CN114526233A - 罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法，包括主动转子组合、从动转子组合与泵体组合，主动转子组合包括中部加工有主动螺杆转子体的主动转子轴和套装在主动前端轴的主动罗茨转子体；从动转子组合包括中部加工有从动螺杆转子体的从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体；泵体组合包括依次相互密封连接的前端板、罗茨泵体、中隔板、螺杆泵体、后泵体和后端板；罗茨级设置了罗茨级溢流阀和溢流通道，中隔板设置了返流阀和返流通道，螺杆级设置进气阀板、泄流阀、泄流通道和带有清渣口的存渣室。本发明在实际应用中能够替代常规罗茨‑螺杆真空机组，具有高效节能、耐粉尘污染、结构简单、成本低廉、运行方便特点。

Description

罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法

技术领域

本发明属于真空泵技术领域，尤其涉及一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法。

背景技术

由无油螺杆真空泵和罗茨泵组成的罗茨-螺杆干式真空泵机组，与单一螺杆泵相比，具有更高的极限真空度和更宽的工作压力范围，被广泛应用于半导体、医药、食品、化工等众多工业领域。常规的罗茨-螺杆真空机组，都是由两台独立的罗茨泵和螺杆泵串联构成，罗茨泵和螺杆泵分别由各自的电动机驱动，并常常需要由两个独立的变频器分别供电和控制。这种常规的罗茨-螺杆真空机组构成方式，对于一些要求抽气量小、但极限压力属于中真空范围的情况，尤其是供实验室和小型真空机械使用时，存在着结构复杂、占用空间大、两台电机和两台变频器成本高等缺点，还常常发生选不到合适型号的两种泵等问题。

将罗茨转子与螺杆转子直接串联在同一根转轴上、由一台电动机直接驱动的复合式真空泵，原理上具有结构简单、成本低廉、运行方便、抽气性能能够代替罗茨-螺杆无油真空机组的新型真空泵。但在实际运行中，会存在以下问题，一是在罗茨-螺杆干式真空机组的许多工程应用领域中，如半导体、太阳能、冶金、化工医药等行业，都常常存在着被抽气体中含有固体粉尘或会凝结成固体颗粒的蒸汽，这些被气体带入泵腔或在泵腔内生成的固体粉尘颗粒会积存在螺杆泵泵腔之内或黏附在螺杆转子之上，造成转子或泵腔的污染、摩擦与卡滞，影响运行安全。实际上，因固体粉尘造成螺杆转子卡滞，是螺杆泵最常见的故障之一。二是罗茨-螺杆抽速比不能过大、电动机功率配置偏大和高入口压力下抽速降低功耗增大问题，因为在启动阶段及入口压力偏高的运行阶段，经罗茨泵压缩后的气体压力升高，即使经过中间泄压阀分流，螺杆转子的入口压力也始终处于高于大气压力的过载荷状态，这样导致罗茨级和螺杆级同时处于高负荷工作状态，因此必须整机配置大功率电动机，在高压力下变频降速运行使实际抽速大大降低，而且功耗大增，抽气效率下降。正是由于这些原因，导致由罗茨转子和螺杆转子串联的这种复合干式真空泵，至今未能得以实际生产和使用。

针对这些情况，迫切需要一种能够充分发挥罗茨-螺杆复合式干式真空泵的优点、同时避免上述弊端影响的罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明提供一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵及使用方法，具有与罗茨-螺杆真空机组相似的抽气性能，耐粉尘污染，能够在实际应用中替代常规罗茨-螺杆真空机组，同时具有结构简单、成本低廉、运行方便、高效节能的特点。

罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，包括主动转子组合、从动转子组合与泵体组合，所述主动转子组合包括中部加工有主动螺杆转子体的主动转子轴和套装在主动前端轴的主动罗茨转子体，主动前端轴同轴连接在主动转子轴前端；从动转子组合包括中部加工有从动螺杆转子体的从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体，从动前端轴同轴连接在主从动转子轴前端；泵体组合包括依次相互密封连接的前端板、罗茨泵体、中隔板、螺杆泵体、后泵体和后端板，后泵体后部为齿轮箱，主动转子轴由齿轮箱后部的电动机驱动；主动罗茨转子体、动罗茨转子体安装在罗茨泵体内部，主动螺杆转子体、从动螺杆转子体安装在螺杆泵体内部；

罗茨泵体上方正中部开设有复合干式真空泵的进气口和通向中隔板一侧的返流通道一；罗茨泵体下方正中部开设有罗茨级排气腔，罗茨级排气腔通向中隔板一侧开设有罗茨级出气口，罗茨级排气腔通向前端板一侧开设有罗茨级溢流口；罗茨级排气腔底部有清理口底板；

所述前端板上与罗茨级溢流口相对处开设有弯转向上的罗茨溢流通道，在罗茨溢流通道的水平阀口上安装有溢流阀板，罗茨溢流阀板下方设有触点开关，罗茨溢流通道的出口连接至前端板上的总排气通道，总排气通道与后泵体上的总排气口相连通；

中隔板上部与返流通道一相对处开设有返流通道二，返流通道一与返流通道二相通；中隔板下部与罗茨级出气口相对处开设有进气通道；

螺杆泵体靠近中隔板一侧上部开设有返流口，返流口顶部连接有返流阀，返流口通过返流阀与中隔板的返流通道二相通；螺杆泵体靠近中隔板一侧下部正中位置开设有螺杆级进气口，与中隔板的进气通道和螺杆转子内腔相连通；螺杆级进气口下方设置有进气阀板，进气阀板头部安装有磁性块，磁性块下部对应位置处设置有电磁线圈；在螺杆泵体上部正中位置，加工有一个或多个泄流口，泄流口上方安置有泄流阀；泄流口上方与螺杆泵体内部周向开设的泄流通道相通，泄流通道通过后泵体内部的后泵体排气腔与总排气口连通，总排气口开设在后泵体排气腔的下部；螺杆泵体下部对应主动螺杆转子体和从动螺杆转子体轴线的正下方，分别加工有一个或多个排渣口，排渣口下方有彼此独立的存渣室，分别用清渣盖板密封。

所述罗茨泵体的内部加工有用于安放主动罗茨转子体和从动罗茨转子体的8字形罗茨转子内腔。

所述溢流阀板依靠自重保持罗茨溢流通道常闭状态，当溢流阀板落下处于闭合状态时，触点开关处于断开状态，当罗茨溢流通道内气体压力大于总排气通道中的气体压力时，气体会推开溢流阀板流入总排气通道之中，同时触点开关处于接通状态。

所述中隔板内部开设有前主动轴承座孔和前从动轴承座孔，所述后泵体内部中间开设有后主动轴承座孔和后从动轴承座孔。

所述螺杆泵体的内部加工有用于安放主动螺杆转子体和从动螺杆转子体的8字形螺杆转子内腔。

所述返流阀处于常闭状态且返流阀上盖可开启、压力可调。

所述进气阀板为非磁性材料制成。

所述进气阀板依靠重力处于常开状态，当电磁线圈通电后，吸引磁性块移动，带动进气阀板转动，从而关闭进气通道。

所述泄流阀为轻质橡胶球，依靠自重使泄流口处于常闭状态。

上述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵的使用方法，具体包括以下步骤：

(一)启动电动机，电动机带动主动转子轴转动，主动同步齿轮驱动从动同步齿轮进而带动从动转子轴与主动转子轴同步反向旋转；主动螺杆转子体、从动螺杆转子体相互无接触啮合；

(二)在泵内不出现气体过压缩情况下的常规抽气阶段，被抽气体从进气口流入，被罗茨转子体压缩后依次流经罗茨级排气腔、罗茨级出气口、中隔板的进气通道和螺杆级进气口进入螺杆转子内腔，进而被螺杆转子抽除和压缩后，经总排气口排出泵外；

(三)如果进气压力过高，罗茨级排气腔中气体压力超过罗茨溢流阀的溢流排气压力，气体会自动推开溢流阀板，经罗茨溢流通道进入总排气通道，然后从后泵体的总排气口直接排出泵外；与此同时，溢流阀板下面的触点开关进入连通状态，从而使进气阀板的电磁线圈通电，电磁场力吸引进气阀板头部的磁性块动作，带动进气阀板将进气通道关闭，阻止气体进入螺杆泵体的螺杆转子内腔；当进气压力降低、罗茨级排气腔中气体压力低于罗茨溢流阀的溢流排气压力时，溢流阀板自动关闭，同时触点开关转为断开状态，进气阀的电磁线圈失电，电磁力消失，进气阀板自动恢复打开状态；

如果螺杆级进气口与进气口之间的气体压力差大于设定的返流压力值时，气体会自动推开返流阀，经中隔板的返流口经返流通道二和罗茨泵体的返流通道一返回到进气口；当螺杆级进气口与罗茨级进气口之间的气体压力差低于设定的返流压力值时，返流阀自动恢复关闭；

(四)如果被抽气体经螺杆转子体的压缩后，在螺杆转子内腔某处气体压力超过泄流排气压力，气体会自动推开该处附近泄流口上方的轻质橡胶球泄流阀，经泄流通道进入后泵体排气腔，然后从总排气口直接排出泵外；当该处进气压力下降后，该泄流口上方的泄流阀自动复位关闭泄流口，气体全部由螺杆转子抽除；

在全部抽气过程中，如果有气体携带而来或在泵内凝结产生的固体颗粒成分，可以自然沉降在罗茨级排气腔中，或者在螺杆转子体的推动下，经螺杆泵体下部的排渣口进入存渣室中，等待打开清渣盖板定期清理。

本发明的有益效果是：

1.本发明设置了大空间的罗茨级排气腔和螺杆级的排渣口与存渣室，当由气体携带或在泵内凝结产生的固体颗粒成分时，可以自然沉降在罗茨级排气腔中，或者在螺杆转子体的推动下，经螺杆泵体下部的排渣口进入存渣室中，等待定期清理，这可以大大降低转子卡滞的故障风险，提高安全运行的可靠性。

2.本发明设置了罗茨级溢流阀和溢流通道，可以在大气压力下直接全速启动，气体直接排向排气口而不经过螺杆级转子，因此不必像常规罗茨-螺杆真空机组那样需要降速运行，大大提高了入口气体高压力阶段的抽气速率。

4.本发明设置了返流通道和返流阀，可以限制罗茨转子两侧的气体压力差不高于罗茨转子允许承受的设定值，从而保护罗茨转子不发生过热和电动机超载，安全性大大增强。

3.本发明设置了自动控制的进气阀板，当罗茨级转子通过溢流阀板处于溢流排气状态时，螺杆级转子几乎不排气，从而大大降低了因螺杆级进气口压力过高所产生的巨大功耗，复合式真空泵整机所配置的电动机容量也因此减小，节能效果十分明显。

5.本发明螺杆级设置了泄流通道，可以有效避免螺杆转子的过压缩现象发生，可以进一步降低抽气功耗，提高抽气效率。

6.本发明采用罗茨转子与螺杆转子同轴串联的结构，所构成的复合式干式真空泵，其抽气性能与普通罗茨-螺杆真空机组相当，能够在实际应用中替代常规罗茨-螺杆真空机组。但与由独立的罗茨泵和螺杆泵组装而成的常规真空机组相比，本发明少使用了一台电动机、一套同步(齿轮)驱动系统、一个齿轮(油)箱，以及相关泵体等辅助部件，总体制造成本明显降低，具有结构简单、成本低廉、体积小、重量轻、安装位置灵活、运行方便的特点。

附图说明

图1为本发明的俯视剖视图；

图2为图1的A-A向视图；

图3为图2的B-B向视图；

图4为图2的C-C向视图；

图5为图2的D-D向视图；

其中，

1主动转子组合，2从动转子组合，3泵体组合，11主动转子轴，12主动罗茨转子体，13主动前端轴，14主动后端轴，15主动螺杆转子体，21从动转子轴，22从动罗茨转子体，23从动前端轴，24从动后端轴，25从动螺杆转子体，31前端板，32罗茨溢流通道，33，溢流阀板，34总排气通道，35触点开关，41罗茨泵体，42进气口，43返流通道一，44罗茨级排气腔，45罗茨级出气口，46罗茨级溢流口，47清理口底板，51中隔板，52返流通道二，53进气通道，54前主动轴承座孔，55前从动轴承座孔，56进气阀板，57磁性块，58电磁线圈，61螺杆泵体，62螺杆转子内腔，63返流口，64返流阀，65螺杆级进气口，66泄流口，67泄流阀，68泄流通道，71后泵体，72总排气口，73后主动轴承座孔，74后从动轴承座孔，75后泵体排气腔，76排渣口，77存渣室，78清渣盖板，81齿轮箱，82主动同步齿轮，83从动同步齿轮，84联轴器，85电动机，86后端板。

具体实施方式

为了更好的解释本发明，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本发明的技术方案和效果作详细描述。

如图1-5所示，一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，包括主动转子组合1、从动转子组合2与泵体组合3，所述主动转子组合1包括中部加工有主动螺杆转子体15的主动转子轴11和套装在主动前端轴13的主动罗茨转子体12，主动前端轴13同轴连接在主动转子轴11前端；从动转子组合2包括中部加工有从动螺杆转子体25的从动转子轴21和套装在从动前端轴23的从动罗茨转子体22，从动前端轴23同轴连接在主从动转子轴21前端；泵体组合3包括依次相互密封连接的前端板31、罗茨泵体41、中隔板51、螺杆泵体61、后泵体71和后端板86，主动罗茨转子体12、动罗茨转子体安装在罗茨泵体41内部，主动螺杆转子体15、从动螺杆转子体25安装在螺杆泵体61内部。

所述罗茨泵体41的内部加工有8字形罗茨转子内腔，用于安放主动罗茨转子体12和从动罗茨转子体22，罗茨泵体41上方正中部开设有复合干式真空泵的进气口42和通向中隔板51一侧的返流通道一43；罗茨泵体41下方正中部开设有罗茨级排气腔44，罗茨级排气腔44通向中隔板51一侧开设有罗茨级出气口45，罗茨级排气腔44通向前端板31一侧开设有罗茨级溢流口46；罗茨级排气腔44底部有清理口底板47。

所述前端板31上与罗茨级溢流口46相对处开设有弯转向上的罗茨溢流通道32，在罗茨溢流通道32的水平阀口上安装有溢流阀板33，罗茨溢流通道32的出口连接至复合干式真空泵的前端板31上的总排气通道34，总排气通道34与后泵体71上的总排气口72相连通，溢流阀板33依靠自重保持罗茨溢流通道32常闭状态，溢流阀板33下方设有触点开关35，当溢流阀板33落下处于闭合状态时，触点开关35处于断开状态，当罗茨溢流通道32内气体压力大于总排气通道34中的气体压力时，气体会推开溢流阀板33流入总排气通道34之中，同时触点开关35处于接通状态。

所述中隔板51内部开设有前主动轴承座孔54和前从动轴承座孔55；中隔板51上部与返流通道一43相对处开设有返流通道二52，返流通道一43与返流通道二52相通；中隔板51下部与罗茨级出气口45相对处开设有进气通道53。

所述螺杆泵体61的内部加工有8字形螺杆转子内腔62，用于安放主动螺杆转子体15和从动螺杆转子体25，8字形螺杆转子内腔62与后泵体71上的总排气口72相连通；螺杆泵体61靠近中隔板51一侧上部开设有返流口63，返流口63顶部连接有返流阀64，返流阀64处于常闭状态且返流阀64上盖可开启、压力可调，返流口63通过返流阀64与中隔板51的返流通道二52相通；螺杆泵体61靠近中隔板51一侧下部正中位置开设有螺杆级进气口65，与中隔板51的进气通道53和螺杆转子内腔62相连通；螺杆级进气口65下方设置有非磁性材料制成的进气阀板56，进气阀板56头部安装有磁性块57，磁性块57下部对应位置处设置有电磁线圈58，进气阀板56依靠重力处于常开状态，当电磁线圈58通电后，吸引磁性块57移动，带动进气阀板56转动，从而关闭进气通道53；在螺杆泵体61上部正中位置，依据螺杆转子体的螺旋展开方式，加工有一个或多个泄流口66，本实施例中加工有一个泄流口66，泄流口66上方安置轻质橡胶球作为泄流阀67，泄流阀67依靠自重使泄流口66处于常闭状态；泄流口66上方与螺杆泵体61内部周向开设的泄流通道68相通，泄流通道68通过后泵体71内部的后泵体排气腔75与总排气口72连通，总排气口72开设在后泵体排气腔75的下部。

所述螺杆泵体61下部对应主动螺杆转子体15和从动螺杆转子体25轴线的正下方，依据螺杆转子体的螺旋展开方式，分别加工有一个或多个排渣口76，本实施例中加工有两个排渣口76，排渣口76下方有彼此独立的存渣室77，分别用清渣盖板78密封。

所述后泵体71内部中间开设有后主动轴承座孔73和后从动轴承座孔74；后泵体排气腔75周向开设在后泵体71内部，后泵体排气腔75上部与螺杆泵体61的泄流通道68相通，后泵体排气腔75下部与总排气口72连通，后泵体71后部为齿轮箱81，主动转子轴11由齿轮箱81后部的电动机85驱动。

所述主动转子组合1中的主动转子轴11上的螺杆转子体，通过安装在中隔板51前主动轴承座孔54和后泵体71后主动轴承座孔73内的轴承，支撑于螺杆泵体61的主动转子腔内，主动前端轴13透过中隔板51伸入罗茨泵体41内，主动罗茨转子体12套装其上并利用销钉固定；所述从动转子组合2中的从动转子轴21上的螺杆转子体，通过安装在中隔板51前从动轴承座孔55和后泵体71后从动轴承座孔74内的轴承，支撑于螺杆泵体61的从动转子腔内，从动前端轴23透过中隔板51伸入罗茨泵体41内，从动罗茨转子体22套装其上并利用销钉固定。主动转子组合1与从动转子组合2的安装位置同时满足无接触同步啮合原则。主动转子轴11后端同轴连接有主动后端轴14，伸入后泵体71内，从动转子轴21后端同轴连接有从动后端轴24，伸入后泵体71内，主动同步齿轮82和从动同步齿轮83分别固定在主动后端轴14和从动后端轴24上，位于后泵体71的齿轮箱81中，二者互相啮合；主动后端轴14的末段穿过齿轮箱81后部的后端板86通过联轴器84与电动机85主轴连接，从而实现电动机85驱动主动转子轴11。

上述一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵的使用方法，具体如下：

(一)启动电动机85，电动机85通过联轴器84带动主动转子轴11转动，主动同步齿轮82驱动从动同步齿轮83进而带动从动转子轴21与主动转子轴11同步反向旋转；主动螺杆转子体15、从动螺杆转子体25相互无接触啮合，主动罗茨转子体12、从动罗茨转子体22相互无接触啮合，实现抽气功能。

(二)在泵内不出现气体过压缩情况下的常规抽气阶段，被抽气体从进气口42流入，被罗茨转子体压缩后依次流经罗茨级排气腔44、罗茨级出气口45、中隔板51的进气通道53和螺杆级进气口65进入螺杆转子内腔62，进而被螺杆转子抽除和压缩后，经总排气口72排出泵外。

(三)如果进气压力过高，罗茨级排气腔44中气体压力超过罗茨溢流阀的溢流排气压力，气体会自动推开溢流阀板33，经罗茨溢流通道32进入总排气通道34，然后从后泵体71的总排气口72直接排出泵外；罗茨溢流阀的溢流排气压力是总排气通道34及总排气口72内气体压力与溢流阀板33产生压力之和。与此同时，溢流阀板33下面的触点开关35进入连通状态，从而使进气阀板56的电磁线圈58通电，电磁场力吸引进气阀板56头部的磁性块57动作，带动进气阀板56将进气通道53关闭，阻止气体进入螺杆泵体61的螺杆转子内腔62；当进气压力降低、罗茨级排气腔44中气体压力低于罗茨溢流阀的溢流排气压力时，溢流阀板33自动关闭，同时触点开关35转为断开状态，进气阀的电磁线圈58失电，电磁力消失，进气阀板56自动恢复打开状态。

如果螺杆级进气口65与进气口42之间的气体压力差大于设定的返流压力值时，气体会自动推开返流阀64，经中隔板51的返流口63经返流通道二52和罗茨泵体41的返流通道一43返回到进气口42，从而限制罗茨转子两侧的压力差；返流压力是罗茨转子进排气两侧所允许的最大压力差。当螺杆级进气口65与罗茨级进气口之间的气体压力差低于设定的返流压力值时，返流阀64自动恢复关闭。

(四)如果被抽气体经螺杆转子体的压缩后，在螺杆转子内腔62某处气体压力超过泄流排气压力，气体会自动推开该处附近泄流口66上方的轻质橡胶球泄流阀67，经泄流通道68进入后泵体排气腔75，然后从总排气口72直接排出泵外；泄流排气压力是总排气通道34及总排气口72内气体压力与泄流球阀产生压力之和。当该处进气压力下降后，该泄流口66上方的轻质橡胶球泄流阀67自动复位关闭泄流口66，气体全部由螺杆转子抽除。

在全部抽气过程中，如果有气体携带而来或在泵内凝结产生的固体颗粒成分，可以自然沉降在罗茨级排气腔44中，或者在螺杆转子体的推动下，经螺杆泵体61下部的排渣口76进入存渣室77中，等待打开清渣盖板78定期清理。

Claims (10)

1.罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：包括主动转子组合、从动转子组合与泵体组合，所述主动转子组合包括中部加工有主动螺杆转子体的主动转子轴和套装在主动前端轴的主动罗茨转子体，主动前端轴同轴连接在主动转子轴前端；从动转子组合包括中部加工有从动螺杆转子体的从动转子轴和套装在从动前端轴的从动罗茨转子体，从动前端轴同轴连接在主从动转子轴前端；泵体组合包括依次相互密封连接的前端板、罗茨泵体、中隔板、螺杆泵体、后泵体和后端板，后泵体后部为齿轮箱，主动转子轴由齿轮箱后部的电动机驱动；主动罗茨转子体、动罗茨转子体安装在罗茨泵体内部，主动螺杆转子体、从动螺杆转子体安装在螺杆泵体内部；

罗茨泵体上方正中部开设有复合干式真空泵的进气口和通向中隔板一侧的返流通道一；罗茨泵体下方正中部开设有罗茨级排气腔，罗茨级排气腔通向中隔板一侧开设有罗茨级出气口，罗茨级排气腔通向前端板一侧开设有罗茨级溢流口；罗茨级排气腔底部有清理口底板；

所述前端板上与罗茨级溢流口相对处开设有弯转向上的罗茨溢流通道，在罗茨溢流通道的水平阀口上安装有溢流阀板，罗茨溢流阀板下方设有触点开关，罗茨溢流通道的出口连接至前端板上的总排气通道，总排气通道与后泵体上的总排气口相连通；

中隔板上部与返流通道一相对处开设有返流通道二，返流通道一与返流通道二相通；中隔板下部与罗茨级出气口相对处开设有进气通道；

螺杆泵体靠近中隔板一侧上部开设有返流口，返流口顶部连接有返流阀，返流口通过返流阀与中隔板的返流通道二相通；螺杆泵体靠近中隔板一侧下部正中位置开设有螺杆级进气口，与中隔板的进气通道和螺杆转子内腔相连通；螺杆级进气口下方设置有进气阀板，进气阀板头部安装有磁性块，磁性块下部对应位置处设置有电磁线圈；在螺杆泵体上部正中位置，加工有一个或多个泄流口，泄流口上方安置有泄流阀；泄流口上方与螺杆泵体内部周向开设的泄流通道相通，泄流通道通过后泵体内部的后泵体排气腔与总排气口连通，总排气口开设在后泵体排气腔的下部；螺杆泵体下部对应主动螺杆转子体和从动螺杆转子体轴线的正下方，分别加工有一个或多个排渣口，排渣口下方有彼此独立的存渣室，分别用清渣盖板密封。

2.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述罗茨泵体的内部加工有用于安放主动罗茨转子体和从动罗茨转子体的8字形罗茨转子内腔。

3.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述溢流阀板依靠自重保持罗茨溢流通道常闭状态，当溢流阀板落下处于闭合状态时，触点开关处于断开状态，当罗茨溢流通道内气体压力大于总排气通道中的气体压力时，气体会推开溢流阀板流入总排气通道之中，同时触点开关处于接通状态。

4.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述中隔板内部开设有前主动轴承座孔和前从动轴承座孔，所述后泵体内部中间开设有后主动轴承座孔和后从动轴承座孔。

5.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述螺杆泵体的内部加工有用于安放主动螺杆转子体和从动螺杆转子体的8字形螺杆转子内腔。

6.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述返流阀处于常闭状态且返流阀上盖可开启、压力可调。

7.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述进气阀板为非磁性材料制成。

8.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述进气阀板依靠重力处于常开状态，当电磁线圈通电后，吸引磁性块移动，带动进气阀板转动，从而关闭进气通道。

9.根据权利要求1所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵，其特征在于：所述泄流阀为轻质橡胶球，依靠自重使泄流口处于常闭状态。

10.权利要求1-9任一项所述的一种罗茨转子和螺杆转子串联的复合干式真空泵的使用方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

(一)启动电动机，电动机带动主动转子轴转动，主动同步齿轮驱动从动同步齿轮进而带动从动转子轴与主动转子轴同步反向旋转；主动螺杆转子体、从动螺杆转子体相互无接触啮合；

(二)在泵内不出现气体过压缩情况下的常规抽气阶段，被抽气体从进气口流入，被罗茨转子体压缩后依次流经罗茨级排气腔、罗茨级出气口、中隔板的进气通道和螺杆级进气口进入螺杆转子内腔，进而被螺杆转子抽除和压缩后，经总排气口排出泵外；

(三)如果进气压力过高，罗茨级排气腔中气体压力超过罗茨溢流阀的溢流排气压力，气体会自动推开溢流阀板，经罗茨溢流通道进入总排气通道，然后从后泵体的总排气口直接排出泵外；与此同时，溢流阀板下面的触点开关进入连通状态，从而使进气阀板的电磁线圈通电，电磁场力吸引进气阀板头部的磁性块动作，带动进气阀板将进气通道关闭，阻止气体进入螺杆泵体的螺杆转子内腔；当进气压力降低、罗茨级排气腔中气体压力低于罗茨溢流阀的溢流排气压力时，溢流阀板自动关闭，同时触点开关转为断开状态，进气阀的电磁线圈失电，电磁力消失，进气阀板自动恢复打开状态；

如果螺杆级进气口与进气口之间的气体压力差大于设定的返流压力值时，气体会自动推开返流阀，经中隔板的返流口经返流通道二和罗茨泵体的返流通道一返回到进气口；当螺杆级进气口与罗茨级进气口之间的气体压力差低于设定的返流压力值时，返流阀自动恢复关闭；

(四)如果被抽气体经螺杆转子体的压缩后，在螺杆转子内腔某处气体压力超过泄流排气压力，气体会自动推开该处附近泄流口上方的轻质橡胶球泄流阀，经泄流通道进入后泵体排气腔，然后从总排气口直接排出泵外；当该处进气压力下降后，该泄流口上方的泄流阀自动复位关闭泄流口，气体全部由螺杆转子抽除；

在全部抽气过程中，如果有气体携带而来或在泵内凝结产生的固体颗粒成分，可以自然沉降在罗茨级排气腔中，或者在螺杆转子体的推动下，经螺杆泵体下部的排渣口进入存渣室中，等待打开清渣盖板定期清理。

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