CN114534341A - 流体过滤装置及流体过滤方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种流体过滤装置及流体过滤方法，其中，包括：外层滤芯和目标滤芯；所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数。本发明能够减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种流体过滤装置及流体过滤方法。
背景技术
在半导体加工的过程中，通常需要使用一些流体对晶片的表面进行处理，如清洗液和研磨液等。但是在使用前，为保证晶片的处理效果，通常需要采用过滤的方式对流体内的颗粒的大小进行限定。
然而，现有的在对晶片加工所需要流体进行过滤时，通常由于流体中的杂质颗粒的大小远大于滤芯的孔径的大小，致使滤芯容易发生堵塞的现象，甚至会对滤芯造成损坏，从而影响晶片的加工质量。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供的流体过滤装置及流体过滤方法，通过在目标滤芯的外围周侧设置外层滤芯能够有效的减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯的使用寿命。
第一方面，本发明提供一种流体过滤装置，包括：外层滤芯和目标滤芯；
所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数。
可选地，所述外层滤芯的孔径不小于1微米。
可选地，所述目标滤芯的孔径不大于1纳米。
可选地，所述目标滤芯的材料包括：尼龙。
可选地，所述外层滤芯的材料硬度和强度均大于所述所述目标滤芯的材料硬度和强度；或
所述外层滤芯的材料硬度大于所述目标滤芯的材料强度；或
所述外层滤芯的材料强度均大于所述目标滤芯的材料强度。
可选地，所述流体过滤装置还包括：机壳；
所述机壳套接在所述外层滤芯的外围周侧，所述机壳开设有至少一个进口。
可选地，所述流体过滤装置还包括：密封盖；
所述密封盖固定设置于所述内侧滤芯的两端，所述密封盖用于密封所述内侧滤芯与所述外侧滤芯之间的空隙。
可选地，所述内侧滤芯内开设有空腔；
至少一个密封盖开设有出口，所述出口与所述空腔连通。
可选地，所述流体过滤装置还包括：排送件；
所述排送件用于输送流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯；
所述排送件固定设置在所述出口的位置，或所述排送件固定设置在所述至少一个进口的位置。
第二方面，本发明提供一种流体过滤方法，包括：
提供流体过滤装置，所述流体过滤装置包括：外层滤芯和目标滤芯；所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数；
从所述外层滤芯的外侧输送待过滤流体，使待过滤流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯；
从所述目标滤芯的内侧获取目标流体。
本发明实施例提供的流体过滤装置及流体过滤方法，通过在目标滤芯的外围周侧设置外层滤芯能够在对待过滤流体进行过滤时，有效的减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯的使用寿命。
附图说明
图1为本申请一实施例中为体现外层滤芯和目标滤芯位置关系的结构图；
图2为本申请一实施例的流体过滤装置的剖视图。
附图标记
1、机壳；11、进口；2、密封盖；21、出口；3、排送件；31、排管；32、支架；33、扇叶；4、外层滤芯；5、目标滤芯。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
第一方面，本实施例提供一种流体过滤装置，在本实施中，该流体过滤装置用于过滤研磨液。结合图1和图2，该流体过滤装置包括：机壳1、两个密封盖2、排送件3、外层滤芯4和目标滤芯5。
其中，外层滤芯4套接在目标滤芯5的外围周侧；外层滤芯4的目数大于目标滤芯5的目数；机壳1套接在外层滤芯4的外围周侧，机壳1开设有两个进口11；密封盖2固定设置于内侧滤芯的两端，密封盖2用于密封内侧滤芯与外侧滤芯之间的空隙，同时还用于密封外侧滤芯与机壳1之间的空隙；内侧滤芯内开设有空腔；两个密封盖2均开设有出口21，出口21与空腔连通；排送件3用于输送流体依次经过外层滤芯4和目标滤芯5；排送件3分别固定设置在两个出口21的位置，或排送件3分别固定设置在两个进口11的位置。
通过在目标滤芯5的外围周侧设置外层滤芯4能够在对待过滤流体进行过滤时，保证高质量的过滤效果，且能够有效的减少堵塞现象的发生，从而能够延长目标滤芯5的使用寿命，缩短过滤周期，降低成本。通过设置机壳1和密封盖2能够限定流体的流动路径，保证经过该流体过滤装置的流体都能够有效的进行过滤。设置排送件3能够加快流体在过滤装置中的流动速度。
进一步的，外层滤芯4的孔径不小于1微米；目标滤芯5的孔径不大于1纳米；外层滤芯4的材料硬度和强度均大于目标滤芯5的材料硬度和强度，或外层滤芯4的材料硬度大于目标滤芯5的材料强度，或
外层滤芯4的材料强度均大于目标滤芯5的材料强度；目标滤芯5的材料包括：尼龙；外层滤芯4的材料包括：不锈钢、尼龙和铁。
在本实施例中，外层滤芯4的孔径为1微米；目标滤芯5的孔径为1纳米；目标滤芯5的材料为尼龙；外层滤芯4的材料为不锈钢；外层滤芯4和目标滤芯5均为筒状结构，其中目标滤芯5的横截面为不规则环形结构，在本实施例中目标滤芯5的横截面为为七角星结构如此能够增加目标滤芯5的表面积，同等压强下能欧有效的减小流体对目标滤芯5的冲击力，外层滤芯4的横截面为圆环结构；两个进口11对称设置于机壳1沿长度方向的中间位置处。
在一种可选的实施例中，排送件3包括：排管31、支架和扇叶32。排管31的一端与密封盖2固定连接，且排管31与对应的出口21连通；支架和扇叶32均设置于排管31内，且支架与排管31固定连接，扇叶32与支架转动连接；扇叶32可通过外接电机带动转动，也可通过流体的流动自由转动，从而对流体起到推动的效果。
第二方面，本实施例提供一种流体过滤方法，包括：提供流体过滤装置，流体过滤装置包括：外层滤芯4和目标滤芯5；外层滤芯4套接在目标滤芯5的外围周侧，外层滤芯4的目数大于目标滤芯5的目数；从外层滤芯4的外侧输送待过滤流体，使待过滤流体依次经过外层滤芯4和目标滤芯5；从目标滤芯5的内侧获取目标流体。
该流体过滤方法通过使用上述流体过滤装置，能够通过在目标滤芯5的外围周侧设置外层滤芯4能够在对待过滤流体进行过滤时，有效的减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯5的使用寿命。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种流体过滤装置，其特征在于，包括：外层滤芯和目标滤芯；
所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数。
2.根据权利要求1所述的流体过滤装置，其特征在于，所述外层滤芯的孔径不小于1微米。
3.根据权利要求1所述的流体过滤装置，其特征在于，所述目标滤芯的孔径不大于1纳米。
4.根据权利要求1所述的流体过滤装置，其特征在于，所述目标滤芯的材料包括：尼龙。
5.根据权利要求1所述的流体过滤装置，其特征在于，所述外层滤芯的材料硬度和强度均大于所述所述目标滤芯的材料硬度和强度；或
所述外层滤芯的材料硬度大于所述目标滤芯的材料强度；或
所述外层滤芯的材料强度均大于所述目标滤芯的材料强度。
6.根据权利要求1所述的流体过滤装置，其特征在于，所述流体过滤装置还包括：机壳；
所述机壳套接在所述外层滤芯的外围周侧，所述机壳开设有至少一个进口。
7.根据权利要求6所述的流体过滤装置，其特征在于，所述流体过滤装置还包括：密封盖；
所述密封盖固定设置于所述内侧滤芯的两端，所述密封盖用于密封所述内侧滤芯与所述外侧滤芯之间的空隙。
8.根据权利要求7所述的流体过滤装置，其特征在于，所述内侧滤芯内开设有空腔；
至少一个密封盖开设有出口，所述出口与所述空腔连通。
9.根据权利要求8所述的流体过滤装置，其特征在于，所述流体过滤装置还包括：排送件；
所述排送件用于输送流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯；
所述排送件固定设置在所述出口的位置，或所述排送件固定设置在所述至少一个进口的位置。
10.一种流体过滤方法，其特征在于，包括：
提供流体过滤装置，所述流体过滤装置包括：外层滤芯和目标滤芯；所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数；
从所述外层滤芯的外侧输送待过滤流体，使待过滤流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯；
从所述目标滤芯的内侧获取目标流体。
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| CN107551628A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-01-09 | 德清国能过滤器材有限公司 | 一种可拆卸熔喷滤芯结构 |
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| CN209188374U (zh) * | 2018-09-18 | 2019-08-02 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种可拆卸机械滤芯及过滤装置 |
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