CN114556158A - 放射线检测器、及放射线检测器的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的放射线检测器是具备：传感器面板、闪烁器面板、及遍及所述传感器面板和所述闪烁器面板而设置的树脂框的放射线检测器，所述传感器面板具有搭载有所述闪烁器面板的搭载面，所述闪烁器面板具备：具有：第1表面、所述第1表面的相反侧的第2表面、及将所述第1表面与所述第2表面彼此连接的第1侧面的支撑体；及形成在所述第1表面，包含多个柱状结晶的闪烁器层，并且，以所述闪烁器层及所述第1表面与所述搭载面相对的方式搭载在所述搭载面，所述闪烁器层具有：以位于与所述第1侧面为相同平面上的方式延伸的第2侧面。
Description
技术领域
本公开涉及放射线检测器、及放射线检测器的制造方法。
背景技术
在专利文献1中，记载有放射线检测器。该放射线检测器具备：支撑体；层叠在比支撑体的外缘更为内侧的闪烁器层；贴附在闪烁器层而在与支撑体之间形成间隙的光检测基板；及填充在该间隙，且中央部的膜厚比端部的膜厚薄的密封膜。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-118058号公报
发明内容
发明想要解决的技术问题
在上述的放射线检测器中，通过填充在支撑体与光检测基板之间的密封膜，达成闪烁器层的防湿。尤其，在上述的放射线检测器中，通过使密封膜的中央部的膜厚相对较薄，密封膜容易追随支撑体与光检测基板的翘曲而弹性变形，并且通过使密封膜的端部的膜厚相对较厚，确保密封膜与支撑体及光检测基板的紧贴力，达成防湿性的维持。
即，在上述的放射线检测器中，必须在闪烁器层的防湿时，将闪烁器层形成为小于支撑体，在支撑体与闪烁器层与光检测基板之间的间隙，填充上述那样的特征的密封膜。因此，与支撑体的大小相比，形成有闪烁器层的有效面积变小。
本公开的目的在于，提供能够一边使有效面积增大一边确保可靠性的放射线检测器、及放射线检测器的制造方法。
用于解决技术问题的技术手段
本公开的放射线检测器是具备：传感器面板、闪烁器面板、及遍及传感器面板和闪烁器面板而设置的树脂框的放射线检测器，传感器面板具有搭载有闪烁器面板的搭载面，闪烁器面板具备：支撑体，其具有：第1表面、第1表面的相反侧的第2表面、及将第1表面与第2表面彼此连接的第1侧面；及闪烁器层，其形成在第1表面，包含多个柱状结晶，并且，以闪烁器层及第1表面与搭载面相对的方式搭载在搭载面，闪烁器层具有：第2侧面，其以位于与第1侧面为相同平面上的方式延伸，树脂框从与第1侧面及第2侧面交叉的第1方向观察，至少通过从搭载面遍及第1侧面上而延伸存在，从而将闪烁器层密封。
在该放射线检测器中，闪烁器面板以其闪烁器层与传感器面板的搭载面相对的方式，搭载在传感器面板。尤其，在闪烁器面板中，作为支撑体的侧面的第1侧面、与作为闪烁器层的侧面的第2侧面位于同一平面上。即，从与支撑体的第1表面及第2表面交叉的方向观察，变成在支撑体的整面设置有闪烁器层，有效面积增大。在这样的结构中，支撑体与闪烁器层的交界、或闪烁器层与传感器面板的交界容易受到来自侧方的损伤。相对于此，在该放射线检测器中，树脂框通过至少从传感器面板的搭载面遍及支撑体的第1侧面上而延伸存在，从而将闪烁器层密封。因此，避免该交界、及作为闪烁器层的侧面的第2侧面受到损伤。另外，同时，提升闪烁器层的防湿性，并且抑制因热膨胀差/翘曲所致的剥落。即，根据该放射线检测器，如上述那样一边使有效面积增大，一边确保可靠性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，支撑体具有：第1可挠性支撑体，其具有第1表面和第1表面的相反侧的第3表面；第2可挠性支撑体，其具有第2表面和第2表面的相反侧的第4表面；及无机层，其设置在第3表面与第4表面之间，树脂框从第1方向观察，至少通过从搭载面到达第4表面的方式延伸存在，从而将无机层密封。在该情况下，通过无机层，抑制从第2表面侧的经由第1可挠性支撑体对闪烁器层的水分侵入。尤其，通过树脂框越过无机层(以到达第4表面的方式)而延伸存在，从而防湿性确实地提升。此外，通过第2可挠性支撑体，保护无机层免于接触，抑制无机层的劣化。因此，确实地确保可靠性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，树脂框以从搭载面到达第2表面的周缘部的方式延伸存在。在该情况下，防湿性更加提升，并且确实地抑制剥落，且更确实地确保可靠性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，树脂框包含：从与第2表面交叉的第2方向观察，位于第2表面上的内缘、及位于第2表面的外部的外缘，
树脂框的从内缘至第2表面的周缘的距离，为从第2表面的周缘至外缘的距离的2倍以下。在该情况下，可以一边确实地确保可靠性，一边抑制有效面积的减少。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，树脂框包含至少1个重复部，其由沿着第1侧面及第2侧面而排列的多个部分构成，并且一个部分与其他部分彼此重复。如此，也可以通过多个部分来构成树脂框。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，在将自搭载面的树脂框的高度设为1的情况下的自第1侧面的树脂框的宽幅的比率为0.1以上且12.5以下。在该情况下，能够一边回避大型化一边确保可靠性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，具备介在于搭载面与闪烁器面板之间，且将传感器面板与闪烁器面板彼此粘接的粘接层。在该情况下，闪烁器面板与传感器面板高精度地接合。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，树脂框包含由无机材料构成的填料材。在该情况下，更加提升防湿性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，树脂框包含至少对在闪烁器层产生的闪烁光具有反射性或吸收性的颜料。在该情况下，提升光特性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，在搭载面是形成有保护层。在该情况下，提升传感器面板的可靠性。
在本公开的放射线检测器中，也可以是，闪烁器面板包含形成在第1侧面及第2侧面上的保护层。在该情况下，可以更确实地抑制来自侧方的损伤及水分侵入。
本公开的放射线检测器的制造方法具备：准备具有支撑体、及形成在支撑体的闪烁器层的闪烁器面板的第1工序；准备包含光电转换元件的传感器面板的第2工序；以闪烁器层与传感器面板相对的方式，将闪烁器面板搭载在传感器面板的第3工序；及在第3工序之后，遍及传感器面板和闪烁器面板来设置树脂框的第4工序，支撑体具有：形成有闪烁器层的第1表面、第1表面的相反侧的第2表面、及将第1表面与第2表面彼此连接的第1侧面，闪烁器层具有：第2侧面，其以位于与第1侧面为相同平面上的方式延伸，传感器面板具有搭载有闪烁器面板的搭载面，在第4工序中，通过至少对搭载面、第1侧面、及第2侧面，进行树脂的涂布及固化，从而以从与第1侧面及第2侧面交叉的第1方向观察，至少通过从搭载面遍及第1侧面上而延伸存在，从而将闪烁器层密封的方式，形成树脂框。
在该制造方法中，闪烁器面板以其闪烁器层与传感器面板的搭载面相对的方式搭载在传感器面板。尤其，在闪烁器面板中，作为支撑体的侧面的第1侧面、与作为闪烁器层的侧面的第2侧面位于同一平面上。即，从与支撑体的第1表面及第2表面交叉的方向观察，变成在支撑体的整面设置有闪烁器层，有效面积增大。在这样的结构中，支撑体与闪烁器层的交界、或闪烁器层与传感器面板的交界受易受到来自侧方的损伤。相对于此，在该制造方法中，以至少通过从传感器面板的搭载面遍及支撑体的第1侧面上而延伸存在来将闪烁器层密封的方式，形成树脂框。因此，避免该交界、及作为闪烁器层的侧面的第2侧面受到损伤。另外，同时，提升闪烁器层的防湿性，并且抑制因热膨胀差/翘曲所致的剥落。即，通过该制造方法，可以制造一边如上述那样使有效面积增大，一边确保可靠性的放射线检测器。
在本公开的放射线检测器的制造方法中，也可以是，在第4工序中，通过进行多次树脂的涂布及固化，从而形成树脂框。在该情况下，可以通过1次树脂的涂布及固化、及之后的树脂的涂布及固化，形成构成树脂框的多个部分的重复部。
在本公开的放射线检测器的制造方法中，也可以是，在第4工序中，通过使用以从与第2表面交叉的第2方向观察，一边从闪烁器面板分离一边包围闪烁器面板的方式配置在搭载面的模框，来进行树脂的涂布及固化，从而形成树脂框。在该情况下，可以抑制树脂的垂滴部的产生。
在本公开的放射线检测器的制造方法中，也可以是，在第3工序中，经由粘接层，将闪烁器面板搭载在传感器面板。
发明的效果
根据本公开，可以提供能够一边使有效面积增大一边确保可靠性的放射线检测器、及放射线检测器的制造方法。
附图说明
图1是表示本实施方式的放射线检测器的示意性截面图。
图2是图1的区域AR的放大图。
图3是图1所示的放射线检测器的示意性俯视图。
图4是表示图1～3所示的放射线检测器的制造法的一个工序的示意性截面图。
图5是表示图1～3所示的放射线检测器的制造法的一个工序的示意性截面图。
图6是表示图1～3所示的放射线检测器的制造法的一个工序的示意性截面图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明一个实施方式。其中，在各图的说明中，对相同的要素或相当的要素标注相同符号，且有时省略重复的说明。
本实施方式的放射线检测器(放射线成像器)是将X线等放射线转换成可见光等闪烁光而进行检测(图像化)的放射线检测器。另外，本实施方式的放射线检测器是可用于例如乳房摄影(Mammography)装置、胸部检查装置、CT装置、齿科口腔内摄影装置、及放射线照相机等医疗用X线图像诊断装置、或非破坏检查装置。
图1是表示本实施方式的放射线检测器的示意性截面图。如图1所示，放射线检测器1具备：闪烁器面板10、传感器面板20、及树脂框30。闪烁器面板10具备：支撑体11、闪烁器层12、保护层18、及保护层19。
支撑体11在此形成为平板状，具有：第1表面11a、第1表面11a的相反侧的第2表面11b、及将第1表面11a与第2表面11b彼此连接的第1侧面11s。第1表面11a与第2表面11b彼此平行。
闪烁器层12形成在第1表面11a。闪烁器层12根据来自第2表面11b侧的放射线的入射而使闪烁光产生。闪烁器层12包含多个柱状结晶。作为一例，闪烁器层12由多个柱状结晶构成。闪烁器层12由于各柱状结晶具有导光效果而适于高解析度的影像化。
闪烁器层12的材料列举例如：CsI：Tl或CsI：Na等以CsI(碘化铯)为主成分的材料、NaI：Tl等以NaI(碘化钠)为主成分的材料、SrI3(碘化锶)、LuI3(碘化镥)、BaF2(氟化钡)、及GOS等。在此，闪烁器层12的材料是以CsI为主成分的材料。这样的闪烁器层12可通过例如蒸镀法而形成。闪烁器层12的厚度为例如10μm以上且3000μm以下，以具体例而言为600μm。
闪烁器层12具有第2侧面12s。第2侧面12s是将闪烁器层12的与支撑体11相接的一面、与该一面的相反侧的其他面彼此连接。第2侧面12s位于与支撑体11的第1侧面11s为同一平面上。换言之，第1侧面11s与第2侧面12s形成为实质上同一平面。其中，作为一例，在第1侧面11s及第2侧面12s形成为通过刀刃或激光照射等支撑体11与闪烁器层12被一起切断时的切割面的情况下，实质上成为同一平面。因此，第1侧面11s与第2侧面12s当微观时，有可能有具有如粗糙面或毛边之类的微细的凹凸结构的情况，在规定为“同一平面”的情况下，该等凹凸结构可忽视。第1侧面11s及第2侧面12s作为一例与支撑体11的第1表面11a及第2表面11b垂直地延伸存在。
在此，支撑体11包含：第1可挠性支撑体13、第2可挠性支撑体14、无机层15、及粘接层16、17。第1可挠性支撑体13包含：支撑体11的第1表面11a。另外，第1可挠性支撑体13包含：第1表面11a的相反侧的第3表面13b。第2可挠性支撑体14包含：支撑体11的第2表面11b。另外，第2可挠性支撑体14包含：第2表面11b的相反侧的第4表面14a。即，在支撑体11中，从闪烁器层12侧依序排列有第1表面11a、第3表面13b、第4表面14a、及第2表面11b。
第1可挠性支撑体13及第2可挠性支撑体14具有可挠性。此外，具有可挠性是指能够弹性变形。从而，支撑体11是整体具有可挠性。第1可挠性支撑体13及第2可挠性支撑体14的材料包含例如：聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、或压克力(PMMA)。作为一例，第1可挠性支撑体13及第2可挠性支撑体14的材料是PET、PEN、PI、PP、PE、或PMMA。在此，第1可挠性支撑体13及第2可挠性支撑体14的材料是PET。另外，第1可挠性支撑体13的材料与第2可挠性支撑体14的材料例如相同。其中，第1可挠性支撑体13为了提高与闪烁器层12的紧贴性，也可以在闪烁器层12的形成面具有由热塑性树脂(例如丙烯酸系)构成的锚涂(Anchor coat)层。尤其，在闪烁器层12由多个柱状结晶构成的情况下，通过锚涂层，柱状结晶的根部的结晶性为良好。
无机层15设置在第3表面13b与第4表面14a之间。无机层15设置在第2可挠性支撑体14。设置有无机层15的第2可挠性支撑体14通过粘接层17而粘接在第1可挠性支撑体13的第3表面13b。即，粘接层17将第3表面13b与机层15彼此粘接。
在无机层15与第2可挠性支撑体14之间介在有粘接层16，无机层15通过该粘接层16而粘接在第2可挠性支撑体14。即，粘接层16将无机层15与第2可挠性支撑体14彼此粘接。如此，闪烁器层12、第1可挠性支撑体13、无机层15、及第2可挠性支撑体14是依序层叠而形成有层叠体40，且通过粘接层16、17而一体化。
无机层15由无机材料构成。作为一例，无机层15的材料是金属。更具体而言，以无机层15的材料而言，包含例如铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)、铁(Fe)、或SUS。作为一例，无机层15的材料是Al。
与第1表面11a(及第2表面11b)交叉的第2方向上的第1可挠性支撑体13的厚度是例如50μm以上且250μm以下。同样地，第2方向上的第2可挠性支撑体14的厚度是例如50μm以上且250μm以下。第1可挠性支撑体13的厚度与第2可挠性支撑体14的厚度之差是例如0以上且90μm以下。作为一例，第1可挠性支撑体13的厚度与第2可挠性支撑体14的厚度相同(厚度之差为0)。第2方向上的无机层15的厚度是例如10μm以上且100μm以下，比第1可挠性支撑体13的厚度及第2可挠性支撑体14的厚度薄。无机层15的厚度作为一例为30μm。
保护层18设置在闪烁器层12的与支撑体11为相反侧的面。保护层19以覆盖层叠体40(即支撑体11及闪烁器层12)与保护层18的方式而设置。从而，在闪烁器层12的与支撑体11为相反侧的面上，配置有多层(在此为2层)的保护层18、19。另外，在支撑体11的第1侧面11s与闪烁器层12的第2侧面12s上，形成保护层19。保护层18、19的材料是例如树脂等有机材料，作为一例为帕里纶(Parylene)(聚对二甲苯)。
传感器面板20包含光电转换元件。传感器面板20检测在闪烁器面板10产生的闪烁光，且输出对应与闪烁光的信号。传感器面板20具有搭载面21。在搭载面21，形成有保护层22。保护层22的材料是例如氧化膜、氮化膜、氟系树脂、芳香族树脂等。其中，保护层22也可以不形成。
闪烁器面板10经由保护层22而搭载于搭载面21。更具体而言，闪烁器面板10以支撑体11的第1表面11a及闪烁器层12与搭载面21相对的方式搭载在搭载面21。在闪烁器面板10与搭载面21(保护层22)之间介在有粘接层23，通过该粘接层23，闪烁器面板10与传感器面板20彼此粘接。其中，粘接层16、17、23可由具有粘接性/黏着性的任意材料构成，例如胶带状的粘接材(双面胶带)。
树脂框30遍及传感器面板20与闪烁器面板10而设置。接着，详细说明树脂框30。图2是图1的区域AR的放大图，图3是图1所示的放射线检测器的示意性俯视图。在图3中，省略保护层18、19。如图1～3所示，树脂框30从与支撑体11的第1侧面11s及闪烁器层12的第2侧面12s交叉的第1方向观察，通过从搭载面21遍及第1侧面11s上而延伸存在，从而将闪烁器层12密封。
树脂框30在第1侧面11s、第2侧面12s、及搭载面21的大部分，紧贴于第1侧面11s、第2侧面12s、及搭载面21(即，也有部分分离的情况)。从而，树脂框30有助于闪烁器面板10与传感器面板20的固定。在此，树脂框30以从第1方向观察，从搭载面21到达第2可挠性支撑体14的第4表面14a的方式延伸存在，从而也将无机层15密封。
另外，在此，树脂框30以从搭载面21越过第4表面14a而到达第2表面11b的周缘部的方式延伸存在。即，树脂框30包含：沿着第1侧面11s及第2侧面12s延伸的主体部31、及从主体部31延伸存在于第2表面11b上的延伸存在部32。在此，主体部31覆盖第1侧面11s及第2侧面12s的整体。
树脂框30从与第1表面11a及第2表面11b交叉的第2方向观察，形成为环状，且具有位于第2表面11b上的内缘33。换言之，树脂框30并未覆盖第2表面11b的大部分，在第2表面11b上形成有开口部35。内缘33是延伸存在部32的与主体部31为相反侧的端部。另外，树脂框30具有从第2方向观察，位于第2表面11b的外部的外缘34。外缘34是主体部31的与延伸存在部32为相反侧的端部。
树脂框30的从内缘33至第2表面11b的周缘E(第1侧面11s及第2侧面12s)的距离S33，为从第2表面11b的周缘E至外缘34的距离S34的2倍以下。在将自搭载面21的树脂框30的高度H30设为1的情况下的、自第1侧面11s及第2侧面12s的树脂框30(主体部31)的宽幅W30的比率是0.1以上且12.5以下。高度H30是例如200μm以上且2500μm以下。宽幅W30是例如300μm以上且2500μm以下。
在此，树脂框30可由多个部分构成。更具体而言，如图2所示，树脂框30由沿着第1侧面11s及第2侧面12s而排列的多个部分构成。在该情况下，树脂框30可包含至少1个由一个部分30a与其他部分30b彼此重复的重复部30d。在重复部30d中，与其他部分相比较，有树脂框30的宽幅W30被扩大的情况(即，重复部30d可为扩幅部)。另外，在树脂框30的与搭载面21的交界部分，同样地也可以形成扩幅部30c。扩幅部30c即使在树脂框30由单一部分构成的情况下也可以形成。
树脂框30的材料是例如：环氧、硅、氟、胺甲酸乙酯、压克力等。树脂框30可以包含例如由环氧树脂、或玻璃等无机材料构成的填料材。填料材的材料只要具有比树脂框30的主要材料的防湿性更高的防湿性即可，例如SiO2、Al2O3、TiO2等。另外，在树脂框30，也可以包含至少对在闪烁器层12产生的闪烁光具有反射性或吸收性的颜料。
接着，说明以上的放射线检测器的制造方法。图4、图5、及图6是显示图1～3所示的放射线检测器的制造法的一个工序的示意性截面图。如图4～6所示，在本实施方式的放射线检测器1的制造方法中，实施：准备闪烁器面板10的第1工序；准备传感器面板20的第2工序；将闪烁器面板10搭载在传感器面板20的第3工序；及遍及闪烁器面板10与传感器面板20而形成树脂框30的第4工序。其中，第1工序与第2工序的顺序任意。
如图4的(a)所示，在第1工序中，实施通过对第2可挠性支撑体14的第4表面14a，由粘接层16粘接无机层15，从而构成第1结构体P1的第5工序。第2可挠性支撑体14的第4表面14a的相反侧的面14b成为支撑体11的第2表面11b的面。另一方面，如图4的(b)所示，在第1工序中，实施通过在第1可挠性支撑体13的表面13a，通过例如蒸镀法形成闪烁器层12，从而构成第2结构体P2的第6工序。表面13a是成为支撑体11的第1表面11a的面。第5工序与第6工序的顺序任意。
接着，在第1工序中，如图4的(c)所示，实施通过将第1结构体P1与第2结构体P2彼此层叠而构成层叠体40的第7工序。在第7工序中，以无机层15介在于第1可挠性支撑体13的第3表面13b与第2可挠性支撑体14的第4表面14a之间的方式，将第1结构体P1通过粘接层17而粘接在第2结构体P2。在此，无机层15粘接在第3表面13b。
接着，在第1工序中，如图5的(a)所示，实施对层叠体40设置保护层18、19的第8工序。在第8工序中，首先，对闪烁器层12的与支撑体11为相反侧的面(层叠体40的一个表面)，形成保护层18。在第8工序中，之后，以覆盖层叠体40及保护层18的整体的方式形成保护层19。从而，准备好闪烁器面板10。
另一方面，在第2工序中，如图5的(b)所示，准备传感器面板20。在传感器面板20的搭载面21经由保护层22而设置有粘接层23。
接着，如图6的(a)所示，在第1工序及第2工序之后，实施将闪烁器面板10搭载在传感器面板20的第3工序。在第3工序中，经由粘接层23，将闪烁器面板10搭载在传感器面板20。更具体而言，在第3工序中，以相对于支撑体11的第2表面11b，第1表面11a成为传感器面板20侧的方式，将闪烁器面板10设置在传感器面板20。即，在闪烁器层12与搭载面21相对的状态下，将闪烁器层12的与支撑体11为相反侧的面，通过粘接层23(经由保护层18、19、22)而粘接在搭载面21。
接着，如图6的(b)所示，实施遍及闪烁器面板10和传感器面板20而设置树脂框30的第4工序。在第4工序中，将分配器50配置在闪烁器面板10的周围，在闪烁器面板10的周围涂布树脂51，并且使所涂布的树脂51固化，从而形成树脂框30。在此，通过对搭载面21、支撑体11的第1侧面11s、及闪烁器层12的第2侧面12s(经由保护层19)进行树脂的涂布及固化，从而从与第1侧面11s及第2侧面12s交叉的第1方向观察，以从搭载面21遍及第1侧面11s上而延伸存在的方式形成树脂框30。从而，通过树脂框30密封闪烁器层12，制造放射线检测器1。
尤其，在第4工序中，从第1方向观察，通过以从搭载面21越过无机层15而到达第2可挠性支撑体14的第4表面14a地延伸存在的方式，形成树脂框30，从而将无机层15更加密封。另外，在第4工序中，以从搭载面21到达支撑体11的第2表面11b的周缘部的方式延伸存在而形成树脂框30。这是可通过例如一边使分配器50，在第2表面11b的外部沿着第2表面11b的周缘环绕一边进行树脂51的涂布(及之后的固化)，从而形成树脂框30的主体部31之后，一边使分配器50，在第2表面11b的内部沿着第2表面11b的周缘环绕一边进行树脂51的涂布(及之后的固化)而形成延伸存在部32来实现。或者，树脂框30也可以通过一边使分配器50，在第2表面11b的外部沿着第2表面11b的周缘环绕一边进行树脂51的涂布，从而形成树脂框30的相当于主体部31的部分，并且利用从该部分对第2表面11b的内部的树脂的垂滴而形成相当于延伸存在部32的部分之后，将整体固化从而形成。
其中，在第4工序中，通过进行多次树脂51的涂布及固化，来形成树脂框30。尤其，关于主体部31的形成，也进行多次树脂51的涂布及固化。由此，对树脂框30(主体部31)，通过1次的树脂51的涂布及固化、与之后的树脂51的涂布及固化，形成部分30a与部分30b的重复部30d。
如以上所说明的那样，在本实施方式的放射线检测器1中，闪烁器面板10以其闪烁器层12与传感器面板20的搭载面21相对的方式搭载在传感器面板20。尤其，在闪烁器面板10中，作为支撑体11的侧面的第1侧面11s、与作为闪烁器层12的侧面的第2侧面12s位于同一平面上。即，从与支撑体11的第1表面11a及第2表面11b交叉的方向观察，变成在支撑体11的整面设置有闪烁器层12，有效面积增大。
另一方面，在这样的结构中，支撑体11与闪烁器层12的交界、或闪烁器层12与传感器面板20的交界容易受到来自侧方的损伤。相对于此，在放射线检测器1中，树脂框30通过至少从传感器面板20的搭载面21遍及支撑体11的第1侧面11s上而延伸存在，从而将闪烁器层12密封。因此，避免该交界、及作为闪烁器层12的侧面的第2侧面12s受到损伤。另外，同时，提升闪烁器层12的防湿性，并且抑制因热膨胀差/翘曲所致的剥落。即，根据放射线检测器1，如上述那样一边使有效面积增大，一边确保可靠性。
另外，在放射线检测器1中，支撑体11具有：具有第1表面11a和第1表面11a的相反侧的第3表面13b的第1可挠性支撑体13；具有第2表面11b和第2表面11b的相反侧的第4表面14a的第2可挠性支撑体14；及设置在第3表面13b与第4表面14a之间的无机层15。接着，树脂框30通过以从第1方向观察，至少由搭载面21到达第4表面14a的方式延伸存在，从而将无机层15更加密封。
因此，通过无机层15，抑制从第2表面11b侧经由第1可挠性支撑体13对闪烁器层12的水分侵入。尤其，树脂框30越过无机层15(以到达第4表面14a的方式)延伸存在，从而防湿性确实地提升。此外，通过第2可挠性支撑体14，保护无机层15免于接触，抑制无机层15的劣化。因此，确实地确保可靠性。
另外，在放射线检测器1中，树脂框30以从搭载面21到达第2表面11b的周缘部的方式延伸存在。因此，更加提升防湿性，并且确实地抑制剥落，更加确实地确保可靠性。
另外，在放射线检测器1中，树脂框30包含：由与第2表面11b交叉的第2方向观察，位于第2表面11b上的内缘33；及位于第2表面11b的外部的外缘34。接着，树脂框30的从内缘33至第2表面11b的周缘E的距离S33为从第2表面11b的周缘E至外缘34的距离S34的2倍以下。因此，可以一边确实地确保可靠性一边抑制有效面积的减少。
另外，在放射线检测器1中，树脂框30由沿着第1侧面11s及第2侧面12s而排列的多个部分构成，并且包含至少1个由一个部分30a与其他部分30b彼此重复的重复部30d。如此，也可以通过多个部分构成树脂框。
另外，在放射线检测器1中，在将搭载面21的自树脂框30的高度H30设为1的情况下的、自第1侧面11s的树脂框30的宽幅W30的比率是0.1以上且12.5以下。因此，可以一边避免大型化一边确保可靠性。
另外，在放射线检测器1中，具备介在于搭载面21与闪烁器面板10之间，且将传感器面板20与闪烁器面板10彼此粘接的粘接层23。如此，也可以在闪烁器面板10与传感器面板20的接合使用粘接。
另外，在放射线检测器1中，树脂框30也可以包含由无机材料构成的填料材。在该情况下，防湿性提升。另外，树脂框30也可以包含至少对在闪烁器层12产生的闪烁光具有反射性或吸收性的颜料。在该情况下，光特性提升。
另外，在放射线检测器1中，在搭载面21形成有保护层22。因此，传感器面板的可靠性提升。另外，在放射线检测器1中，闪烁器面板10包含有形成在第1侧面11s及第2侧面12s上的保护层19。因此，可更加确实地抑制来自侧方的损伤及水分侵入。
另一方面，在本实施方式的放射线检测器1的制造方法中，闪烁器面板10以其闪烁器层12与传感器面板20的搭载面21相对的方式搭载在传感器面板20。尤其，在闪烁器面板10中，作为支撑体11的侧面的第1侧面11s、与作为闪烁器层12的侧面的第2侧面12s位于同一平面上。即，从第2方向观察，变成在支撑体11的整面设置有闪烁器层12，有效面积增大。
另一方面，在这样的结构中，支撑体11与闪烁器层12的交界、或闪烁器层12与传感器面板20的交界容易受到来自侧方的损伤。相对于此，在该制造方法中，通过至少以从传感器面板20的搭载面21遍及支撑体11的第1侧面11s上延伸存在，从而将闪烁器层12密封的方式形成树脂框30。因此，回避该交界、及作为闪烁器层12的侧面的第2侧面12s受到损伤。另外，同时，闪烁器层12的防湿性提升，并且抑制因热膨胀差/翘曲所致的剥落。即，通过该制造方法，如上述那样，可以制造一边使有效面积增大一边确保可靠性的放射线检测器1。
另外，在本实施方式之制造方法中，在第4工序中，也可以通过进行多次树脂51的涂布及固化，来形成树脂框30。在该情况下，可通过1次的树脂51的涂布及固化、与之后的树脂51的涂布及固化，从而形成构成树脂框30的多个部分30a、30b的重复部30d。
以上的实施方式说明了本公开的一个方式。因此，本公开并非限定于上述实施方式，可进行各种变形。
例如，在放射线检测器1的制造方法中，在第4工序中，可以通过使用以从与支撑体11的第2表面11b交叉的第2方向观察，一边从闪烁器面板10分离一边围绕闪烁器面板10的方式配置在搭载面21的模框，进行树脂51的涂布及固化，从而形成树脂框30。在该情况下，可抑制树脂51的垂滴部的产生。此外，在第4工序中，也可以通过一次的树脂51的涂布及固化来形成树脂框30，而非局限于进行多次树脂51的涂布及固化。
另外，在放射线检测器1中，支撑体11的结构是任意的，未限定于第1可挠性支撑体13、无机层15、及第2可挠性支撑体14的层叠结构。
产业上的可利用性
根据本公开，提供能够一边使有效面积增大一边确保可靠性的放射线检测器、及放射线检测器的制造方法。
符号说明
1……放射线检测器；10……闪烁器面板；11……支撑体；11a……第1表面；11b……第2表面；11s……第1侧面；12……闪烁器层；12s……第2侧面；13……第1可挠性支撑体；13b……第3表面；14……第2可挠性支撑体；14a……第4表面；15……无机层；16、17、23……粘接层；18、19、22……保护层；20……传感器面板；21……搭载面；30……树脂框；33……内缘；34……外缘。
Claims (15)
1.一种放射线检测器，其中，
是具备：传感器面板、闪烁器面板、及遍及所述传感器面板和所述闪烁器面板而设置的树脂框的放射线检测器，
所述传感器面板具有搭载有所述闪烁器面板的搭载面，
所述闪烁器面板具备：
支撑体，其具有：第1表面、所述第1表面的相反侧的第2表面、及将所述第1表面与所述第2表面彼此连接的第1侧面；及
闪烁器层，其形成在所述第1表面，包含多个柱状结晶，并且，
所述闪烁器面板以所述闪烁器层及所述第1表面与所述搭载面相对的方式搭载在所述搭载面，
所述闪烁器层具有：第2侧面，其以位于与所述第1侧面为相同平面上的方式延伸，
所述树脂框从与所述第1侧面及所述第2侧面交叉的第1方向观察，至少通过从所述搭载面遍及所述第1侧面上而延伸存在，从而将所述闪烁器层密封。
2.根据权利要求1所述的放射线检测器，其中，
所述支撑体具有：
第1可挠性支撑体，其具有所述第1表面和所述第1表面的相反侧的第3表面；
第2可挠性支撑体，其具有所述第2表面和所述第2表面的相反侧的第4表面；及
无机层，其设置在所述第3表面与所述第4表面之间，
所述树脂框以从所述第1方向观察，至少通过从所述搭载面到达所述第4表面的方式延伸存在，从而将所述无机层密封。
3.根据权利要求1或2所述的放射线检测器，其中，
所述树脂框以从所述搭载面到达所述第2表面的周缘部的方式延伸存在。
4.根据权利要求2所述的放射线检测器，其中，
所述树脂框包含：从与所述第2表面交叉的第2方向观察，位于所述第2表面上的内缘、及位于所述第2表面的外部的外缘，
所述树脂框的从所述内缘至所述第2表面的周缘的距离，为从所述第2表面的周缘至所述外缘的距离的2倍以下。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的放射线检测器，其中，
所述树脂框包含：至少1个重复部，其由沿着所述第1侧面及所述第2侧面而排列的多个部分构成，并且一个所述部分与其他所述部分彼此重复。
6.根据权利要求1～3中任一项所述的放射线检测器，其中，
在将自所述搭载面的所述树脂框的高度设为1的情况下的自所述第1侧面的所述树脂框的宽幅的比率为0.1以上且12.5以下。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的放射线检测器，其中，
具备：粘接层，其介在于所述搭载面与所述闪烁器面板之间，且将所述传感器面板与所述闪烁器面板彼此粘接的。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的放射线检测器，其中，
所述树脂框包含由无机材料构成的填料材。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的放射线检测器，其中，
所述树脂框包含至少对在所述闪烁器层产生的闪烁光具有反射性或吸收性的颜料。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的放射线检测器，其中，
在所述搭载面形成有保护层。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的放射线检测器，其中，
所述闪烁器面板包含形成在所述第1侧面及第2侧面上的保护层。
12.一种放射线检测器的制造方法，其中，
具备：
准备具有支撑体、及形成在所述支撑体的闪烁器层的闪烁器面板的第1工序；
准备包含光电转换元件的传感器面板的第2工序；
以所述闪烁器层与所述传感器面板相对的方式，将所述闪烁器面板搭载在所述传感器面板的第3工序；及
在所述第3工序之后，遍及所述传感器面板和所述闪烁器面板来设置树脂框的第4工序，
所述支撑体具有：形成有所述闪烁器层的第1表面、所述第1表面的相反侧的第2表面、及将所述第1表面与所述第2表面彼此连接的第1侧面，
所述闪烁器层具有：第2侧面，其以位于与所述第1侧面为相同平面上的方式延伸，
所述传感器面板具有搭载有所述闪烁器面板的搭载面，
在所述第4工序中，通过至少对所述搭载面、所述第1侧面、及所述第2侧面，进行树脂的涂布及固化，从而以从与所述第1侧面及所述第2侧面交叉的第1方向观察，至少通过从所述搭载面遍及所述第1侧面上而延伸存在，从而将所述闪烁器层密封的方式，形成所述树脂框。
13.根据权利要求12所述的放射线检测器的制造方法，其中，
在所述第4工序中，通过进行多次所述树脂的涂布及固化，从而形成所述树脂框。
14.根据权利要求12或13所述的放射线检测器的制造方法，其中，
在所述第4工序中，通过使用以从与所述第2表面交叉的第2方向观察，一边从所述闪烁器面板分离一边包围所述闪烁器面板的方式配置在所述搭载面的模框，来进行所述树脂的涂布及固化，从而形成所述树脂框。
15.根据权利要求12～14中任一项所述的放射线检测器的制造方法，其中，
在所述第3工序中，经由粘接层，将所述闪烁器面板搭载在所述传感器面板。
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