CN114566455A - 一种光刻机用晶圆寻边机构 - Google Patents

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Abstract

本发明属于光刻机技术领域，且公开了一种光刻机用晶圆寻边机构，包括机架，所述机架的内部设有上储气管，所述上储气管的顶端固定连通有输气口，所述上储气管的下方设有下储气管，所述上储气管和下储气管的内部均活动安装有固定机构。本发明通过直接控制晶圆片的旋转速度，使得晶圆片的旋转速度易控，同时利用改变固定机构的磁性来实现晶圆片的上下固定，使得晶圆片在旋转过程中存在上下多个对称的支点，通过多个对称的支点来对晶圆片旋转时的力量进行支撑，使得晶圆片在旋转时不会发生晃动，使其更加稳定，利用气体的流动和装置的磁力不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，提高定位寻边效果，降低晶圆片碎裂的可能。

Description

一种光刻机用晶圆寻边机构
技术领域
本发明属于光刻机技术领域，具体为一种光刻机用晶圆寻边机构。
背景技术
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，而晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点；同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，半导体行业往往通过缺口来确定硅片的位置，实现硅片对边，缺口是指特意在晶圆上形成的一个缺角。
在光刻机制造芯片的过程中，通常需要对晶圆位置进行确定，此时就需要一种晶圆的寻边机构，为了降低生产成本在晶圆寻边中主要利用缺口法来实现对晶圆位置的确定，缺口法即在晶圆的表面开设有缺口再利用寻边传感器对缺口进行寻找来实现晶圆的定位，常规的晶圆寻边装置都是将晶圆与真空吸盘进行固定后，通过旋转晶圆来实现缺口的旋转以此实现寻边操作，但在晶圆的旋转过程中，由于晶圆的尺寸较大而真空吸盘的尺寸较小，旋转过程中仅存在真空吸盘一处支撑点，导致旋转过程中晶圆会出现一定的晃动，轻则影响寻边效果，重则则会造成晶圆碎裂增加生产成本。
在晶圆的寻边过程中，寻边传感器的位置一般为固定不变的，通过旋转晶圆来实现对寻边操作，然而晶圆的尺寸并不固定，在固定时，一般都是利用真空吸盘进行固定，而不同尺寸的晶圆质量也不尽相同，在使用真空吸盘进行固定时，会导致真空吸盘的吸力与晶圆质量不匹配导致无法吸取或吸取力量过大造成晶圆碎裂的现象，此时就无法针对不同尺寸的晶圆做到良好的定位寻边操作。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光刻机用晶圆寻边机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻机用晶圆寻边机构，包括机架，所述机架的内部设有上储气管，所述上储气管的顶端固定连通有输气口，所述上储气管的下方设有下储气管，所述上储气管和下储气管的内部均活动安装有固定机构，所述机架的背面固定安装有横杆，所述横杆的内部固定安装有寻边传感器，所述下储气管的下方活动安装有固定管，所述固定管的下方设有暂存管，所述下储气管的底端开设有位于固定管内部的通孔，所述暂存管的右端固定连通有输气管，所述输气管的另一端与固定管的外侧面固定连通且输入端位于下储气管底端通孔的下方。
上储气管和下储气管的内部均安装有阀门，寻边传感器与晶圆的侧面相对应，输气口与外部的压缩空气相连接，下储气管可相对固定管以及暂存管旋转，固定管和暂存管与外部机架之间进行固定。
优选的，所述下储气管底端的中部固定安装有固定架，所述固定架的底端固定安装有位于固定管内部的延长杆，所述延长杆的底端分别贯穿固定管以及暂存管的顶端且位于暂存管的内部，所述延长杆可相对固定管和暂存管转动。
优选的，所述延长杆的外侧面靠近底端的位置上固定安装有位于暂存管内部的叶轮，所述延长杆的底端与暂存管内腔的底端活动连接，所述暂存管的另一端固定连通有与输气管对称的进气管。
在需要对晶圆片进行定位寻边操作时，可通过将晶圆片放置在位于下方的固定机构的顶端，并通过固定机构对晶圆片进行固定，同时可通过控制两个固定机构内部磁铁的磁性使其磁性相反，来使得晶圆片被夹持再来量固定机构之间，且在使用前可将上储气管顶端的输气口和暂存管侧面的进气管与外部压缩空气瓶进行固定并做好密封，当压缩空气通过进气管进入暂存管内部时可推动位于暂存管内部的叶轮，并带动叶轮内部的延长杆以及固定架转动，此时固定架即可带动下储气管旋转，进而带动晶圆片旋转，而由于晶圆片的顶端与位于上方的固定机构相互固定，在磁性作用下位于上方的固定机构随之跟随晶圆片旋转，并通过横杆内部的寻边传感器对晶圆片的缺口进行定位，完成寻边操作。
通过采用流动的压缩空气作为晶圆片旋转时的动力，而压缩空气的通入量和气体流速会直接控制晶圆片的旋转速度，使得晶圆片的旋转速度易控，同时利用改变固定机构的磁性来实现晶圆片的上下固定，使得晶圆片在旋转过程中存在上下多个对称的支点，通过多个对称的支点来对晶圆片旋转时的力量进行支撑，使得晶圆片在旋转时不会发生晃动，使其更加稳定，利用气体的流动和装置的磁力不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，提高定位寻边效果，降低晶圆片碎裂的可能。
优选的，所述固定机构包括活塞板，所述活塞板分别与上储气管和下储气管的内部活动套接，所述活塞板的一端固定安装有位于上储气管或下储气管内部的活塞杆，所述活塞杆的顶端固定安装有活动盘。
优选的，所述活动盘的外侧面等角度固定安装有耳板，所述耳板的内部均通过转动活动安装有连杆，所述连杆的另一端均通过转轴活动安装有活动座。
优选的，所述活动座的底端均固定安装有电磁铁，所述电磁铁和活动座以及连杆和耳板的数量均为五个，所述电磁铁与活动盘相互平行。
在对晶圆片进行固定时，首先可将晶圆片放置在位于下方的固定机构的顶端，在进入暂存管的气流推动叶轮旋转后会通过输气管进入固定管的内部，并通过下储气管底端的通孔进入下储气管的内部同时对活塞板施加压力，同时通过控制下储气管的阀门来控制下储气管内部气体的流入量，当活塞板受到压力时会带动活塞杆向外侧位移，并带动活动盘向外侧继续位移，由于晶圆无法上下位移，而此时连杆的整体长度不变，导致连杆向外侧发生偏转，即可带动活动座和电磁铁向晶圆的外侧面滑动，并根据晶圆的大小确定电磁铁滑动的位置，并通过控制上下两个固定机构内部电磁铁的磁性方向，使得磁性方向相反，每两个电磁铁之间产生吸引力有相对运动的趋势将晶圆片夹持在两个电磁铁之间完成固定，避免单点固定。
通过利用气流的方式来推动活动盘外侧面电磁铁的相对滑动，使用多个可以相对晶圆滑动的电磁铁来改变在对不同尺寸晶圆片固定时所需的支撑点不同的问题，使得装置自身可根据晶圆的大小自适应改变支撑点的位置，来对不同尺寸的晶圆片起到有效的固定，且利用异性相吸的远离来对晶圆的上下位置进行同时固定，进一步降低晶圆在运动过程中出现受力不均而导致碎裂的可能性，且可根据晶圆尺寸的不同去调节气流的大小和磁力的大小，可调节的范围较大，利用压缩气体的流动不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，同时还实现了可对不同尺寸晶圆进行有效固定且可调节范围大。
优选的，位于下方所述固定机构的顶端固定安装有固定套，所述固定套的内部活动安装有活动杆，所述活动杆的顶端固定安装有真空吸盘，所述活动杆的底端固定安装有位于固定套内部的限位弹簧，所述限位弹簧的底端与固定套内腔的底端固定连接。
在对晶圆进行固定时，可利用真空吸盘对晶圆的底端进行预固定，由于电磁铁的相对滑动活动盘和晶圆底端的距离相应改变，此时限位弹簧的会被相应的压缩，活动杆即可相对固定套向底端进行位移，并带动活动杆顶端真空吸盘进行位移，来实现晶圆的预固定。
优选的，位于上方所述固定机构底端的中部固定安装有涂药球，所述涂药球为海绵制成且涂药球的内部浸润有化学药剂，所述涂药球的中部与真空吸盘的中部处于同一中轴线上。
在完成晶圆的固定和定位寻边后，可将涂药球内部浸润后续加工所需要的化学药剂，并利用涂药球将化学药剂滴入到晶圆片顶端的中央位置上，此时通过改变相对两个电磁铁之间的磁性方向，使得磁性方向相同产生相斥力，使得位于上方的固定机构离开晶圆，此时晶圆的顶端不存在固定，而晶圆可在下方下储气管的带动下持续旋转，利用离心力的作用将位于晶圆顶端的化学药剂铺满晶圆的顶端，实现涂抹操作。
通过磁性中异性相吸的原理可将后续工序中需要涂抹的化学药剂直接滴入晶圆的上方且利用同性相斥的原理使得装置离开晶圆的上方避免对涂抹造成干扰，同时利用气流的推动使得晶圆持续旋转依靠离心力实现均匀涂抹，减少后续晶圆涂抹化学药剂的步骤，降低了生产成本，增加了工作效率，利用磁力可气体首先实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，其次实现了可对不同尺寸晶圆进行有效固定且可调节范围大，最后实现了化学药剂的自涂抹，易于推广。
优选的，所述机架的顶端均固定安装有立柱，所述立柱的内侧面均开设有活动槽，所述活动槽的内部均活动安装有活动块，所述活动块的顶端固定安装有位于活动槽内部的复位弹簧，所述复位弹簧的顶端与活动槽内腔的顶端固定连接。
优选的，所述活动块的数量为两个，两个所述活动块的中部固定安装有活动板，所述活动板的中部与上储气管的外侧面固定连接。
当两个电磁铁的磁性相反时，上储气管整体有向下运动的趋势，此时活动板即可相对立柱向下位移，此时活动块即可跟随活动板向下位移，活动块即可在活动槽的内部相对滑动，此时复位弹簧被拉伸，当两个电磁铁的磁性相反时，此时复位弹簧不再受到作用力即可恢复形变带动活动块和活动板向上位移，并带动上储气管的向上位移完成复位，等待下次寻边定位。
本发明的有益效果如下：
1、本发明通过采用流动的压缩空气作为晶圆片旋转时的动力，而压缩空气的通入量和气体流速会直接控制晶圆片的旋转速度，使得晶圆片的旋转速度易控，同时利用改变固定机构的磁性来实现晶圆片的上下固定，使得晶圆片在旋转过程中存在上下多个对称的支点，通过多个对称的支点来对晶圆片旋转时的力量进行支撑，使得晶圆片在旋转时不会发生晃动，使其更加稳定，利用气体的流动和装置的磁力不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，提高定位寻边效果，降低晶圆片碎裂的可能。
2、本发明通过利用气流的方式来推动活动盘外侧面电磁铁的相对滑动，使用多个可以相对晶圆滑动的电磁铁来改变在对不同尺寸晶圆片固定时所需的支撑点不同的问题，使得装置自身可根据晶圆的大小自适应改变支撑点的位置，来对不同尺寸的晶圆片起到有效的固定，且利用异性相吸的远离来对晶圆的上下位置进行同时固定，进一步降低晶圆在运动过程中出现受力不均而导致碎裂的可能性，且可根据晶圆尺寸的不同去调节气流的大小和磁力的大小，可调节的范围较大，利用压缩气体的流动不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，同时还实现了可对不同尺寸晶圆进行有效固定且可调节范围大。
3、本发明通过磁性中异性相吸的原理可将后续工序中需要涂抹的化学药剂直接滴入晶圆的上方且利用同性相斥的原理使得装置离开晶圆的上方避免对涂抹造成干扰，同时利用气流的推动使得晶圆持续旋转依靠离心力实现均匀涂抹，减少后续晶圆涂抹化学药剂的步骤，降低了生产成本，增加了工作效率，利用磁力可气体首先实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，其次实现了可对不同尺寸晶圆进行有效固定且可调节范围大，最后实现了化学药剂的自涂抹，易于推广。
附图说明
图1为本发明整体结构的示意图；
图2为本发明立柱和活动块结构的分解示意图；
图3为本发明横杆结构的分解示意图；
图4为本发明上储气管内部结构的剖视图；
图5为本发明下储气管和固定结构的配合示意图；
图6为本发明下储气管底端结构的剖视图；
图7为本发明固定套和活动杆结构的分解示意图；
图8为图2中A处结构的放大示意图。
图中：1、机架；2、立柱；3、活动槽；4、活动板；5、活动块；6、复位弹簧；7、上储气管；8、输气口；9、横杆；10、寻边传感器；11、固定机构；111、活塞板；112、活塞杆；113、活动盘；114、耳板；115、连杆；116、活动座；117、电磁铁；12、涂药球；13、固定套；14、活动杆；15、限位弹簧；16、真空吸盘；17、下储气管；18、固定架；19、延长杆；20、固定管；21、暂存管；22、叶轮；23、输气管；24、进气管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1和图3以及图5和图6所示，本发明实施例中，一种光刻机用晶圆寻边机构，包括机架1，机架1的内部设有上储气管7，上储气管7的顶端固定连通有输气口8，上储气管7的下方设有下储气管17，上储气管7和下储气管17的内部均活动安装有固定机构11，机架1的背面固定安装有横杆9，横杆9的内部固定安装有寻边传感器10，下储气管17的下方活动安装有固定管20，固定管20的下方设有暂存管21，下储气管17的底端开设有位于固定管20内部的通孔，暂存管21的右端固定连通有输气管23，输气管23的另一端与固定管20的外侧面固定连通且输入端位于下储气管17底端通孔的下方。
上储气管7和下储气管17的内部均安装有阀门，寻边传感器10与晶圆的侧面相对应，输气口8与外部的压缩空气相连接，下储气管17可相对固定管20以及暂存管21旋转，固定管20和暂存管21与外部机架之间进行固定。
如图5和图6所示，下储气管17底端的中部固定安装有固定架18，固定架18的底端固定安装有位于固定管20内部的延长杆19，延长杆19的底端分别贯穿固定管20以及暂存管21的顶端且位于暂存管21的内部，延长杆19可相对固定管20和暂存管21转动，延长杆19的外侧面靠近底端的位置上固定安装有位于暂存管21内部的叶轮22，延长杆19的底端与暂存管21内腔的底端活动连接，暂存管21的另一端固定连通有与输气管23对称的进气管24。
第一个实施例：
在需要对晶圆片进行定位寻边操作时，可通过将晶圆片放置在位于下方的固定机构11的顶端，并通过固定机构11对晶圆片进行固定，同时可通过控制两个固定机构11内部磁铁的磁性使其磁性相反，来使得晶圆片被夹持再来量固定机构11之间，且在使用前可将上储气管7顶端的输气口8和暂存管21侧面的进气管24与外部压缩空气瓶进行固定并做好密封，当压缩空气通过进气管24进入暂存管21内部时可推动位于暂存管21内部的叶轮22，并带动叶轮22内部的延长杆19以及固定架18转动，此时固定架18即可带动下储气管17旋转，进而带动晶圆片旋转，而由于晶圆片的顶端与位于上方的固定机构11相互固定，在磁性作用下位于上方的固定机构11随之跟随晶圆片旋转，并通过横杆9内部的寻边传感器10对晶圆片的缺口进行定位，完成寻边操作。
通过采用流动的压缩空气作为晶圆片旋转时的动力，而压缩空气的通入量和气体流速会直接控制晶圆片的旋转速度，使得晶圆片的旋转速度易控，同时利用改变固定机构11的磁性来实现晶圆片的上下固定，使得晶圆片在旋转过程中存在上下多个对称的支点，通过多个对称的支点来对晶圆片旋转时的力量进行支撑，使得晶圆片在旋转时不会发生晃动，使其更加稳定，利用气体的流动和装置的磁力不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，提高定位寻边效果，降低晶圆片碎裂的可能。
如图4和图7所示，固定机构11包括活塞板111，活塞板111分别与上储气管7和下储气管17的内部活动套接，活塞板111的一端固定安装有位于上储气管7或下储气管17内部的活塞杆112，活塞杆112的顶端固定安装有活动盘113，活动盘113的外侧面等角度固定安装有耳板114，耳板114的内部均通过转动活动安装有连杆115，连杆115的另一端均通过转轴活动安装有活动座116，活动座116的底端均固定安装有电磁铁117，电磁铁117和活动座116以及连杆115和耳板114的数量均为五个，电磁铁117与活动盘113相互平行。
第二个实施例：
在对晶圆片进行固定时，首先可将晶圆片放置在位于下方的固定机构11的顶端，在进入暂存管21的气流推动叶轮22旋转后会通过输气管23进入固定管20的内部，并通过下储气管17底端的通孔进入下储气管17的内部同时对活塞板111施加压力，同时通过控制下储气管17的阀门来控制下储气管17内部气体的流入量，当活塞板111受到压力时会带动活塞杆112向外侧位移，并带动活动盘113向外侧继续位移，由于晶圆无法上下位移，而此时连杆115的整体长度不变，导致连杆115向外侧发生偏转，即可带动活动座116和电磁铁117向晶圆的外侧面滑动，并根据晶圆的大小确定电磁铁117滑动的位置，并通过控制上下两个固定机构11内部电磁铁117的磁性方向，使得磁性方向相反，每两个电磁铁117之间产生吸引力有相对运动的趋势将晶圆片夹持在两个电磁铁117之间完成固定，避免单点固定。
通过利用气流的方式来推动活动盘113外侧面电磁铁117的相对滑动，使用多个可以相对晶圆滑动的电磁铁117来改变在对不同尺寸晶圆片固定时所需的支撑点不同的问题，使得装置自身可根据晶圆的大小自适应改变支撑点的位置，来对不同尺寸的晶圆片起到有效的固定，且利用异性相吸的远离来对晶圆的上下位置进行同时固定，进一步降低晶圆在运动过程中出现受力不均而导致碎裂的可能性，且可根据晶圆尺寸的不同去调节气流的大小和磁力的大小，可调节的范围较大，利用压缩气体的流动不仅实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，同时还实现了可对不同尺寸晶圆进行有效固定且可调节范围大。
如图7所示，位于下方固定机构11的顶端固定安装有固定套13，固定套13的内部活动安装有活动杆14，活动杆14的顶端固定安装有真空吸盘16，活动杆14的底端固定安装有位于固定套13内部的限位弹簧15，限位弹簧15的底端与固定套13内腔的底端固定连接。
在对晶圆进行固定时，可利用真空吸盘16对晶圆的底端进行预固定，由于电磁铁117的相对滑动活动盘113和晶圆底端的距离相应改变，此时限位弹簧15的会被相应的压缩，活动杆14即可相对固定套13向底端进行位移，并带动活动杆14顶端真空吸盘16进行位移，来实现晶圆的预固定。
如图4所示，位于上方固定机构11底端的中部固定安装有涂药球12，涂药球12为海绵制成且涂药球12的内部浸润有化学药剂，涂药球12的中部与真空吸盘16的中部处于同一中轴线上。
第三个实施例：
在完成晶圆的固定和定位寻边后，可将涂药球12内部浸润后续加工所需要的化学药剂，并利用涂药球12将化学药剂滴入到晶圆片顶端的中央位置上，此时通过改变相对两个电磁铁117之间的磁性方向，使得磁性方向相同产生相斥力，使得位于上方的固定机构11离开晶圆，此时晶圆的顶端不存在固定，而晶圆可在下方下储气管17的带动下持续旋转，利用离心力的作用将位于晶圆顶端的化学药剂铺满晶圆的顶端，实现涂抹操作。
通过磁性中异性相吸的原理可将后续工序中需要涂抹的化学药剂直接滴入晶圆的上方且利用同性相斥的原理使得装置离开晶圆的上方避免对涂抹造成干扰，同时利用气流的推动使得晶圆持续旋转依靠离心力实现均匀涂抹，减少后续晶圆涂抹化学药剂的步骤，降低了生产成本，增加了工作效率，利用磁力可气体首先实现了晶圆片的自旋转同时还可增加旋转时的稳定性，其次实现了可对不同尺寸晶圆进行有效固定且可调节范围大，最后实现了化学药剂的自涂抹，易于推广。
如图2和图8所示，机架1的顶端均固定安装有立柱2，立柱2的内侧面均开设有活动槽3，活动槽3的内部均活动安装有活动块5，活动块5的顶端固定安装有位于活动槽3内部的复位弹簧6，复位弹簧6的顶端与活动槽3内腔的顶端固定连接，活动块5的数量为两个，两个活动块5的中部固定安装有活动板4，活动板4的中部与上储气管7的外侧面固定连接。
当两个电磁铁117的磁性相反时，上储气管7整体有向下运动的趋势，此时活动板4即可相对立柱2向下位移，此时活动块5即可跟随活动板4向下位移，活动块5即可在活动槽3的内部相对滑动，此时复位弹簧6被拉伸，当两个电磁铁117的磁性相反时，此时复位弹簧6不再受到作用力即可恢复形变带动活动块5和活动板4向上位移，并带动上储气管7的向上位移完成复位，等待下次寻边定位。
工作原理及使用流程：
在需要对晶圆片进行定位寻边操作时，可通过将晶圆片放置在位于下方的固定机构11的顶端，并通过固定机构11对晶圆片进行固定，同时可通过控制两个固定机构11内部磁铁的磁性使其磁性相反，来使得晶圆片被夹持再来量固定机构11之间，且在使用前可将上储气管7顶端的输气口8和暂存管21侧面的进气管24与外部压缩空气瓶进行固定并做好密封，当压缩空气通过进气管24进入暂存管21内部时可推动位于暂存管21内部的叶轮22，并带动叶轮22内部的延长杆19以及固定架18转动，此时固定架18即可带动下储气管17旋转，进而带动晶圆片旋转，而由于晶圆片的顶端与位于上方的固定机构11相互固定，在磁性作用下位于上方的固定机构11随之跟随晶圆片旋转，并通过横杆9内部的寻边传感器10对晶圆片的缺口进行定位，完成寻边操作；
在对晶圆片进行固定时，首先可将晶圆片放置在位于下方的固定机构11的顶端，在进入暂存管21的气流推动叶轮22旋转后会通过输气管23进入固定管20的内部，并通过下储气管17底端的通孔进入下储气管17的内部同时对活塞板111施加压力，同时通过控制下储气管17的阀门来控制下储气管17内部气体的流入量，当活塞板111受到压力时会带动活塞杆112向外侧位移，并带动活动盘113向外侧继续位移，由于晶圆无法上下位移，而此时连杆115的整体长度不变，导致连杆115向外侧发生偏转，即可带动活动座116和电磁铁117向晶圆的外侧面滑动，并根据晶圆的大小确定电磁铁117滑动的位置，并通过控制上下两个固定机构11内部电磁铁117的磁性方向，使得磁性方向相反，每两个电磁铁117之间产生吸引力有相对运动的趋势将晶圆片夹持在两个电磁铁117之间完成固定，避免单点固定；
在对晶圆进行固定时，可利用真空吸盘16对晶圆的底端进行预固定，由于电磁铁117的相对滑动活动盘113和晶圆底端的距离相应改变，此时限位弹簧15的会被相应的压缩，活动杆14即可相对固定套13向底端进行位移，并带动活动杆14顶端真空吸盘16进行位移，来实现晶圆的预固定；
在完成晶圆的固定和定位寻边后，可将涂药球12内部浸润后续加工所需要的化学药剂，并利用涂药球12将化学药剂滴入到晶圆片顶端的中央位置上，此时通过改变相对两个电磁铁117之间的磁性方向，使得磁性方向相同产生相斥力，使得位于上方的固定机构11离开晶圆，此时晶圆的顶端不存在固定，而晶圆可在下方下储气管17的带动下持续旋转，利用离心力的作用将位于晶圆顶端的化学药剂铺满晶圆的顶端，实现涂抹操作；
当两个电磁铁117的磁性相反时，上储气管7整体有向下运动的趋势，此时活动板4即可相对立柱2向下位移，此时活动块5即可跟随活动板4向下位移，活动块5即可在活动槽3的内部相对滑动，此时复位弹簧6被拉伸，当两个电磁铁117的磁性相反时，此时复位弹簧6不再受到作用力即可恢复形变带动活动块5和活动板4向上位移，并带动上储气管7的向上位移完成复位，等待下次寻边定位。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种光刻机用晶圆寻边机构，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的内部设有上储气管(7)，所述上储气管(7)的顶端固定连通有输气口(8)，所述上储气管(7)的下方设有下储气管(17)，所述上储气管(7)和下储气管(17)的内部均活动安装有固定机构(11)，所述机架(1)的背面固定安装有横杆(9)，所述横杆(9)的内部固定安装有寻边传感器(10)，所述下储气管(17)的下方活动安装有固定管(20)，所述固定管(20)的下方设有暂存管(21)，所述下储气管(17)的底端开设有位于固定管(20)内部的通孔，所述暂存管(21)的右端固定连通有输气管(23)，所述输气管(23)的另一端与固定管(20)的外侧面固定连通且输入端位于下储气管(17)底端通孔的下方。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述下储气管(17)底端的中部固定安装有固定架(18)，所述固定架(18)的底端固定安装有位于固定管(20)内部的延长杆(19)，所述延长杆(19)的底端分别贯穿固定管(20)以及暂存管(21)的顶端且位于暂存管(21)的内部，所述延长杆(19)可相对固定管(20)和暂存管(21)转动。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述延长杆(19)的外侧面靠近底端的位置上固定安装有位于暂存管(21)内部的叶轮(22)，所述延长杆(19)的底端与暂存管(21)内腔的底端活动连接，所述暂存管(21)的另一端固定连通有与输气管(23)对称的进气管(24)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述固定机构(11)包括活塞板(111)，所述活塞板(111)分别与上储气管(7)和下储气管(17)的内部活动套接，所述活塞板(111)的一端固定安装有位于上储气管(7)或下储气管(17)内部的活塞杆(112)，所述活塞杆(112)的顶端固定安装有活动盘(113)。
5.根据权利要求4所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述活动盘(113)的外侧面等角度固定安装有耳板(114)，所述耳板(114)的内部均通过转动活动安装有连杆(115)，所述连杆(115)的另一端均通过转轴活动安装有活动座(116)。
6.根据权利要求5所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述活动座(116)的底端均固定安装有电磁铁(117)，所述电磁铁(117)和活动座(116)以及连杆(115)和耳板(114)的数量均为五个，所述电磁铁(117)与活动盘(113)相互平行。
7.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：位于下方所述固定机构(11)的顶端固定安装有固定套(13)，所述固定套(13)的内部活动安装有活动杆(14)，所述活动杆(14)的顶端固定安装有真空吸盘(16)，所述活动杆(14)的底端固定安装有位于固定套(13)内部的限位弹簧(15)，所述限位弹簧(15)的底端与固定套(13)内腔的底端固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：位于上方所述固定机构(11)底端的中部固定安装有涂药球(12)，所述涂药球(12)为海绵制成且涂药球(12)的内部浸润有化学药剂，所述涂药球(12)的中部与真空吸盘(16)的中部处于同一中轴线上。
9.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述机架(1)的顶端均固定安装有立柱(2)，所述立柱(2)的内侧面均开设有活动槽(3)，所述活动槽(3)的内部均活动安装有活动块(5)，所述活动块(5)的顶端固定安装有位于活动槽(3)内部的复位弹簧(6)，所述复位弹簧(6)的顶端与活动槽(3)内腔的顶端固定连接。
10.根据权利要求9所述的一种光刻机用晶圆寻边机构，其特征在于：所述活动块(5)的数量为两个，两个所述活动块(5)的中部固定安装有活动板(4)，所述活动板(4)的中部与上储气管(7)的外侧面固定连接。
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