CN114605690A - 一种抗热老化耐热覆铜基板及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种抗热老化耐热覆铜基板及其制备方法。使用经过氢氧化钾处理的聚酰亚胺膜，加强PAA溶液与聚酰亚胺膜之间的结合力。在PAA溶液中添加共聚物A、均苯四甲酸二酐，共聚物A中的酸酐基团可以二胺单体和二酐单体的聚合反应，由此提高聚酰亚胺与POSS的相互作用力，增加聚酰亚胺的韧性和降低介电常数，提高热力学性能，使得覆铜板的使用寿命增长。最后通过磁控溅射对复合膜镀铜，由此制得的抗热老化耐热覆铜基板使用寿命长，界电损耗低，在工业中具有更广泛地应用。

Description

一种抗热老化耐热覆铜基板及其制备方法
技术领域
本发明涉及覆铜板技术领域，具体为一种抗热老化耐热覆铜基板及其制备方法。
背景技术
聚酰亚胺是指主链上含有酰亚胺环(-CO-NH-CO-)的一类聚合物，它具有非常优异的热稳定性、机械性能及介电性能，在航空航天、机械、汽车和微电子等高科技领域应用广泛。近年来，为满足一些特殊领域的发展需求，热塑性聚酰亚胺材料的研究已成为高性能材料领域中的热点之一。热塑性聚酰亚胺兼具可加工性和良好的耐热性，可以应用至双面柔性覆铜板领域。通常，利用不同的二酐与二胺单体，通过在聚酰亚胺的分子链中引入柔性结构单元等方法，可以制备得到热塑性聚酰亚胺。将热塑性聚酰亚胺膜与铜箔压合在一起，可以制得满足工业要求的抗热老化耐高温的覆铜板。
但是有聚酰亚胺膜与铜箔压合而制成的覆铜板虽然具有耐高温的特性，却也存在许多缺点，例如在聚酰亚胺膜与铜箔层压制的时候，层压过程中易出现PAA溶液涂覆不均、容易产生气孔等问题，同时表面粗糙度也难以精确控制，最重要的是PAA溶液在高频应用时会产生较大的介电损耗，频率越高，介电损耗越大。聚酰亚胺膜与铜箔之间的结合力不强，聚酰亚胺膜的力学性能不加，在工艺加工中达不到使用标准。
因此，为了解决上述问题，提供一种抗热老化耐热覆铜基板及其制备方法具有重要意义。
发明内容
本发明的目的在于提供一种抗热老化耐热覆铜基板及其制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：
一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，包括以下步骤：
步骤一：将对苯二胺加入到N,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入联苯四酸二酐，搅拌20～24h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干30～40min，制得聚酰亚胺膜；
步骤二：对聚酰亚胺膜进行处理，得到处理后的聚酰亚胺膜；
步骤三：在处理后的聚酰亚胺膜外涂覆PAA溶液，得到复合膜；
步骤四：通过直流溅射在复合膜外镀铜，得到一种抗热老化耐热覆铜基板。
较为优化地，步骤二中，对聚酰亚胺膜进行处理，具体步骤为：取氢氧化钾、去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1～2min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
较为优化地，步骤三中，PAA溶液的制备方法为：将共聚物A溶解到四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌22～24h，得到PAA溶液。
较为优化地，共聚物A的制备方法为：加入马来酰亚胺基七异丁基POSS、降冰片烯酸酐、过氧化二叔丁基以及丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到130～140℃，持续搅拌22～24h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
较为优化地，步骤四的具体操作方法为：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，以30～35ml/min的速度通入Ar，并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源对基片进行Ar等离子体清洗，时间20～30min，再用Cu靶进行直流溅射镀膜，得到一种抗热老化耐热覆铜基板。
较为优化地，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为100～110℃，直流偏压为50V。
较为优化地，所述4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：
(1)对聚酰亚胺膜进行处理，当聚酰亚胺经受碱处理时，聚酰亚胺膜表面的酰亚胺环开环，碱处理时先生成羧酸钾，后经盐酸浸泡后生成羧酸，使聚酰亚胺的表面活性位点增多。聚酰亚胺膜与氢氧化钾接触后表面被刻蚀，一方面增加聚酰亚胺膜表面的粗糙度，另一方面使得表面的酰亚胺官能团开环，生成亲水的羧基基团，二者均可提高聚酰亚胺膜的亲水性，加强PAA溶液与聚酰亚胺膜之间的结合力。
(2)在PAA溶液中添加共聚物A。用降冰片烯酸酐和马来酰亚胺基七异丁基POSS自由基共聚制备共聚物A，共聚物A中含有极性差别较大的异丁基端和酸酐端，其在极性溶剂中能够自组装成球形颗粒，位于颗粒表面的酸酐基团可以参与4,4'-二氨基二苯醚二胺单体和二酐单体的聚合反应，由此提高聚酰亚胺与POSS的相互作用力。将含有共聚物A的PAA溶液直接涂覆在聚酰亚胺膜表面，不会改变聚酰亚胺膜的组成，但是共聚物A引入聚酰亚胺中，会增大聚酰亚胺膜的自由体积，降低聚酰亚胺分子链的密堆积，从而增加韧性和降低介电常数，介电损耗小，使得覆铜板的使用寿命增长。
(3)在PAA溶液中引入均苯四甲酸二酐，在保证高热稳定性的情况下，促进分子链形成规整的排列，继而改善聚酰亚胺膜的聚集态结构以及提高热力学性能，增强覆铜基板的耐热性以及使用寿命。
(4)通过磁控溅射对复合膜镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为100～110℃，直流偏压为50V，使得聚酰亚胺膜与覆铜板结合紧密。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌22h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干35min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：取1ml氢氧化钾、900ml去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1.5min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
步骤三：加入5.1g马来酰亚胺基七异丁基POSS、1.72g降冰片烯酸酐、0.25g过氧化二叔丁基以及20ml丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到135℃，持续搅拌23h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
步骤四：将0.091g共聚物A溶解到8ml四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌23h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干35min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
步骤五：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，通入Ar(30ml/min)并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源(800V，0.44A)对基片进行Ar等离子体清洗，时间25min，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为105℃，直流偏压为50V，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实施例2
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌20h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干30min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：取1ml氢氧化钾、900ml去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
步骤三：加入5.1g马来酰亚胺基七异丁基POSS、1.72g降冰片烯酸酐、0.25g过氧化二叔丁基以及20ml丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到130℃，持续搅拌22h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
步骤四：将0.091g共聚物A溶解到8ml四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌22h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干30min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
步骤五：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，通入Ar(30ml/min)并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源(800V，0.44A)对基片进行Ar等离子体清洗，时间20min，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为100℃，直流偏压为50V，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实施例3
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌20h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干30min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：取1ml氢氧化钾、900ml去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
步骤三：加入5.1g马来酰亚胺基七异丁基POSS、1.72g降冰片烯酸酐、0.25g过氧化二叔丁基以及20ml丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到130℃，持续搅拌22h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
步骤四：将0.091g共聚物A溶解到8ml四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌22h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干30min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
步骤五：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，通入Ar(30ml/min)并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源(800V，0.44A)对基片进行Ar等离子体清洗，时间30min，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为110℃，直流偏压为50V，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实施例4：不对聚酰亚胺膜进行碱处理，其余与实施例1相同。
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌22h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干35min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：加入5.1g马来酰亚胺基七异丁基POSS、1.72g降冰片烯酸酐、0.25g过氧化二叔丁基以及20ml丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到135℃，持续搅拌23h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
步骤三：将0.091g共聚物A溶解到8ml四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌23h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干35min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
步骤四：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，通入Ar(30ml/min)并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源(800V，0.44A)对基片进行Ar等离子体清洗，时间25min，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为105℃，直流偏压为50V，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实施例5：不在PAA溶液中添加共聚物A，其余与实施例1相同。
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌22h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干35min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：取1ml氢氧化钾、900ml去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1.5min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
步骤三：加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌23h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干35min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
步骤五：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，通入Ar(30ml/min)并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源(800V，0.44A)对基片进行Ar等离子体清洗，时间25min，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为105℃，直流偏压为50V，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实施例6：不在PAA溶液中引入引入均苯四甲酸二酐，其余与实施例1相同。
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌22h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干35min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：取1ml氢氧化钾、900ml去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1.5min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
步骤三：加入5.1g马来酰亚胺基七异丁基POSS、1.72g降冰片烯酸酐、0.25g过氧化二叔丁基以及20ml丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到135℃，持续搅拌23h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
步骤四：将0.091g共聚物A溶解到8ml四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌23h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干35min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)。
步骤五：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，通入Ar(30ml/min)并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源(800V，0.44A)对基片进行Ar等离子体清洗，时间25min，用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为105℃，直流偏压为50V，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实施例7：采用热压方法制备覆铜板，其余与实施例1相同。
步骤一：将0.57g对苯二胺加入到11.7gN,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入1.51g联苯四酸二酐，搅拌22h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干35min，制得聚酰亚胺膜。
步骤二：取1ml氢氧化钾、900ml去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1.5min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
步骤三：加入5.1g马来酰亚胺基七异丁基POSS、1.72g降冰片烯酸酐、0.25g过氧化二叔丁基以及20ml丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到135℃，持续搅拌23h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
步骤四：将0.091g共聚物A溶解到8ml四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌23h，得到PAA溶液，将PAA溶液均匀涂覆在处理后的聚酰亚胺膜的两面，用红外灯烘干，在充氮气烘箱中烘干35min，得到复合膜。4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
步骤五：将复合膜清洗干净并烘干，用酒精擦拭干净电解铜箔，将复合膜夹在两片铜箔之间，热压，退火冷却降温。采用热压条件为温度300℃、压力20MPa、热压时间为10min，得到抗热老化耐热覆铜基板。
实验1：
取实施例1～7制备得到的覆铜板进行性能测试，用万能拉力测试仪测试双面覆铜板的剥离强度，利用覆铜板耐折仪测试双面覆铜板的耐折性，用锡焊锅测试覆铜板的耐锡焊性,得到的数据如下表所示。
Figure BDA0003545966270000081
结论：由表上数据可得，实施例4未经过碱处理，PAA溶液与聚酰亚胺膜之间的结合力不强；实施例7可以看出通过磁控溅射镀铜的方式得到的覆铜基板比热压制得的剥离强度更大；实施例5添加了聚合物A，聚合物A中的酸酐基团与二胺单体、二酐单体发生聚合反应，增强了覆铜基板的剥离强度以及耐折性，实施例6在PAA溶液中引入均苯四甲酸二酐，改善了聚酰亚胺膜的聚集态结构以及提高热力学性能，增强覆铜基板的使用寿命，横向与纵向耐折次数都在200次以上，大于工业标准要求的100次，耐折性很好，满足工业生成要求。
实验2：取实施例1～3、实施例5制备的聚酰亚胺膜，测试其介电常数Dk、界电损耗Dr,得到的数据如下表所示。
Figure BDA0003545966270000091
结论：由表上数据可得，实施例5中，将共聚物A引入聚酰亚胺中，会增大聚酰亚胺膜的自由体积，降低聚酰亚胺分子链的密堆积，从而降低介电常数，使得介电损耗小，性能优异，界电损耗由0.08降至0.07。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：将对苯二胺加入到N,N-二甲基甲酰胺中，在氮气气氛及冰水浴条件下搅拌，加入联苯四酸二酐，搅拌20～24h，得到溶液，将溶液铺到干净的玻璃板上，而后在充氮气的烘箱中，烘干30～40min，制得聚酰亚胺膜；
步骤二：对聚酰亚胺膜进行处理，得到处理后的聚酰亚胺膜；
步骤三：在处理后的聚酰亚胺膜外涂覆PAA溶液，得到复合膜；
步骤四：通过磁控直流溅射在复合膜外镀铜，得到一种抗热老化耐热覆铜基板。
2.根据权利要求1所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：步骤二中，对聚酰亚胺膜进行处理，具体步骤为：取氢氧化钾、去离子水搅拌均匀，将聚酰亚胺膜浸泡在氢氧化钾溶液中1～2min，用去离子水冲洗，烘干，得到处理后的聚酰亚胺膜。
3.根据权利要求1所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：步骤三中，PAA溶液的制备方法为：将共聚物A溶解到四氢呋喃中，加入4,4'-二氨基二苯醚和N,N-二甲基甲酰胺，在氮气氛围及冰水浴条件下搅拌，加入2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐、持续搅拌22～24h，得到PAA溶液。
4.根据权利要求3所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：共聚物A的制备方法为：加入马来酰亚胺基七异丁基POSS、降冰片烯酸酐、过氧化二叔丁基以及丙二醇甲醚醋酸酯溶剂，通入氮气，将体系升温到130～140℃，持续搅拌22～24h，冷却，滴加到甲醇中，析出沉淀，清洗，真空抽滤，得到共聚物A。
5.根据权利要求1所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：步骤四的具体操作方法为：将复合膜清洗干净，用高压氮气吹干后放入真空室，以30～35ml/min的速度通入Ar，并调节工作气压至0.8Pa，使用阳极层离子源对基片进行Ar等离子体清洗，时间20～30min，再用Cu靶进行直流溅射镀膜，得到一种抗热老化耐热覆铜基板。
6.根据权利要求5所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：用Cu靶进行磁控直流溅射镀铜，溅射功率密度为140W/cm2，温度为100～110℃，直流偏压为50V。
7.根据权利要求3所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法，其特征在于：所述4,4'-二氨基二苯醚、N,N-二甲基甲酰胺、2,3,3',4'-联苯四甲酸二酐、六氟二酐、均苯四甲酸二酐的摩尔比为：(1.5～2.5)：(1～1.6)：(0.8～1.5)：(0.8～1.5)：(1.6～3)。
8.根据权利要求1～7中任意一项所述的一种抗热老化耐热覆铜基板的制备方法制备得到的一种抗热老化耐热覆铜基板。
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