CN114540940B - 一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种晶体培养装置，更具体地说是一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法，包括支撑机构、切换机构、平衡机构、炉筒机构、液面检测机构和补偿机构，切换机构位于支撑机构的上部，切换机构与支撑机构转动连接，平衡机构与切换机构滑动连接，炉筒机构与支撑机构滑动连接，液面检测机构设有两个，液面检测机构固定在炉筒机构的上部两侧，补偿机构与炉筒机构相连接；第一次补液，通过炉筒机构两侧设置的补液阀进行首次充液，浮子浮起，检测初始液面高度；挂晶体；进行第一次补偿；第二次补偿，通过底板与托盘分开，通过补液孔二和补液孔一向托盘上部补液；底板与托盘同步下降，降至最低位置后，再次合并，完成第二次补液操作。

Description

一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法

技术领域

本发明涉及一种晶体培养装置，更具体地说是一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法。

背景技术

单晶硅，硅的单晶体，具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在单晶硅的加工过程中，包含引晶、放肩、转肩等径、收尾等各道共工序。

现在的工序中，炉体本身不动，而结晶后的晶体块向上移动，这就导致结晶块会在移动的过程中有晃动，影响结晶，而现有的液面测量大都采用单面测量的方式，在炉体倾斜的时候，不能很好地测出真实的液体量，而且补液的方式是通过直接注入式对原液面有冲击或振动，由于新液与原液温度存在一些微小的差异，会导致结晶的失败和影响结晶的量；

为了解决上述问题，所以提供了一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于提供一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法，其能够解决晶体块向上移动过程中有晃动，影响结晶，而现有的液面测量大都采用单面测量的方式，在炉体倾斜的时候，不能很好地测出真实的液体量，而且补液的方式是通过直接注入式对原液面有冲击或振动，由于新液与原液温度存在一些微小的差异，会导致结晶的失败和影响结晶的量的问题。

为解决上述技术问题，一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置，包括支撑机构、切换机构、平衡机构、炉筒机构、液面检测机构和补偿机构，所述切换机构位于支撑机构的上部，切换机构与支撑机构转动连接，平衡机构与切换机构滑动连接，炉筒机构与支撑机构滑动连接，液面检测机构设有两个，液面检测机构固定在炉筒机构的上部两侧，补偿机构与炉筒机构相连接，晶体块向上移动过程中有晃动，影响结晶；而现有的液面测量大都采用单面测量的方式，在炉体倾斜的时候，不能很好地测出真实的液体量，而且补液的方式是通过直接注入式对原液面有冲击或振动，由于新液与原液温度存在一些微小的差异，会导致结晶的失败和影响结晶的量。

作为本技术方案的进一步改进，其中，所述支撑机构包括底座、竖直齿条和滑槽，所述竖直齿条下部固定在底座上，竖直齿条一侧加工有齿，与齿相邻的两个面上设有滑槽。

作为本技术方案的进一步改进，其中，所述切换机构包括横齿条、挂槽、结晶挂钩、切换电机和连接皮带，所述横齿条上部设有齿，横齿条截面为凸形，横齿条下部设有圆柱轮，横齿条与竖直齿条转动连接，所述挂槽设有两个，挂槽位于横齿条的两端，结晶挂钩设有两个，结晶挂钩与挂槽相连接，所述切换电机固定在竖直齿条上，切换电机通过连接皮带与横齿条相连接。

作为本技术方案的进一步改进，其中，所述平衡机构包括滑动架、主动轮、驱动电机、配重、挂杆、平衡重物和从动轮，滑动架与横齿条滑动配合，主动轮与驱动电机相连接，主动轮与滑动架转动配合，驱动电机固定在滑动架一侧，配重固定在滑动架的另一侧，配重与驱动电机重量相同，位置相对，挂杆为圆柱状，挂杆固定在滑动架的上部，平衡重物设有多个，平衡重物套在挂杆上，从动轮与主动轮结构相同，从动轮与滑动架转动连接。

作为本技术方案的进一步改进，其中，所述炉筒机构包括炉体、连接架、防脱架、齿轮、补液阀、下加热圈、上加热圈、进料口、测量槽、螺纹架和通孔，所述炉体为圆筒状，炉体下部设有通孔，炉体上固定有连接架，防脱架设有两个，防脱架固定在连接架的上下两端，防脱架与滑槽滑动连接，齿轮与连接架转动连接，齿轮与电机相连接，齿轮与竖直齿条相啮合，补液阀设有两个，补液阀固定在进料口上，进料口对称固定在炉体上，下加热圈位于炉体的内侧下部，上加热圈位于炉体的内侧上部，测量槽对称设置在炉体的上部，螺纹架设有两个，螺纹架中部加工有螺纹孔。

作为本技术方案的进一步改进，其中，所述液面检测机构包括固定架、传感器和浮子，所述固定架固定在测量槽上，固定架中部设有通孔，传感器固定在固定架上，浮子穿过通孔，浮子与传感器相连接。

作为本技术方案的进一步改进，其中，所述补偿机构包括底盘、托盘、螺杆、中间齿环、电机齿轮、电机一、支架、升降螺杆、驱动带和电机二，底盘与通孔滑动配合，底盘与炉体内侧滑动连接，托盘与底盘滑动连接，托盘与炉体内侧滑动连接，螺杆设有两个，螺杆与方块螺纹连接，螺杆与支架转动连接，螺杆与中间齿环相啮合，中间齿环与底盘转动连接，电机齿轮与电机一相连接，电机齿轮与中间齿环相啮合，支架固定在底盘的下部，升降螺杆与支架转动连接，升降螺杆与螺纹架螺纹连接，驱动带与升降螺杆相连接，电机二固定在支架上，电机二与一个螺杆相连接；所述底盘包括上圆盘一、补液孔一、挡盘一和圆杆，所述上圆盘一与炉体滑动连接，补液孔一设有四个，补液孔一均匀分布在上圆盘一上，挡盘一为圆形凸起，挡盘一位于上圆盘一的上部，圆杆中部内部设有方形通孔一，圆杆一端固定在上圆盘一上，圆杆另一端固定在支架上；所述托盘包括上圆盘二、补液孔二、挡盘二、底部连接块和方杆，上圆盘二为圆形，上圆盘二与炉体内侧滑动连接，补液孔二设有四个，补液孔二均匀分布在上圆盘二上，挡盘二设有四个，挡盘二均与分布在上圆盘二上，底部连接块固定在方杆的下部，底部连接块上设有螺纹孔，底部连接块与螺杆螺纹配合，方杆上部连接在上圆盘二的下部，挡盘二与补液孔一相匹配，补液孔二与挡盘一相匹配；支架两侧设有过渡凸起，过渡凸起与驱动带相滑动。

作为本技术方案的进一步改进，其中，

S1：第一次补液，通过炉筒机构两侧设置的补液阀进行首次充液，浮子浮起，检测初始液面高度；

S2：挂晶体，随着晶体的长大，浮子向下移动，发出液面位置信号；

S3：通过补偿机构首先进行液面的上浮操作，利用底盘和托盘向上推动液体向上移动，进行第一次补偿；

S4：第二次补偿，通过底盘与托盘分开，通过补液孔二和补液孔一向托盘上部补液；

S5：底板与托盘同步下降，降至最低位置后，再次合并，完成第二次补液操作。

本发明的优点在于：

本发明通过一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置及方法，解决晶体块向上移动过程中有晃动，影响结晶，而现有的液面测量大都采用单面测量的方式，在炉体倾斜的时候，不能很好地测出真实的液体量，而且补液的方式是通过直接注入式对原液面有冲击或振动，由于新液与原液温度存在一些微小的差异，会导致结晶的失败和影响结晶的量的问题。

附图说明

图1为整体结构示意图。

图2为的结构示意图。

图3为支撑机构1与切换机构2连接的结构示意图。

图4为切换机构2与平衡机构3的连接的结构示意图。

图5为炉筒机构4与液面检测机构5连接的结构示意图。

图6为炉筒机构4的结构示意图。

图7为炉筒机构4与补偿机构6连接的结构示意图。

图8为补偿机构6的结构示意图。

图9为补偿机构6部分的结构示意图。

图10为补偿机构6部分的结构示意图。

图中：支撑机构1；底座1-1；竖直齿条1-2；滑槽1-3；切换机构2；横齿条2-1；挂槽2-2；结晶挂钩2-3；切换电机2-4；连接皮带2-5；平衡机构3；滑动架3-1；主动轮3-2；驱动电机3-3；配重3-4；挂杆3-5；平衡重物3-6；从动轮3-7；炉筒机构4；炉体4-1；连接架4-2；防脱架4-3；齿轮4-4；补液阀4-5；下加热圈4-6；上加热圈4-7；进料口4-8；测量槽4-9；螺纹架4-10；通孔4-11；液面检测机构5；固定架5-1；传感器5-2；浮子5-3；补偿机构6；底盘6-1；上圆盘一6-1-1；补液孔一6-1-2；挡盘一6-1-3；圆杆6-1-4；托盘6-2；上圆盘二6-2-1；补液孔二6-2-2；挡盘二6-2-3；底部连接块6-2-4；方杆6-2-5；螺杆6-3；中间齿环6-4；电机齿轮6-5；电机一6-6；支架6-7；过渡凸起6-7-1；升降螺杆6-8；驱动带6-9；电机二6-10。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施方式作详细说明。

图1至图3所示；一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置，包括支撑机构1、切换机构2、平衡机构3、炉筒机构4、液面检测机构5和补偿机构6，所述切换机构2位于支撑机构1的上部，切换机构2与支撑机构1转动连接，平衡机构3与切换机构2滑动连接，炉筒机构4与支撑机构1滑动连接，液面检测机构5设有两个，液面检测机构5固定在炉筒机构4的上部两侧，补偿机构6与炉筒机构4相连接；所述支撑机构1包括底座1-1、竖直齿条1-2和滑槽1-3，所述竖直齿条1-2下部固定在底座1-1上，竖直齿条1-2一侧加工有齿，与齿相邻的两个面上设有滑槽1-3；所述切换机构2包括横齿条2-1、挂槽2-2、结晶挂钩2-3、切换电机2-4和连接皮带2-5，所述横齿条2-1上部设有齿，横齿条2-1截面为凸形，横齿条2-1下部设有圆柱轮，横齿条2-1与竖直齿条1-2转动连接，所述挂槽2-2设有两个，挂槽2-2位于横齿条2-1的两端，结晶挂钩2-3设有两个，结晶挂钩2-3与挂槽2-2相连接，所述切换电机2-4固定在竖直齿条1-2上，切换电机2-4通过连接皮带2-5与横齿条2-1相连接；所述平衡机构3包括滑动架3-1、主动轮3-2、驱动电机3-3、配重3-4、挂杆3-5、平衡重物3-6和从动轮3-7，滑动架3-1与横齿条2-1滑动配合，主动轮3-2与驱动电机3-3相连接，主动轮3-2与滑动架3-1转动配合，驱动电机3-3固定在滑动架3-1一侧，配重3-4固定在滑动架3-1的另一侧，配重3-4与驱动电机3-3重量相同，位置相对，挂杆3-5为圆柱状，挂杆3-5固定在滑动架3-1的上部，平衡重物3-6设有多个，平衡重物3-6套在挂杆3-5上，从动轮3-7与主动轮3-2结构相同，从动轮3-7与滑动架3-1转动连接。

图4至图7所示；所述炉筒机构4包括炉体4-1、连接架4-2、防脱架4-3、齿轮4-4、补液阀4-5、下加热圈4-6、上加热圈4-7、进料口4-8、测量槽4-9、螺纹架4-10和通孔4-11，所述炉体4-1为圆筒状，炉体4-1下部设有通孔4-11，炉体4-1上固定有连接架4-2，防脱架4-3设有两个，防脱架4-3固定在连接架4-2的上下两端，防脱架4-3与滑槽1-3滑动连接，齿轮4-4与连接架4-2转动连接，齿轮4-4与电机相连接，齿轮4-4与竖直齿条1-2相啮合，补液阀4-5设有两个，补液阀4-5固定在进料口4-8上，进料口4-8对称固定在炉体4-1上，下加热圈4-6位于炉体4-1的内侧下部，上加热圈4-7位于炉体4-1的内侧上部，测量槽4-9对称设置在炉体4-1的上部，螺纹架4-10设有两个，螺纹架4-10中部加工有螺纹孔；所述液面检测机构5包括固定架5-1、传感器5-2和浮子5-3，所述固定架5-1固定在测量槽4-9上，固定架5-1中部设有通孔，传感器5-2固定在固定架5-1上，浮子5-3穿过通孔，浮子5-3与传感器5-2相连接。

图8至图10所示；所述补偿机构6包括底盘6-1、托盘6-2、螺杆6-3、中间齿环6-4、电机齿轮6-5、电机一6-6、支架6-7、升降螺杆6-8、驱动带6-9和电机二6-10，底盘6-1与通孔4-11滑动配合，底盘6-1与炉体4-1内侧滑动连接，托盘6-2与底盘6-1滑动连接，托盘6-2与炉体4-1内侧滑动连接，螺杆6-3设有两个，螺杆6-3与方块螺纹连接，螺杆6-3与支架6-7转动连接，螺杆6-3与中间齿环6-4相啮合，中间齿环6-4与底盘6-1转动连接，电机齿轮6-5与电机一6-6相连接，电机齿轮6-5与中间齿环6-4相啮合，支架6-7固定在底盘6-1的下部，升降螺杆6-8与支架6-7转动连接，升降螺杆6-8与螺纹架4-10螺纹连接，驱动带6-9与升降螺杆6-8相连接，电机二6-10固定在支架6-7上，电机二6-10与一个螺杆6-3相连接；所述底盘6-1包括上圆盘一6-1-1、补液孔一6-1-2、挡盘一6-1-3和圆杆6-1-4，所述上圆盘一6-1-1与炉体4-1滑动连接，补液孔一6-1-2设有四个，补液孔一6-1-2均匀分布在上圆盘一6-1-1上，挡盘一6-1-3为圆形凸起，挡盘一6-1-3位于上圆盘一6-1-1的上部，圆杆6-1-4中部内部设有方形通孔一，圆杆6-1-4一端固定在上圆盘一6-1-1上，圆杆6-1-4另一端固定在支架6-7上；所述托盘6-2包括上圆盘二6-2-1、补液孔二6-2-2、挡盘二6-2-3、底部连接块6-2-4和方杆6-2-5，上圆盘二6-2-1为圆形，上圆盘二6-2-1与炉体4-1内侧滑动连接，补液孔二6-2-2设有四个，补液孔二6-2-2均匀分布在上圆盘二6-2-1上，挡盘二6-2-3设有四个，挡盘二6-2-3均与分布在上圆盘二6-2-1上，底部连接块6-2-4固定在方杆6-2-5的下部，底部连接块6-2-4上设有螺纹孔，底部连接块6-2-4与螺杆6-3螺纹配合，方杆6-2-5上部连接在上圆盘二6-2-1的下部，挡盘二6-2-3与补液孔一6-1-2相匹配，补液孔二6-2-2与挡盘一6-1-1相匹配；支架6-7两侧设有过渡凸起6-7-1，过渡凸起6-7-1与驱动带6-9相滑动。

S1：第一次补液，通过炉筒机构4两侧设置的补液阀4-5进行首次充液，浮子5-3浮起，检测初始液面高度；

S2：挂晶体，随着晶体的长大，浮子5-3向下移动，发出液面位置信号；

S3：通过补偿机构6首先进行液面的上浮操作，利用底盘6-1和托盘6-2向上推动液体向上移动，进行第一次补偿；

S4：第二次补偿，通过底板6-1与托盘6-2分开，通过补液孔二6-2-2和补液孔一6-1-2向托盘6-2上部补液；

S5：底盘6-1与托盘6-2同步下降，降至最低位置后，再次合并，完成第二次补液操作。

工作原理：首先通过补液阀4-5进行补液操作，液体通过两个补液阀4-5，在经过进料口4-8进入到炉体4-1的下部，在经过补液孔二6-2-2和补液孔一6-1-2进入到托盘6-2上部，直到达到预订液面位置，此时浮子5-3浮起，传感器5-2接收信号，记录此时的液面位置，然后托盘6-2和底盘6-1合并在一起，形成密封结构；在结晶的过程中，电机二6-10转动带动升降螺杆6-8转动，升降螺杆6-8转动带动驱动带6-9转动，驱动带6-9转动带动另一个升降螺杆6-8转动，两个升降螺杆6-8转动带动支架6-7向上移动，支架6-7带动底盘6-1和托盘6-2向上移动，对液面进行补偿，使液面与结晶块之间的位置保持恒定，减少补充新液时对液面的振动，影响结晶；在结晶的过程中，下加热圈4-6和上加热圈4-7对炉体4-1中的液体进行加热，下部的起到预热的作用，随着等待向上补充，以减少两层液体之间的温度差异，为结晶提供稳定的温度环境；当上部液体消耗快结束的时候，浮子5-3将会向下移动，带动传感器5-2工作，使二次补偿开始，电机二6-10反向转动，带动升降螺杆6-8方向转动，升降螺杆6-8带动底盘6-1向下移动，同时电机一6-6转动带动电机齿轮6-5转动，电机齿轮6-5带动中间齿环6-4转动，中间齿环6-4转动带动两个螺杆6-3转动，螺杆6-3转动带动托盘6-2相对与底盘6-1向上移动，此时的状态为底盘6-1向下移动，托盘6-2不动，此时补液孔一6-1-2与挡盘二6-2-3脱离，补液孔二6-2-2与挡盘一6-1-3脱离，底盘6-1下部的液体将会通过补液孔一6-1-2和补液孔二6-2-2进入到托盘6-2的上部，进行二次的补偿，补液孔二6-2-2和补液孔一6-1-2打开后，电机一6-6停止转动，保持底盘6-1与托盘6-2之间的位置关系，此时的运动状态为底盘6-1和托盘6-2同时向下移动，底盘6-1下部的液体向上流动，直到底盘6-1达到设定的最下端位置，电机一6-6反转，使底盘6-1与托盘6-2再次合在一起，使补液孔一6-1-2与挡盘二6-2-3接触闭合，补液孔二6-2-2与挡盘一6-1-3接触闭合，再次进行如第一次补偿时的操作；

在结晶的过程中，电机带动齿轮4-4转动，齿轮4-4转动带动连接架4-2移动，防脱架4-3沿着滑槽1-3移动，防止炉体的脱落，连接架4-2带动炉体4-1向下移动，维持晶体与液面的位置；结晶点位于结晶挂钩2-3上，结晶挂钩2-3可以与挂槽2-2脱离，移出晶块；切换电机2-4转动带动连接皮带2-5转动，连接皮带2-5转动带动切换机构2转动，进行结晶挂钩2-3的切换和晶块的移出；根据需要的晶体的质量选择合适的平衡重物3-6放置在挂杆3-5上，在晶体长大的过程中，驱动电机3-3转动带动主动轮3-2转动，主动轮3-2沿着横齿条2-1移动，调节切换机构2的平衡状态，防止支撑机构1向着结晶方向倾斜，减少结晶方向的改变。

以上通过具体实施方式对本发明进行详细说明，但以上所述的实施方式仅为本发明的较优实施方式而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则范围之内所做的任何修改、组合、等同替换和改进等，均应当包含在本申请的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种单晶炉液面自动测量补偿一体装置，包括支撑机构(1)、切换机构(2)、平衡机构(3)、炉筒机构(4)、液面检测机构(5)和补偿机构(6)，其特征在于：所述切换机构(2)位于支撑机构(1)的上部，切换机构(2)与支撑机构(1)转动连接，平衡机构(3)与切换机构(2)滑动连接，炉筒机构(4)与支撑机构(1)滑动连接，液面检测机构(5)设有两个，液面检测机构(5)固定在炉筒机构(4)的上部两侧，补偿机构(6)与炉筒机构(4)相连接；

所述支撑机构(1)包括底座(1-1)、竖直齿条(1-2)和滑槽(1-3)，所述竖直齿条(1-2)下部固定在底座(1-1)上，竖直齿条(1-2)一侧加工有齿，与齿相邻的两个面上设有滑槽(1-3)；

所述切换机构(2)包括横齿条(2-1)、挂槽(2-2)、结晶挂钩(2-3)、切换电机(2-4)和连接皮带(2-5)，所述横齿条(2-1)上部设有齿，横齿条(2-1)截面为凸形，横齿条(2-1)下部设有圆柱轮，横齿条(2-1)与竖直齿条(1-2)转动连接，所述挂槽(2-2)设有两个，挂槽(2-2)位于横齿条(2-1)的两端，结晶挂钩(2-3)设有两个，结晶挂钩(2-3)与挂槽(2-2)相连接，所述切换电机(2-4)固定在竖直齿条(1-2)上，切换电机(2-4)通过连接皮带(2-5)与横齿条(2-1)相连接；

所述平衡机构(3)包括滑动架(3-1)、主动轮(3-2)、驱动电机(3-3)、配重(3-4)、挂杆(3-5)、平衡重物(3-6)和从动轮(3-7)，滑动架(3-1)与横齿条(2-1)滑动配合，主动轮(3-2)与驱动电机(3-3)相连接，主动轮(3-2)与滑动架(3-1)转动配合，驱动电机(3-3)固定在滑动架(3-1)一侧，配重(3-4)固定在滑动架(3-1)的另一侧，配重(3-4)与驱动电机(3-3)重量相同，位置相对，挂杆(3-5)为圆柱状，挂杆(3-5)固定在滑动架(3-1)的上部，平衡重物(3-6)设有多个，平衡重物(3-6)套在挂杆(3-5)上，从动轮(3-7)与主动轮(3-2)结构相同，从动轮(3-7)与滑动架(3-1)转动连接；

所述炉筒机构(4)包括炉体(4-1)、连接架(4-2)、防脱架(4-3)、齿轮(4-4)、补液阀(4-5)、下加热圈(4-6)、上加热圈(4-7)、进料口(4-8)、测量槽(4-9)、螺纹架(4-10)和通孔(4-11)，所述炉体(4-1)为圆筒状，炉体(4-1)下部设有通孔(4-11)，炉体(4-1)上固定有连接架(4-2)，防脱架(4-3)设有两个，防脱架(4-3)固定在连接架(4-2)的上下两端，防脱架(4-3)与滑槽(1-3)滑动连接，齿轮(4-4)与连接架(4-2)转动连接，齿轮(4-4)与电机相连接，齿轮(4-4)与竖直齿条(1-2)相啮合，补液阀(4-5)设有两个，补液阀(4-5)固定在进料口(4-8)上，进料口(4-8)对称固定在炉体(4-1)上，下加热圈(4-6)位于炉体(4-1)的内侧下部，上加热圈(4-7)位于炉体(4-1)的内侧上部，测量槽(4-9)对称设置在炉体(4-1)的上部，螺纹架(4-10)设有两个，螺纹架(4-10)中部加工有螺纹孔；

所述液面检测机构(5)包括固定架(5-1)、传感器(5-2)和浮子(5-3)，所述固定架(5-1)固定在测量槽(4-9)上，固定架(5-1)中部设有通孔，传感器(5-2)固定在固定架(5-1)上，浮子(5-3)穿过通孔，浮子(5-3)与传感器(5-2)相连接；

所述补偿机构(6)包括底盘(6-1)、托盘(6-2)、螺杆(6-3)、中间齿环(6-4)、电机齿轮(6-5)、电机一(6-6)、支架(6-7)、升降螺杆(6-8)、驱动带(6-9)和电机二(6-10)，底盘(6-1)与通孔(4-11)滑动配合，底盘(6-1)与炉体(4-1)内侧滑动连接，托盘(6-2)与底盘(6-1)滑动连接，托盘(6-2)与炉体(4-1)内侧滑动连接，螺杆(6-3)设有两个，螺杆(6-3)与方块螺纹连接，螺杆(6-3)与支架(6-7)转动连接，螺杆(6-3)与中间齿环(6-4)相啮合，中间齿环(6-4)与底盘(6-1)转动连接，电机齿轮(6-5)与电机一(6-6)相连接，电机齿轮(6-5)与中间齿环(6-4)相啮合，支架(6-7)固定在底盘(6-1)的下部，升降螺杆(6-8)与支架(6-7)转动连接，升降螺杆(6-8)与螺纹架(4-10)螺纹连接，驱动带(6-9)与升降螺杆(6-8)相连接，电机二(6-10)固定在支架(6-7)上，电机二(6-10)与一个螺杆(6-3)相连接；所述底盘(6-1)包括上圆盘一(6-1-1)、补液孔一(6-1-2)、挡盘一(6-1-3)和圆杆(6-1-4)，所述上圆盘一(6-1-1)与炉体(4-1)滑动连接，补液孔一(6-1-2)设有四个，补液孔一(6-1-2)均匀分布在上圆盘一(6-1-1)上，挡盘一(6-1-3)为圆形凸起，挡盘一(6-1-3)位于上圆盘一(6-1-1)的上部，圆杆(6-1-4)中部内部设有方形通孔一，圆杆(6-1-4)一端固定在上圆盘一(6-1-1)上，圆杆(6-1-4)另一端固定在支架(6-7)上；所述托盘(6-2)包括上圆盘二(6-2-1)、补液孔二(6-2-2)、挡盘二(6-2-3)、底部连接块(6-2-4)和方杆(6-2-5)，上圆盘二(6-2-1)为圆形，上圆盘二(6-2-1)与炉体(4-1)内侧滑动连接，补液孔二(6-2-2)设有四个，补液孔二(6-2-2)均匀分布在上圆盘二(6-2-1)上，挡盘二(6-2-3)设有四个，挡盘二(6-2-3)均与分布在上圆盘二(6-2-1)上，底部连接块(6-2-4)固定在方杆(6-2-5)的下部，底部连接块(6-2-4)上设有螺纹孔，底部连接块(6-2-4)与螺杆(6-3)螺纹配合，方杆(6-2-5)上部连接在上圆盘二(6-2-1)的下部，挡盘二(6-2-3)与补液孔一(6-1-2)相匹配，补液孔二(6-2-2)与挡盘一(6-1-1)相匹配；支架(6-7)两侧设有过渡凸起(6-7-1)，过渡凸起(6-7-1)与驱动带(6-9)相滑动。

2.一种单晶炉液面自动测量补偿方法，其采用权利要求1所述的一种单晶炉液面自动测量补偿装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1：第一次补液，通过炉筒机构(4)两侧设置的补液阀(4-5)进行首次充液，浮子(5-3)浮起，检测初始液面高度；

S2：挂晶体，随着晶体的长大，浮子(5-3)向下移动，发出液面位置信号；

S3：通过补偿机构(6)首先进行液面的上浮操作，利用底盘(6-1)和托盘(6-2)向上推动液体向上移动，进行第一次补偿；

S4：第二次补偿，通过底盘(6-1)与托盘(6-2)分开，通过补液孔二(6-2-2)和补液孔一(6-1-2)向托盘(6-2)上部补液；

S5：底板(6-1)与托盘(6-2)同步下降，降至最低位置后，再次合并，完成第二次补液操作。

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