CN114604602B - 一种传输皮带清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种传输皮带清洁装置，涉及半导体领域，本发明实施例的传输皮带清洁装置直接利用检测舱室内的光能作为能量源，通过太阳能接收转换模块将光能转化为电能为直流电机供电，直流电机通过顶升机构驱使擦拭臂上下移动，擦拭海绵随擦拭臂上下移动实现清洁传输皮带，整个过程无需外接动力源，也不需要用电控系统，有效避免清洁装置产生电磁干扰或信号干扰的问题，更适用于对电磁场、通信信号干扰有要求的精密仪器所在场所的皮带进行清洁。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种传输皮带清洁装置。
背景技术
在硅片的分选检测过程中，传输皮带在和硅片、皮带轮的摩擦过程中产生硅粉、金属粉等粉尘，粉尘进入硅片表面形成粉尘污，影响硅片的质量，导致硅片需要重新清洗，增加生产成本。
对精密仪器的清洁，主要包括对皮带轮1的清洁。目前，可以采用人工对粉尘污进行清洁的方案。该方案需要停止设备运行，由设备维护人员将皮带拆卸后对精密仪器的皮带轮1进行清洁。由此可见，该方案停机清洁影响生产效率、消耗大量人力。
还可以采用电动、气动装置对粉尘污进行清洁的方案。但该方案中装置铺设的成本过高，还要引入PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)控制系统对动作进行管理，过于复杂。并且采用电控系统，会附带产生电磁场、通信信号干扰，影响精密检测模组检测效果。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，为此本发明提供一种传输皮带清洁装置，包括：
清洁组件，设置于传输皮带的下方，包括擦拭臂以及设置于所述擦拭臂一端的擦拭海绵；
动力组件，用于驱使所述擦拭臂沿竖向上下移动，所述擦拭海绵随所述擦拭臂移动以抵接或远离所述传输皮带；
其中，所述动力组件包括太阳能接收转换模块与直流电机，所述太阳能接收转换模块设置于检测舱室内并用于接收检测舱室内的光源发出的光能，所述太阳能接收转换模块将太阳能转换电能并为所述直流电机供电；
所述直流电机的输出端设置有顶升机构，所述擦拭臂的另一端抵接所述顶升机构，所述直流电机通过所述顶升机构驱使所述擦拭臂沿竖向上下移动。
在一种可能的实现方式中，所述太阳能接收转换模块包括太阳能电池板和转换单元，所述太阳能电池板与所述直流电机之间依次通过转换单元和电源线连接，所述太阳能电池板用于接收并积蓄光能，所述转换单元用于将光能转换为电能，所述电源线用于将电能传输给所述直流电机。
在一种可能的实现方式中，所述顶升机构包括齿轮组和安装在所述齿轮组上的传动件，所述齿轮组用于改变直流电机的电机轴的扭矩大小和/或方向后传递给所述传动件，以使所述传动件向所述擦拭臂沿竖向的往复运动的动力。
在一种可能的实现方式中，所述齿轮组包括安装在所述电机轴上的主传动齿轮、与所述主传动齿轮啮合的从动齿轮组以及与所述从动齿轮组啮合的顶升齿轮；
所述从动齿轮组包括同轴设置的第一从动齿轮和第二从动齿轮，所述第一从动齿轮的直径大于所述第二从动齿轮的直径，所述主传动齿轮、所述第一从动齿轮、所述第二从动齿轮和所述顶升齿轮依次啮合传动。
在一种可能的实现方式中，所述传动件安装在所述顶升齿轮的齿轮轴上，所述传动件为凸轮、连杆、凸轮与连杆组合机构中的任意一种。
在一种可能的实现方式中，所述直流电机固定于水平的第一支撑板上，所述顶升机构固定于竖直的第二支撑板上，所述第二支撑板位于所述第一支撑板上并与所述第一支撑板垂直。
在一种可能的实现方式中，所述光源为检测舱室内的照明光源和/或检测相机曝光用的闪频光源。
在一种可能的实现方式中，所述传输皮带套设在主动皮带轮和从动皮带轮上，所述主动皮带轮对应设置在所述擦拭海绵的上方。
在一种可能的实现方式中，所述擦拭臂上设置有海绵安装板，所述海绵安装板的边缘设置有海绵挡片。
在一种可能的实现方式中，所述擦拭海绵的孔径为1毫米至2毫米。
本发明实施例具有以下有益效果：
本发明实施例的传输皮带清洁装置直接利用检测舱室内的光能作为能量源，通过太阳能接收转换模块将光能转化为电能为直流电机供电，直流电机通过顶升机构驱使擦拭臂上下移动，擦拭海绵随擦拭臂上下移动实现清洁传输皮带，整个过程无需外接动力源，也不需要用电控系统，有效避免清洁装置产生电磁干扰或信号干扰的问题，更适用于对电磁场、通信信号干扰有要求的精密仪器所在场所的皮带进行清洁。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的传输皮带清洁装置的初始状态和清洁状态原理示意图；
图2为本发明实施例提供的清洁组件和动力组件的机械结构图之一；
图3为本发明实施例提供的清洁组件和动力组件的机械结构图之二；
图4为本发明实施例提供的顶升机构的示意图；
图5为本发明实施例提供的传输皮带清洁装置的机械结构图。
附图标记：
传输皮带1；光源2；擦拭臂3；擦拭海绵4；顶升机构5；太阳能电池板6；转换单元7；直流电机8；齿轮组9；传动件10；主传动齿轮11；从动齿轮组12；顶升齿轮13；第一从动齿轮14；第二从动齿轮15；齿轮轴16；第一支撑板17；第二支撑板18；海绵安装板23；海绵挡片24。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本公开实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
图1为本发明实施例提供的传输皮带清洁装置的初始状态和清洁状态原理示意图。
如图1左侧所示，为传输皮带清洁装置的初始状态示意图。该清洁装置包括清洁组件和动力组件，清洁组件设置于传输皮带1的下方，其包括擦拭臂3以及设置于擦拭臂3一端的擦拭海绵4，擦拭海绵4靠近传输皮带1设置，动力组件用于驱使擦拭臂3沿竖向上下移动，使得擦拭海绵4能够抵接并清洁传输皮带1或远离传输皮带1，具体的，动力组件包括太阳能接收转换模块和直流电机8，太阳能接收转换模块设置在检测舱室内并用于接收检测舱室内的光源2所发出的光能，太阳能接收转换模块将接收到的光能转化为电能并为直流电机8供电，直流电机8的输出端设置有顶升机构5，擦拭臂3的另一端抵接顶升机构5，直流电机8通过顶升机构5驱使擦拭臂3沿竖向上下移动。
如图1右侧所示，为传输皮带清洁装置的清洁状态示意图。当直流电机8 从太阳能接收转换模组获取电能时，可将电能转换为顶升机构5向上顶升的动能，以使位于擦拭臂3上的擦拭海绵4上升并擦拭传输皮带1。
该传输皮带清洁装置可在传输皮带1正常工作时运行，不用对硅片的分选检测系统进行停机，对生产无影响，并且清洁过程全程为装置自动进行，无需人工清洁，节省了人力资源；整个清洁装置不用电气控制系统，投入成本低，且不会对精密仪器产生电磁场、通信信号干扰，不影响精密仪器的检测效果；此外，该清洁装置利用检测舱室内的光源2作为光能来源，通过太阳能接收转换模组蓄积并转化为电能使直流电机8工作，通过顶升机构5驱动清洁装置动作，完成传输皮带1清洁工作。整个过程无需外接动力，节省能源。
可选的，光源2可以是检测舱室内照明光源2和/或检测相机曝光用的闪频光源2，本实施例以照明光源2和闪频光源2共同使用为例，这些光源2的光能被太阳能接收转换模组储存并转换为电能，直流电机8将电能转换为动能并驱使顶升机构5动作，顶升机构5将擦拭臂3顶升，使得擦拭海绵4与传输皮带1接触。
本实施例以闪频光源2作为单独光能来源为例，当闪频光源2亮起时，太阳能接收转换模组获取光能，并将光能转换为电能传输给直流电机8，直流电机8将电能转换为顶升机构5向上顶升的动能，在此过程中，太阳能接收转换模组需要多次接收光能方可实现擦拭海绵4靠近并接触传输皮带1以及远离传输皮带1的一个工作循环，而在本实施例中擦拭海绵4无需电动式进行清洁，起可以是在某一时间段中，直流电机8通过顶升机构5驱使擦拭海绵4靠经并接触传输皮带1，而在另外一个时间段内擦拭海绵4始终与传输皮带1分离。
综上，在本发明实施例的传输皮带清洁装置能在传输皮带1正常工作时进行清洁工作，无须停机，无须额外消耗人力和管理资源；并且可直接利用检测舱室内的光源2作为能量来源，通过太阳能接收转换模块转换成电能给直流电机8供电产生动力，不需要用电控系统，避免了电磁信号干扰。
图2为本发明实施例提供的清洁组件和动力组件的机械结构图之一。
如图2所示，太阳能接收转换模组包括太阳能电池板6和转换单元7，太阳能电池板6和直流电机8之间依次通过转换单元7、电源线连接；太阳能电池板6用于接收并积蓄光能，转换单元7用于将光能转换为电能，电源线用于将电能传输给直流电机8。具体地，太阳能电池板6是利用半导体材料的光电效应，将太阳能转换成电能的装置。太阳能电池板6的蓄能原理是：光线照射在太阳能电池上并且光在界面层被接纳，具有足够能量的光子可以在P型硅和N型硅中将电子从共价键中激起，致使产生电子－空穴对。界面层临近的电子和空穴在复合之前，将经由空间电荷的电场作用被相互分离，电子向带正电的N区而空穴向带负电的P区运动。经由界面层的电荷分离，将在 P区和N区之间将形成一个向外的可测试的电压。经由光照在界面层产生的电子－空穴对越多，电流越大。界面层接纳的光能越多，界面层即电池面积越大，在太阳能电池中形成的电流也越大。
转换单元7是太阳能接收转换模组中重要的部件，其通常包含逆变器、整流板等，转换单元7用于把太阳能电池板6积蓄的光能转换为电能，传送给直流电机8。
可选的，如图2所示，直流电机8固定于水平方向的第一支撑板17上，顶升机构5固定于竖直方向的第二支撑板18上，第二支撑板18位于第一支撑板17上，并与第一支撑板17垂直。采用第一支撑板17和第二支撑板18 固定直流电机8和顶升机构5，起到了对直流电机8和顶升机构5的支撑作用，同时具有缓冲和减震的功能，有利于直流电机8和顶升机构5按照设计标准平稳运行。
图3为本发明实施例提供的清洁组件和动力组件的机械结构图之二。
图3和图2分别为清洁组件和动力组件在不同角度的视图。
如图3所示，可选的，顶升机构5包括齿轮组9和安装在齿轮组9上的传动件10。齿轮组9用于改变直流电机8的电机轴的扭矩大小和/或方向后将动能传递给传动件10，以使传动件10向擦拭臂3提供沿竖向的往复运动的动力。齿轮组9是由多个大小不同的齿轮组合形成的系统。齿轮组9的作用是传递扭矩、改变速度和改变扭矩方向，传动件10的作用是把连续旋转运动转换为间歇往复运动。
而在另外一些实施例中，照明光源和闪频光源共同使用时，顶升机构5 还可以用作减速作用，即太阳能接收转换模组始终接收照明光源产生的光能以及间歇式接收闪频光源产生的光能并转化为电能，此时直流电机8接收连续的电能供应而始终处于工作状态，齿轮组9起到减速的作用使得传动件10 驱使擦拭臂3缓慢地朝上移动和朝下移动，进而保证擦拭海绵4在一个擦拭循环中接触传输皮带1的时间更长。
可选的，如图3所示，擦拭臂3上设置有海绵安装板23，海绵安装板23 上包括海绵挡片24。
具体地，可以将擦拭海绵4安装在海绵安装板23上，海绵挡片24用于限制擦拭海绵4在海绵安装板23上移动，对擦拭海绵4起固定作用。
可选的，擦拭海绵4的孔径为1毫米至2毫米。
普通海绵的孔径一般在50微米到100微米之间，本发明实施例的擦拭海绵4的孔径设置为1毫米至2毫米之间，本实施例采用的擦拭海绵4，其在一平方厘米内孔的数量远远小于普通海绵，使得擦拭产生的灰尘不会在擦拭海绵4的表面上积累，灰尘会吸收在毫米至毫米的孔中。此外，位于海绵边缘的灰尘会受重力作用下落至设备平台面、设备底部和地面，不会再次污染皮带或硅片。
并且，擦拭海绵4的材质柔软，不会对皮带产生刮痕，擦拭海绵4的韧性也比较好，可以根据设计的形状任意裁剪。
图4为本发明实施例提供的顶升机构5的示意图。
可选的，如图4所示，顶升机构5包括齿轮组9和传动件10。其中，齿轮组9包括安装在电机轴上的主传动齿轮11、与主传动齿轮11啮合的从动齿轮组12以及与从动齿轮组12啮合的顶升齿轮13；从动齿轮组12包括同轴设置的第一从动齿轮14和第二从动齿轮15，第一从动齿轮14的直径大于第二从动齿轮15的直径，主传动齿轮11、第一从动齿轮14、第二从动齿轮15和顶升齿轮13依次啮合传动。
传动件10安装在顶升齿轮13的齿轮轴16上，传动件10可以为凸轮、连杆、凸轮与连杆组合机构中的任意一种。在本发明实施例中，传动件10为凸轮。
凸轮或连杆或凸轮与连杆组合机构均可以把连续旋转运动转换为间歇往复运动，实现减速比变化的运动传递功能，再进一步实现与其连接的擦拭臂3 的空间直线运动轨迹。
相比于其他两者，凸轮更易于设计和制造，也可以直接购买标准件，降低成本。
图5为本发明实施例提供的传输皮带清洁装置的机械结构图。
可选的，如图5所示，传输皮带1有两组，分别设置于上料台侧下方，两组传输皮带1在上料台的长度方向上移动；清洁组件有两组，分别用于清洁两组传输皮带1。
图5中的传输皮带清洁装置包括清洁组件和动力组件。图5中示出了两组传输皮带清洁装置。其中，太阳能电池板6设置在检测舱室内靠近检测相机曝光光源2或靠近照明光源2，图5中未示出。
如图5所示，传输皮带1套设在主动皮带轮和从动皮带轮上，主动皮带轮对应设置在擦拭海绵4的上方。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何在本发明揭露的技术范围内的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (7)
1.一种传输皮带清洁装置，其特征在于，包括：
清洁组件，设置于传输皮带的下方，包括擦拭臂以及设置于所述擦拭臂一端的擦拭海绵；
动力组件，用于驱使所述擦拭臂沿竖向上下移动，所述擦拭海绵随所述擦拭臂移动以抵接或远离所述传输皮带；
其中，所述动力组件包括太阳能接收转换模块与直流电机，所述太阳能接收转换模块设置于检测舱室内并用于接收检测舱室内的光源发出的光能，所述太阳能接收转换模块将太阳能转换电能并为所述直流电机供电；
所述直流电机的输出端设置有顶升机构，所述擦拭臂的另一端抵接所述顶升机构，所述直流电机通过所述顶升机构驱使所述擦拭臂沿竖向上下移动；
所述太阳能接收转换模块包括太阳能电池板和转换单元，所述太阳能电池板与所述直流电机之间依次通过转换单元和电源线连接，所述太阳能电池板用于接收并积蓄光能，所述转换单元用于将光能转换为电能，所述电源线用于将电能传输给所述直流电机；
所述顶升机构包括齿轮组和安装在所述齿轮组上的传动件，所述齿轮组用于改变直流电机的电机轴的扭矩大小和/或方向后将动能传递给所述传动件，以使所述传动件向所述擦拭臂提供沿竖向往复运动的动力；
所述光源为检测舱室内的照明光源和/或检测相机曝光用的闪频光源。
2.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述齿轮组包括安装在所述电机轴上的主传动齿轮、与所述主传动齿轮啮合的从动齿轮组以及与所述从动齿轮组啮合的顶升齿轮；
所述从动齿轮组包括同轴设置的第一从动齿轮和第二从动齿轮，所述第一从动齿轮的直径大于所述第二从动齿轮的直径，所述主传动齿轮、所述第一从动齿轮、所述第二从动齿轮和所述顶升齿轮依次啮合传动。
3.根据权利要求2所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述传动件安装在所述顶升齿轮的齿轮轴上，所述传动件为凸轮、连杆、凸轮与连杆组合机构中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述直流电机固定于水平的第一支撑板上，所述顶升机构固定于竖直的第二支撑板上，所述第二支撑板位于所述第一支撑板上并与所述第一支撑板垂直。
5.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述传输皮带套设在主动皮带轮和从动皮带轮上，所述主动皮带轮对应设置在所述擦拭海绵的上方。
6.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述擦拭臂上设置有海绵安装板，所述海绵安装板的边缘设置有海绵挡片。
7.根据权利要求1所述的一种传输皮带清洁装置，其特征在于，所述擦拭海绵的孔径为1毫米至2毫米。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 519000 unit B25, 2nd floor, building 4, No. 153, Rongao Road, Hengqin New District, Zhuhai City, Guangdong Province Applicant after: Gaojing Solar Co.,Ltd. Applicant after: Guangdong Jinwan Gaojing Solar Energy Technology Co.,Ltd. Address before: 519000 unit B25, 2nd floor, building 4, No. 153, Rongao Road, Hengqin New District, Zhuhai City, Guangdong Province Applicant before: Guangdong Gaojing Solar Energy Technology Co.,Ltd. Applicant before: Guangdong Jinwan Gaojing Solar Energy Technology Co.,Ltd. |
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| GR01 | Patent grant | ||
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