CN114593864A - 一种火电厂热力系统用液压传感器 - Google Patents
一种火电厂热力系统用液压传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114593864A CN114593864A CN202210229928.1A CN202210229928A CN114593864A CN 114593864 A CN114593864 A CN 114593864A CN 202210229928 A CN202210229928 A CN 202210229928A CN 114593864 A CN114593864 A CN 114593864A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- monitoring
- connecting rod
- power plant
- thermal power
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 46
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 9
- 238000007710 freezing Methods 0.000 claims description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003129 oil well Substances 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/20—Hydro energy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
本发明的目的在于提供一种火电厂热力系统用液压传感器,包括主壳体、环形连接板,环形连接板上方连接主壳体,环形连接板下方连接第一监测壳体,第一监测壳体下方连接第二监测壳体,第一监测壳体内部的底面固连有活动桶,活动桶内部的底面固连有弹簧,活动桶内设置支撑板,弹簧的上端固连支撑板,支撑板中部套有连接杆,连接杆的上端贯穿活动桶至第一监测壳体的内部,连接杆的上端固连压力传递板,压力传递板上方安装压力接收板,连接杆的下端贯穿活动桶、第一监测壳体至第二监测壳体的内部,连接杆的下端连接压力接受膜片,第二监测壳体内部开设活动槽,压力接收膜片在活动槽里滑动。本发明使用寿命长,而且测量精度高,安装方便,实用性较强。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种传感器,具体地说是火电厂热力系统传感器。
背景技术
液压传感器是工业实践中最为常用的一种压力传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、液压机械等众多行业。
现有专利(公开号为:CN102865965A)公开了一种液压传感器,包括基座、O型圈、挡圈、陶瓷座、铜环、柔性电路板、塑料接插件,所述的挡圈和陶瓷座均设置在基座内,所述的陶瓷座与铜环之间设有弹簧,所述的弹簧一端与陶瓷座连接,另一端与铜环连接。采用上述结构,具有以下优点:1、采用上述技术方案,可以实现产品的密封,另外当测量的介质由液体变化成固体时,产品感受到的压力瞬时会增大10~30倍,这时弹簧会产生压缩变形,增大体积,减小内部的压强,从而起到保护作用;2、当测量介质由固体变化成液体时,弹簧又会恢复原先包边的形态,从而不会影响产品的密封性,但是该液压传感器,检测精度不够高,而且使用寿命低。
发明内容
本发明的目的在于提供实现了稳定测量和高精度测量等功能的一种火电厂热力系统用液压传感器。
本发明的目的是这样实现的:
本发明一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:包括主壳体、环形连接板、第一监测壳体、第二监测壳体,环形连接板上方连接主壳体,环形连接板下方连接第一监测壳体,第一监测壳体下方连接第二监测壳体,第一监测壳体内部的底面固连有活动桶,活动桶内部的底面固连有弹簧,活动桶内设置支撑板,弹簧的上端固连支撑板,支撑板中部套有连接杆,连接杆的上端贯穿活动桶至第一监测壳体的内部,连接杆的上端固连压力传递板,压力传递板上方安装压力接收板,连接杆的下端贯穿活动桶、第一监测壳体至第二监测壳体的内部,连接杆的下端连接压力接受膜片,第二监测壳体内部开设活动槽,压力接收膜片在活动槽里滑动。
本发明还可以包括:
1、主壳体内部底面的前端设置信息传递器,主壳体内部底面的后端设置压力处理器,压力接收板与压力处理器连接。
2、主壳体上端面的中心设置有信号输出线,信号输出线与信号传递器相连,信号输出线与主壳体的连接处设置环型密封圈。
3、主壳体的内壁设置第一防冻层。
4、第一监测壳体的内壁设置第二防冻层,第二防冻层的内壁设置有防火层。
5、第一监测壳体的外壁设置有外螺纹。
6、环形连接板上设置有定位孔。
本发明的优势在于:
1、本发明实现了稳定测量和测量方便的功能,通过弹簧可以使连接杆可以上下伸缩,从而可以实现压力过大或者压力过小时可以精准的测量,同时弹簧具有的延展性能可以使支撑板回到原来的位置,从而大大方便了实际的使用。
2、本发明实现了高精度测量的功能,通过压力接收膜片和压力传递板可以使工作中实际产的压力精准的传递到压力接收板上,再通过压力接收板向压力处理器传递信息,再通过压力处理器向信息传递器传递信息,从而可实现压力信息的快速传递,同时设置有活动槽,可以使压力接收膜片的上下伸缩位置得到限制,从而进一步提搞了改装置测量压力的精准。
3、本发明实现了使用寿命高的功能,通过设置第一防冻层可以使主壳体减少外界天气的影响,从而保障信息传递器和压力处理器的正常工作,同时通过第二防冻层和防火层可以使第一监测壳体内部的元件价不受外界环境的影响,从而保障内部元件的正常使用,从而进一步提供了测量精度和使用寿命。
附图说明
图1为本发明的轴测图;
图2为本发明的正剖图;
图3为本发明的俯视图;
图4为活动桶和连接杆的轴测图;
图5为图2中A处的放大图。
具体实施方式
下面结合附图举例对本发明做更详细地描述:
结合图1-5,本发明一种火电厂热力系统用液压传感器,包括环型连接板1,环型连接板1上端面的中心处固定连接有主壳体2,环型连接板1下端面的中心处固定连接有第一监测壳体3,第一监测壳体3下端面的中心处固定连接有第二监测壳体4,主壳体2内部底面的前端设置有信息传递器5,主壳体2内部底面的后端设置有压力处理器6,第一监测壳体3内部的底面固定连接有活动桶7,活动桶7内部的底面固定连接有弹簧8,弹簧8的上端固定连接有支撑板9,弹簧8起到了稳定该装置正常工作的作用,从而可以使该液压传感器可以更加方便的对压力进行监测工作。
支撑板9中心处的内部套设有连接杆10,连接杆10的上端贯穿活动桶7上端的侧壁至第一监测壳体3的内部,连接杆10的下端贯穿活动桶7、第一监测壳体3和第二监测壳体4的侧壁至第二监测壳体4的内部,连接杆10的上端固定连接有压力传递板11,第二监测壳体4下端的内壁开设有活动槽12,连接杆10的下端固定连接有压力接收膜片13,压力接收膜片13在活动槽12的内部滑动连接,压力传递板11和压力接收膜片13的结合可以提高该液压传感器的测量精度,从而提高了实用性能。
第一监测壳体3内部底面的中心处固定连接有压力接收板14,压力接收板14的下端面与压力传递板11固定连接,压力接收板14与压力处理器6电性连接,主壳体2上端面的中心处设置有信号输出线15,信号输出线15与信息传递器5电性连接,主壳体2的内壁设置有第一防冻层16,第一监测壳体3的内壁设置有第二防冻层17,第二防冻层17的内壁设置有防火层18,通过第一防冻层16、第二防冻层17和防火层18可以提高该装置的使用寿命,从而大大的提高了该装置的实用性能。环型连接板1的上端面均开设有多个定位孔19,环型连接板1的下端面固定连接有密封板20。信号输出线15与主壳体2的连接处套设有环型密封圈22。第一监测壳体3上端的外壁开设有外螺纹21。
工作原理:在该装置实际使用时,通过弹簧8可以使连接杆10可以上下伸缩,从而可以实现压力过大或者压力过小时可以精准的测量,同时弹簧8具有的延展性能可以使支撑板9回到原来的位置,从而大大方便了实际的使用,同时通过压力接收膜片13和压力传递板11可以使工作中实际产的压力精准的传递到压力接收板14上,再通过压力接收板14向压力处理器6传递信息,再通过压力处理器6向信息传递器5传递信息,从而可实现压力信息的快速传递,同时设置有活动槽12,可以使压力接收膜片13的上下伸缩位置得到限制,从而进一步提搞了改装置测量压力的精准,同时通过设置第一防冻层16可以使主壳体2减少外界天气的影响,从而保障信息传递器5和压力处理器6的正常工作,同时通过第二防冻层17和防火层18可以使第一监测壳体3内部的元件价不受外界环境的影响,从而保障内部元件的正常使用,从而进一步提供了测量精度和使用寿命。
Claims (7)
1.一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:包括主壳体、环形连接板、第一监测壳体、第二监测壳体,环形连接板上方连接主壳体,环形连接板下方连接第一监测壳体,第一监测壳体下方连接第二监测壳体,第一监测壳体内部的底面固连有活动桶,活动桶内部的底面固连有弹簧,活动桶内设置支撑板,弹簧的上端固连支撑板,支撑板中部套有连接杆,连接杆的上端贯穿活动桶至第一监测壳体的内部,连接杆的上端固连压力传递板,压力传递板上方安装压力接收板,连接杆的下端贯穿活动桶、第一监测壳体至第二监测壳体的内部,连接杆的下端连接压力接受膜片,第二监测壳体内部开设活动槽,压力接收膜片在活动槽里滑动。
2.根据权利要求1所述的一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:主壳体内部底面的前端设置信息传递器,主壳体内部底面的后端设置压力处理器,压力接收板与压力处理器连接。
3.根据权利要求2所述的一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:主壳体上端面的中心设置有信号输出线,信号输出线与信号传递器相连,信号输出线与主壳体的连接处设置环型密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:主壳体的内壁设置第一防冻层。
5.根据权利要求1所述的一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:第一监测壳体的内壁设置第二防冻层,第二防冻层的内壁设置有防火层。
6.根据权利要求1所述的一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:第一监测壳体的外壁设置有外螺纹。
7.根据权利要求1所述的一种火电厂热力系统用液压传感器,其特征是:环形连接板上设置有定位孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210229928.1A CN114593864B (zh) | 2022-03-09 | 2022-03-09 | 一种火电厂热力系统用液压传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210229928.1A CN114593864B (zh) | 2022-03-09 | 2022-03-09 | 一种火电厂热力系统用液压传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114593864A true CN114593864A (zh) | 2022-06-07 |
CN114593864B CN114593864B (zh) | 2024-05-17 |
Family
ID=81817607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210229928.1A Active CN114593864B (zh) | 2022-03-09 | 2022-03-09 | 一种火电厂热力系统用液压传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114593864B (zh) |
Citations (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5714680A (en) * | 1993-11-04 | 1998-02-03 | The Texas A&M University System | Method and apparatus for measuring pressure with fiber optics |
CN2316644Y (zh) * | 1998-03-20 | 1999-04-28 | 韩悦东 | 流体压力传感器 |
CN2463815Y (zh) * | 2000-12-27 | 2001-12-05 | 韩悦东 | 流体压力传感器 |
JP2006308303A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧力センサ及び圧力センサが組込まれているグロープラグ |
CN101275874A (zh) * | 2004-08-12 | 2008-10-01 | 中南大学 | 高精度微型传感器的力引导装置 |
CN101419107A (zh) * | 2008-11-14 | 2009-04-29 | 江苏晶石科技集团有限公司 | 压力检测传感器 |
CN202033147U (zh) * | 2011-03-29 | 2011-11-09 | 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 | 基于mems技术的电压力锅压力检测模块 |
CN206074238U (zh) * | 2016-08-26 | 2017-04-05 | 瓦房店轴承集团有限责任公司 | 一种轴承密封圈密封性能试验机 |
CN106989859A (zh) * | 2017-05-11 | 2017-07-28 | 新乡学院 | 一种相似材料物理模拟实验的压力盒 |
CN108181039A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-19 | 泉州市大西洋电力科技有限公司 | 液压传感器 |
CN109738107A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-05-10 | 胡靖阳 | 一种液压油式高稳定的压力传感器 |
CN110243530A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-09-17 | 浙江耀达智能科技股份有限公司 | 一种新型压力传感器 |
CN110595672A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-12-20 | 江苏杰克仪表有限公司 | 一种新型高准确度差压变送器 |
CN110763374A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-07 | 武汉飞恩微电子有限公司 | 一种具有过载保护功能的压力传感器 |
CN110793704A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-02-14 | 思达文电器(深圳)有限公司 | 一种压力传感器 |
EP3663484A1 (en) * | 2018-12-04 | 2020-06-10 | Vema Venturi Holding AB | Transmitter, system, formwork element, method for transmitting data and method for predicting stress on a formwork element |
CN210953206U (zh) * | 2019-12-12 | 2020-07-07 | 思达文电器(深圳)有限公司 | 一种压力传感器 |
CN211347170U (zh) * | 2019-12-13 | 2020-08-25 | 苏州贝斯曼自动化设备有限公司 | 一种压力传感器 |
CN112146809A (zh) * | 2020-10-26 | 2020-12-29 | 杭州钱江仪器仪表厂 | 具有过载保护的装置 |
CN212871587U (zh) * | 2020-08-18 | 2021-04-02 | 苏州市永伟工贸有限公司 | 一种呼吸阀测试压力实时监测装置 |
CN112729400A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 武汉理工大学 | 一种流速和液体压力两用传感器 |
CN213688784U (zh) * | 2021-06-04 | 2021-07-13 | 南京特敏传感技术有限公司 | 一种耐腐蚀压力测量芯体 |
CN213688789U (zh) * | 2020-12-31 | 2021-07-13 | 浙江金池科技有限公司 | 一种薄膜压力传感器的检测装置 |
CN215178310U (zh) * | 2021-06-21 | 2021-12-14 | 雷尔达仪表(江苏)有限公司 | 一种平膜压力变送器 |
-
2022
- 2022-03-09 CN CN202210229928.1A patent/CN114593864B/zh active Active
Patent Citations (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5714680A (en) * | 1993-11-04 | 1998-02-03 | The Texas A&M University System | Method and apparatus for measuring pressure with fiber optics |
CN2316644Y (zh) * | 1998-03-20 | 1999-04-28 | 韩悦东 | 流体压力传感器 |
CN2463815Y (zh) * | 2000-12-27 | 2001-12-05 | 韩悦东 | 流体压力传感器 |
CN101275874A (zh) * | 2004-08-12 | 2008-10-01 | 中南大学 | 高精度微型传感器的力引导装置 |
JP2006308303A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧力センサ及び圧力センサが組込まれているグロープラグ |
CN101419107A (zh) * | 2008-11-14 | 2009-04-29 | 江苏晶石科技集团有限公司 | 压力检测传感器 |
CN202033147U (zh) * | 2011-03-29 | 2011-11-09 | 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 | 基于mems技术的电压力锅压力检测模块 |
CN206074238U (zh) * | 2016-08-26 | 2017-04-05 | 瓦房店轴承集团有限责任公司 | 一种轴承密封圈密封性能试验机 |
CN106989859A (zh) * | 2017-05-11 | 2017-07-28 | 新乡学院 | 一种相似材料物理模拟实验的压力盒 |
CN108181039A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-19 | 泉州市大西洋电力科技有限公司 | 液压传感器 |
EP3663484A1 (en) * | 2018-12-04 | 2020-06-10 | Vema Venturi Holding AB | Transmitter, system, formwork element, method for transmitting data and method for predicting stress on a formwork element |
CN109738107A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-05-10 | 胡靖阳 | 一种液压油式高稳定的压力传感器 |
CN110243530A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-09-17 | 浙江耀达智能科技股份有限公司 | 一种新型压力传感器 |
CN110595672A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-12-20 | 江苏杰克仪表有限公司 | 一种新型高准确度差压变送器 |
CN110763374A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-07 | 武汉飞恩微电子有限公司 | 一种具有过载保护功能的压力传感器 |
CN110793704A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-02-14 | 思达文电器(深圳)有限公司 | 一种压力传感器 |
CN210953206U (zh) * | 2019-12-12 | 2020-07-07 | 思达文电器(深圳)有限公司 | 一种压力传感器 |
CN211347170U (zh) * | 2019-12-13 | 2020-08-25 | 苏州贝斯曼自动化设备有限公司 | 一种压力传感器 |
CN212871587U (zh) * | 2020-08-18 | 2021-04-02 | 苏州市永伟工贸有限公司 | 一种呼吸阀测试压力实时监测装置 |
CN112146809A (zh) * | 2020-10-26 | 2020-12-29 | 杭州钱江仪器仪表厂 | 具有过载保护的装置 |
CN112729400A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-30 | 武汉理工大学 | 一种流速和液体压力两用传感器 |
CN213688789U (zh) * | 2020-12-31 | 2021-07-13 | 浙江金池科技有限公司 | 一种薄膜压力传感器的检测装置 |
CN213688784U (zh) * | 2021-06-04 | 2021-07-13 | 南京特敏传感技术有限公司 | 一种耐腐蚀压力测量芯体 |
CN215178310U (zh) * | 2021-06-21 | 2021-12-14 | 雷尔达仪表(江苏)有限公司 | 一种平膜压力变送器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
刘瑞,汪红: "《微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究》", 《机械强度》, 31 December 2009 (2009-12-31) * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114593864B (zh) | 2024-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN210243062U (zh) | 一种双余度差压传感器 | |
CN204679205U (zh) | 一种高耐压双节双阻尼压力变送器 | |
CN213336610U (zh) | 一种新型压力变送器 | |
CN114593864B (zh) | 一种火电厂热力系统用液压传感器 | |
CN111998973B (zh) | 一种防水型压力传感器 | |
CN211477487U (zh) | 一种压力变送器用快速拆装装置 | |
WO1991015740A1 (en) | Integrated sensor-transducer device and pressure sensor-transducer | |
CN212779708U (zh) | 一种带有接触稳定装置的压力传感器 | |
CN103528728B (zh) | 用于监测液压支架工作阻力的光纤光栅传感器 | |
CN214748606U (zh) | 一种快装防爆平膜压力变送器 | |
CN114323415B (zh) | 一种具有超压警报功能的压力传感器 | |
CN201662446U (zh) | 温度监测模块 | |
CN216669107U (zh) | 一种带有管体防护套的便捷式压力表 | |
CN212621246U (zh) | 一种压力变送器 | |
CN211121751U (zh) | 一种压力传感器抗干扰装置 | |
CN214502746U (zh) | 压力传感器 | |
CN216246984U (zh) | 一种具备智能温度补偿功能的智能压力传感器 | |
CN215891013U (zh) | 一种改良型自动变速箱用油压传感器 | |
CN216349252U (zh) | 一种新型低压压力传感器 | |
CN214667405U (zh) | 一种方便安装的工业仪表用压力传感器 | |
CN218330417U (zh) | 压力变送器温度补偿电路 | |
CN204788766U (zh) | 压力变送器 | |
CN214748622U (zh) | 一种传感器计量检测装置 | |
CN217210960U (zh) | 一种硅外延装备水温水流监控装置 | |
CN216669079U (zh) | 一种密封防水压力传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |