层304、第五胶层305可以理解为同材料同工艺且在同一制程步骤制作的一体成型结构的胶层，然后在第一部201对应位置的第三胶层3013上贴合第三膜层40和第一膜层10，再使得第二膜层20部分包裹住第一膜层10和第三膜层40即可完成预制基板00的制作，第一膜层10与第二膜层20的通过整面的胶层固定贴合，从而可以增强预制基板00的第一膜层10与第二膜层20包裹效果的稳定性，进而进一步增强第一膜层10与第二膜层20之间的键合力，有利于抑制膜层的翘曲的同时，在第二膜层20上整面涂覆胶层还可以有利于简化预制基板00的制程工艺，降低制程难度，提高制程效率。
在一些可选实施例中，请继续结合参考图12和图13，本实施例中，在垂直于第一膜层10所在平面的方向Z上，第三膜层40的厚度D3小于第二膜层20的厚度D2。
本实施例解释说明了为了降低第二膜层20与第一膜层10之间胶层的涂覆难度，简化工艺步骤，在第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间还可以设置第三膜层40，第三膜层40可以与第二膜层20的第一部201共同作为柔性衬底使用。或者在一些其他可选实施例中，第三膜层40还可以作为后续制作的柔性模组的保护膜层使用，该保护膜层作用的第三膜层40可以在柔性模组制作完成后剥离，因此可以设置在垂直于第一膜层10所在平面的方向Z上，第三膜层40的厚度D3小于第二膜层20的厚度D2，即第三膜层40作为保护膜使用时，柔性的第三膜层40的厚度D3可以设置较小，可选的，在垂直于第一膜层10所在平面的方向Z上，第三膜层40的厚度D3小于或等于50微米，可以避免第三膜层40过厚影响后续的剥离，进而在后续剥离该作为保护膜使用的第三膜层40时可以更加方便快速，有利于提高制程效率。
在一些可选实施例中，请结合参考图12和图16，图16是本发明实施例提供的预制基板的另一种结构示意图，本实施例中，第三膜层40在第一部201的正投影位于第一部201的范围内。如图12所示，第三膜层40在第一部201的正投影的边缘可以与第一部201的边缘重合，或者，第三膜层40在第一部201的正投影的面积可以与第一部201的面积，第三膜层40在第一部201的正投影位于第一部201的范围之内。
本实施例解释说明了在第一膜层10和第二膜层20的第一部201之间设置的柔性的第三膜层40的大小形状可以与第一部201的大小形状完全相同，即第三膜层40在第一部201的正投影的边缘可以与第一部201的边缘重合，或者，柔性的第三膜层40在第一部201的正投影的面积可以比第一部201小一些，从而可以使得第二膜层20的第一部201朝向第一膜层10一侧的边缘位置(图16中的虚线Q圈出的位置)可以与第一表面10A通过第三胶层303粘附在一起，有利于增加刚性的第一膜层10与柔性的第二膜层20的第一部201的贴附面积，进而有利于降低作为柔性衬底使用的第二膜层20的第一部201脱落(peeling)的风险。
进一步可选的，如图16所示，本实施例中，由于柔性的第三膜层40在第一部201的正投影的面积可以比第一部201小一些，因此当第三胶层303设置于第二膜层20的第一部201朝向第三膜层40的一侧时，至少部分第三胶层303可以填充于第一部201和第一膜层10之间，即至少部分第三胶层303可以在未固化的状态下填满于第一部201边缘处的第一部201和第一膜层10的第一表面10A之间，进而通过减小第三膜层40的面积有利于增加刚性的第一膜层10与柔性的第二膜层20的第一部201的贴附面积，保证作为柔性衬底使用的第二膜层20的第一部201与刚性的第一膜层10之间的贴合稳固性，减少peeling风险。
可以理解的是，本实施例对于柔性的第三膜层40在第一部201的正投影的面积比第一部201的面积小多少不作具体限定，仅需使得在第二膜层20的第一部201的边缘处具有足够的区域以保证第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间贴合稳固即可，具体实施时，可以根据需要制作的柔性衬底即第二膜层20的第一部201本身的大小以及第三胶层303的粘性强度具体设置，本实施例在此不作限定。
在一些可选实施例中，请结合参考图7-图16、图17和图18，图17是本发明实施例提供的柔性衬底的一种结构示意图，图18是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种结构示意图，本实施例提供了一种柔性衬底000，该柔性衬底可以采用上述实施例中的预制基板00制作，如图10、图11、图17所示，采用上述实施例制作的柔性衬底000可以为第二膜层20的第一部201，如图14、图15、图18所示，采用上述实施例制作的柔性衬底000也可以为第三膜层40与第二膜层20的第一部201共同作为柔性衬底000。采用上述实施例的预制基板00制作柔性衬底000，可以降低制程难度，有利于减少柔性衬底000与其上方的其他膜层的脱离风险，进而可以提高后续采用该柔性衬底000制作的柔性模组的良率。本实施例对于通过上述实施例中的预制基板00制作柔性衬底000的过程和效果不作赘述，具体可参考上述实施例的具体说明，本实施例在此不再赘述。
在一些可选实施例中，请结合参考图7、图17、图19-图21，图19是本发明实施例提供的柔性衬底的一种制作方法的流程框图，图20是图19中将第二膜层的第二部和第三部从第一膜层的第二表面剥离的结构示意图，图21是图19中展开第二膜层后切割第二部和第三部的结构示意图，本实施例提供的柔性衬底的制作方法，用于制作图17所示实施例的柔性衬底，本实施例提供的柔性衬底的制作方法包括：
S01：提供上述任一实施例的预制基板00，本实施例以提供的预制基板00为图7对应的实施例的预制基板00为例进行示例说明；
S02：在预制基板00的间隙K处，将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离，使得第二膜层20和第一膜层10分离，如图20所示；
S03：展开第二膜层20，沿虚线M1切割第二部202和第三部203(如图21所示)，得到第一部201，第一部201作为柔性衬底000，如图17所示。
本实施例解释说明了一种柔性衬底000的制作方法，可以采用图7示意的预制基板00制作，可以从预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧的间隙K处将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离，可选的，第一胶层301和第二胶层302可以为机械剥离胶材，也可以为UV解离胶(光敏胶)。因此本实施例中将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离的方式包括机械剥离或激光剥离中的一种。
如采用直接机械剥离的方式，则无需使用激光剥离的工艺(预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧没有功能性器件结构，并且形变不会影响产品良率，因此可以以间隙K处为切入点进行剥离)，有利于降低成本，而第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，更容易实现剥离，因此第一部201与第一膜层10可以直接分离，即剥离完成后的第二膜层20和第一膜层10分离，然后展开第二膜层20，使得第二膜层20处于铺平状态，切割掉带有第一胶层301的第二部202和带有第二胶层302的第三部203，得到第一部201，则第一部201即为制得的柔性衬底000。
如采用激光剥离的方式，则可以通过激光扫描，使得第二部202与第一膜层10之间的第一胶层301、第三部203与第一膜层10之间的第二胶层302的分子链断裂，第一胶层301和第二胶层302的粘性变弱，从而实现第二部202与第一膜层10、第三部203与第一膜层10的分离，而第一膜层10的第一表面10A与第一部201之间没有固定胶层，因此第一部201与第一膜层10可以直接分离，然后展开第二膜层20，使得第二膜层20处于铺平状态，切割掉带有第一胶层301的第二部202和带有第二胶层302的第三部203，得到第一部201，则第一部201即为制得的柔性衬底000。
本实施例采用上述预制基板00制作柔性衬底000的方法，不仅可以通过双面贴附的第一膜层10和第二膜层20避免翘曲，有利于改善后续采用该预制基板00制作柔性模组时柔性衬底000的peeling问题，而且在制作过程中的第一膜层10与第二膜层20的剥离过程中，也不需要对预制基板00的刚性膜层进行切割，因此刚性的第一膜层10可以重复利用，不仅可以降低成本，还可以最大程度的利用大张的第一膜层10和第二膜层20的面积，使得制得的柔性衬底000的有效面积可以足够大，进而在保证产品良率的同时又可以节约成本。
在一些可选实施例中，请结合参考图12、图18、图22-图24，图22是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种制作方法的流程框图，图23是图22中将第二膜层的第二部和第三部从第一膜层的第二表面剥离的结构示意图，图24是图22中展开第二膜层后切割第二部和第三部的结构示意图，本实施例提供的柔性衬底的制作方法，用于制作图18所示实施例的柔性衬底，本实施例提供的柔性衬底的制作方法包括：
S11：提供上述任一实施例的预制基板00，本实施例以提供的预制基板00为图12对应的实施例的预制基板00为例进行示例说明，即提供的预制基板00还包括第三膜层40，第三膜层40位于第一膜层10和第一部201之间，第三膜层40为柔性膜层，第三膜层40通过第三胶层303与第二膜层20的第一部201贴合，第三膜层40与第一表面10A直接接触；可选的，第二膜层20还包括第四部204和第五部204，第一膜层10包括相对设置的第一侧面10C和第二侧面10D，第四部204通过第四胶层304与第一膜层10的第一侧面10C贴合，第五部205通过第五胶层305与第一膜层10的第二侧面10D贴合，即第二膜层20可以通过整面设置的胶层部分包裹住第一膜层10，整面设置的胶层的有益效果可参考图12对应的实施例进行理解，本实施例在此不作赘述；
S12：在预制基板00的间隙K处，将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离，使得第二膜层20和第一膜层10分离，如图23所示；
S13：展开第二膜层20，沿虚线M2切割第二部202和第三部203(如图24所示)，得到层叠设置的第一部201、第三膜层40与第一膜层10分离，第一部201和第三膜层40作为柔性衬底000，如图18所示。
本实施例解释说明了一种柔性衬底000的制作方法，可以采用图12示意的预制基板00制作，可以从预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧的间隙K处将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离，使得包括第三膜层40的第二膜层20与第一膜层10分离；可选的，第一胶层301和第二胶层302可以为机械剥离胶材，也可以为UV解离胶(光敏胶)。因此本实施例中将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离的方式包括机械剥离或激光剥离中的一种。
如采用直接机械剥离的方式，则无需使用激光剥离的工艺(预制基板00的第二部202、第三部203远离第一膜层10的一侧没有功能性器件结构，并且形变不会影响产品良率，因此可以以间隙K处为切入点进行剥离)，有利于降低成本，而第三膜层40与第一膜层10的第一表面10A之间没有具有粘性的胶层，更容易实现剥离，因此贴合有第三膜层40的第一部201与第一膜层10可以直接分离，即剥离完成后的包括第三膜层40的第二膜层20和第一膜层10分离，然后展开第二膜层20，使得第二膜层20处于铺平状态，切割掉带有第一胶层301的第二部202和带有第二胶层302的第三部203，得到层叠设置的第一部201和第三膜层40，通过第三胶层303粘合的第一部201和第三膜层40即为制得的柔性衬底000。
如采用激光剥离的方式，则可以通过激光扫描，使得第二部202与第一膜层10之间的第一胶层301、第三部203与第一膜层10之间的第二胶层302、第四部204与第一膜层10的第一侧面10C之间的第四胶层304、第五部205与第一膜层10的第二侧面10D之间的第五胶层305的分子链断裂，第一胶层301和第二胶层302、第四胶层304和第五胶层305的粘性变弱，从而实现第二部202与第一膜层10、第三部203与贴合有第三膜层40的第一膜层10的分离，而第一膜层10的第一表面10A与第三膜层40之间没有固定胶层，因此第三膜层40与第一膜层10可以直接分离，然后展开贴合有第三膜层40的第二膜层20，使得第二膜层20处于铺平状态，切割掉带有第一胶层301的第二部202、带有第二胶层302的第三部203、带有第四胶层304的第四部204、带有第五胶层305的第五部205，得到层叠设置的第一部201和第三膜层40，通过第三胶层303粘合的第一部201和第三膜层40即为制得的柔性衬底000
本实施例提供的预制基板00不仅可以通过双面贴附的第一膜层10和第二膜层20避免翘曲，有利于改善后续采用该预制基板00制作柔性模组时柔性衬底000的peeling问题，而且第二膜层20可以通过在其表面整面设置的胶层实现包裹住部分第一膜层10的结构，有利于简化预制基板00的制作难度；在制作过程中的第一膜层10与第二膜层20的剥离过程中，也不需要对预制基板00的刚性膜层进行切割，因此刚性的第一膜层10可以重复利用，不仅可以降低成本，还可以最大程度的利用大张的第一膜层10和第二膜层20的面积，使得制得的柔性衬底000的有效面积可以足够大，进而在保证产品良率的同时又可以节约成本。
可选的，本实施例中的将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离的方式若采用机械剥离的方式时，第一胶层301和/或第二胶层302相对于第一膜层10的剥离强度范围为3g/25mm-50g/25mm，其中剥离强度指的是粘贴在一起的材料，从接触面进行单位宽度剥离时所需要的最大力，从而有利于保证第二部202和第三部203更快的从第一膜层10的第二表面10B上剥离的同时还可以节省剥离的功耗。
可选的，本实施例中的将第二膜层20的第二部202和第三部203从第一膜层10的第二表面10B剥离的方式若采用激光剥离的方式时，第一胶层301和/或第二胶层302均为光敏胶，如UV解离胶；在进行激光剥离前，即预制好该预制基板00后，第一胶层301和/或第二胶层302相对于第一膜层10的剥离强度大于1000g/25mm，进而可以保证预制基板00中第一膜层10和第二膜层20的贴合稳固性，避免在该预制基板00上制作其他膜层时发生翘曲进而导致膜层peeling的问题。而在通过激光照射后，即在激光剥离时，第一胶层301和/或第二胶层302相对于第一膜层10的剥离强度逐渐减小，减小至小于5g/25mm时，第一胶层301和第二胶层302的粘性变弱，保证第二部202和第三部203更快的从第一膜层10的第二表面10B上剥离，从而有利于保证预制基板00本身的膜层稳固性的同时，还可以保证激光剥离时第二部202和第三部203可以更顺利的从第一膜层10的第二表面10B上剥离，节省剥离的功耗。
在一些可选实施例中，请结合参考图7、图11、图17、图25-图26，图25是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种制作方法的流程框图，图26是图25中第二部、第三部、第一膜层均与第一部分离后的结构示意图，本实施例提供的柔性衬底的制作方法，用于制作图17所示实施例的柔性衬底，本实施例提供的柔性衬底的制作方法包括：
S21：提供上述任一实施例的预制基板00，本实施例以提供的预制基板00为图7对应的实施例的预制基板00为例进行示例说明；预制基板00中，第一膜层10包括相对设置的第一侧面10C和第二侧面10D，第一侧面10C与第一表面10A相交，第二侧面10D与第一表面10A相交；可选的，如图11所示，第一侧面10C与第一表面10A相互垂直，第二侧面10D与第一表面10A相互垂直，第一侧面10C的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同，第二侧面10D的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同，如图7和图11所示；
S22：分别在第一侧面10C和第二侧面10D位置处，沿平行于第一膜层10所在平面的方向X，沿虚线N1切割第二膜层20，使得第二部202、第三部203、第一膜层10均与第一部201分离，如图26所示；
S23：得到的第一部201作为柔性衬底000，如图17所示。
本实施例解释说明了一种柔性衬底000的制作方法，可以采用图7示意的预制基板00制作，本实施例提供的柔性衬底000的制作方法无需剥离工序，可以直接沿平行于第一膜层10所在平面的方向X对第二膜层20进行切割(如沿图11中示意的虚线N1进行切割)，使得第二膜层20的第一部201与其本身的第二部202、第三部203分离，由于第二部202与第一膜层10的第二表面10B通过第一胶层301贴合、第三部203与第一膜层10的第二表面10B通过第二胶层302贴合，因此刚性的第一膜层10也会随着第二部201、第三部203与第一部201的分离而与柔性的第一部201分离，且第二膜层20的第一部201与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，更容易直接实现机械剥离；并且沿平行于第一膜层10所在平面的方向X沿虚线N1对第二膜层20进行切割也不需要使用特殊切割设备，普通美工刀就可以完成对柔性的第二膜层20的切割，直接得到包括第一部201的柔性衬底000，有利于更好的提高制程效率，降低制作成本。
在一些可选实施例中，请结合参考图12、图15、图18、图27-图28，图27是本发明实施例提供的柔性衬底的另一种制作方法的流程框图，图28是图27中第二部、第三部、第一膜层均与第三膜层分离后的结构示意图，本实施例提供的柔性衬底的制作方法，用于制作图18所示实施例的柔性衬底，本实施例提供的柔性衬底的制作方法包括：
S31：提供上述任一实施例的预制基板00，本实施例以提供的预制基板00为图12对应的实施例的预制基板00为例进行示例说明；预制基板00中，第一膜层10包括相对设置的第一侧面10C和第二侧面10D，第一侧面10C与第一表面10A相交，第二侧面10D与第一表面10A相交；可选的，如图11所示，第一侧面10C与第一表面10A相互垂直，第二侧面10D与第一表面10A相互垂直，第一侧面10C的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同，第二侧面10D的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同，提供的预制基板00还包括第三膜层40，第三膜层40位于第一膜层10和第一部201之间，第三膜层40为柔性膜层，第三膜层40通过第三胶层203与第二膜层20的第一部201贴合，第三膜层40与第一表面10A直接接触，如图12和图15所示，即第二膜层20可以通过整面设置的胶层部分包裹住第一膜层10，整面设置的胶层的有益效果可参考图12对应的实施例进行理解，本实施例在此不作赘述；
S32：分别在第一侧面10C和第二侧面10D位置处，沿平行于第一膜层10所在平面的方向X，沿虚线N2切割第二膜层20，使得第二部202、第三部203、第一膜层10均与第三膜层40分离，如图28所示；可以理解的是，此时图28中在平行于第一膜层10所在平面的方向X上超出第一膜层10范围的第二膜层20即可以理解为沿虚线N2切割后展平的第四部204和第五部205；
S33：得到层叠设置的第一部201和第三膜层40，第一部201和第三膜层40作为柔性衬底000，如图18所示。
本实施例解释说明了一种柔性衬底000的制作方法，可以采用图12示意的预制基板00制作，第二膜层20可以通过在其表面整面设置的胶层实现包裹住部分第一膜层10的结构，有利于简化预制基板00的制作难度。本实施例提供的柔性衬底000的制作方法无需剥离工序，可以直接沿平行于第一膜层10所在平面的方向X对第二膜层20进行切割(如沿图15中示意的虚线N2进行切割)，使得贴合有第三膜层40的第二膜层20的第一部201与其本身的第二部202、第三部203分离，由于第二部202与第一膜层10的第二表面10B通过第一胶层301贴合、第三部203与第一膜层10的第二表面10B通过第二胶层302贴合，因此刚性的第一膜层10也会随着第二部201、第三部203与第一部201的分离而与柔性的第三膜层40分离，且第三膜层40与第一膜层10之间没有具有粘性的胶层，更容易直接实现机械剥离；并且沿平行于第一膜层10所在平面的方向X沿虚线N2对第二膜层20进行切割也不需要使用特殊切割设备，普通美工刀就可以完成对柔性的第二膜层20的切割，直接得到包括第一部201和第三膜层40的柔性衬底000，有利于更好的提高制程效率，降低制作成本。
在一些可选实施例中，请结合参考图7-图16、图29-图36，图29是本发明实施例提供的柔性模组的制作方法的流程框图，图30是图29中提供的第一预制基板的结构示意图，图31是图29中在第一预制基板一侧制作完第一电极层和第一配向层后的结构示意图，图32是图29中提供的第二预制基板的结构示意图，图33是图29中在第二预制基板一侧制作完第二电极层和第二配向层后的结构示意图，图34是图29中第一预制基板和第二预制基板成盒固定后的结构示意图，图35是图29中分离第一预制基板和第二预制基板的第一部和第一膜层的结构示意图，图36是图29中得到的柔性模组的结构示意图，本实施例提供的柔性模组0000的制作方法，可以采用上述实施例提供的预制基板00制作，本实施例的柔性模组0000的制作方法包括：
S41：提供第一预制基板01，第一预制基板01包括上述任一实施例中的预制基板00，如图30所示；可以理解的是，本实施例仅以第一预制基板01为图7实施例描述的预制基板为例进行示例说明，具体实施时，制作柔性模组0000的第一预制基板01还可以为图12等实施例提供的预制基板，具体可参考上述实施例的说明，本实施例在此不再赘述；
S42：在第一预制基板01上的第一部201背离第一膜层10的一侧制作第一电极层501和第一配向层502，使得第一电极层501位于第一预制基板01的第一部201远离第一膜层10的一侧，第一配向层502位于第一电极层501远离第一预制基板01的一侧，如图31所示；
S43：提供第二预制基板02，第二预制基板02包括上述任一实施例中的预制基板00，如图32所示；可以理解的是，本实施例仅以第二预制基板02为图7实施例描述的预制基板为例进行示例说明，具体实施时，制作柔性模组0000的第二预制基板02还可以为图12等实施例提供的预制基板，具体可参考上述实施例的说明，本实施例在此不再赘述；
S44：在第二预制基板02上的第一部201背离第一膜层10的一侧制作第二电极层503和第二配向层504，使得第二电极层503位于第二预制基板02的第一部201远离第一膜层10的一侧，第二配向层504位于第二电极层503远离第二预制基板02的一侧，如图33所示；第一预制基板01和第二预制基板02中，第一膜层10包括相对设置的第一侧面10C和第二侧面10D，第一侧面10C与第一表面10A相交，第二侧面10D与第一表面10A相交；可选的，如图11所示，第一侧面10C与第一表面10A相互垂直，第二侧面10D与第一表面10A相互垂直，第一侧面10C的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同，第二侧面10D的延伸方向与垂直于第一膜层10所在平面的方向Z相同；
S45：将第一预制基板01和第二预制基板02成盒固定，使得第一预制基板01位于第一配向层502远离第二预制基板02的一侧，第二预制基板02位于第二配向层504远离第一预制基板01的一侧，第一预制基板01和第二预制基板02之间包括液晶层60，如图34所示；
S46：分别在第一预制基板01的第一侧面10C和第二侧面10D位置处，沿平行于第一膜层10所在平面的方向X切割第二膜层20，使得第一预制基板01的第二部202、第三部203、第一膜层10与第一部201分离，如图35所示；
S47：分别在第二预制基板02的第一侧面10C和第二侧面10D位置处，沿平行于第一膜层10所在平面的方向X切割第二膜层20，使得第二预制基板02的第二部202、第三部203、第一膜层10与第一部201分离，如图35所示；
S48：得到柔性模组0000，如图36所示。
具体而言，本实施例提供的柔性模组0000的制作方法可以采用上述实施例中的预制基板00制作，本实施例的柔性模组0000可以为柔性调光结构，可以理解的是，本实施例仅是举例说明当采用上述实施例的预制基板00制作柔性调光结构的柔性模组0000时的制作方法，具体实施时，柔性模组0000还可以为柔性显示面板等其他柔性产品，本实施例对此不作限定。柔性调光结构又称电控调光膜，是制作调光玻璃的核心材料，将液晶和高分子材料复合在两片透明电极层之间。两片透明电极层断电时，液晶使入射光散射，处于不透明状态。两片透明电极层通电时，液晶分子沿电场方向有序地排列，液晶使入射光透射，处于透明状态，柔性调光结构一般可粘贴在显示产品的出光面上，可以适用于需要实现隐私保护的显示产品上。本实施例提供的柔性模组0000的制作方法包括第一预制基板01和第二预制基板02以及位于第一预制基板01和第二预制基板02之间的液晶层60，其中第一预制基板01和第二预制基板02可以采用上述实施例中的任一预制基板00，首先在提供的第一预制基板01上的第一部201背离第一膜层10的一侧依次制作第一电极层501和第一配向层502，使得第一电极层501位于第一预制基板01的第一部201远离第一膜层10的一侧，第一配向层502位于第一电极层501远离第一预制基板01的一侧，其中第一电极层501可以进行图案化，第一电极层501的制作材料可以为ITO或IZO等透明导电材料，对第一配向层502的配向可以采用Rubbing(摩擦)配向等工艺。然后同理在提供的第二预制基板02上的第一部201背离第一膜层10的一侧依次制作第二电极层503和第二配向层504，使得第二电极层503位于第二预制基板02的第一部201远离第一膜层10的一侧，第二配向层504位于第二电极层503远离第二预制基板02的一侧，其中第二电极层503可以进行图案化，第二电极层503的制作材料可以为ITO或IZO等透明导电材料，对第二配向层504的配向可以采用Rubbing(摩擦)配向等工艺。可选的，第一预制基板01或第二预制基板02靠近液晶层60的一侧还可以设置有薄膜晶体管阵列层，可以用于为局部区域的第一电极层501和第二电极层502之间提供驱动电场，实现局部区域柔性模组000的调光。将包括第一电极层501和第一配向层502的第一预制基板01和包括第二电极层503和第二配向层504的第二预制基板02成盒固定，使得第一预制基板01位于第一配向层502远离第二预制基板02的一侧，第二预制基板02位于第二配向层504远离第一预制基板01的一侧，第一预制基板01和第二预制基板02之间包括液晶层60，可选的，第一预制基板01和第二预制基板02可通过框胶70成盒固定，设置液晶层60的方式可以通过灌晶或者液晶注入中的任一工艺，本实施例在此不作赘述。此时柔性模组000的结构基本完成后，可以将预制基板中刚性的第一膜层10分离，具体为分别在第一预制基板01的第一侧面10C和第二侧面10D位置处，沿平行于第一膜层10所在平面的方向X切割第二膜层20，使得第一预制基板01的第二部202、第三部203、第一膜层10与第一部201分离；分别在第二预制基板02的第一侧面10C和第二侧面10D位置处，沿平行于第一膜层10所在平面的方向X切割第二膜层20，使得第二预制基板02的第二部202、第三部203、第一膜层10与第一部201分离，上述分离刚性的第一膜层10的结构的方法具体可参考上述实施例中制作柔性衬底的方法进行理解，本实施例不再赘述，最终第一预制基板01的第二部202、第三部203、第一膜层10与第一部201分离后，第二预制基板02的第二部202、第三部203、第一膜层10与第一部201分离后，得到本实施例所需的柔性模组0000。
本实施例采用上述预制基板00进行柔性显示模组000的制作，不仅可以通过双面贴附的第一膜层10和第二膜层20避免第一预制基板01和第二预制基板02的翘曲，有利于改善制作的柔性模组0000的膜层peeling问题，而且在制作完柔性模组0000的其他结构后的第一膜层10与第二膜层20的剥离过程中，也不需要对预制基板00的刚性膜层进行切割，因此刚性的第一膜层10可以重复利用，不仅可以降低成本，还可以最大程度的利用大张的第一膜层10和第二膜层20的面积，进而在保证产品良率的同时又可以提高制作效率，节约制作成本。
需要说明的是，本实施例仅是示例性提供了预制基板00可以用于制作的一种柔性模组的制作方法，具体实施时，包括但不局限于此制作方法，还可以采用其他制作方法，通过预制基板00制作其他结构的柔性模组，如其他需要通过在刚性层上制备柔性产品的各膜层结构，然后去除刚性层得到所需柔性模组的方式等，本实施例在此不作限定。
可选的，如图29-图35、图37所示，图37是图29中第一预制基板和第二预制基板成盒固定后的另一种结构示意图，本实施例提供的柔性模组000的制作方法中，将第一预制基板01和第二预制基板01成盒固定，还包括：在第一预制基板01和第二预制基板02之间设置球形隔垫物80。由于在最终形成的柔性模组0000中刚性的第一膜层10需要去除，得到柔性的第二膜层20的第一部201作为柔性衬底，为了保证柔性模组000的整体稳定性，可以在两个柔性衬底之间设置球形隔垫物80，球形隔垫物80可以为多个设置于液晶层60内，且抵接在第一预制基板01和第二预制基板02之间，起到支撑定型的作用，避免发生扭曲、挤压导致变形，有利于提高整体结构的稳定性。
在一些可选实施例中，请参考图38，图38是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图，本实施例提供的显示装置1111，包括显示面板111和柔性模组0000，柔性模组0000贴合于显示面板111的出光面E一侧，可选的，本实施例的显示面板111可以为液晶显示面板或者有机发光二极管显示面板或者其他类型的显示面板，柔性模组0000可以作为调光结构使用设置于显示面板111的出光面E一侧，本实施例的柔性模组0000采用上述实施例中的制作方法制作。可以理解的是，本发明实施例提供的显示装置1111，可以是电脑、电视、车载显示装置等其他具有显示功能的显示装置1111，本发明对此不作具体限制。本发明实施例提供的显示装置1111，具有本发明实施例提供的柔性模组0000的有益效果，具体可以参考上述各实施例对于柔性模组0000的具体说明，本实施例在此不再赘述。
通过上述实施例可知，本发明提供的预制基板、柔性衬底和柔性模组及其制作方法、显示装置，至少实现了如下的有益效果：
本发明提供的预制基板至少包括第一膜层和第二膜层，第一膜层为刚性膜层，第二膜层为柔性膜层，第二膜层至少部分包裹住第一膜层，使得第一膜层与第二膜层形成了双面贴附的效果，即第一膜层的相对设置的第一表面和第二表面均与第二膜层贴附，即使柔性材料的第二膜层与刚性材料的第一膜层的热膨胀系数差异较大，也能较好地抑制整个预制基板的翘曲，进而可以较好的改善预制基板中柔性的第二膜层与后续制作的柔性模组的其他膜层之间的peeling，有利于提高后续柔性模组的制作良率。本发明中第二膜层的第二部通过第一胶层与第二表面贴合，第二膜层的第三部通过第二胶层与第二表面贴合，从而可以增强预制基板的第一膜层与第二膜层包裹效果的稳定性，进而增强第一膜层与第二膜层之间的键合力，有利于抑制膜层的翘曲。本发明中在平行于第一膜层所在平面的方向上，沿第二部指向第三部的方向，第二部靠近第三部一侧的端部与第三部靠近第二部一侧的端部之间包括间隙，间隙可以为后续在第二膜层的第一部上制作完柔性模组的其他膜层结构后提供剥离第一膜层和第二膜层的切入点，避免第二膜层完全包裹住第一膜层时没有剥离的切入点，进而有利于降低后续剥离制程的难度，提高剥离工艺的效率。本发明提供的预制基板在后续第一膜层与第二膜层的剥离过程中，不需要对预制基板的刚性膜层进行切割，因此刚性的第一膜层可以重复利用，不仅可以降低成本，还可以最大程度的利用大张的第一膜层和第二膜层的面积，使得制得的柔性模组的有效面积可以足够大，避免现有技术中对预制基板的边缘区域切割，而出现牺牲第二膜层的实际使用面积的问题，进而在保证产品良率的同时又可以节约成本。
虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (22)

1.一种预制基板，其特征在于，至少包括：第一膜层和第二膜层，所述第一膜层为刚性膜层，所述第二膜层为柔性膜层，所述第二膜层至少部分包裹住所述第一膜层；
在所述第二膜层展平状态下，所述第二膜层至少包括第一区和位于所述第一区相对两侧的第二区和第三区；所述第二膜层至少包括第一部、第二部和第三部，所述第一部位于所述第一区，所述第二部位于所述第二区，所述第三部位于所述第三区；
在垂直于所述第一膜层所在平面的方向上，所述第一膜层包括相对设置的第一表面和第二表面；所述第一部位于所述第一表面远离所述第二表面的一侧，所述第二部和所述第三部位于所述第二表面远离所述第一表面的一侧；
所述第二部通过第一胶层与所述第二表面贴合，所述第三部通过第二胶层与所述第二表面贴合；
在平行于所述第一膜层所在平面的方向上，沿所述第二部指向所述第三部的方向，所述第二部靠近所述第三部一侧的端部与所述第三部靠近所述第二部一侧的端部之间包括间隙。
2.根据权利要求1所述的预制基板，其特征在于，在垂直于所述第一膜层所在平面的方向上，所述第一膜层的厚度大于所述第二膜层的厚度。
3.根据权利要求1所述的预制基板，其特征在于，所述第一表面与所述第一部直接接触。
4.根据权利要求1所述的预制基板，其特征在于，所述第一膜层和所述第一部之间还包括第三膜层，所述第三膜层为柔性膜层；
所述第三膜层通过第三胶层与所述第二膜层的所述第一部贴合，所述第三膜层与所述第一表面直接接触。
5.根据权利要求4所述的预制基板，其特征在于，所述第二膜层还包括第四区和第五区，在所述第二膜层展平状态下，所述第四区位于所述第一区和所述第二区之间，所述第五区位于所述第一区和所述第三区之间；
所述第二膜层还包括第四部和第五部，所述第四部位于所述第四区，所述第五部位于所述第五区；
所述第一膜层包括相对设置的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面与所述第一表面相交，所述第二侧面与所述第一表面相交；
所述第四部通过第四胶层与所述第一膜层的所述第一侧面贴合，所述第五部通过第五胶层与所述第一膜层的所述第二侧面贴合。
6.根据权利要求5所述的预制基板，其特征在于，所述第一胶层、所述第二胶层、所述第三胶层、所述第四胶层、所述第五胶层一体成型。
7.根据权利要求4所述的预制基板，其特征在于，在垂直于所述第一膜层所在平面的方向上，所述第三膜层的厚度小于所述第二膜层的厚度。
8.根据权利要求7所述的预制基板，其特征在于，在垂直于所述第一膜层所在平面的方向上，所述第三膜层的厚度小于或等于50微米。
9.根据权利要求4所述的预制基板，其特征在于，所述第三膜层在所述第一部的正投影位于所述第一部的范围内。
10.根据权利要求9所述的预制基板，其特征在于，至少部分所述第三胶层填充于所述第一部和所述第一膜层之间。
11.一种柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底采用权利要求1-10任一项所述的预制基板制作。
12.一种柔性衬底的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
提供权利要求1-10任一项所述的预制基板；
在所述间隙处，将所述第二膜层的所述第二部和所述第三部从所述第一膜层的所述第二表面剥离，使得所述第二膜层和所述第一膜层分离；
展开所述第二膜层，切割所述第二部和所述第三部，得到所述第一部，所述第一部作为所述柔性衬底。
13.根据权利要求12所述的制作方法，其特征在于，提供的所述预制基板还包括第三膜层，所述第三膜层位于所述第一膜层和所述第一部之间，所述第三膜层为柔性膜层，所述第三膜层通过第三胶层与所述第二膜层的所述第一部贴合，所述第三膜层与所述第一表面直接接触；
所述制作方法包括：
切割所述第二部和所述第三部，得到层叠设置的所述第一部、所述第三膜层与所述第一膜层分离，所述第一部和所述第三膜层作为所述柔性衬底。
14.根据权利要求12所述的制作方法，其特征在于，将所述第二膜层的所述第二部和所述第三部从所述第一膜层的所述第二表面剥离的方式包括机械剥离或激光剥离中的一种。
15.根据权利要求14所述的制作方法，其特征在于，采用所述机械剥离时，所述第一胶层和/或所述第二胶层相对于所述第一膜层的剥离强度范围为3g/25mm-50g/25mm。
16.根据权利要求14所述的制作方法，其特征在于，采用所述激光剥离时，所述第一胶层和/或所述第二胶层均为光敏胶；
所述激光剥离前，所述第一胶层和/或所述第二胶层相对于所述第一膜层的剥离强度大于1000g/25mm；
所述激光剥离后，所述第一胶层和/或所述第二胶层相对于所述第一膜层的剥离强度小于5g/25mm。
17.一种柔性衬底的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
提供权利要求1-10任一项所述的预制基板；所述预制基板中，所述第一膜层包括相对设置的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面与所述第一表面相交，所述第二侧面与所述第一表面相交；
分别在所述第一侧面和所述第二侧面位置处，沿平行于所述第一膜层所在平面的方向切割所述第二膜层，使得所述第二部、所述第三部、所述第一膜层与所述第一部分离；
得到的所述第一部作为所述柔性衬底。
18.根据权利要求17所述的制作方法，其特征在于，提供的所述预制基板还包括第三膜层，所述第三膜层位于所述第一膜层和所述第一部之间，所述第三膜层为柔性膜层，所述第三膜层通过第三胶层与所述第二膜层的所述第一部贴合，所述第三膜层与所述第一表面直接接触；
所述制作方法包括：
分别在所述第一侧面和所述第二侧面位置处，沿平行于所述第一膜层所在平面的方向切割所述第二膜层，使得所述第二部、所述第三部、所述第一膜层与所述第三膜层分离；
得到层叠设置的所述第一部和所述第三膜层，所述第一部和所述第三膜层作为所述柔性衬底。
19.一种柔性模组的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
提供第一预制基板，所述第一预制基板包括权利要求1-10任一项所述的预制基板；
在所述第一预制基板上的所述第一部背离所述第一膜层的一侧制作第一电极层和第一配向层，使得所述第一电极层位于所述第一预制基板的所述第一部远离所述第一膜层的一侧，所述第一配向层位于所述第一电极层远离所述第一预制基板的一侧；
提供第二预制基板，所述第二预制基板包括权利要求1-10任一项所述的预制基板；
在所述第二预制基板上的所述第一部背离所述第一膜层的一侧制作第二电极层和第二配向层，使得所述第二电极层位于所述第二预制基板的所述第一部远离所述第一膜层的一侧，所述第二配向层位于所述第二电极层远离所述第二预制基板的一侧；所述第一预制基板和所述第二预制基板中，所述第一膜层包括相对设置的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面与所述第一表面相交，所述第二侧面与所述第一表面相交；
将所述第一预制基板和所述第二预制基板成盒固定，使得所述第一预制基板位于所述第一配向层远离所述第二预制基板的一侧，所述第二预制基板位于所述第二配向层远离所述第一预制基板的一侧，所述第一预制基板和所述第二预制基板之间包括液晶层；
分别在所述第一预制基板的所述第一侧面和所述第二侧面位置处，沿平行于所述第一膜层所在平面的方向切割所述第二膜层，使得所述第一预制基板的所述第二部、所述第三部、所述第一膜层与所述第一部分离；
分别在所述第二预制基板的所述第一侧面和所述第二侧面位置处，沿平行于所述第一膜层所在平面的方向切割所述第二膜层，使得所述第二预制基板的所述第二部、所述第三部、所述第一膜层与所述第一部分离；
得到柔性模组。
20.根据权利要求19所述的制作方法，其特征在于，将所述第一预制基板和所述第二预制基板成盒固定，还包括：
在所述第一预制基板和所述第二预制基板之间设置球形隔垫物。
21.一种柔性模组，其特征在于，所述柔性模组采用权利要求19-20任一项所述的制作方法制作。
22.一种显示装置，其特征在于，包括显示面板和柔性模组，所述柔性模组贴合于所述显示面板的出光面一侧；
所述柔性模组采用权利要求19-20任一项所述的制作方法制作。
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