CN114496856A - 一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及涂胶显影机技术领域，且公开了一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法，解决了现有的涂胶显影机自动化程度低，每次硅片的取放都很麻烦，功能比较单一，涂胶时，效率较为低下，不便于实际操作的问题，其包括控制箱，所述控制箱的上方设有若干旋转盘，旋转盘的顶部开设有放置槽，控制箱的顶部固定连接有两个侧板，控制箱的上方设有两个固定座，固定座的下方设有涂胶器本体，涂胶器本体和固定座通过液压伸缩缸连接，两个侧板之间设有与固定座相配合的驱动组件，控制箱内设有若干第一转轴；硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，提高了工作效率，可以使得放置槽内的硅片脱离出来，便于取出硅片。

Description

一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法
技术领域
本发明属于涂胶显影机技术领域，具体为一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法。
背景技术
涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺；光刻胶涂布的过程一般包括将硅片安置于涂胶显影机，由涂胶显影机的光刻胶喷嘴向硅片表面喷上光刻胶。
现有的涂胶显影机自动化程度低，每次硅片的取放都很麻烦，功能比较单一，涂胶时，效率较为低下，不便于实际操作。
发明内容
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法，有效的解决了上述背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种涂胶显影机平整涂胶的装置，包括控制箱，所述控制箱的上方设有若干旋转盘，旋转盘的顶部开设有放置槽，控制箱的顶部固定连接有两个侧板，控制箱的上方设有两个固定座，固定座的下方设有涂胶器本体，涂胶器本体和固定座通过液压伸缩缸连接，两个侧板之间设有与固定座相配合的驱动组件，控制箱内设有若干第一转轴，第一转轴的底端与控制箱的底部内壁通过第一轴承连接，第一转轴的顶端贯穿控制箱的顶部内壁，第一转轴的顶部与旋转盘的底部固定连接，控制箱上设有与旋转盘相配合的旋转顶出组件；
旋转顶出组件包括设置于控制箱上方的推板，推板位于旋转盘和控制箱之间，且第一转轴贯穿推板，第一转轴的外部套设有活动环，活动环的顶部固定连接有若干顶出杆，顶出杆的外部套设有压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别与旋转盘和活动环固定连接，放置槽的底部内壁开设有若干通孔，第一转轴的外部套设有蜗轮，控制箱内设有蜗杆，蜗杆的一端与控制箱的一侧内壁通过第二轴承连接，蜗杆的另一端贯穿控制箱的另一侧内壁，且蜗杆的一端固定连接有第一锥形齿轮，第一锥形齿轮的一侧设有第二转轴，第二转轴的外部套设有第二锥形齿轮，第二转轴的下方设有驱动电机，驱动电机的底部与控制箱的底部通过电机座固定连接，第二转轴和驱动电机的输出端通过伸缩单元连接，第二转轴和推板通过升降传动组件连接；
升降传动组件包括设置于控制箱顶部的第一螺纹柱和定位柱，第一螺纹柱的底端与控制箱通过第三轴承连接，定位柱与控制箱固定连接，第一螺纹柱和定位柱均贯穿推板，第一螺纹柱与推板的连接方式为螺纹连接，第一螺纹柱的顶部固定连接有齿轮，第二转轴的外部套设有齿轮环，第二转轴的上方设有第一活动板，第二转轴和第一活动板通过第四轴承连接，第一活动板和其中一个侧板通过卡接组件连接，第一活动板和齿轮通过定位单元连接。
优选的，所述卡接组件包括开设于第一活动板一侧的第一凹槽，第一凹槽内设有第二活动板，第二活动板的一端与第一凹槽的一侧内壁通过若干拉伸弹簧连接，第二活动板的一侧固定连接有连接板，连接板的一侧固定连接有限位板，其中一个侧板的一侧开设有两个限位槽。
优选的，所述限位板的一端位于其中一个限位槽内，连接板的一侧固定连接有拉环。
优选的，所述伸缩单元包括开设于第二转轴底部的第二凹槽，第二凹槽内设有第一固定柱，第一固定柱的底端与驱动电机的输出端连接，第二凹槽的内壁上开设有两个矩形孔，矩形孔内设有限位块，限位块与第一固定柱固定连接。
优选的，所述定位单元包括开设于齿轮顶部的卡槽，卡槽内设有卡板，卡板的顶部与第一活动板的底部通过连接柱连接。
优选的，所述驱动组件包括设置于两个侧板之间的双轴电机，双轴电机和控制箱通过支撑架连接，双轴电机的两个输出端均设有第二螺纹柱，第二螺纹柱与侧板通过第五轴承连接，两个侧板之间设有两个活动座，侧板和支撑架通过第二固定柱连接，第二螺纹柱和第二固定柱均贯穿活动座，第二螺纹柱和活动座的连接方式为螺纹连接。
优选的，所述支撑架为L形结构，两个第二螺纹柱上的螺纹方向相反。
优选的，所述顶出杆的顶端位于通孔内，推板位于活动环的下方，蜗轮和蜗杆相啮合，第一锥形齿轮和第二锥形齿轮相啮合，齿轮位于齿轮环的上方。
优选的，所述控制箱的下方设有底座，底座和控制箱通过若干支撑腿连接。
本发明还提供了一种涂胶显影机平整涂胶的方法，包括如上述所述的涂胶显影机平整涂胶的装置，包括以下步骤：
把硅片放置于放置槽内，通过驱动电机驱动第二转轴转动，进而通过第二锥形齿轮和第一锥形齿轮的配合，使得蜗杆转动，进而通过蜗杆和蜗轮的配合，使得第一转轴转动，进而驱动旋转盘和硅片转动；
通过液压伸缩缸驱动涂胶器本体下移，使得涂胶器本体对放置槽内的硅片进行涂胶，且硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，进而通过驱动组件驱动固定座移动，改变涂胶器本体的位置，使得涂胶器本体移动至其他硅片的上方，可以对其他硅片进行涂胶处理；
通过卡接组件的设计，解除对第一活动板位置的限定，进而驱动第一活动板和第二转轴上移，使得第二锥形齿轮和第一锥形齿轮解除啮合关系，进而齿轮环跟随第二转轴上移，齿轮环和齿轮相啮合；
通过设置的卡接组件，再次固定第一活动板的位置，通过设置的定位单元，当第一活动板上移时，解除对齿轮位置的限定，进而使得齿轮环可以驱动齿轮转动；
通过驱动电机再次驱动第二转轴转动，通过齿轮环和齿轮的配合，使得第一螺纹柱转动，进而通过第一螺纹柱和推板的配合，使得推板上移，进而通过推板驱动活动环上移，使得顶出杆相对通孔上移，压缩弹簧处于压缩状态，进而使得放置槽内的硅片脱离出来。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)、在工作中，把硅片放置于放置槽内，通过驱动电机驱动第二转轴转动，进而通过第二锥形齿轮和第一锥形齿轮的配合，使得蜗杆转动，进而通过蜗杆和蜗轮的配合，使得第一转轴转动，进而驱动旋转盘和硅片转动，通过液压伸缩缸驱动涂胶器本体下移，使得涂胶器本体对放置槽内的硅片进行涂胶，且硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，进而通过驱动组件驱动固定座移动，改变涂胶器本体的位置，使得涂胶器本体移动至其他硅片的上方，可以对其他硅片进行涂胶处理，提高了工作效率；
(2)、通过卡接组件的设计，解除对第一活动板位置的限定，进而驱动第一活动板和第二转轴上移，使得第二锥形齿轮和第一锥形齿轮解除啮合关系，进而齿轮环跟随第二转轴上移，齿轮环和齿轮相啮合，进而通过设置的卡接组件，再次固定第一活动板的位置，通过设置的定位单元，当第一活动板上移时，解除对齿轮位置的限定，进而使得齿轮环可以驱动齿轮转动，进而驱动电机再次驱动第二转轴转动，通过齿轮环和齿轮的配合，使得第一螺纹柱转动，进而通过第一螺纹柱和推板的配合，使得推板上移，进而通过推板驱动活动环上移，使得顶出杆相对通孔上移，压缩弹簧处于压缩状态，进而使得放置槽内的硅片脱离出来，便于取出硅片；
(3)、通过驱动连接板移动，使得第二活动板和限位板移动，拉伸弹簧处于拉伸状态，进而使得限位板的一端脱离其中一个对应的限位槽内，解除对第一活动板位置的限定，根据实际需求，驱动第一活动板移动，改变第二转轴的位置，且限位板的一端移动至另一个限位槽的一侧，进而再次驱动连接板移动，使得限位板的一端插入限位槽内，从而再次固定第一活动板的位置，避免第一活动板竖直方向晃动；
(4)、通过伸缩单元的设计，第二转轴可以相对第一固定柱竖直方向移动，可以改变第二转轴的高度，通过矩形孔和限位块的配合，第一固定柱旋转时，可以驱动第二转轴同步转动，通过定位单元的设计，卡板位于卡槽内，避免第一螺纹柱和齿轮转动，当第一活动板上移时，卡板脱离卡槽，即可解除对齿轮和第一螺纹柱位置的限定，进而可以驱动第一螺纹柱和齿轮转动；
(5)、通过底座和支撑腿的设计，对控制箱进行支撑，通过双轴电机驱动第二螺纹柱转动，进而通过第二螺纹柱和活动座的配合，使得两个活动座异向移动，通过第二固定柱的设计，使得活动座水平方向平稳的移动，进而通过活动座驱动两个固定座异向移动，进而可以改变涂胶器本体的位置。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
在附图中：
图1为本发明整体的结构示意图；
图2为本发明驱动组件的结构示意图；
图3为本发明控制箱剖切的结构示意图；
图4为本发明图3中A处的局部放大示意图；
图5为本发明图3中B处的局部放大示意图；
图6为本发明第一转轴的结构示意图；
图7为本发明卡接组件的结构示意图；
图8为本发明第一活动板剖切的结构示意图；
图中：1、控制箱；2、旋转盘；3、放置槽；4、第一转轴；5、第一轴承；6、推板；7、活动环；8、压缩弹簧；9、顶出杆；10、通孔；11、第二轴承；12、第一锥形齿轮；13、第二转轴；14、第二锥形齿轮；15、驱动电机；16、电机座；17、第一螺纹柱；18、第三轴承；19、齿轮；20、齿轮环；21、第四轴承；22、第一活动板；23、侧板；24、固定座；25、液压伸缩缸；26、涂胶器本体；27、第一凹槽；28、第二活动板；29、拉伸弹簧；30、连接板；31、限位板；32、限位槽；33、第二凹槽；34、第一固定柱；35、矩形孔；36、限位块；37、卡槽；38、卡板；39、连接柱；40、支撑架；41、双轴电机；42、第二螺纹柱；43、第五轴承；44、活动座；45、第二固定柱；46、底座；47、支撑腿；48、蜗轮；49、蜗杆；50、定位柱。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一，由图1至图8给出，本发明包括控制箱1，控制箱1的上方设有若干旋转盘2，旋转盘2的顶部开设有放置槽3，控制箱1的顶部固定连接有两个侧板23，控制箱1的上方设有两个固定座24，固定座24的下方设有涂胶器本体26，涂胶器本体26和固定座24通过液压伸缩缸25连接，两个侧板23之间设有与固定座24相配合的驱动组件，控制箱1内设有若干第一转轴4，第一转轴4的底端与控制箱1的底部内壁通过第一轴承5连接，第一转轴4的顶端贯穿控制箱1的顶部内壁，第一转轴4的顶部与旋转盘2的底部固定连接，控制箱1上设有与旋转盘2相配合的旋转顶出组件；
旋转顶出组件包括设置于控制箱1上方的推板6，推板6位于旋转盘2和控制箱1之间，且第一转轴4贯穿推板6，第一转轴4的外部套设有活动环7，活动环7的顶部固定连接有若干顶出杆9，顶出杆9的外部套设有压缩弹簧8，压缩弹簧8的两端分别与旋转盘2和活动环7固定连接，放置槽3的底部内壁开设有若干通孔10，第一转轴4的外部套设有蜗轮48，控制箱1内设有蜗杆49，蜗杆49的一端与控制箱1的一侧内壁通过第二轴承11连接，蜗杆49的另一端贯穿控制箱1的另一侧内壁，且蜗杆49的一端固定连接有第一锥形齿轮12，第一锥形齿轮12的一侧设有第二转轴13，第二转轴13的外部套设有第二锥形齿轮14，第二转轴13的下方设有驱动电机15，驱动电机15的底部与控制箱1的底部通过电机座16固定连接，第二转轴13和驱动电机15的输出端通过伸缩单元连接，第二转轴13和推板6通过升降传动组件连接；
升降传动组件包括设置于控制箱1顶部的第一螺纹柱17和定位柱50，第一螺纹柱17的底端与控制箱1通过第三轴承18连接，定位柱50与控制箱1固定连接，第一螺纹柱17和定位柱50均贯穿推板6，第一螺纹柱17与推板6的连接方式为螺纹连接，第一螺纹柱17的顶部固定连接有齿轮19，第二转轴13的外部套设有齿轮环20，第二转轴13的上方设有第一活动板22，第二转轴13和第一活动板22通过第四轴承21连接，第一活动板22和其中一个侧板23通过卡接组件连接，第一活动板22和齿轮19通过定位单元连接。
实施例二，在实施例一的基础上，由图4、图7和图8给出，卡接组件包括开设于第一活动板22一侧的第一凹槽27，第一凹槽27内设有第二活动板28，第二活动板28的一端与第一凹槽27的一侧内壁通过若干拉伸弹簧29连接，第二活动板28的一侧固定连接有连接板30，连接板30的一侧固定连接有限位板31，其中一个侧板23的一侧开设有两个限位槽32，限位板31的一端位于其中一个限位槽32内，连接板30的一侧固定连接有拉环；
通过驱动连接板30移动，使得第二活动板28和限位板31移动，拉伸弹簧29处于拉伸状态，进而使得限位板31的一端脱离其中一个对应的限位槽32内，解除对第一活动板22位置的限定，根据实际需求，驱动第一活动板22移动，改变第二转轴13的位置，且限位板31的一端移动至另一个限位槽32的一侧，进而再次驱动连接板30移动，使得限位板31的一端插入限位槽32内，从而再次固定第一活动板22的位置，避免第一活动板22竖直方向晃动。
实施例三，在实施例一的基础上，由图7和图8给出，伸缩单元包括开设于第二转轴13底部的第二凹槽33，第二凹槽33内设有第一固定柱34，第一固定柱34的底端与驱动电机15的输出端连接，第二凹槽33的内壁上开设有两个矩形孔35，矩形孔35内设有限位块36，限位块36与第一固定柱34固定连接，定位单元包括开设于齿轮19顶部的卡槽37，卡槽37内设有卡板38，卡板38的顶部与第一活动板22的底部通过连接柱39连接；
通过伸缩单元的设计，第二转轴13可以相对第一固定柱34竖直方向移动，可以改变第二转轴13的高度，通过矩形孔35和限位块36的配合，第一固定柱34旋转时，可以驱动第二转轴13同步转动，通过定位单元的设计，卡板38位于卡槽37内，避免第一螺纹柱17和齿轮19转动，当第一活动板22上移时，卡板38脱离卡槽37，即可解除对齿轮19和第一螺纹柱17位置的限定，进而可以驱动第一螺纹柱17和齿轮19转动。
实施例四，在实施例一的基础上，由图1、图2、图4和图5给出，驱动组件包括设置于两个侧板23之间的双轴电机41，双轴电机41和控制箱1通过支撑架40连接，双轴电机41的两个输出端均设有第二螺纹柱42，第二螺纹柱42与侧板23通过第五轴承43连接，两个侧板23之间设有两个活动座44，侧板23和支撑架40通过第二固定柱45连接，第二螺纹柱42和第二固定柱45均贯穿活动座44，第二螺纹柱42和活动座44的连接方式为螺纹连接，支撑架40为L形结构，两个第二螺纹柱42上的螺纹方向相反，顶出杆9的顶端位于通孔10内，推板6位于活动环7的下方，蜗轮48和蜗杆49相啮合，第一锥形齿轮12和第二锥形齿轮14相啮合，齿轮19位于齿轮环20的上方，控制箱1的下方设有底座46，底座46和控制箱1通过若干支撑腿47连接；
通过底座46和支撑腿47的设计，对控制箱1进行支撑，通过双轴电机41驱动第二螺纹柱42转动，进而通过第二螺纹柱42和活动座44的配合，使得两个活动座44异向移动，通过第二固定柱45的设计，使得活动座44水平方向平稳的移动，进而通过活动座44驱动两个固定座24异向移动，进而可以改变涂胶器本体26的位置。
本实施例的一种涂胶显影机平整涂胶的方法，包括如上述的涂胶显影机平整涂胶的装置，包括以下步骤：
把硅片放置于放置槽3内，通过驱动电机15驱动第二转轴13转动，进而通过第二锥形齿轮14和第一锥形齿轮12的配合，使得蜗杆49转动，进而通过蜗杆49和蜗轮48的配合，使得第一转轴4转动，进而驱动旋转盘2和硅片转动；
通过液压伸缩缸25驱动涂胶器本体26下移，使得涂胶器本体26对放置槽3内的硅片进行涂胶，且硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，进而通过驱动组件驱动固定座24移动，改变涂胶器本体26的位置，使得涂胶器本体26移动至其他硅片的上方，可以对其他硅片进行涂胶处理；
通过卡接组件的设计，解除对第一活动板22位置的限定，进而驱动第一活动板22和第二转轴13上移，使得第二锥形齿轮14和第一锥形齿轮12解除啮合关系，进而齿轮环20跟随第二转轴13上移，齿轮环20和齿轮19相啮合；
通过设置的卡接组件，再次固定第一活动板22的位置，通过设置的定位单元，当第一活动板22上移时，解除对齿轮19位置的限定，进而使得齿轮环20可以驱动齿轮19转动；
通过驱动电机15再次驱动第二转轴13转动，通过齿轮环20和齿轮19的配合，使得第一螺纹柱17转动，进而通过第一螺纹柱17和推板6的配合，使得推板6上移，进而通过推板6驱动活动环7上移，使得顶出杆9相对通孔10上移，压缩弹簧8处于压缩状态，进而使得放置槽3内的硅片脱离出来。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种涂胶显影机平整涂胶的装置，包括控制箱(1)，其特征在于：所述控制箱(1)的上方设有若干旋转盘(2)，旋转盘(2)的顶部开设有放置槽(3)，控制箱(1)的顶部固定连接有两个侧板(23)，控制箱(1)的上方设有两个固定座(24)，固定座(24)的下方设有涂胶器本体(26)，涂胶器本体(26)和固定座(24)通过液压伸缩缸(25)连接，两个侧板(23)之间设有与固定座(24)相配合的驱动组件，控制箱(1)内设有若干第一转轴(4)，第一转轴(4)的底端与控制箱(1)的底部内壁通过第一轴承(5)连接，第一转轴(4)的顶端贯穿控制箱(1)的顶部内壁，第一转轴(4)的顶部与旋转盘(2)的底部固定连接，控制箱(1)上设有与旋转盘(2)相配合的旋转顶出组件；
旋转顶出组件包括设置于控制箱(1)上方的推板(6)，推板(6)位于旋转盘(2)和控制箱(1)之间，且第一转轴(4)贯穿推板(6)，第一转轴(4)的外部套设有活动环(7)，活动环(7)的顶部固定连接有若干顶出杆(9)，顶出杆(9)的外部套设有压缩弹簧(8)，压缩弹簧(8)的两端分别与旋转盘(2)和活动环(7)固定连接，放置槽(3)的底部内壁开设有若干通孔(10)，第一转轴(4)的外部套设有蜗轮(48)，控制箱(1)内设有蜗杆(49)，蜗杆(49)的一端与控制箱(1)的一侧内壁通过第二轴承(11)连接，蜗杆(49)的另一端贯穿控制箱(1)的另一侧内壁，且蜗杆(49)的一端固定连接有第一锥形齿轮(12)，第一锥形齿轮(12)的一侧设有第二转轴(13)，第二转轴(13)的外部套设有第二锥形齿轮(14)，第二转轴(13)的下方设有驱动电机(15)，驱动电机(15)的底部与控制箱(1)的底部通过电机座(16)固定连接，第二转轴(13)和驱动电机(15)的输出端通过伸缩单元连接，第二转轴(13)和推板(6)通过升降传动组件连接；
升降传动组件包括设置于控制箱(1)顶部的第一螺纹柱(17)和定位柱(50)，第一螺纹柱(17)的底端与控制箱(1)通过第三轴承(18)连接，定位柱(50)与控制箱(1)固定连接，第一螺纹柱(17)和定位柱(50)均贯穿推板(6)，第一螺纹柱(17)与推板(6)的连接方式为螺纹连接，第一螺纹柱(17)的顶部固定连接有齿轮(19)，第二转轴(13)的外部套设有齿轮环(20)，第二转轴(13)的上方设有第一活动板(22)，第二转轴(13)和第一活动板(22)通过第四轴承(21)连接，第一活动板(22)和其中一个侧板(23)通过卡接组件连接，第一活动板(22)和齿轮(19)通过定位单元连接。
2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述卡接组件包括开设于第一活动板(22)一侧的第一凹槽(27)，第一凹槽(27)内设有第二活动板(28)，第二活动板(28)的一端与第一凹槽(27)的一侧内壁通过若干拉伸弹簧(29)连接，第二活动板(28)的一侧固定连接有连接板(30)，连接板(30)的一侧固定连接有限位板(31)，其中一个侧板(23)的一侧开设有两个限位槽(32)。
3.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述限位板(31)的一端位于其中一个限位槽(32)内，连接板(30)的一侧固定连接有拉环。
4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述伸缩单元包括开设于第二转轴(13)底部的第二凹槽(33)，第二凹槽(33)内设有第一固定柱(34)，第一固定柱(34)的底端与驱动电机(15)的输出端连接，第二凹槽(33)的内壁上开设有两个矩形孔(35)，矩形孔(35)内设有限位块(36)，限位块(36)与第一固定柱(34)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述定位单元包括开设于齿轮(19)顶部的卡槽(37)，卡槽(37)内设有卡板(38)，卡板(38)的顶部与第一活动板(22)的底部通过连接柱(39)连接。
6.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述驱动组件包括设置于两个侧板(23)之间的双轴电机(41)，双轴电机(41)和控制箱(1)通过支撑架(40)连接，双轴电机(41)的两个输出端均设有第二螺纹柱(42)，第二螺纹柱(42)与侧板(23)通过第五轴承(43)连接，两个侧板(23)之间设有两个活动座(44)，侧板(23)和支撑架(40)通过第二固定柱(45)连接，第二螺纹柱(42)和第二固定柱(45)均贯穿活动座(44)，第二螺纹柱(42)和活动座(44)的连接方式为螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述支撑架(40)为L形结构，两个第二螺纹柱(42)上的螺纹方向相反。
8.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述顶出杆(9)的顶端位于通孔(10)内，推板(6)位于活动环(7)的下方，蜗轮(48)和蜗杆(49)相啮合，第一锥形齿轮(12)和第二锥形齿轮(14)相啮合，齿轮(19)位于齿轮环(20)的上方。
9.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：所述控制箱(1)的下方设有底座(46)，底座(46)和控制箱(1)通过若干支撑腿(47)连接。
10.一种涂胶显影机平整涂胶的方法，包括如权利要求1所述的涂胶显影机平整涂胶的装置，其特征在于：包括以下步骤：
把硅片放置于放置槽(3)内，通过驱动电机(15)驱动第二转轴(13)转动，进而通过第二锥形齿轮(14)和第一锥形齿轮(12)的配合，使得蜗杆(49)转动，进而通过蜗杆(49)和蜗轮(48)的配合，使得第一转轴(4)转动，进而驱动旋转盘(2)和硅片转动；
通过液压伸缩缸(25)驱动涂胶器本体(26)下移，使得涂胶器本体(26)对放置槽(3)内的硅片进行涂胶，且硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，进而通过驱动组件驱动固定座(24)移动，改变涂胶器本体(26)的位置，使得涂胶器本体(26)移动至其他硅片的上方，可以对其他硅片进行涂胶处理；
通过卡接组件的设计，解除对第一活动板(22)位置的限定，进而驱动第一活动板(22)和第二转轴(13)上移，使得第二锥形齿轮(14)和第一锥形齿轮(12)解除啮合关系，进而齿轮环(20)跟随第二转轴(13)上移，齿轮环(20)和齿轮(19)相啮合；
通过设置的卡接组件，再次固定第一活动板(22)的位置，通过设置的定位单元，当第一活动板(22)上移时，解除对齿轮(19)位置的限定，进而使得齿轮环(20)可以驱动齿轮(19)转动；
通过驱动电机(15)再次驱动第二转轴(13)转动，通过齿轮环(20)和齿轮(19)的配合，使得第一螺纹柱(17)转动，进而通过第一螺纹柱(17)和推板(6)的配合，使得推板(6)上移，进而通过推板(6)驱动活动环(7)上移，使得顶出杆(9)相对通孔(10)上移，压缩弹簧(8)处于压缩状态，进而使得放置槽(3)内的硅片脱离出来。
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